【課題】プロセス制御監視システムの分野で、プロセスデータの取込先が未決定であってもグラフィック画面の作画や表示テストを可能とし、必要に応じてプロセスデータの取込先の登録や変更を容易に行えるグラフィック画面作画装置を提供する。
【解決手段】表示装置と記憶装置とを備え、プロセス状態をグラフィックの表示形態とプロセスデータとの組合せにより前記表示装置に表示するグラフィック画面を作画する、プロセス監視制御システムのグラフィック画面作画装置であって、前記グラフィック画面に表示される表示形態の作画時に、この表示形態にプロセスデータの取込先としてダミー端子を自動的に割付け、この割付けたダミー端子を表にして前記記憶装置に格納することを特徴とする。また、前記プロセスデータの取込先の決定後に、この決定したプロセスデータの取込先と前記ダミー端子との対応を前記表に格納することも特徴とする。 （もっと読む）

【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）

【課題】親局装置と子局装置間が広域通信網で接続されている遠方監視制御装置では、通話機能を設けると装置コストや保守コストが大きくなる。また、保守作業に携行が必要なデータ端末は可搬性が悪い。
【解決手段】保守データを蓄積し、広域通信網２１で接続され、信号を互いに伝送する親局装置１と子局装置３１とを備える遠方監視制御装置において、親局装置１と子局装置３１は、保守用データ端末５１、５３を接続するためのインタフェースを備え、保守用データ端末５１、５３を介して、親局装置１または子局装置３１から保守データを読み出し、且つ親局装置１または子局装置３１に保守データを書き込み可能とし、保守用データ端末５１、５３の記憶部に保守データを保存可能とし、広域通信網２１を介して、保守用データ端末５１または５３から入力した文字列を保守用データ端末５３または５１に表示する。 （もっと読む）

【課題】電池動作電圧が低くてもセンサノードを安定化電源回路で動作させ、間歇動作に同期して安定化電源回路を起動、停止することにより、電池の低い電圧で長期間動作させるセンサノードを提供する。
【解決手段】周期的にセンサの信号を取り込むセンサ部と、該センサ部から送られる計測データを送信データへ変換するプロセッサ部と、該プロセッサ部で変換された計測データを無線送信する無線部と、センサ部、プロセッサ部、無線部の動作のための電源を供給する電池による電源を安定化する安定化電源部とを備え、プロセッサ部は、安定化電源部の動作を停止させるとともに、センサからの信号の取り込み周期のカウントを行うタイマ部の出力により安定化電源部の起動を行う。 （もっと読む）

【課題】プロセス制御システムを構築するに当たって、効率的にテストを実施できるシステムを提供し、計装エンジニアの負担とコストを削減する。
【解決手段】操作端末６０を介してプロセス制御手順３２２が登録され、プロセス制御手順３２２に基づきプラントのプロセス制御や監視を行い、システムのテスト時にはプロセス制御のシミュレーションを実行するプロセス制御システムであって、プロセス制御手順３２２の登録時に、シミュレーションの手順及び期待する結果を含むテスト方案３３２が操作端末６０を介して登録され、登録したプロセス制御手順３２２とテスト方案３３２のどちらか一方又は両方を操作端末６０に表示し、シミュレーションの手順に従いシミュレーションを実行し、シミュレーションの実行ステップ毎に、期待する結果とシミュレーションの結果とを比較し、比較結果を操作端末６０の画面に表示する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハへの歪の発生と塵埃の付着を抑え、吸着力をウェーハに対し均等に展開でき、ウェーハを滑らない状態で安定して保持することができるウェーハチャック及びそれを用いたアライメント装置を提供する。
【解決手段】チャック本体と、そのチャック本体上面に設けられウェーハを支持する支持凸部と、チャック本体に形成された真空引き用の貫通孔とを備え、チャック本体と前記ウェーハと支持凸部とで形成される室を真空にすることによりウェーハを真空吸着して保持するウェーハチャックにおいて、支持凸部は、複数の円環状に形成され、かつその断面が半円断面形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ウェーハからの反射光による影響を除去することで、ウェーハのエッジを高精度に検出することができるウェーハアライメント装置及びそれを用いたウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハをチャッキングして回転する回転機構系と、ウェーハのエッジに光を照射する投光部とその光を受光する受光部とを有する光学式センサで構成され、ウェーハのエッジを監視・検出する検出系と、検出系で得られた受光量に応じてウェーハの向きと偏心を補正する信号を出力する制御系とを備えたウェーハアライメント装置において、投光部と前記受光部との間に、前記光の拡散を抑制するためのスリットを設けた。 （もっと読む）

【課題】安定した高速スループットでノッチ位置を検出できると共に、従来のノッチ検出手段を有効利用して容易に実現できるウェーハ把持方式のウェーハアライメント装置を提供する。
【解決手段】ウェーハの位置合わせする装置において、ウェーハ外周縁に接触する各把持アーム１０、２０の接触部には、ウェーハ外周縁のノッチが前記把持アームの接触部の位置にある場合にはこのノッチを検出するノッチ検出手段が設けられ、ノッチ検出手段のうち前記ノッチを検出したノッチ検出手段を有する把持アームがある場合には、少なくともこのノッチ検出したノッチ検出手段を有する把持アームのウェーハの把持状態を解除する解除機構と、この把持序状態を解除された把持アームを除く１以上の把持アームのウェーハに対する把持状態を維持する維持機構とを有する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサの光量や検出量の変動による偏芯量やノッチ位置の変動を随時自己補正しながら、ウェハの位置検出を精度良く行うことができ、使用環境にも影響されない安定した性能を保持できるウェハアライメントユニットを提供することである。
【解決手段】ウェハ９を載置し回転させるウェハ回転機構１と、回転するウェハ９のエッジに向けて投光し投光量のうちウェハ９により遮られなかった分の光量を検出する光学式ラインセンサ４、５と、前記ラインセンサの出力値からウェハの偏芯量及びノッチ位置を検出する演算ユニット７とを備えたウェハアライメントユニットにおいて、ウェハ９を模擬してウェハ回転機構１と前記ラインセンサとの間に設置され、前記ラインセンサの光検出量の変動を検出し補正するために用いられる遮光板３と、前記ラインセンサを遮光板３に対して相対的に直進移動させる移動機構６とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、稼働操作・故障修理・各種メンテナンス作業などで流入する外気に含まれる塵埃や搬送用ロボットから出る塵埃で筐体内が汚染されないように防止できる搬送用局所クリーンルーム、およびミニエン装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、搬送用局所クリーンルームにおいて、搬送用ロボットが収まるクリーンな空間をもつ筺体の床面に設けられ、筺体の上側に備えたファンフィルタユニットから送られるクリーンエアーを排出する空気排出開口部と、空気排出開口部の開口率を調節する開口調節機構を備え、ファンフィルタユニットの送風量や開口率を調節して筺体の内側気圧を外側気圧より高い陽圧に保つことを特徴とする。 （もっと読む）