【課題】２線式伝送器の消費電流として許容される消費電流で、信号絶縁回路を構成することを目的とする。
【解決手段】低消費電力タイプのフォトカプラを２個用い、１つはパルス幅変調信号で駆動、もう１つをその反転信号で駆動し、それぞれの出力のターンオン時の信号をパルス幅信号の前縁、後縁として取り出すことにより、精度良くパルス幅変調信号の絶縁を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、プロセス制御プログラムムの構築と検証を容易にするプロセス制御プログラム作成装置を提供するにある。
【解決手段】キー入力装置、ポインティングデバイス、音声入力装置、画面表示装置及び音声出力装置を用い、自然な視覚及び聴覚に基づいてプロセス制御プログラムを作成し、シミュレーションする。制御対象であるプロセス機器や配管類をシンボルメニューとして画面表示し、希望のプロセス機器や配管類を順次選択して、定められたグリッド上の所定の位置に配置し、各プロセス機器間を配管類によって接続して、プロセス機器の配置関係及び物流経路を表すプロセスフロー図を生成する。プロセス制御素子のメニュー表示から希望の制御素子を選択し、制御対象のプラント機器等を指定してその各ステップにおける物流とプロセス制御動作を画面上で順次定義してプロセス制御プログラムを生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ウェーハをより安全に搬送することが可能となり、また、何らかの要因によりウェーハがガイドを乗り上げた時に、リカバリーによりウェーハ強制収納が可能となり、これにより、サービスマンが装置内に入ることがなく、装置内の汚濁を防止することができるウェーハハンドリング方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームに前記ウェーハを載置し、前記アームに載置された前記ウェーハをウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するウェーハハンドリング方法において、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合、前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、計測対象として２種類の異なった密度を有する流体が貯蔵されている密閉タンク内の圧力が変化して計測対象の密度が変化する場合の界面の位置を求めることができる液位測定方法とその差圧伝送器を提供することにある。
【解決手段】本発明は、計測対象として密度の異なる２種類の流体が貯蔵されている密閉タンク内の低圧側の圧力を計測すると共に、前記密閉タンク内の前記低圧側の圧力と高圧側の圧力との差圧を計測し、前記圧力と、予め記憶された圧力によって定まる前記計測対象の各々の密度と、前記密閉タンク内の上下面間距離と、前記差圧とに基づいて前記流体間の界面の位置を求めることを特徴とする液位測定方法にある。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、新たな電源回路を追加することなく、小さな回路規模によってノイズに依る通信エラーや時間遅れをなくした伝送器システムを提供することにある。
【解決手段】本発明は、複数のセンサによって検出された複数の物理量を電気信号に変換し、該電気信号が伝送線を介して負荷に伝送される電流出力回路を有する伝送器システムにおいて、前記電流出力回路に適した電源電圧を出力する電源回路に接続されアナログ電圧信号に変換され選択された前記電気信号を電流信号に変換して出力する電圧／電流出力回路を形成する主電流出力回路と、前記電源回路から電力が供給され前記主電流出力回路に並列に接続されアナログ電圧信号に変換され選択されなかった少なくとも１つの前記電気信号を電流信号に変換して出力する第２出力用の電圧／電流変換回路とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】新たな電源回路を追加することなく、小さな回路規模によってノイズに依る通信エラーや時間遅れをなくし、出力端子がショートされたときにおいても主電流出力に影響を与えない電流制限機能を有する電圧出力回路を有する伝送器システムを提供する。
【解決手段】複数のセンサによって検出された複数の物理量を電気信号に変換し、該電気信号が伝送線を介して負荷に伝送される電流出力回路を有する伝送器システムにおいて、前記電流出力回路に適した電源電圧を出力する電源回路に接続されアナログ電圧信号に変換され選択された前記電気信号を電流信号に変換して出力する電圧／電流出力回路を形成する主電流出力回路と、前記電源回路から電力が供給され前記主電流出力回路に並列に接続されアナログ電圧信号に変換され選択されなかった少なくとも１つの前記電気信号を電圧出力に変換して出力する第２出力用の電圧出力回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数個所の排ガス及び大気ラインを連続的に切替えて、ガス中の有機化合物を簡便・迅速に、しかも精度を保ちながら効率よくオンライン分析するのに適したガス状有機化合物分析装置を提供する。
【解決手段】燃焼炉、有機化合物分解処理プラントなどの排ガスや大気等の試料ガスを導入するための複数のサンプリングノズルと、該ノズルから試料ガスを導く複数の配管と、該配管の前段または後段に配置され試料ガス中の灰、ダストを取り除くための複数のフィルタと、前記複数の試料ガスラインを切替えるライン切替装置と、前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガス内の有機化合物類を分析する分析装置とを備え、更に前記ライン切替装置によって選択された前記試料ガスが、ダイレクトに分析装置に導かれるダイレクト機構と、有機化合物類を濃縮及び脱着させるための吸脱着装置に導かれる吸脱着機構を設け、前記ダイレクト機構と吸脱着機構を任意に切替えられるようする。 （もっと読む）

【課題】障害が生じたプラントの設備の保守対策を迅速に行えるプラント用作業支援システムを提供する。
【解決手段】プラントの設備１を監視制御するコントローラ２と、これからの制御データを監視制御する操作卓３と、操作卓３に連なる遠隔作業支援装置１０を有し、遠隔作業支援装置１０には通信網４を介して設備１近辺に設けたアンテナ７で携帯用情報端末６と通信可能にしている。遠隔作業支援装置１０は、設備１の障害情報を携帯用情報端末５に配信する障害情報配信手段１１と、携帯用情報端末５の要求に応じて障害情報データベースの情報を読み出す障害情報検索手段１５を設け、障害情報配信手段１１には、携帯用情報端末５の所在地を検索する端末位置検索部１２と、検索した携帯用情報端末５にプラントの設備の障害発生情報を通知する情報配信部１３と、携帯用情報端末５から障害対応状況を受信する障害対応受信部１４を備える。 （もっと読む）

【課題】多重化した設備の稼動時間を平均化し、各設備の効率的利用を図って保全期間も長くでき、保全時期の計画も容易にできるプラント保全管理システムを提供する。
【解決手段】プラント保全管理システムは、プラントに多重化して設置して切り換え使用する設備１と、各設備１を監視制御するコントローラ２と、コントローラ２からの制御データを監視制御する操作卓３と、これに連なる保全管理支援装置５とを有している。保全管理支援装置５には、各設備が稼動した実績データを前記設備保全用データベースに格納する実績データ格納処理部７と、設備稼働実績情報や設備情報から多重化した設備の稼動時間を平均化するための稼働設備平均化処理部８と、設備稼働実績情報や設備情報から多重化した設備１の保全時期を算出選定する保全時期算出処理部９とを有する実績データ解析手段６を設けている。 （もっと読む）

【課題】排気量を制御することにより、ＦＦＵからのダウンフローの流量等を変えることなく、ロードポートの開閉蓋の開閉と連動させることにより安定したミニエン筐体内の気圧状態を作り出すことができ、ミニエン筐体内部に塵埃の拡散を防止し、安定した小規模クリーン環境を実現するミニエンバイロメント装置。
【解決手段】クリーン室内に設けられた筐体の上部に設置され清浄空気をダウンフローするファンフィルタユニットと、筐体に設けられ試料を収めた容器を載せるロードポート部と、容器から試料を筐体内に取り込むインターフェース開閉蓋と、筐体の内外気圧を測定する気圧センサと、筐体内から外部に排気される清浄空気の排気量を制御する排気圧調整用開閉蓋と、排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御する制御コントローラとを有し、インターフェース開閉蓋と連動して排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御し、筐体内を陽圧に保つ。 （もっと読む）