【課題】人又は機器に悪影響を及ぼす大気環境下にある建物の換気を安価に又効果的に行うことができる換気システムを提供する。
【解決手段】建物１０に電気、水、ガスなどを供給する配線、配管を収納し前記建物１０と接続するケーブルダクト３０と、大気環境が良好な地域に設けられ前記ケーブルダクト３０と接続する吸気口４１と、前記吸気口４１から吸引した換気用の空気を前記ケーブルダクト３０を通じて前記建物１０に送る送風機４３と、前記建物１０に設けた換気口又は換気ファン４５と、を含み、前記建物１０を換気するとき前記建物１０の内部圧力が外部の大気圧力を上回るように送気する。 （もっと読む）

【課題】よりいっそうの運転コストを削減したドライルーム用給排気システムを提供する。
【解決手段】ドライルーム１，２に給気する空気を除湿し、ドライルーム１，２に給気ダクト３を介して接続されている除湿手段１０と、ドライルーム１，２外へ排気された空気中の揮発性有機化合物を除去し、製造装置１ａ，２ａに排気ダクト４を介して接続されている揮発性有機化合物除去手段１１と、を備え、ドライルーム１，２には少なくとも２つの製造装置１ａ，２ａが設けられているとともに、除湿手段１０、揮発性有機化合物除去手段１１及び２つの製造装置１ａ，２ａがダクトを介して相互に接続され、２つの製造装置１ａ，２ａのうちの一方の製造装置から少なくとも他方の製造装置に前記ダクトを介して給気が行われることを特徴とする、ドライルーム用給排気システム１００。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造の局所空気清浄化装置を提供する。
【解決手段】局所空気清浄化装置１は、清浄化された一様空気流を吹き出す空気流開口面２３を有するプッシュフード２を備えている。プッシュフード２は、空気流開口面２３から吹き出された一様空気流が、空気流開口面２３の下流側において空気衝突面Ｗに衝突するように配置されている。プッシュフード２は、空気流開口面２３を空気衝突面Ｗから離間して対向させることにより、プッシュフード２の空気流開口面２３と空気衝突面Ｗとの間に開放した領域を形成する。空気流開口面２３から吹き出される清浄化された一様空気流は、空気衝突面Ｗで衝突して開放した領域外に流出することにより、開放した領域内を他の領域に比較して高い清浄度とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、空調機の冷却効率を向上させることが可能な電算室の空調システムを提供することにある。
【解決手段】 本発明の電算室の空調システムは、電子機器と、電子機器からの排気を冷却する空調機と、排気の気流を空調機へと導く第１のガイドとを備える。第１のガイドは、空調機側が高くなるような勾配を有し、空調機および電子機器よりも高い位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケミカル物質の室内への侵入を確実に防止することができるうえ、外気に対する区画性能や気密性能を高めることで、ケミカルユニットにかかるコストの低減を図ることができる。
【解決手段】室Ｒ内を内壁２と外壁３とからなる二重の壁体で覆い、それら内壁２と外壁３とによって囲まれる加圧ゾーンＳを形成し、この加圧ゾーンＳを空気清浄化装置１０により供給されたケミカル外気Ｅ０で充満させることで、室Ｒ内の気密性能を高め、外部から室内への空気の流入を確実に防止することを可能にしたクリーンルーム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】レイアウト設計の自由度が高く、天井高さが低い場合でも設置可能で、かつ、天井面に塵埃が堆積するのを防止して、コストを低減できるクリーンルームを提供すること。
【解決手段】クリーンルーム２は、室内下方の空気を吸い込んで清浄化し、室内上方に吹き出す上向き空気清浄化装置１１〜１４と、室内上方の空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出す下向き空気清浄化装置２１〜２４と、を備える。上向き空気清浄化装置１１〜１４は、空気清浄化装置４０を吹出口４２を上向きにして配置したものであり、下向き空気清浄化装置２１〜２４は、空気清浄化装置４０を吹出口４２を下向きにして配置したものである。上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４により、室内で空気が上下に循環する循環路Ａ〜Ｅを形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業で、ファンフィルタユニットによる空気浄化効率を向上させる。
【解決手段】筐体内に、ファンケースを有するファンユニット１１と、フィルタケース２２を有するフィルタユニット２１とが収容され、前記筐体は、厚み方向一側の面に前記ファンケース１２及び前記フィルタケース２２が当該面に沿った方向に並んで固定された基板２と、該基板２に、前記ファンケース１２及び前記フィルタケース２２を覆うように取り付けられたカバー部材とで構成され、前記基板２上に囲繞部材４１を設けてポッティング剤を充填する。 （もっと読む）

【課題】施工に手間と時間が掛からず、作業効率を向上し得、且つ再使用ができて作業全体のコスト削減を図り得るクリーンルーム内の養生装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１の天井部２に格子状に配設され且つフィルタユニット３を受けるフィルタ受枠４に対しその両幅端部４ａに引っ掛けるよう掛止可能な掛止金具５と、該掛止金具５を締結部材６により着脱自在に装着するための取付孔が上縁部に沿って所要間隔をあけて穿設された気密幕材８とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば、施設の上部において、必要に応じてチェーンブロックを移動可能に取り付けることのできるレールが、種々の方向に複数設置されている場合において、このレールを利用して施設内にクリーンルームを容易に製作することのできる、施設のレールを利用した簡易クリーンルームと、この簡易クリーンルームを使用した、簡易クリーンルームの製作方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る施設のレールを利用した簡易クリーンルームは、施設の上部に設置されている所定の長さのレールに対して、レールの長手方向に直交するように２本の支持杆を所定の間隔を開けて配置し、両支持杆とレールの上面側にシートを取り付け、また、両支持杆の一端側・他端側のそれぞれに、レールの長手方向に沿うようにシートを取り付け、さらに、個々の支持杆の側面に、それぞれシートを取り付けている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ファンフィルターユニットに関するもので、チャンバー部分が大型化しても天面部分のたわみを抑えることができる構造を実現することを目的とする。
【解決手段】チャンバー７の構造において、空気吸込口を有したトップパネル８と、上面の一部と側面とを一体にしたサイドパネルＡ９と、サイドパネルＡ９に隣接した側面を形成するサイドパネルＢ１０とで構成され、サイドパネルＡ９とサイドパネルＢ１０には、フィルター２０の固定用の穴が設けられ、トップパネル８は、サイドパネルＡ９上面部分ではさむようにして固定されたファンフィルターユニットであり、ファンフィルターユニットの大型化を容易に実現し、チャンバーの上面部のたわみを抑える大型のファンフィルターユニットとしてきわめて有用なものである。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルームのランニングコスト及び設備費を抑制可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、該チャックテーブルと該加工手段とを覆う筐体と、該筐体の内部に連結され加工の際に発生するミスト及び塵埃を吸引する吸引ダクトと、該吸引ダクト内に吸引されたミスト及び塵埃を捕獲してエアからミスト及び塵埃を除去する高性能フィルターと、該吸引ダクトに吸引力を作用させるとともに該高性能フィルターでミスト及び塵埃が除去された清浄エアを排出するファンとを有し、該吸引ダクト内に配設されたファンユニットとを具備し、該ファンユニットを介して排出された清浄エアはクリーンルーム内に排出されるか又は該筐体内に戻されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精密機器が配設されたブース内の圧力の変動を防止して測定精度の低下を抑制しつつ、省エネをも実現できる温調装置を提供する。
【解決手段】精密機器Ｆが配設されたブース１内に温調用空気Ｐを供給して温調する温調手段２の運転を制御する制御手段３を備えた温調装置Ｅにて、ブース１内の圧力Ｋ₁を検出する圧力検出手段９をブース１内に備え、温調手段２が温調用空気Ｐをブース１内に送り込む送風手段４を備え、制御手段３が、送風手段４を運転させてブース１内に温調用空気Ｐを送り込みブース１内の圧力Ｋ₁を大気圧Ｋ₀よりも大きな圧力にし、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１又は運転開始前に圧力検出手段９によりブース内１の圧力Ｋ₁である基準圧力Ｋ_1aを検出させ、送風手段４の運転を制御して、精密機器Ｆの運転開始時ｔ１から運転停止ｔ２までの間、ブース１内の圧力Ｋ₁を基準圧力Ｋ_1aに維持する。 （もっと読む）

【課題】サーバー収納ラックの背面側の通路を不要とすることにより、ケージを小型化して省スペース化を図り、サーバールーム内に、より多くのケージを設置しうるようにした放熱ケージを提供する。
【解決手段】床面に立設した平面視方形をなすフレーム２における前面を、開閉可能なドアパネル１１と通気性のパネル群３により、かつ後面を、通気性のパネル群により、それぞれ閉塞するとともに、フレーム２における左右両側面を、引き違い式の複数の可動パネル２０により閉塞することにより、フレーム２の前後左右の４側面を、ドアパネル１１と通気性のパネル群３及び引き違い式の複数の可動パネル２０により閉塞した放熱ケージ１とする。 （もっと読む）

【課題】空調給気設備に用いるエネルギーの節減および効率的な利用を図る。
【解決手段】クリーンルーム１１内に設置された生産装置１２内へ供給する温調空気ｂは、湿度を調整せずに、加熱部２または冷却部３により温度を調整するので、湿度の調整に要するエネルギーを必要としないため、生産装置１２内へ供給する温調空気ｂに必要とされるエンタルピーＥＴの削減を実現する空調給気設備１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】製造装置レイアウト等の設計自由度を損なうことなく、クリーンルーム施設の階高の低減、局所的な空調制御、空調システムの負荷軽減、汚染物質等の拡散防止、床構造体の剛性向上等を図る。
【解決手段】複数の区画ユニット(2)が大空間の床面に間隔を隔てて配置され、製造装置(M)を収容する複数の加工・処理領域(10)が区画される。区画ユニットは、大空間の天井面(8)の下方に間隔を隔てて配置された天井構造体(6)と、天井構造体を支持する壁構造体(5)と、区画ユニット内の空間を空調する空調機(90)とを有する。空調機は、区画ユニット内の環境を区画ユニット外の全体空間(1')と異なる環境に制御する。 （もっと読む）

【課題】製造装置レイアウト等の設計自由度を損なうことなくクリーンルームを区画し、階高の低減、局所的な空調制御、空調システムの負荷軽減、汚染物質等の拡散防止、床構造体の剛性向上等を図る。
【解決手段】複数の区画ユニット(2)が建物内大空間(1’)の床面に間隔を隔てて配置される。各区画ユニットには製造装置(M)が収容される。区画ユニットは、大空間の天井面(8)の下方に配置された天井構造体(6)と、天井構造体を支持する壁構造体(5)と、区画ユニット内空間を空調する空調機(90)とを有する。壁構造体は、天井構造体の荷重を支持する複数の自立可能なコアユニット(20)と、コアユニット間の開口部を閉塞する壁面構成材(50)とを有する。区画ユニット外の大空間の空気を空調機に供給するための給気口(22)と、製造装置のためのユーティリティ配管・配線を接続可能な配管・配線接続部(21)とが、コアユニットの外側壁面に配設される。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率がよく、メンテナンスコストが安価な手術室用の空調システムを提供する。
【解決手段】本発明は、手術台２０５が設置された手術室の空調を行うための空調システムであって、前記手術台２０５の天井部に設置され、第１の風速でＨＥＰＡフィルタによって浄化された空気を吹き出すＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０と、前記ＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０の周囲に設置され、前記第１の風速より遅い第２の風速で空気を吹き出すＨＥＰＡフィルタ内蔵エアーカーテン吹き出し口２２０と、を有し、鉛直方向の投影を行ったとき、前記ＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０が形成するＨＥＰＡフィルタ内蔵吹き出し口２１０投影面が、前記手術台２０５が形成する手術台２０５投影面を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】別室への移動時に、クリーンスーツに付着した金属粒子を効果的に除去し、金属汚染の拡大を防止することのできるクリーンルーム内金属汚染防止システムを提供する。
【解決手段】クリーンルームにおける作業室への出入の際に通過する入出ブース６０に備えられる金属汚染防止システム１０であって、金属粒子除去位置において作業員４０の体を挟み込む、粘着面を対向させて配置した対を成す粘着シート１２と、金属粒子除去位置にて粘着シート１２を作業員４０の体へ押し付けるテンションロール２０を有することを特徴とする。また、金属汚染防止システム１０は、粘着シート１２を金属粒子除去位置へ送り出す送り出しロール１４と、金属粒子除去位置で使用された粘着シート１２を巻き取る巻き取りロール１６とを備える構成とすると良い。 （もっと読む）

【課題】全面開口口部からの流入風速を一定に保持する開閉窓部風速制御装置付きドラフトチャンバーを提供する。
【解決手段】本体１１と、作業室１２の窓部１３を上下方向に開閉する透明なシャッター１４と、該作業室と外気とを連通する排気ダクト２０と、作業室内の排気風量を調節する排気ダンパー２３と、前記作業室内の空気を排気ダクトを介して強制排気する排気ファン２６又は排気ダンパーを自動開閉する駆動モーター２４を具えたドラフトチャンバーにおいて、上下動可能に取付けたシャッターの開口度１５を測定する一対の開閉センサー３０と、排気風量を測定する差圧センサー３７と、シャッターが一定の高さを通過したとき開閉センサーが測定した測定値をリセットするリセットセンサー４０と、センサーからの信号を演算処理して排気ダンパー又は排気ファンの排気風量を処理して、前記開口度から適正な流入風速を一定にコントロールする制御部４６を有する。 （もっと読む）