【課題】、簡易型アライメント装置の設置位置の自在化を高め、設置面積を縮小することができるウェーハの偏心補正方法及びウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハの移動機構として回転機構のみ有する簡易型アライメント装置でウェーハの偏心量を検出し、一方向に往復走行可能な基台と、その基台上で旋回自在に設けられる旋回軸と、その旋回軸に設けられ伸縮自在なアーム部と、そのアームの先端に設けられウェーハを把持するハンドとを有するウェーハ搬送ロボットを用いて、ウェーハの偏心を補正するウェーハの偏心補正方法において、ウェーハの偏心量を、基台の移動量、旋回軸の回転角及びアーム部の伸縮量のうち２つを用いた補正量に換算し、補正量に基づいて、基台の移動、旋回軸の回転及びアーム部の伸縮のうちいずれか２つを行うことによりウェーハの偏心を補正する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハに帯電した静電気を除電することができるとともに装置を保護することができ、かつ、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられこのロボット本体とは電気的に絶縁されているロボットハンド保持部と、前記ロボットハンド保持部に設けられ半導体ウェーハを搬送するロボットハンドと、前記ロボット本体と前記ロボットハンドとを電気的に接続する抵抗素子と、前記ロボット本体に接続され前記ロボットハンドを制御する制御装置と、前記ロボット本体と前記制御装置とを接地するアース手段とを有する。前記抵抗素子の電気抵抗は、前記制御装置と前記アース手段とを含めた前記ロボット本体の電気抵抗よりも大きく、１０^３Ω〜１０^６Ωが望ましい。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器内の基板収納状態を正確、かつ瞬時に判別することが可能な基板の収納状態検出方法、基板収納容器、および基板の収納状態検出システムを提供する。
【解決手段】基板を載置するための左右一対の支持リブを内部に複数段備える基板収納容器に収納された基板の収納状態検出方法において、それぞれの前記支持リブには載置した基板の荷重を検知する荷重センサが前記基板収納容器の前後方向に複数備えられ、前記荷重センサが検出したセンサ値に基づき、前記基板の収納状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰに収納された基板に帯電した静電気を充分に除電する。
【解決手段】ミニエン装置１を構成するロードポート１０の側板１０２には、ＦＯＵＰ３が装着される位置にＦＯＵＰ連通開口部１０３が形成され、そのＦＯＵＰ連通開口部１０３の近傍には、イオンエア放出口をＦＯＵＰ連通開口部１０３に向けたイオンエア放出ノズル１６が設けられている。ミニエン制御装置１３は、ＦＯＵＰ装着第１００へのＦＯＵＰ３の装着を検知すると、イオナイザ１５を駆動して、イオンエア放出ノズル１６からイオンエアをＦＯＵＰ連通開口部１０３、つまり、装着されたＦＯＵＰ３の内部に向けて放出させる。そして、所定時間経過後、または、静電電位センサにより検出されるウェーハ３１の静電電位が所定電位以下になったときには、イオナイザ１５の駆動を停止して、イオンエア放出ノズル１６からのイオンエアの放出を停止させる。 （もっと読む）

【課題】大型のウェーハの裏面を真空吸着して保持する吸着ハンドにおいて、ウェーハの自重による変形および真空吸着力による局所的な変形を抑制する。
【解決手段】ウェーハを吸着するための吸着部を有し、この吸着部と前記ウェーハの裏面との間に減圧部を生じさせることにより前記ウェーハを吸着して保持する吸着ハンドであって、前記吸着部を３か所以上設け、これらの吸着部の中心を頂点とする多角形の内側に前記ウェーハの中心が位置し、且つ前記吸着部が前記ウェーハの外周の内側に位置するように前記ウェーハを保持する。 （もっと読む）

【課題】異常が生じた場合でも簡易な構成により食品製造ラインの稼働率の低下を極力防止できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】食品を搬送する搬送機構２と、搬送機構２にて搬送過程にある食品４に光を照射する光源１１ａ、１１ｂと、食品４から反射される反射光の画像を撮影する撮影手段６と、この反射光の画像を画像処理して食品中に異物が混入した場合の異物を強調した画像を生成する画像処理手段１５とを備える食品の異物検査装置１において、異物検査装置１に機能的な異常が生じたときにその異常を検出する検出手段と、前記機能的な異常を検出しても搬送機構２が正常であれば該搬送機構を駆動させる駆動指示手段とを備える。前記駆動指示手段として、搬送機構２を駆動させる指示信号を生じさせる手動の操作スイッチ、搬送機構２を駆動させる指示信号を該異物検査装置の外部から入力する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサの補正を随時行うことができるラインセンサの補正方法、その補正により基板の位置検出を精度良く使用環境にも影響されない安定した性能を保持できるアライメント装置及びそれを備えた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】アライメント装置のアライナ原点に位置決め基準を設けること、基板搬送ロボットのティーチング作業にアライメント装置のアライナ原点のティーチングを設けること、基板搬送ロボットによりアライメント装置のラインセンサを単位量ずつ遮光し、センサの出力値を測定することにより、ラインセンサの出力特性を測定し、直線性の演算および補正値を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハのアライメント後にノッチ合わせ位置にノッチが合っていることを検出し、上位装置への安定した搬送を行うことができるアライメントユニット及びそれを用いたウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェハを把持し、回転させる回転機構と、ウェハの外周に光を照射し、照射した光の受光量を検出するラインセンサと、ラインセンサの受光量からウェハの偏心量及びウェハの外周に形成されたノッチ位置を検出し、ウェハの位置を補正するウェハアライメントにおいて、アライメント終了後にノッチの位置ずれを検出するノッチ位置ずれ検出センサを備えた。 （もっと読む）

【課題】操作者がどの端末を使用しても、監視対象の画面、計器名称を再入力することなく、他の端末で表示したのと同じ画面を容易に表示でき、継続的に監視操作が可能なプラント監視装置を提供する。
【解決手段】プラントを制御するための制御装置２と、操作者を識別する操作者識別機能９を有し、制御装置２を介して入力したプラント情報を画面に表示して前記プラントの監視操作を行う複数の監視操作端末１１、１２と、この監視操作端末が接続される通信ネットワークと、前記監視操作端末に表示した画面の情報を、前記通信ネットワークを介して取り込み操作者別に保持する情報保持装置７とを備える。前記監視操作端末の各々は、操作者８のログオン時に操作者識別機能９に基づき、情報保持装置７が保持する操作者８の画面表示情報に従い画面表示する。 （もっと読む）

【課題】製造業務における各工程での資源の必要量の確認作業を常に一定のスピード及び作業負荷の状態で実行することができ、業務の効率改善及び信頼性向上を図ることができるＲＦＩＤを用いた生産管理システムを提供する。
【解決手段】製造業務の各工程を実施するために必要な情報を指示値として生成する演算処理部及び指示値が蓄積された製造計画データベースのうち少なくとも一方と、ＲＦＩＤが貼付された原料の情報をそのＲＦＩＤタグに書き込むＲＦＩＤタグリーダライタ処理部と、読取可能範囲内にあるＲＦＩＤタグから原料に関する情報を受信するＲＦＩＤタグ読み取り部と、演算処理部或いは製造計画データベースから送信された指示値と、ＲＦＩＤ読取部で読み取られた原料に関する情報とを照合し、その照合された結果内容をリスト化し、そのリストに基づいて作業者に作業を実施する上での原料の準備内容を表示する照合処理部とを有する。 （もっと読む）