【課題】 冷却エネルギー量と除湿エネルギー量を限界量近くにまで減少させるだけでなく加湿エネルギー量も限界量近くにまで減少させることにより大巾な省エネルギーが達成でき、かつ、コンパクト、安価な空気調和装置の製作を可能にする空気調和方法を提供する。
【解決手段】 処理空気の絶対湿度をクリーンルーム内の作業状況の変動や大気圧変動まで計測して算出すれば、主流ダクトを流下させる必要冷却除湿空気量や必要加湿量が決定できるから、必要冷却除湿空気量の信号を演算手段から出力させて流量調整手段のコントローラを作動させ、又、必要加湿量の信号を演算手段から出力させて加湿手段のコントローラを作動させれば冷却除湿空気量を限界量近くの必要冷却除湿空気量にまで減少させることが可能となり、冷却エネルギー量、除湿エネルギー量、加温エネルギー量、加湿エネルギー量を大巾に減少させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】流れ方向を切り替え可能に弁体の開口部を通過する流体の圧力損失が小さい電磁弁およびこの電磁弁を用いた４ポート切り替え弁機構を提供する。
【解決手段】電磁弁１０は、開口部４０を有する弁座３８と、開口部４０を閉塞しまたは開放する上弁体部４２ａおよび下弁体部４２ｂからなる弁体４２を備え、下弁体部４２ｂは突起状部に形成されるとともに、突起状部が平面視で開口部４０を覆う大きさに形成され、突起状部の外周に、弁座３８に当接して開口部４０を閉塞することができる周回突起４２を備える。突起状部は鏡面加工される。上弁体部４２ａおよび下弁体部４２ｂの間に断熱層４４が設けられる。筺体部１４は、弁座３８を介して、流体が切り替え可能に流入または流出するポートに連通する上部室３０および下部室３２を備える。弁体４２を下方に付勢するバネ４９と、プランジャ２０を保持する永久磁石２４が設けられる。 （もっと読む）

【課題】低露点空気を発生する際のエネルギ消費量が小さい低露点空気発生装置を提供する。
【解決手段】低露点空気発生装置１０は、水分凝縮ユニット１２と、温度スイング吸着ユニット１４と、低露点空気供給ユニット１６を備えるとともに、接続される各ユニット間を流通する空気の流路を切り替える第一及び第二の４ポート自動流路切換機構２２ａ、２２ｂを有する。第一及び第二の４ポート自動流路切換機構２２ａ、２２ｂは、それぞれ、３つのポートを備える４つの電磁弁を組み合わせて一体化され、全体として、空気や再生用空気等の流入口又は流出口となる４ポートを有する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて、低露点空気を発生する際のエネルギ消費量を大幅に削減でき、また、稼動後、短時間で所望低露点空気の供給が可能となる低露点空気発生装置を提供する。
【解決手段】低露点空気発生装置１０は、水分凝縮ユニット１２と、温度スイング吸着ユニット１４と、低露点空気供給ユニット１６を備える。水分凝縮ユニット１２は水分凝縮除去機構を備え、処理空気を除湿し、温度スイング吸着ユニット１４は、２系列の吸着剤部１８ａ、１８ｂを有し、除湿された処理空気中の水分を吸着して低露点空気を生成し、低露点空気供給ユニット１６は、温度調整機構を備え、温度スイング吸着後の空気の温度を調整して供給先に供給する。接続される各ユニット間を流通する空気の流路を切り替える第一及び第二の４ポート自動切換えバルブ２２ａ、２２ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】
スイッチ素子数及び配線数を抑制しつつ、被制御素子に流す電流の極性を変えることが出来るマトリックス回路を提供する。
【解決手段】
複数の行配線及び列配線に各々スイッチ素子を介在させたマトリックス回路において、行配線及び列配線が交差する点に被制御素子を中心に４つの整流素子をＨ型に配置したＨ型ブリッジ回路を配設した。 （もっと読む）

【課題】 電子機器や精密機器等を製造する工程において使用されるクリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 清浄作業空間から排気を取入れて、処理空気とし、その粒子状汚染物質及び分子状汚染物質の除去と調温調湿を行って高純度調温調湿空気に調製して、清浄作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を加湿冷却加温装置に取入れて、これを屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じ、粒子状汚染物質及び分子状汚染物質の除去と調温調湿を実施する。
（もっと読む）

【課題】 電子機器や精密機器等を製造する工程において使用されるクリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 調温調湿されたクリーンルーム等のクリーン作業空間からの排気を処理空気として清浄化して、前記クリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を、調温調湿装置に通じ、屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じるか、又は、当該処理空気を屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じた後、調温調湿装置に通じるクリーンルーム排気の清浄化方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】 クリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 クリーン作業空間の排気を取入れて、処理空気とし、その清浄化と調温調湿を行って、前記クリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を加湿冷却装置に取入れて、次いで、回分式温度スイング吸着装置に通じた後、さらに、調温調湿装置に導入して、調温調湿と分子状汚染物質及び粒子状汚染物質の除去を実施すると共に、当該回分式温度スイング吸着装置の再生空気は、再生空気冷却加熱部を流下させた後、再生モードにある吸着材ユニットに通じることを特徴とする超高純度空気の調製方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】 クリーンルーム等からの排気の清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法の提供。
【解決手段】 調温調湿されたクリーン作業空間からの排気を処理空気としてこれを超高純度空気に調製してクリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を回分式温度スイング吸着装置に取り入れた後、調温調湿装置に通じるか、処理空気を調温調湿装置に取り入れた後、回分式温度スイング吸着装置に通してクリーンルーム排気を超高純度空気に調製する方法であり、分子状汚染物質を吸着材で除去する吸着モードにある吸着材ユニットの系統、分子状汚染物質を吸着した吸着材ユニットに、前記吸着モードにある吸着材ユニットを通過させた超高純度空気を分配器に流入させて分岐せしめ、分岐当該空気を再生空気として通じる再生モードにある吸着材ユニットの系統を並列に配置した２系統を備える超高純度空気の調製方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】 半導体製造等のレジスト処理工程における超清浄空間から排出される分子状汚染物質を含有する排気を、製造設備ラインの操業を停止させることなく除去清浄化し、精密に調温・調湿して、超清浄空間に長期間に亘って連続安定に循環供給する。
【解決手段】 半導体又等のレジスト処理工程排気を清浄化して循環供給するレジスト処理工程排気の清浄化方法において、排気を処理空気として加湿冷却装置に取り入れて加湿冷却空気を得、これを回分式温度スイング吸着装置に通じて汚染物質除去した後に、さらに、調温調湿装置で調温・調湿と分子状汚染物質及び粒子状汚染物質の除去を実施するレジスト処理工程排気の清浄化方法を提供する。 （もっと読む）