株式会社日立ハイテクコントロールシステムズにより出願された特許

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【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー27、アフタークーラー28と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター33、再生ヒーター23とを備え、プレクーラー27、アフタークーラー28と排気ヒーター33、再生ヒーター23との熱源にペルチェ素子41が使用されている。 (もっと読む)


【課題】プロセス監視制御システムの分野で、ユーザ認証におけるなりすましを防止することにより安全性を高め、加えて、ユーザに負担を掛けることのない仕掛けを提供する。
【解決手段】運転監視操作卓10に運転監視操作卓10、携帯端末36,38の位置情報を取得する機構16、携帯端末38にバイオメトリクス情報を取得する機構40,42を備え、バイオメトリクス情報を運転監視操作卓10に送信し、バイオメトリクスの照合および運転監視操作卓10と携帯端末38の位置情報の差が許容誤差範囲かどうかを判定し、バイオメトリクスが一致、位置情報が許容誤差範囲内の場合にのみログインを許可し、ログイン後は一定の周期で携帯端末の位置情報を取得し、運転監視操作卓と携帯端末の位置情報が一定回数以上連続で許容誤差範囲外となった場合に自動ログアウトを実施する。 (もっと読む)


【課題】プロセス監視制御システムの分野において、監視または制御対象に異常が発生した場合に、オペレータの熟練度に関係なく、早急に異常への対処が可能である制御システムを提供する。
【解決手段】プラントを構成するプラント装置をシンボル201で表示する表示装置と入力装置とを有する運転監視操作卓を備え、プラントを監視制御する制御システムにおいて、運転監視操作卓は、予め作成されたプラント装置についての情報を、当該装置のシンボル201と関連付けて保存する。表示装置は、入力装置によりシンボル201が指定されると新たなウィンドウ202を表示する。新たなウィンドウ202は、指定されたシンボル201と関連する情報を表示する。 (もっと読む)


【課題】プロセス監視制御システムにおいて、プロセスの異常をネットワークを介して運転員に自動通報する機能を、システムが納入された実稼働サイトのみにおいて有効とすることが可能な自動通報システムを提供する。
【解決手段】遠隔配信機構1は、プロセス56の事象が運転監視操作卓102に蓄積されたことを検出する事象取出し部20と、自己の地球上の位置情報を取得する位置情報取得部14と、運転員の操作により、位置情報をサイト位置情報として取得するために位置情報取得部14を起動させるアドレス設定・サイト位置情報設定部12と、事象が蓄積されたことを事象取出し部20が検出したら、位置情報取得部14を起動させて位置情報を現位置情報として取得し、現位置情報とサイト位置情報との差が許容誤差の範囲以内かを判定する位置情報判定部22と、差が範囲以内の場合には、事象を基に作成したメッセージを端末機器に送信する送信部24を備える。 (もっと読む)


【課題】イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供する。
【解決手段】サンプル5にテラヘルツ波101を照射する照射手段10と、複数のマイクロミラー7を有し、マイクロミラー7のそれぞれがサンプル5からのテラヘルツ波103を反射するマイクロミラーアレイ6と、単一の受光素子から構成され、マイクロミラーアレイ6からのテラヘルツ波105を検出して電気信号に変換する検出手段20と、電気信号を処理して、サンプル5のイメージング画像を得る画像処理部72と、複数のマイクロミラー7を制御する制御部71を備える。複数のマイクロミラー7は、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能である。制御部71は、傾斜角度を変えるマイクロミラー7を特定するための走査アドレス情報71aを保持し、マイクロミラー7のそれぞれの傾斜角度を変える。 (もっと読む)


【課題】差圧/圧力伝送器のダイアフラムが反応する過大圧の設定値を任意に設定する。
【解決手段】高圧側受圧部及び低圧側受圧部を有する本体1と、本体1に設置された圧力センサ2と、高圧側受圧部に設けられた高圧側センターダイアフラム19と、凸形状の面を有する高圧側固定金具7と、低圧側受圧部に設けられた低圧側センターダイアフラム20と、凸形状の面を有する低圧側固定金具8とを含む差圧/圧力伝送器において、高圧側固定金具7の凸形状の面を高圧側センターダイアフラム19に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とし、低圧側固定金具8の凸形状の面を低圧側センターダイアフラム20に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とした構成とする。 (もっと読む)


【課題】長時間にわたって冷却することができ、かつ、液体窒素の使用量を低減することができる温度コントローラ及び温度制御方法を提供する。
【解決手段】試料10を封入して減圧可能とした真空容器1と、液体窒素4(冷却媒体)を供給して冷却可能とした熱交換部5と、試料10の冷却及び加熱を可能としたペルチェモジュール6と、試料10の加熱を可能としたヒータ7とを含む真空装置100の温度制御を行う温度制御部2(温度コントローラ)において、ペルチェモジュール制御回路と、ヒータ制御回路と、試料10の目標温度を設定する温度設定部と、試料10の冷却及び加熱を選択する冷却/加熱選択部と、温度制御の設定を書き換え可能とした演算部とを備え、冷却媒体による冷却からペルチェモジュール6による冷却に切替可能とした。 (もっと読む)


【課題】プロセス入出力部の異常を早期に検出し、異常を起こしているプロセス入出力部の電源を遮断して動作を停止させることが可能なプロセス制御装置を提供する。
【解決手段】プロセス入出力部3〜5とプロセス制御コントローラ2と電源部1と電源制御部6〜8を備える。電源制御部6〜8は、プロセス入出力部3〜5の消費電流を測定し、電源遮断信号15を受信するとプロセス入出力部3〜5への電源を遮断する。プロセス入出力部3〜5は、実装情報信号11をプロセス制御コントローラ2に送信する。プロセス制御コントローラ2は、プロセス入出力部の正常消費電流を記憶しており、実装情報信号11に基づきプロセス入出力部を特定し、特定したプロセス入出力部の正常消費電流の値と閾値係数とから消費電流閾値範囲を設定し、電源制御部6〜8から取得した消費電流の測定値が消費電流閾値範囲を超える場合は、電源制御部6〜8に電源遮断信号15を送信する。 (もっと読む)


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