【課題】測定性能の向上・省エネルギー化・省スペース化・温度慣らし時間の短縮・設備費用の低減を行なえるサーマルクリーンチャンバーを提供する。
【解決手段】サーマルクリーンチャンバー１であって、フラットパネルディスプレイ検査・製造装置３を収容し、クリーンルーム２内に配置され、クリーンルーム２からの被加工用ガラス基板４を受け入れる出入口５及びそれに連なるガラス基板搬送路５ａを設け、該出入口５の上部には、所定温度で高精度に安定したエアーを供給するダクト７を設け、該ダクト７には、前記ガラス基板搬送路５ａ上の加工用ガラス基板４の進行方向に向け上方から噴気流を斜めに吹き付ける傾斜噴気口７ａと、噴気流を下方向に吹き付け噴気流により前記検査・製造装置を囲繞するようにした垂直噴気口７ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームへの入場者が長い時間立ち止まる必要がなく、渋滞を生じることを防止して、クリーンルームへのスムーズに入場することができるクリーンルームの除塵装置を提供する。
【解決手段】通過する歩行者に対して側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部１０と、該ジェット除塵部１０と連通して配置された通過する歩行者に対してエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すフィルタ付送風機３２ａ〜３２ｄを備えたエアーシャワー部３０とを備え、前記エアーシャワー部３０をクリーンルーム１の入口２に連通させて配置している。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームの入室者がスムーズに移動することができるクリーンルームの除塵システムを提供する。
【解決手段】クリーンルーム１に連通して加圧される少なくとも外部との間に開閉ドア５を有する更衣室７及び除塵装置９を有する除塵室３を備えたクリーンルームの除塵システムであって、前記除塵装置９は、前記更衣室７側に設けた前記クリーンルーム１の入室者に対して歩行状態で側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部１０と、該ジェット除塵部１０と連通するとともに、前記クリーンルーム１とも連通し前記入室者に対して歩行状態でエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すエアーシャワー部３０とを備えている （もっと読む）

【課題】 発熱温度の異なる製造装置が混在するクリーンルームにおいて、局所冷却手段を設けずに、製造装置の発熱温度に応じて冷却する。
【解決手段】 天井フレームに配設されたＦＦＵ４０と、天井フレームに配設され、クリーンルーム１から天井プレナムチャンバ４に還気する開口手段３０と、クリーンルーム１の床部に配設され、クリーンルーム１から床下チャンバ３に排気するグレイチング床と、送風機を備えたＦＣＵ５０と、を備え、ＦＦＵ４０と開口手段３０とは、クリーンルームに設置されている各製造装置１０、２０の発熱温度に対応して、配置位置及び配置数が設定され、ＦＦＵ４０は、各製造装置１０、２０の周辺の温度が所定温度に維持されるように送風量を調節可能で、クリーンルーム１には、床下チャンバ３から還流される室内空気と、ＦＣＵで冷却されて室内温度より低温の空気とが混合されて供給される。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム用空調システムにおいて、省エネ運転中に清浄度が悪化した領域の清浄度を消費エネルギーを無駄に増大させることなく迅速に回復させる。
【解決手段】空調システム（1）は、クリーンルーム内の全領域の空気温度が許容範囲内の温度である際に、各ファン（23）の風量を制御する風量制御部（40）を備えている。風量制御部（40）は、塵埃量が少ない所定の清浄状態である清浄領域に対応する顕熱空調機（21）のファン（23）の風量を低減する風量低減部（40a）と、清浄状態から塵埃量が増大して所定の非清浄状態に転じた塵埃増大領域に対応する空調機（21）のファン（23）の風量を定格風量に制御する第１定格風量制御部（40b）と、塵埃増大領域の隣接領域に対応する空調機（21）のファン（23）の風量を風量低減部（40a）に代わって定格風量に制御する第２定格風量制御部（40c）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ファンフィルタユニットの風量を上げることなくダウンフローの流れを維持し、異物の巻き上げ等を抑えて高い局所クリーン性能を発揮する局所クリーン化搬送装置の提供。
【解決手段】
基板搬送ロボット１０３は往復移動することができ、実線２０２の位置へ移動した場合、局所クリーン化搬送装置１０１の側面に設けられた開口量調節機構Ａの開口量調節板４０２を作動して開口部４０２を開ことで、基板搬送ロボット１０３により押された空気が側面にぶつかって巻き上がらないようし、矢印４０３、４０４、４０５、４０６の様に外部へ排出する。
また、基板搬送ロボット１０３が遠ざかる場合は、開口部４０１が閉じ、外部からの空気の流入を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】循環風量が少なくても、必要なダウンフローの風速を確保でき、しかもフィルタリーク試験も簡単に行えるクリーンルームを提供する。
【解決手段】クリーンルーム１０のクリーンゾーン１１の温調された清浄空気の吹出口が、複数のプレートノズル２０で形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】磁気転写を行う際に磁気記録媒体に対する異物の付着を抑制する。
【解決手段】磁気記録媒体にサーボ・パターンを磁気転写する磁気転写部１４を備えた表面検査・磁気転写装置１０を、ダウンフロー方式を採用したクリーンルーム３００内に配置する。また、クリーンルーム３００において、磁気転写部１４の上方に配置され、下方に向けて清浄化された下降気流を供給する第２ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）３１０ｂの風速を、第２ＦＦＵ３１０ｂの周囲に配置され下方に向けて清浄化された下降気流を供給する第１ＦＦＵ３１０ａや第３ＦＦＵ３１０ｃ等の風速よりも高速にする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造を有して高い安全性を確保することのできるアイソレーター装置であって、無菌アイソレーターとして高度な無菌・無塵状態を維持できると共に、封じ込めアイソレーターとして化学物質や微生物等の外部環境への漏洩を高度に防止することのできるアイソレーター装置を提供する。
【解決手段】作業室と、作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段と、作業室の下方から一方向流の空気を排気する排気手段とを備えており、更に、上記一方向流の空気に沿って作業室の周壁部に並行に設けられる隔壁と、作業室の底壁部に形成されて隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口する長手状の排気口とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置の筺体の内部における局所的な気流の流速の制御性を向上させ、カセットの内部に保持された処理ワークへの微小異物の付着を抑制する。
【解決手段】内部を清浄な雰囲気に保つ筐体６１と、ファン２及びフィルタ３を含みダウンフロー８を発生させるファンフィルタユニットと、ダウンフロー８を排出するための開口部９と、処理ワーク６を保持するためのカセット４の接続部６２と、ダウンフロー８を局所的に加速するための駆動部を筐体６１の内部に設置した気流発生装置１２とを備えたミニエンバイロメント装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】内部空間の一部を局所的に高清浄度とするクリーンルームであって、単層構造とすること等により建設コストを低減することができるクリーンルームを提供すること。
【解決手段】保管設備３と製造装置とを設置するためのクリーンルーム１であって、保管設備３を設置するための局所クリーンブース１０を形成し、局所クリーンブース１０の天井に設けられたＦＦＵ１３と、局所クリーンブース１０の床面の一部のみに設けられた排気口１４と、排気口１４に対応する箇所に設けられた導出路１５と、導出路１５から導出された空気をＦＦＵ１３に向けて還流させる還流路と、製造装置４から発せられる熱を処理するＦＣＵ２２とを備える。局所クリーンブース１０の空気の一部を、一般空間２０に導入し、局所クリーンブース１０の空気の他の一部を、ＦＦＵ１３に向けて還流させる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化および複雑化や消費電力の増大などを回避しつつ検査等の処理に要求される環境を得る。
【解決手段】ＦＰＤ検査装置１は、ワークＷを搬送する搬送ステージ１４〜１６と、搬送ステージ１４〜１６上を移動するワークＷに検査ラインＬ１５（処理部）で検査する検査ユニット１０と、搬送ステージ１４〜１６と検査ユニット１０とを収容する搬送部外装１７および１９ならびに検査部外装１８と、外装（１７〜１９）内にクリーンエアを送出するＦＦＵ１０１と、ＦＦＵ１０１から送出されたクリーンエアを検査ユニット１０に導く風洞Ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】液晶モジュールやＰＤＰの製造工程では、製造装置などの障害物があっても、塵埃や有機溶剤が拡散・停留しないように、速やかに排気することができる実質的な層流を発生させる必要がある。しかし、単にダウンフローを発生させるクリーンルームでは、部屋全体に層流を発生させることは困難であった。
【解決手段】障害物があっても実質的な層流となるダウンフローの風量は０．１ｍ／ｓｅｃ乃至０．１５ｍ／ｓｅｃの風速が必要である。本発明のクリーンルーム１は、その風速のダウンフローを得るために、天井した高さ１８００ｍｍの場所に全面フィルタからなるチャンバー２５を配し、さらに、天井８から６００乃至９００ｍｍの場所に整流手段２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 箱形ユニットの作製には設備を備えた組立てラインと精通した熟練作業員を必要とし、輸送時の衝突，衝撃，相互間のこすりなどによる損傷を防止するために頑健な資材にて梱包しなければならず、しかも箱形ユニットはその形状から嵩ばってコンテナに積載できる個数が非常に少なくなるために輸送回数がふえて輸送コストを高くするとともに発散するＣＯ₂の排出量を増大させているという社会的な課題があり、また設置現場に大小の箱形ユニットの大きな保管場所を確保せねばならないという多くの課題がある。
【解決手段】 本発明はクリーンエアー吹出しの共用型モジュウルを収容し取付けする大小の箱形ユニットにおいて、外箱を四角形板とその四周に傾斜側板を設けた逆角皿形に形成して多数枚を積み重ねて嵩ばらずに設置現場に向けて輸送し、設置現場においてビス止めにより大小の箱形ユニットを簡単に組立てられるようにして、上記したすべての課題を解決するようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】半導体回路パターンの測定装置の性能を確保できるＦＦＵのモータ駆動ファンの振動吸収・抑制装置を得る。
【解決手段】ＦＦＵ筐体上のモータ駆動ファンをリング状に取り囲む位置に、リング状に薄い金属板を多層に積み重ねることにより剛性を低下させたリング状多層金属板を設置し、モータ駆動ファンからＦＦＵ筐体へ伝達される振動エネルギーを熱エネルギーとして消費し、振動を吸収・抑制する。多層金属板をＦＦＵに採用することにより、固有振動のＱ値が低くなり、共振しにくくなるとともに、モータ駆動ファン取り付け部の重量が増し、振動が抑制され、ＦＦＵ筐体への振動の伝播が低減される。 （もっと読む）

【課題】比較的安価に、かつクリーンルームの機能を活かしつつ、確実にクリーンルーム内における金属汚染を抑制することのできるクリーンルーム内金属汚染防止システムを提供する。
【解決手段】作業空間１２から床下空間２４へ排気された気体をＦＦＵ１８を介して作業空間１２へ循環させる垂直層流型のクリーンルーム１０における金属汚染防止システムであって、熔解ガス発生源が配置される作業空間１２の一部を隔離して熔解ガス発生領域１４を確保する隔壁１６と、床下空間２４において隔壁１６ａに接続し、熔解ガス流入領域２８を確保する開閉床３０と、開閉床３０の開閉を行うモータ３２と、熔解ガス流入領域２８からクリーンルーム系外へ接続された排気経路４４を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外調機を合理的に配置して、省スペース化及び省コスト化を図ったクリーンルーム施設及び外調機を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１を挟んで上部に天井チャンバ４、下部に床下チャンバ３を備えるとともに天井チャンバ４と床下チャンバ３を連通させるレターンシャフト７を備え、天井チャンバ４、レターンシャフト７、床下チャンバ３により室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、この循環経路の途中に設けた空調機８によって室内負荷を処理しつつ室内空気を循環させるクリーンルーム施設Ｂにおいて、外気ＯＡを取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機３０を備え、この外調機３０を床下チャンバ３の外周部２０側に形成した外調機室２２に設置して、取り入れた外気ＯＡを処理しつつ処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に直接供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】清浄化の対象である発熱体の真上から清浄空気を送り出さない局所清浄化空調システムであって、コスト低減を図ることができる局所清浄化空調システムを提供する。
【解決手段】室内２に配置された発熱体１０に対して、低温の清浄空気を送風し、この発熱体１０の表面を清浄化する局所清浄化空調システム１００において、発熱体１０の上方に配置され、空気を冷却して低温の空気を吹き出す熱交換手段３０と、発熱体１０の上部の斜め上方または横に配置され、熱交換手段３０から吹き出される低温の空気を清浄化するとともに、この清浄空気を発熱体１０の上部に向けて吹き出す空気清浄手段２０とを備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】天面に付着した塵埃を除去することができると共に、適切なエアーの流れを効率良く作ることができる。
【解決手段】チャンバールーム２６内に、クリーンエアーを供給するエアー供給機構と、一端がエアー供給機構に連通し、他端がチャンバールーム２６内に開放された送気口手段と、チャンバールーム２６の下部に形成した排気口６１から、チャンバールーム２６内のエアーを排気するエアー排気機構３０と、を備え、送気口手段は、チャンバールーム２６の天面にクリーンエアーを吹き付ける複数の横送気口ユニット２８を有している。 （もっと読む）

【課題】エアチャンバーの積載効率が高く、搬送性、据付性の優れたファンフィルタユニットを提供する。
【解決手段】ファンフィルタユニットは、上側の送風装置１と、下側のフィルタ３と、両者に挟まれたエアチャンバー２とを備えている。エアチャンバー２を送風装置１とフィルタ３とに対して分割構造とし、エアチャンバー２の構造を縦断面で台形形状としているので、嵩張るエアチャンバー２を互いに入り込む入れ子式に積層して積載効率を向上し、搬送・貯蔵することができる。ファンフィルタユニットの設置場所において、送風装置１をエアチャンバー２に対して、その上部に設けられている開口部８に上パッキンを介してパチン錠７で気密に接続することで、容易に組み立てて設置することができる。 （もっと読む）