【課題】本発明は、稼働操作・故障修理・各種メンテナンス作業などで流入する外気に含まれる塵埃や搬送用ロボットから出る塵埃で筐体内が汚染されないように防止できる搬送用局所クリーンルーム、およびミニエン装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、搬送用局所クリーンルームにおいて、搬送用ロボットが収まるクリーンな空間をもつ筺体の床面に設けられ、筺体の上側に備えたファンフィルタユニットから送られるクリーンエアーを排出する空気排出開口部と、空気排出開口部の開口率を調節する開口調節機構を備え、ファンフィルタユニットの送風量や開口率を調節して筺体の内側気圧を外側気圧より高い陽圧に保つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流量導入時にオーバーシュート特性を持って安定する定流量弁と該定流量弁に空気を導入する手段を設け、その過大流量と空気の混合液を流すことにより、定流量弁自身、流路の洗浄に用い、メンテナンスを容易にすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、定流量弁に、流量導入時にオーバーシュート特性を持って安定する定流量弁を用いるとともに、定流量弁に空気を導入する手段を設け、そのオーバーシュートによる過大流量と空気の混合液を流すことにより、定流量弁自身、流路の洗浄に用い、メンテナンスを容易にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサネットシステムで、センサノードの異常をゲートウェイで検出し、上位計算機からポーリング方式によるセンサノードのデータの収集と二重化可能なゲートウェイによるセンサネットシステムを提供する。
【解決手段】本発明は、ゲートウェイにセンサノードの計測データの周期更新を行うテーブル部とデータを保存するデータ保持部を設け、テーブル部の計測データの更新周期を監視し、周期が遅延した場合、センサノードの異常を判定する構成とともに、上位計算機にノードの接続情報を設定するＩＤ設定部とゲートウェイの診断部と切替部を設け、複数のゲートウェイを選択して接続可能とする。また、二重化した場合、ゲートウェイ間でテーブルのデータを相互に交換し、相互にバックアップを可能とする。 （もっと読む）

【課題】セキュリティ管理である操作権限の登録・変更を容易に行えるプロセス監視制御システム、それに用いる運転操作卓、及び操作権限設定方法を提供する。
【解決手段】本発明のプロセス監視制御システムは、プラントの本運転のプロセス監視と制御を行う前にプロセス監視制御を擬似的に行う運転シミュレーションを実行可能なプロセス監視制御システムであって、前記プロセス監視制御システムの運転員の操作権限を設定するための操作権限設定部を有し、前記操作権限設定部は、前記運転シミュレーションの実行中に、前記運転シミュレーションの一環として前記操作権限を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】操業データ管理サーバの障害やサーバの更新の際に、操業データ管理サーバの機能を停止することなく、障害復旧、操業管理情報、操業実績情報の復旧などを可能とする。
【解決手段】操業データを管理する複数のデータ管理サーバと、該データ管理サーバそれぞれに接続された情報端末および計測制御機器とを含み、該複数のデータ管理サーバを通信回線で接続してサーバ群を構成し、該データ管理サーバそれぞれの生存情報を含むサーバ監視情報を該サーバ群の中で共有するサーバ監視情報共有手段を設け、最も稼動時間の長い第１位のデータ管理サーバ、および次に稼動時間の長い第２位のデータ管理サーバの情報を該サーバ監視情報に格納し、該サーバ監視情報共有手段を用いて、該データ管理サーバそれぞれが、該データ管理サーバの新規稼動および再稼動を行った場合に、該第１位のデータ管理サーバから、未稼働時の操業管理情報および操業実績情報を導入する。 （もっと読む）

【課題】カセット内のウエハの状態を迅速に知ることができるウエハ搬送システム、および、ウエハ収納カセットを提供する。
【解決手段】複数のウエハを収納するカセットに読み出し書き込み可能なメモリを備えた無線タグを設け、カセットをウエハ搬送装置へ設置したときに、カセット内のウエハの有無を検出するセンサに電源が供給されて、無線タグにウエハの有無の情報が書き込まれ、ウエハ搬送装置に設けられた読み取り装置で、無線タグのメモリに記憶されたウエハに関する情報を読み出し、当該ウエハを搬送アームでカセットから取り出す構成とした。 （もっと読む）

【課題】無線周波数チャンネルは１６種類あり、ユーザは電波測定機器を使用して空きチャンネルを検索し、使用するチャンネルを選択する必要がある。
本発明は、搬送周波数チャンネルの選択が容易にできる無線通信ネットワークシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数のセンサノードと、このセンサノードが中継器を介在ないし非介在でつながる基地局と、前記センサノード、前記中継器、および前記基地局が作る通信網内で交わす通信に用いる無線通信手段を有する無線通信ネットワークシステムにおいて、前記無線通信手段は選択できる複数の搬送周波数チャンネルを有し、前記センサノードと前記基地局との接続経路情報より前記通信網内での通信に適する前記搬送周波数チャンネルを判別するチャンネル判別手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。
【解決手段】多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を構成する第１関節軸２１ａ、第２関節軸２１ｂ、及び第３関節軸２１ｃを中空軸とする。中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１には、樹脂からなる円筒状の部材である保護部材２１３を圧入して、中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１の内周面を保護部材２１３で被覆し、ケーブル２３の通路となる配線挿通孔を形成する。このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。 （もっと読む）

【課題】外部電源が瞬時停電をしても、より長時間にわたって継続動作し、信頼性を向上させた簡易な構成を有するモータ制御システム、および、このモータ制御システムを適用したステージシステムを提供する。
【解決手段】モータ制御システム１は、ＡＣサーボモータ３２と、ＤＣサーボモータ４２と、ＡＣサーボモータ３２を駆動するＡＣサーボアンプ３１と、ＤＣサーボモータ４２を駆動するＤＣサーボアンプ４１と、商用電源１１の停電を検出する停電検出器１３と、商用電源１１からの供給電力を直流化しＤＣサーボアンプ４１へ供給する電源装置４３と、停電検出器１３が商用電源１１の停電を検出してからＡＣサーボモータ３２のトルクが減少するようにＡＣサーボアンプ３１を制御するとともにＤＣサーボモータ４２のトルクが減少するようにＤＣサーボアンプ４１を制御する制御装置２０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置のクリーンボックス内に、クリーンエアの好適なダウンフローを形成できる、ウェーハ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェーハ４ｂを加工するミニエンバイロメント装置１に備わるクリーンボックス２の背面の側の側壁部２３ｂにロボット本体２０の走行装置２１を備え、ロボット本体２０を走行させることで、クリーンボックス２の床部２３ａに、ロボット本体２０が走行する軌道を設置することなく、ロボット本体２０を走行できる構成とする。 （もっと読む）