エアフィルタ用濾材、その製造方法、およびそれを用いたエアフィルタユニット
【課題】リーク現象が抑制され、製造歩留まりが向上し、品質が安定化されたエアフィルタ濾材、その製造方法、およびそのエアフィルタ濾材を用いたエアフィルタユニットを提供する。
【解決手段】少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜１と、少なくとも１層の通気性支持材２とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３が付着していることを特徴とする。導電性粉体３が、ＰＴＦＥ多孔質膜１に隣接する層とそのＰＴＦＥ多孔質膜との界面に付着していることが好ましい。さらに、導電性粉体３がＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内にも付着していることが好ましい。導電性粉体３は、カーボンブラックであることが好ましい。また、本発明のエアフィルタユニットは、上記したエアフィルタユニットを用いたことを特徴としている。
【解決手段】少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜１と、少なくとも１層の通気性支持材２とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３が付着していることを特徴とする。導電性粉体３が、ＰＴＦＥ多孔質膜１に隣接する層とそのＰＴＦＥ多孔質膜との界面に付着していることが好ましい。さらに、導電性粉体３がＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内にも付着していることが好ましい。導電性粉体３は、カーボンブラックであることが好ましい。また、本発明のエアフィルタユニットは、上記したエアフィルタユニットを用いたことを特徴としている。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン（以下「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜を用いたエアフィルタ用濾材、その製造方法、およびそれを用いたエアフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＴＦＥはクリーンな材料であり、近年、ＰＴＦＥ多孔質膜を含む濾材が、半導体工業などのクリーンルームに用いられる高性能エアフィルタの濾材として広く使用されている。ＰＴＦＥ多孔質膜はコシがないため、通常、補強のために通気性支持材（通気性を有する支持材）と積層してから濾材として使用される。濾材は連続したＷ字状に折り畳まれ（プリーツ加工され）、さらに金属枠などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【０００３】
【特許文献１】
特表平９−５０４７３７号公報（第９−１０頁、第１−４図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを重ね合わせ、場合によっては接着し、ロールに巻き取る工程（以下「積層工程」という）、またはエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦などにより帯電しやすい。帯電した濾材に導電体が近づいたり人間が素手で触れたりすると、放電（スパーク）が発生して濾材に貫通孔が形成されることがある。貫通孔が形成されると、濾材の捕集効率が低下し、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔径の短径よりも平均粒子径が小さい粒子について、捕集効率の平均粒子径依存性がなくなる、いわゆるリーク現象が発生する。特に、積層工程では、積層された濾材がロール状に幾重にも巻き取られることが多いため、電荷はほとんど消失されることなく濾材に滞留する。また、プリーツ加工自体が大きな摩擦を伴う工程であるため、プリーツ加工した濾材には多量の電荷が蓄積されていることが多い。このため、巻き取られたり折り畳まれた濾材については、特にリーク現象が発生しやすくなる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアフィルタ用濾材は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、前記ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着していることを特徴とする。
【０００６】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ用濾材を含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材の製造方法であって、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後ロール状に巻き取る工程を含み、前記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とをロール状に巻き取る前に、前記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着させることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
ＰＴＦＥ多孔質膜は誘電率が高いため、上記の積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦などの原因で容易に帯電する。また、気孔率が極めて高いＰＴＦＥ多孔質膜では、帯電した電荷が消失されづらく蓄積され易い。上記のリーク現象を解消するには、濾材、特にＰＴＦＥ多孔質膜に帯電した電荷を何らかの手段で除去することが必要である。そこで、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着していることを特徴とする。このエアフィルタ用濾材では、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着しているので、積層工程やエアフィルタユニットヘの加工工程などにおいて、ＰＴＦＥ多孔質膜における電荷の蓄積が抑制される。したがって、リーク現象が抑制され、製造歩留まりが向上し、品質が安定化したエアフィルタ用濾材を提供できる。
【０００９】
以下に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例を、図面を参照しながら説明する。図１に示すように、エアフィルタ用濾材は、１層のＰＴＦＥ多孔質膜１と１層の通気性支持材２とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３が付着している。このエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れの上流側に通気性支持材２を配置して使用されるため、通気性支持材２は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を保護および補強するとともに、プレフィルタとしても機能する。
【００１０】
図１に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜に隣接する層とそのＰＴＦＥ多孔質膜との界面、すなわち、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２と対向する面に導電性粉体３が付着している。このように、ＰＴＦＥ多孔質膜の隣接する層との界面に導電性粉体を付着すれば、導電性粉体が安定して保持される。また、積層工程やエアフィルタユニットヘの加工工程などにおいて、ＰＴＦＥ多孔質膜が、隣接する層との摩擦などの原因で帯電しても、ＰＴＦＥ多孔質膜における電荷の蓄積を抑制できる。
【００１１】
ＰＴＦＥ多孔質膜１は、使用用途に応じた捕集機能が発揮されるものであれば、孔径、構造、形態などについて特に限定されず、通常、平均孔径０．０１〜５μｍ、平均繊維径０．０２〜０．３μｍ、厚み２〜５０μｍ、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が５０〜１０００Ｐａである膜が好適である。
【００１２】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、従来から用いられてきた方法により作製することができる。以下にその作製方法の一例を説明する。まず、ＰＴＦＥファインパウダーに液状潤滑剤を加えたペースト状の混合物を予備成形する。液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱することより除去できるものであれば特に限定されず、例えば、ナフサ、ホワイトオイルなどの炭化水素を使用できる。液状潤滑剤の添加量は、ＰＴＦＥファインパウダー１００重量部に対して５〜５０重量部程度が適当である。上記した予備成形は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力で行う。次に、予備成形体を押出しおよび／または圧延してシート状に成形し、このようにして得られたシート状の成形体を少なくとも一軸方向に延伸してＰＴＦＥ多孔質膜を得る。尚、延伸は、液状潤滑剤を除去してから行うとよい。延伸条件は、適宜設定でき、通常、温度は３０〜３２０℃であり、延伸倍率は、縦方向、横方向ともに２〜３０倍である。また、延伸後にＰＴＦＥ多孔質膜をＰＴＦＥの融点以上に加熱して焼成すれば、強度を高めることができる。
【００１３】
導電性粉体３は、ＰＴＦＥ多孔質膜１に付着できるものであれば特に制限されず、例えば、金属粉体、導電性樹脂粉体およびカーボンブラックから選ばれる少なくとも１種である。特に、平均粒子径が数十ｎｍ程度と小さく、低コストなカーボンブラックが好ましい。金属粉体としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、鉄、ステンレスまたはニッケル、導電性樹脂粉体としては、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリチオフェンまたはポリアニリンなどが挙げられる。
【００１４】
導電性粉体３は、図１に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２と対向する面にのみ付着しているが、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔内に付着させてもよく、図２に示すように、通気性支持材２に対向する面と、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内とに付着していることが好ましい。導電性粉体３が孔内にも付着していると、ＰＴＦＥ多孔質膜１の厚さ方向に導電路が形成されるため、ＰＴＦＥ多孔質膜２における電荷の蓄積を効果的に抑制できる。
【００１５】
図１、図２に示した例の他に、図３に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２が積層された側の反対側に、通気性支持材２’をさらに積層してもよい。図３に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２、２’との界面、および孔内に導電性粉体が付着している。
【００１６】
図１〜図３では、いずれもＰＴＦＥ多孔質膜１が１層であるが、エアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を２層以上含んでいてもよい。また、複数のＰＴＦＥ多孔質膜と複数の通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしくは両方が連続して積層されている部分があってもよい。
【００１７】
導電性粉体３のＰＴＦＥ多孔質膜１への付着は、粉体をそのまま吹き付けて行ってもよいが、乾燥状態では凝集する導電性粉体、例えばカーボンブラックでは、均一な散布が困難な場合があるので、導電性粉体をアルコールなどの分散媒に分散させた分散液をＰＴＦＥ多孔質膜１へ吹き付け、分散媒を乾燥して除去するとよい。分散媒は、導電性粉体３として用いる材料に適したものを選択すればよい。また、導電性粉体３のＰＴＦＥ多孔質膜１への付着は、導電性粉体が分散媒に分散した分散液にＰＴＦＥ多孔質膜１を含浸して行ってもよい。
【００１８】
導電性粉体３の粒径について特に制限はないが、０．０２〜２００μｍ、特に、０．０２〜０．１μｍであることが好ましい。このように平均粒子径の小さな導電性粉体３では、吹き付け時にＰＴＦＥ多孔質膜１が受けるダメージも小さく好ましい。平均粒子径が、ＰＴＦＥ多孔質膜の平均孔径よりある程度小さい導電性粉体、例えば、ＰＴＦＥ多孔質膜の平均孔径が１００ｎｍ〜１０μｍである場合に、平均粒子径が２０ｎｍ〜１００ｎｍである導電性粉体であれば、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内に導電性粉体３を付着させることができる。
【００１９】
導電性粉体３の付着量は、０．０５〜０．５ｇ／ｍ２、特に０．１〜０．２５ｇ／ｍ２が適当である。少なすぎると帯電を十分に抑制することができず、多すぎると、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔が過剰に閉塞され、フィルタ効率を低下させるおそれがあるからである。導電性粉体３の付着量が上記した範囲であれば、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔が導電性粉体３によってある程度ふさがれても、フィルタ効率には影響しない。
【００２０】
通気性支持材２、２’は、材質、構造、形態について特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜より通気性に優れた材料、例えば、不織布、織布、メッシュ（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることが好ましい。特に、強度、柔軟性、作業性の点からは不織布が好ましい。通気性支持材２、２’の材料について特に制限はなく、ポリオレフィン（ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）など）、ポリアミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複合材などからなるものを用いることができる。一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維を用いることが一般的であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い合成繊維であることが好ましい。
【００２１】
このようにして得られたＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを積層する方法、あるいは通気性支持材と通気性支持材とを積層する方法について特に制限はなく、単に重ね合わせるだけでもよいが、例えば、接着剤ラミネート、熱ラミネートなどの方法を適用することができる。特に、熱により通気性支持材の一部を溶融させ、隣接する層の対向する面に部分的に接着する熱ラミネートが好ましい。このように接着剤を用いずに接着すると、余分な重量増加がなく容易に接着することができ、接着後に行うプリーツ加工も行い易い。
【００２２】
ＰＴＦＥ多孔質膜とＰＴＦＥ多孔質膜とを積層する方法も、特に限定されるものではない。単に重ね合わせるだけでもよいし、成膜時に圧着して積層する方法や熱溶融する方法などを採用してもよい。
【００２３】
図４に、図１または図２に示したエアフィルタ用濾材の作製過程を示している。ロール状巻回体８およびロール状巻回体９からそれぞれ繰り出された帯状の通気性支持材２および帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１は、ターンロール５による方向転換によって互いに重ね合わされる。そして、加熱ロール７の表面に沿って進行しながら加熱され、加熱ロール７とピンチロール６とに挟まれて通気性支持材２とＰＴＦＥ多孔質膜１とが接着される。この濾材は、さらにシリコーンロール４、ターンロール５により導かれ、巻き取られて、濾材のロール状巻回体１０となる。
【００２４】
導電性粉体３は、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とをロール状に巻き取る前に、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に付着させればよい。ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを重ね合わせる前に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させてもよいが、図４に示すように、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とを重ね合わせた後に、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させることが好ましい。導電性粉体３が分散媒に分散した分散液を用いて帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させる場合、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを重ね合わせる前に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させると、ＰＴＦＥ多孔質膜に縮みやシワが生じるおそれがあるからである。図４に示すように、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とを、加熱して接着する場合、接着後に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させてもよいが、接着前が好ましい。導電性粉体３の脱落を抑制できるからである。
【００２５】
図５に、図３に示したエアフィルタ用濾材の作製過程を示している。ロール状巻回体９から、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と帯状の通気性支持材からなる２層の濾材１’を繰り出すこと以外は、図４に示した作製過程と同様である。
【００２６】
このようにして導電性粉体が付着された濾材は、必要に応じて所定の長さに切断され、連続したＷ字状に折り畳まれ（プリーツ加工され）る。すなわち、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体を形成する工程と、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着する工程を含むエアフィルタ用濾材の製造方法において、上記積層体を連続したＷ字状に折り畳む工程（プリーツ加工）をさらに含む。
【００２７】
図６は、プリーツ加工されたエアフィルタ用濾材の一例の断面図である。長尺の濾材を長さ方向に所定の間隔をおいて交互に山折り／谷折りしていくと（プリーツ加工を施すと）、断面方向から見て連続したＷ字状の濾材を得ることができる。プリーツ加工は、例えば、外周にブレードを配置した一対の回転ドラムを回転させながら濾材をひだ折りしていくロータリー方式、濾材の移送方向に所定の間隔をおいて配置した一対のブレードを移動させながら濾材を両面から交互に折り畳んでいくレシプロ方式などが採用できる。Ｗ字状に折り畳まれたエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とが対向する面において互いに接触しないようにホットメルトなどでビードが形成され、例えば図７に示すように、アルミニウムからなる支持枠２２などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【００２８】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
【００２９】
（実施例１）
まず、下記に示した方法によりＰＴＦＥ多孔質膜を作製する。ＰＴＦＥファインパウダー（旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製、フルオンＣＤ−１２３）１００重量部に対して液状潤滑剤（ナフサ）１７重量部を均一に混合し、この混合物を２０ｋｇ／ｃｍ２の条件で予備成形し、次いでこれをロッド状にペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形体を１対の金属圧延ロール間に通し、厚さ２５０μｍの長尺シートを得た。このシートを２９０℃の延伸温度で長手方向に１０倍に延伸し、さらにテンター法により８０℃の延伸温度で幅方向に３０倍に延伸して、未焼成ＰＴＦＥ多孔質膜を得た。この未焼成ＰＴＦＥ多孔質膜を、熱風発生炉を用いて４００℃で焼成して、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜を得た（平均孔径１．０μｍ、厚さ１０μｍ）。
【００３０】
カーボンブラック（東海カーボン製、トーカブラック＃４５００：平均粒子径４０ｎｍ）をイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）中に投入し、これを超音波洗浄機に５分間かけて０．５重量％の分散液を作製した。
【００３１】
帯状の通気性支持材として不織布（ユニチカ社製、エルベスＴＯ３０３ＷＤＯ、厚さ１５０μｍ、目付量３０ｇ／ｍ２、鞘部ＰＥの融点１２９℃、芯部ＰＥＴ）を用意し、この帯状の通気性支持材と上記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と重ね合わせ、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に、上記分散液５０ｇ／ｍ２を吹き付け（カーボンブラックの付着量：０．２５ｇ／ｍ２）、ＩＰＡを送風により乾燥して除去した。次に、上記と同じ帯状の通気性支持材（不織布）を帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に重ね合わせ、１３５℃に加熱された熱ロールで連続的に熱ラミネートして３層を接着し、２層の不織布の間にＰＴＦＥ多孔質膜が介在する構成の濾材１を作製した。この濾材１（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのポリエチレン（ＰＥ）製ロールに巻き取った。
【００３２】
（実施例２）
分散液量を２０ｇ／ｍ２（カーボンブラックの付着量：０．１ｇ／ｍ２）としたこと以外は実施例１と同様にして濾材２を作製し、この濾材２（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのＰＥ製ロールに巻き取った。
【００３３】
（比較例）
帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に分散液を吹き付けないこと以外は実施例１と同様にして濾材３を作製し、この濾材３（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのＰＥ製ロールに巻き取った。
【００３４】
上記濾材１〜３が巻き付けられたＰＥ製ロールを、ＰＥ製ロールが回転しないようにシャフトに固定し、図８に示すように、ＰＥ製ロール１１に巻き取られた濾材１〜３の最外周面１３を、矢印の方向へナイロン製織布１２で摩擦（速度０．５ｍ／ｓｅｃ、３０往復）して帯電させた。
【００３５】
摩擦後の濾材および摩擦前の濾材１〜３を、除電していないゴムロール（外径４０ｍｍ）３本に沿わせながら１０ｍ引き出し、それらの圧力損失、捕集効率を下記の方法により測定し、リーク試験を下記の方法で行った。また、ナイロン製織布により摩擦する前の濾材１〜３を５ｍに切断し、プリーツ加工機を用いてプリーツ加工（加工速度１．５ｍ／ｍｉｎ、折り幅３０ｍｍ）したものについてもリーク試験を行った。その結果を表１に示す。
【００３６】
［圧力損失］ サンプルを有効面積１００ｃｍ２の円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整したときの圧力損失を圧力計（マノメーター）で測定した。
【００３７】
［捕集効率］ サンプルを有効面積１００ｃｍ２の円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を流速計で５．３ｃｍ／ｓに調整し、上流側にＪＩＳ Ｚ ８９０１に規定された多分散ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を、平均粒子径０．１〜０．２μｍの粒子が４×１０８個／リットル、平均粒子径０．２〜０．３μｍの粒子が６×１０７個／リットルとなるように供給し、上流側の粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度とをＪＩＳ Ｂ ９２２１に規定された光散乱粒子計数器で測定した。得られた下流側粒子濃度および上流側粒子濃度を下記の式に代入して捕集効率を求めた。
捕集効率（％）＝（１−下流側粒子濃度／上流側粒子濃度）×１００
【００３８】
［リーク試験］ 日本空気清浄協会のＪＡＣＡ Ｎｏ．１０Ｃ「空気清浄装置性能試験基準法」の第４性能試験方法（暫定基準）に規定されているリーク試験法に準じて行った。具体的には、上記［捕集効率］の場合と同様なサンプルおよび装置を用意し、同様の条件で粒子を供給した。相対濃度計（直線目盛り）のプローブをサンプル下流面から２５ｍｍ離れた所において、５ｃｍ／ｓｅｃの速度で走行させた。相対濃度計によって測定される下流側粒子濃度粒子が上流側粒子濃度の０．０１％以上である場合、リーク有りと判断した。
【００３９】
【表１】
【００４０】
表１に示した結果より、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着していれば、リーク現象が抑制されたエアフィルタ濾材を実現できることが確認できた。
【００４１】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明では、リーク現象が抑制され、製造歩留まりが向上し、品質が安定化されたエアフィルタ濾材、およびこのエアフィルタ濾材を含むエアフィルタユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアフィルタ用濾材の一例を示す断面図
【図２】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図３】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図４】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法の一例を説明する図
【図５】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法の一例を説明する図
【図６】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図７】本発明のエアフィルタユニットの一例を示す斜視図
【図８】ＰＥ製ロールに巻き取られたエアフィルタ用濾材の最外周面をナイロン製織布で摩擦する様子を説明する図
【符号の説明】
１ ＰＴＦＥ多孔質膜
２，２’ 通気性支持材
３ 導電性粉体
４ シリコーンロール
５ ターンロール
６ ピンチロール
７ 加熱ロール
８〜１０ ロール状巻回体
１１ ＰＥ製ロール
１３ 最外周面
１２ ナイロン製織布
２２ 支持枠
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン（以下「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜を用いたエアフィルタ用濾材、その製造方法、およびそれを用いたエアフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＴＦＥはクリーンな材料であり、近年、ＰＴＦＥ多孔質膜を含む濾材が、半導体工業などのクリーンルームに用いられる高性能エアフィルタの濾材として広く使用されている。ＰＴＦＥ多孔質膜はコシがないため、通常、補強のために通気性支持材（通気性を有する支持材）と積層してから濾材として使用される。濾材は連続したＷ字状に折り畳まれ（プリーツ加工され）、さらに金属枠などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【０００３】
【特許文献１】
特表平９−５０４７３７号公報（第９−１０頁、第１−４図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを重ね合わせ、場合によっては接着し、ロールに巻き取る工程（以下「積層工程」という）、またはエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦などにより帯電しやすい。帯電した濾材に導電体が近づいたり人間が素手で触れたりすると、放電（スパーク）が発生して濾材に貫通孔が形成されることがある。貫通孔が形成されると、濾材の捕集効率が低下し、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔径の短径よりも平均粒子径が小さい粒子について、捕集効率の平均粒子径依存性がなくなる、いわゆるリーク現象が発生する。特に、積層工程では、積層された濾材がロール状に幾重にも巻き取られることが多いため、電荷はほとんど消失されることなく濾材に滞留する。また、プリーツ加工自体が大きな摩擦を伴う工程であるため、プリーツ加工した濾材には多量の電荷が蓄積されていることが多い。このため、巻き取られたり折り畳まれた濾材については、特にリーク現象が発生しやすくなる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアフィルタ用濾材は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、前記ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着していることを特徴とする。
【０００６】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ用濾材を含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材の製造方法であって、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後ロール状に巻き取る工程を含み、前記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とをロール状に巻き取る前に、前記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着させることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
ＰＴＦＥ多孔質膜は誘電率が高いため、上記の積層工程およびエアフィルタユニットヘの加工工程において、摩擦などの原因で容易に帯電する。また、気孔率が極めて高いＰＴＦＥ多孔質膜では、帯電した電荷が消失されづらく蓄積され易い。上記のリーク現象を解消するには、濾材、特にＰＴＦＥ多孔質膜に帯電した電荷を何らかの手段で除去することが必要である。そこで、本実施の形態のエアフィルタ用濾材は、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着していることを特徴とする。このエアフィルタ用濾材では、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着しているので、積層工程やエアフィルタユニットヘの加工工程などにおいて、ＰＴＦＥ多孔質膜における電荷の蓄積が抑制される。したがって、リーク現象が抑制され、製造歩留まりが向上し、品質が安定化したエアフィルタ用濾材を提供できる。
【０００９】
以下に、本発明のエアフィルタ用濾材の一例を、図面を参照しながら説明する。図１に示すように、エアフィルタ用濾材は、１層のＰＴＦＥ多孔質膜１と１層の通気性支持材２とを含む積層体であって、ＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３が付着している。このエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れの上流側に通気性支持材２を配置して使用されるため、通気性支持材２は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を保護および補強するとともに、プレフィルタとしても機能する。
【００１０】
図１に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜に隣接する層とそのＰＴＦＥ多孔質膜との界面、すなわち、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２と対向する面に導電性粉体３が付着している。このように、ＰＴＦＥ多孔質膜の隣接する層との界面に導電性粉体を付着すれば、導電性粉体が安定して保持される。また、積層工程やエアフィルタユニットヘの加工工程などにおいて、ＰＴＦＥ多孔質膜が、隣接する層との摩擦などの原因で帯電しても、ＰＴＦＥ多孔質膜における電荷の蓄積を抑制できる。
【００１１】
ＰＴＦＥ多孔質膜１は、使用用途に応じた捕集機能が発揮されるものであれば、孔径、構造、形態などについて特に限定されず、通常、平均孔径０．０１〜５μｍ、平均繊維径０．０２〜０．３μｍ、厚み２〜５０μｍ、５．３ｃｍ／ｓの流速で空気を透過させたときの圧力損失が５０〜１０００Ｐａである膜が好適である。
【００１２】
上記したＰＴＦＥ多孔質膜は、従来から用いられてきた方法により作製することができる。以下にその作製方法の一例を説明する。まず、ＰＴＦＥファインパウダーに液状潤滑剤を加えたペースト状の混合物を予備成形する。液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱することより除去できるものであれば特に限定されず、例えば、ナフサ、ホワイトオイルなどの炭化水素を使用できる。液状潤滑剤の添加量は、ＰＴＦＥファインパウダー１００重量部に対して５〜５０重量部程度が適当である。上記した予備成形は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力で行う。次に、予備成形体を押出しおよび／または圧延してシート状に成形し、このようにして得られたシート状の成形体を少なくとも一軸方向に延伸してＰＴＦＥ多孔質膜を得る。尚、延伸は、液状潤滑剤を除去してから行うとよい。延伸条件は、適宜設定でき、通常、温度は３０〜３２０℃であり、延伸倍率は、縦方向、横方向ともに２〜３０倍である。また、延伸後にＰＴＦＥ多孔質膜をＰＴＦＥの融点以上に加熱して焼成すれば、強度を高めることができる。
【００１３】
導電性粉体３は、ＰＴＦＥ多孔質膜１に付着できるものであれば特に制限されず、例えば、金属粉体、導電性樹脂粉体およびカーボンブラックから選ばれる少なくとも１種である。特に、平均粒子径が数十ｎｍ程度と小さく、低コストなカーボンブラックが好ましい。金属粉体としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、鉄、ステンレスまたはニッケル、導電性樹脂粉体としては、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリチオフェンまたはポリアニリンなどが挙げられる。
【００１４】
導電性粉体３は、図１に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２と対向する面にのみ付着しているが、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔内に付着させてもよく、図２に示すように、通気性支持材２に対向する面と、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内とに付着していることが好ましい。導電性粉体３が孔内にも付着していると、ＰＴＦＥ多孔質膜１の厚さ方向に導電路が形成されるため、ＰＴＦＥ多孔質膜２における電荷の蓄積を効果的に抑制できる。
【００１５】
図１、図２に示した例の他に、図３に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２が積層された側の反対側に、通気性支持材２’をさらに積層してもよい。図３に示した例では、ＰＴＦＥ多孔質膜１の通気性支持材２、２’との界面、および孔内に導電性粉体が付着している。
【００１６】
図１〜図３では、いずれもＰＴＦＥ多孔質膜１が１層であるが、エアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜１を２層以上含んでいてもよい。また、複数のＰＴＦＥ多孔質膜と複数の通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしくは両方が連続して積層されている部分があってもよい。
【００１７】
導電性粉体３のＰＴＦＥ多孔質膜１への付着は、粉体をそのまま吹き付けて行ってもよいが、乾燥状態では凝集する導電性粉体、例えばカーボンブラックでは、均一な散布が困難な場合があるので、導電性粉体をアルコールなどの分散媒に分散させた分散液をＰＴＦＥ多孔質膜１へ吹き付け、分散媒を乾燥して除去するとよい。分散媒は、導電性粉体３として用いる材料に適したものを選択すればよい。また、導電性粉体３のＰＴＦＥ多孔質膜１への付着は、導電性粉体が分散媒に分散した分散液にＰＴＦＥ多孔質膜１を含浸して行ってもよい。
【００１８】
導電性粉体３の粒径について特に制限はないが、０．０２〜２００μｍ、特に、０．０２〜０．１μｍであることが好ましい。このように平均粒子径の小さな導電性粉体３では、吹き付け時にＰＴＦＥ多孔質膜１が受けるダメージも小さく好ましい。平均粒子径が、ＰＴＦＥ多孔質膜の平均孔径よりある程度小さい導電性粉体、例えば、ＰＴＦＥ多孔質膜の平均孔径が１００ｎｍ〜１０μｍである場合に、平均粒子径が２０ｎｍ〜１００ｎｍである導電性粉体であれば、ＰＴＦＥ多孔質膜１の孔内に導電性粉体３を付着させることができる。
【００１９】
導電性粉体３の付着量は、０．０５〜０．５ｇ／ｍ２、特に０．１〜０．２５ｇ／ｍ２が適当である。少なすぎると帯電を十分に抑制することができず、多すぎると、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔が過剰に閉塞され、フィルタ効率を低下させるおそれがあるからである。導電性粉体３の付着量が上記した範囲であれば、ＰＴＦＥ多孔質膜の孔が導電性粉体３によってある程度ふさがれても、フィルタ効率には影響しない。
【００２０】
通気性支持材２、２’は、材質、構造、形態について特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜より通気性に優れた材料、例えば、不織布、織布、メッシュ（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることが好ましい。特に、強度、柔軟性、作業性の点からは不織布が好ましい。通気性支持材２、２’の材料について特に制限はなく、ポリオレフィン（ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）など）、ポリアミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複合材などからなるものを用いることができる。一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維を用いることが一般的であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い合成繊維であることが好ましい。
【００２１】
このようにして得られたＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とを積層する方法、あるいは通気性支持材と通気性支持材とを積層する方法について特に制限はなく、単に重ね合わせるだけでもよいが、例えば、接着剤ラミネート、熱ラミネートなどの方法を適用することができる。特に、熱により通気性支持材の一部を溶融させ、隣接する層の対向する面に部分的に接着する熱ラミネートが好ましい。このように接着剤を用いずに接着すると、余分な重量増加がなく容易に接着することができ、接着後に行うプリーツ加工も行い易い。
【００２２】
ＰＴＦＥ多孔質膜とＰＴＦＥ多孔質膜とを積層する方法も、特に限定されるものではない。単に重ね合わせるだけでもよいし、成膜時に圧着して積層する方法や熱溶融する方法などを採用してもよい。
【００２３】
図４に、図１または図２に示したエアフィルタ用濾材の作製過程を示している。ロール状巻回体８およびロール状巻回体９からそれぞれ繰り出された帯状の通気性支持材２および帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１は、ターンロール５による方向転換によって互いに重ね合わされる。そして、加熱ロール７の表面に沿って進行しながら加熱され、加熱ロール７とピンチロール６とに挟まれて通気性支持材２とＰＴＦＥ多孔質膜１とが接着される。この濾材は、さらにシリコーンロール４、ターンロール５により導かれ、巻き取られて、濾材のロール状巻回体１０となる。
【００２４】
導電性粉体３は、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とをロール状に巻き取る前に、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に付着させればよい。ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを重ね合わせる前に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させてもよいが、図４に示すように、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とを重ね合わせた後に、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させることが好ましい。導電性粉体３が分散媒に分散した分散液を用いて帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させる場合、ＰＴＦＥ多孔質膜１と通気性支持材２とを重ね合わせる前に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させると、ＰＴＦＥ多孔質膜に縮みやシワが生じるおそれがあるからである。図４に示すように、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１と帯状の通気性支持材２とを、加熱して接着する場合、接着後に帯状のＰＴＦＥ多孔質膜１に導電性粉体３を付着させてもよいが、接着前が好ましい。導電性粉体３の脱落を抑制できるからである。
【００２５】
図５に、図３に示したエアフィルタ用濾材の作製過程を示している。ロール状巻回体９から、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と帯状の通気性支持材からなる２層の濾材１’を繰り出すこと以外は、図４に示した作製過程と同様である。
【００２６】
このようにして導電性粉体が付着された濾材は、必要に応じて所定の長さに切断され、連続したＷ字状に折り畳まれ（プリーツ加工され）る。すなわち、少なくとも１層のＰＴＦＥ多孔質膜と少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体を形成する工程と、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体を付着する工程を含むエアフィルタ用濾材の製造方法において、上記積層体を連続したＷ字状に折り畳む工程（プリーツ加工）をさらに含む。
【００２７】
図６は、プリーツ加工されたエアフィルタ用濾材の一例の断面図である。長尺の濾材を長さ方向に所定の間隔をおいて交互に山折り／谷折りしていくと（プリーツ加工を施すと）、断面方向から見て連続したＷ字状の濾材を得ることができる。プリーツ加工は、例えば、外周にブレードを配置した一対の回転ドラムを回転させながら濾材をひだ折りしていくロータリー方式、濾材の移送方向に所定の間隔をおいて配置した一対のブレードを移動させながら濾材を両面から交互に折り畳んでいくレシプロ方式などが採用できる。Ｗ字状に折り畳まれたエアフィルタ用濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気性支持材とが対向する面において互いに接触しないようにホットメルトなどでビードが形成され、例えば図７に示すように、アルミニウムからなる支持枠２２などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる。
【００２８】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
【００２９】
（実施例１）
まず、下記に示した方法によりＰＴＦＥ多孔質膜を作製する。ＰＴＦＥファインパウダー（旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製、フルオンＣＤ−１２３）１００重量部に対して液状潤滑剤（ナフサ）１７重量部を均一に混合し、この混合物を２０ｋｇ／ｃｍ２の条件で予備成形し、次いでこれをロッド状にペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形体を１対の金属圧延ロール間に通し、厚さ２５０μｍの長尺シートを得た。このシートを２９０℃の延伸温度で長手方向に１０倍に延伸し、さらにテンター法により８０℃の延伸温度で幅方向に３０倍に延伸して、未焼成ＰＴＦＥ多孔質膜を得た。この未焼成ＰＴＦＥ多孔質膜を、熱風発生炉を用いて４００℃で焼成して、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜を得た（平均孔径１．０μｍ、厚さ１０μｍ）。
【００３０】
カーボンブラック（東海カーボン製、トーカブラック＃４５００：平均粒子径４０ｎｍ）をイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）中に投入し、これを超音波洗浄機に５分間かけて０．５重量％の分散液を作製した。
【００３１】
帯状の通気性支持材として不織布（ユニチカ社製、エルベスＴＯ３０３ＷＤＯ、厚さ１５０μｍ、目付量３０ｇ／ｍ２、鞘部ＰＥの融点１２９℃、芯部ＰＥＴ）を用意し、この帯状の通気性支持材と上記帯状のＰＴＦＥ多孔質膜と重ね合わせ、帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に、上記分散液５０ｇ／ｍ２を吹き付け（カーボンブラックの付着量：０．２５ｇ／ｍ２）、ＩＰＡを送風により乾燥して除去した。次に、上記と同じ帯状の通気性支持材（不織布）を帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に重ね合わせ、１３５℃に加熱された熱ロールで連続的に熱ラミネートして３層を接着し、２層の不織布の間にＰＴＦＥ多孔質膜が介在する構成の濾材１を作製した。この濾材１（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのポリエチレン（ＰＥ）製ロールに巻き取った。
【００３２】
（実施例２）
分散液量を２０ｇ／ｍ２（カーボンブラックの付着量：０．１ｇ／ｍ２）としたこと以外は実施例１と同様にして濾材２を作製し、この濾材２（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのＰＥ製ロールに巻き取った。
【００３３】
（比較例）
帯状のＰＴＦＥ多孔質膜に分散液を吹き付けないこと以外は実施例１と同様にして濾材３を作製し、この濾材３（長さ２０ｍ）を外径７．６ｃｍのＰＥ製ロールに巻き取った。
【００３４】
上記濾材１〜３が巻き付けられたＰＥ製ロールを、ＰＥ製ロールが回転しないようにシャフトに固定し、図８に示すように、ＰＥ製ロール１１に巻き取られた濾材１〜３の最外周面１３を、矢印の方向へナイロン製織布１２で摩擦（速度０．５ｍ／ｓｅｃ、３０往復）して帯電させた。
【００３５】
摩擦後の濾材および摩擦前の濾材１〜３を、除電していないゴムロール（外径４０ｍｍ）３本に沿わせながら１０ｍ引き出し、それらの圧力損失、捕集効率を下記の方法により測定し、リーク試験を下記の方法で行った。また、ナイロン製織布により摩擦する前の濾材１〜３を５ｍに切断し、プリーツ加工機を用いてプリーツ加工（加工速度１．５ｍ／ｍｉｎ、折り幅３０ｍｍ）したものについてもリーク試験を行った。その結果を表１に示す。
【００３６】
［圧力損失］ サンプルを有効面積１００ｃｍ２の円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を５．３ｃｍ／ｓに調整したときの圧力損失を圧力計（マノメーター）で測定した。
【００３７】
［捕集効率］ サンプルを有効面積１００ｃｍ２の円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を流速計で５．３ｃｍ／ｓに調整し、上流側にＪＩＳ Ｚ ８９０１に規定された多分散ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を、平均粒子径０．１〜０．２μｍの粒子が４×１０８個／リットル、平均粒子径０．２〜０．３μｍの粒子が６×１０７個／リットルとなるように供給し、上流側の粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度とをＪＩＳ Ｂ ９２２１に規定された光散乱粒子計数器で測定した。得られた下流側粒子濃度および上流側粒子濃度を下記の式に代入して捕集効率を求めた。
捕集効率（％）＝（１−下流側粒子濃度／上流側粒子濃度）×１００
【００３８】
［リーク試験］ 日本空気清浄協会のＪＡＣＡ Ｎｏ．１０Ｃ「空気清浄装置性能試験基準法」の第４性能試験方法（暫定基準）に規定されているリーク試験法に準じて行った。具体的には、上記［捕集効率］の場合と同様なサンプルおよび装置を用意し、同様の条件で粒子を供給した。相対濃度計（直線目盛り）のプローブをサンプル下流面から２５ｍｍ離れた所において、５ｃｍ／ｓｅｃの速度で走行させた。相対濃度計によって測定される下流側粒子濃度粒子が上流側粒子濃度の０．０１％以上である場合、リーク有りと判断した。
【００３９】
【表１】
【００４０】
表１に示した結果より、ＰＴＦＥ多孔質膜に導電性粉体が付着していれば、リーク現象が抑制されたエアフィルタ濾材を実現できることが確認できた。
【００４１】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明では、リーク現象が抑制され、製造歩留まりが向上し、品質が安定化されたエアフィルタ濾材、およびこのエアフィルタ濾材を含むエアフィルタユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアフィルタ用濾材の一例を示す断面図
【図２】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図３】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図４】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法の一例を説明する図
【図５】本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法の一例を説明する図
【図６】本発明のエアフィルタ用濾材の他の例を示す断面図
【図７】本発明のエアフィルタユニットの一例を示す斜視図
【図８】ＰＥ製ロールに巻き取られたエアフィルタ用濾材の最外周面をナイロン製織布で摩擦する様子を説明する図
【符号の説明】
１ ＰＴＦＥ多孔質膜
２，２’ 通気性支持材
３ 導電性粉体
４ シリコーンロール
５ ターンロール
６ ピンチロール
７ 加熱ロール
８〜１０ ロール状巻回体
１１ ＰＥ製ロール
１３ 最外周面
１２ ナイロン製織布
２２ 支持枠
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に導電性粉体が付着していることを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
前記導電性粉体が、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に隣接する層と前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜との界面に付着している請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
前記導電性粉体が、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の孔内に付着している請求項１または２に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
前記導電性粉体の付着量が、０．０５〜０．５ｇ／ｍ２である請求項１〜３のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項５】
前記導電性粉体が、金属粉体、導電性樹脂粉体およびカーボンブラックから選ばれる少なくとも１種の粉体である請求項１〜４のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項６】
前記導電性粉体が、前記カーボンブラックである請求項５に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項７】
前記エアフィルタ用濾材が、ロール状に巻き取られている請求項１〜６のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項８】
前記エアフィルタ用濾材が、連続したＷ字状に折り畳まれている請求項１〜６のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材を含むことを特徴とするエアフィルタユニット。
【請求項１０】
少なくとも１層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材の製造方法であって、帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後ロール状に巻き取る工程を含み、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とをロール状に巻き取る前に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に導電性粉体を付着させることを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１１】
前記導電性粉体が分散媒に分散した分散液を用いて前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させ、その後前記分散媒を乾燥させる請求項１０に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１２】
前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させる請求項１１に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１３】
重ね合わされた前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを、熱により接着してからロール状に巻き取っており、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後、接着する前に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させる請求項１２に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１】
少なくとも１層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であって、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に導電性粉体が付着していることを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
前記導電性粉体が、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に隣接する層と前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜との界面に付着している請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
前記導電性粉体が、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の孔内に付着している請求項１または２に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
前記導電性粉体の付着量が、０．０５〜０．５ｇ／ｍ２である請求項１〜３のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項５】
前記導電性粉体が、金属粉体、導電性樹脂粉体およびカーボンブラックから選ばれる少なくとも１種の粉体である請求項１〜４のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項６】
前記導電性粉体が、前記カーボンブラックである請求項５に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項７】
前記エアフィルタ用濾材が、ロール状に巻き取られている請求項１〜６のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項８】
前記エアフィルタ用濾材が、連続したＷ字状に折り畳まれている請求項１〜６のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材を含むことを特徴とするエアフィルタユニット。
【請求項１０】
少なくとも１層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、少なくとも１層の通気性支持材とを含む積層体であるエアフィルタ用濾材の製造方法であって、帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後ロール状に巻き取る工程を含み、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とをロール状に巻き取る前に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に導電性粉体を付着させることを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１１】
前記導電性粉体が分散媒に分散した分散液を用いて前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させ、その後前記分散媒を乾燥させる請求項１０に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１２】
前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させる請求項１１に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項１３】
重ね合わされた前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを、熱により接着してからロール状に巻き取っており、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記帯状の通気性支持材とを重ね合わせた後、接着する前に、前記帯状のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に前記導電性粉体を付着させる請求項１２に記載のエアフィルタ用濾材の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００４−２３０２１７（Ｐ２００４−２３０２１７Ａ）
【公開日】平成１６年８月１９日（２００４．８．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００３−１８８２９（Ｐ２００３−１８８２９）
【出願日】平成１５年１月２８日（２００３．１．２８）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１６年８月１９日（２００４．８．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１５年１月２８日（２００３．１．２８）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
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