【課題】既設のプロセス監視制御システムのリプレースを安価に実現すること。
【解決手段】プロセス監視制御システムの各監視制御装置は、ハードウェアユニットに実装されるソフトウェアにより構築される、サブプロセス1-4a,1-4b,1-4c毎の仮想コントローラ1-5a,1-5b,1-5cにより構成される。このシステムは、既存のプロセス監視制御装置（１仮想コントローラ／１ハードウェア）1-11を備えた元のシステムの中に、新たなプロセス監視制御装置（複数仮想コントローラ／１ハードウェア）1-1をリプレースしたものである。リプレースのために、運転監視操作卓には、サブプロセスの監視制御に関するデータ授受の要求に付与される既存のサブプロセス名称から、リプレース後の複数仮想コントローラ／１ハードウェアユニット（プロセス監視制御装置）の中の該当の仮想コントローラを割り出すためのサブプロセス名称テーブル1-15を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マッピングセンサのマッピング精度を高めること。マッピングセンサに作業者が触れられないようにしてマッピングセンサの取付け位置が狂わないようにすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、半導体ウェハを含む基板を収納するオープンカセットが出し入れされる開口部が設けられているロードポートプレートと、ロードポートプレートの表側に位置し、ロードポートプレートの手前側に転ぶように回動自在に設けられた傾転ドアと、傾転ドアに設けられ、開口部を出入するオープンカセットを載置するオープンカセット置台と、ロードポートプレートの裏面に位置し、開口部を開閉するようにスライド自在に設けられた背面ドアを有するオープンカセットロードポートにおいて、半導体ウェハの位置を検知するマッピングセンサは背面ドアと傾転ドアの間を行き来するように設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】化学剤を探知するスピード、誤報率の低減、化学剤の種類の絞込み、無人の連続モニタリング装置としての仕様を備えた硫黄マスタード、ルイサイト１の探知に用いて好適な化学剤の探知装置及び探知方法を得る。
【解決手段】探知装置は、試料を取り込み加熱する試料導入部１と、試料導入部１からの試料をイオン化するイオン化部２と、質量分析部３と、データを解析する計算機６とにより構成される。計算機６により硫黄マスタード、ルイサイト１に特有の所定の信号が認められた場合、その試料を特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ウェーハ搬送ロボットの搬送精度を維持してミニエンのウェーハ搬送システムが運転停止に至る不具合の発生を回避し得るウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のウェーハ搬送装置は、内部にウェーハの搬送室を形成するミニエン筐体と、ウェーハを把持してカセット部と半導体製造装置との間を搬送する搬送室内を移動可能なウェーハ搬送ロボットと、前記ウェーハ搬送ロボットのウェーハハンドリング機構に設置されてウェーハを把持して移動させるハンド部と、このハンド部に設けられて検出対象物を検出する検出器と、前記ミニエン筐体内に設置されて前記ウェーハ搬送ロボットが移動する搬送室内の複数の方向の基準を定める基準スリットと、前記ハンド部の検出器によって検出した検出対象物の基準スリットの位置に基いて前記ウェーハ搬送ロボットの移動方向を制御する制御コントローラを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は搬送室内全体における気流の状況を搬送装置の通常の運用状態で正確に監視することを可能にしたウェーハ搬送装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のウェーハ搬送装置は、内部にウェーハの搬送室を形成するミニエン筐体内に形成された搬送室の所望位置に移動可能なウェーハハンドリング機構を備えたウェーハ搬送ロボットと、前記ウェーハハンドリング機構に取り付けられて前記ミニエン筐体内の搬送室を流れる気流を前記搬送室の複数の所望位置で測定する風量測定器と、前記風量測定器で計測された複数の所望位置での気流の風量データに基づいて前記ミニエン筐体内の搬送室を流れる気流の状況を演算して表示する制御コントローラを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】
ウェーハの前垂れ状態を検知し、簡単な機構を用いて前垂れ状態を適正な状態に修正し、安定したウェーハの搬送が可能であるロードポート装置を提供する。
【解決手段】
ウェーハを収納するためのキャリアを載置するテーブルを備えたロードポート装置において、可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させるための機構を設ける。キャリア内のウェーハが前垂れ状態の場合、可動子を作動させてキャリアに振動を加え、ウェーハの前垂れ状態をロボットハンドに対して平行な状態に修正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記の課題に鑑み、磁石保持フレームに永久磁石を組み込む固定する作業に手間がかからなく、磁石保持フレームに組み込んだ永久磁石が確実な固定が安定して維持されるリニアモータを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、多数の磁石が横並びに走行方向に配列されているレールと、このレールに対して相対的に移動するように対向させて配置された可動子を有し、レールに備わる磁石保持フレームには、永久磁石を保持する多数の磁石保持穴が並ぶリニアモータにおいて、永久磁石の端部と磁石保持穴との間に挟まる介在部材を介して永久磁石を前記磁石保持フレームに押圧固定するねじ等を含む押し込み具を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、直線性誤差の向上と複雑な処理、煩雑な確認を防止し、最適な多項式近似により、基準熱起電力または基準抵抗値の線形化ができる温度変換器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、熱電対や測温抵抗体を含む温度検出素子の非線形な検出信号に基づく出力を温度変化に対して線形になるように線形化する温度変換器において、ｎ次の多項式近似式を用いて前記出力を線形化する温度変換部と、前記多項式近似式の係数と近似範囲を指定する近似係数テーブル部を備え、前記温度変換部は、前記近似係数テーブル部より前記検出信号の近似範囲に入る近似の係数を読んで多項式近似計算をすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品点数を極力減らし低価格で高速の断線検出ができる検出装置の断線診断システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、検出素子部と、前記検出素子部の検出信号に含まれるノイズを除去するフィルタ回路と、前記フィルタ回路でノイズが除かれた検出信号を増幅する増幅器を有する検出装置の断線診断システムにおいて、前記検出素子部に断線検出用の印加パルスを供給する直流電圧電源と、前記印加パルスのパルス幅を前記検出素子部の入力レンジに対応させて変えるパルス幅制御機能を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査対象の色に拘わらずに食品に混入した細くて小さな異物の高精度な検出を容易且つ低コストで可能にした異物検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の異物検査方法は、食品に対して水分および脂肪酸を含有する物質内に存在するＯＨ結合の高調波および結合音によって吸収ピークと裾を示す１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域内の波長光を光源から照射し、前記光源から食品に対して照射された前記波長光が食品及び食品に含まれた異物から反射した反射光をハーフミラーを介して１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域における複数の波長域の分光した反射光と透過した透過光とに分離させて受光し、この受光した前記波長域の反射光及び透過光に基づいて反射光画像及び透過光画像を撮影し、この撮影した前記波長域の反射光画像及び透過光画像を画像処理することによって異物を強調した画像を生成して食品に含まれた異物を検出可能とする。 （もっと読む）