シートフィーダ装置
【課題】シートフィーダ装置において、引き出されるシートに対して張力を与えるとともに、シートに対して適度な張力が与えられていない場合は装置を稼働させないようにする。
【解決手段】ロールシート１０を回転可能に支持するロールシート保持部２と、ロールシート保持部２によって保持されたロールシート１０からシート１００を引き出すシート引き出し部と、引き出されたシート１００に張力を与えるシート張力付与部とを有するシートフィーダ装置１において、ロールシート保持部２は、進退軸２２０が支持筒２０内を作用位置に進出することでロールシート固定部２４がロールシート１０を固定し、進退軸２２０が作用位置に進出したことを保持検知センサ２８が検知するとシート引き出し部を動作可能とする。ロールシート１０が固定されていない状態でシート１００が引き出されることがなく、ロールシート１０が固定されている状態でのみ装置を動作させる。
【解決手段】ロールシート１０を回転可能に支持するロールシート保持部２と、ロールシート保持部２によって保持されたロールシート１０からシート１００を引き出すシート引き出し部と、引き出されたシート１００に張力を与えるシート張力付与部とを有するシートフィーダ装置１において、ロールシート保持部２は、進退軸２２０が支持筒２０内を作用位置に進出することでロールシート固定部２４がロールシート１０を固定し、進退軸２２０が作用位置に進出したことを保持検知センサ２８が検知するとシート引き出し部を動作可能とする。ロールシート１０が固定されていない状態でシート１００が引き出されることがなく、ロールシート１０が固定されている状態でのみ装置を動作させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール状に巻かれたシートを保持して送り出すシートフィーダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハメイキング工程では、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされ、基板状のウェーハ（ワーク）が形成される。切り出されたワークの両面には、スライス時にうねりや反りが生じるが、片面には液状樹脂が塗布されて平坦面が形成される。そして、液状樹脂が塗布された平坦面には、ワークのハンドリングを容易とするための樹脂製のシートが貼り付けられ、このシート面を基準としてシート面の裏側の面を研削することで、平坦な薄板状に形成される。
【０００３】
ワークの片面に樹脂を塗布する貼着装置に対してシートを供給する装置として、ロール状に巻回されたシートを一方向に搬送する構成の装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された装置では、シートの搬送方向の上流側に位置する従動用の回転軸にロール状のシートが取り付けられ、ロールから引き出されたシートの前端が搬送方向下流に位置するモータの回転軸に巻き付けられる。そして、モータの回転軸が回転駆動されることで、シートが貼着装置に搬送されていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の装置では、搬送中におけるシートの弛みを防止するために、ロール状のシートが取り付けられる従動用の回転軸に対してシートが引き出される方向に反する方向に力を加えることにより、従動用の回転軸に制動力を与えてシートに張力を作用させる必要がある。しかしながら、シートに適度な張力を作用させるためにはロールシートを回転軸に確実に固定する必要があり、ロールシートを確実に固定できていない場合は、装置を稼働させないようにする必要がある。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、引き出されるシートに対して張力を与えるとともに、シートに対して適度な張力が与えられていない場合は、装置を稼働させないようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、シートが筒に巻きつけられて構成されたロールシートの筒の長手方向を回転軸としてロールシートを回転可能に支持するロールシート保持部と、ロールシート保持部によって保持されたロールシートからシートを引き出すシート引き出し部と、引き出されたシートに張力を与えるシート張力付与部とを有するシートフィーダ装置に関するもので、ロールシート保持部は、ロールシートの筒の内部に進入して筒を保持する円筒状の支持筒と、支持筒の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部と、支持筒に少なくとも２箇所形成され外周面と内周面との間を貫通する貫通孔と、貫通孔から作用点が進退しロールシートの筒の内周面に作用して筒を固定するロールシート固定部と、ロールシート固定部の力点に力を伝達するテーパ部を備え支持筒に挿入された進退軸と、進退軸を進出させテーパ部をロールシート固定部の力点に作用させる作用位置に位置づけるエアピストンと、進退軸が作用位置または退避位置にあるかを検知する保持検知センサとから構成され、保持検知センサからの信号により、進退軸が作用位置に位置づけされた際にシート引き出し部が動作可能となることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、進退軸が支持筒内を作用位置に進出することでロールシート固定部がロールシートを固定し、進退軸が作用位置に進出したことを保持検知センサが検知するとシート引き出し部が動作可能になるため、ロールシートが固定されていない状態でシートが引き出されることがなく、ロールシートが固定されている状態でのみ装置を動作させ、シートに張力を作用させて送り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】シートフィーダ装置の一例を示す斜視図である。
【図２】シートフィーダ装置を側面側から表した模式図である。
【図３】第一、第二のエアブロー部を示す拡大図である。
【図４】ロールシート固定部の構造を略示的に示す断面図である。
【図５】ロールシート固定部がロールシートの筒の内周に作用する状態を略示的に示す断面図である。
【図６】ロールシート固定部がロールシートの筒の内周に作用し固定した状態を略示的に示す断面図である。
【図７】シートを引き出す処理の準備段階を側面側から表した模式図である。
【図８】シートを引き出す処理を側面側から表した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示すシートフィーダ装置１は、ワークに対してシートを貼付するシート貼付装置（図示せず）の前段に配置され、シート貼付装置に対してシートを送り出す装置である。このシートフィーダ装置１は、送り出されるシート１００が筒１０１に巻きつけられて構成されたロールシート１０を保持するロールシート保持部２と、ロールシート保持部２によって保持されたロールシート１０からシート１００の前端部を保持してシートを引き出すシート引き出し部３と、引き出されたシート１００に張力を与えるシート張力付与部４とを備えている。シート引き出し部３及びシート張力付与部４は、制御部２７によって制御される。なお、シート１００は、例えば、ポリエチレンテレフタレート製のフィルムにより構成され、筒１０１は、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂、紙等により形成されている。
【００１１】
ロールシート保持部２は、円筒状に形成された支持筒２０と、支持筒２０の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部２１とを備え、筒１０１の長手方向を回転軸としてロールシート１０を回転可能に支持する。支持筒２０の外径は、ロールシート１０を構成する筒１０１の内径より小さく形成されており、支持筒２０は、筒１０１の内周側に進入して筒１０１を保持することができる。支持部２１は、起立した壁部２１０と、支持筒２０の片側を支持する包囲部２１１とを備えている。
【００１２】
支持筒２０には、内周面と外周面とを貫通する貫通孔２００が複数形成されている。この貫通孔２００は、少なくとも２箇所に形成されている。貫通孔２００からは、ロールシート１０の筒１０１を固定するためのロールシート固定部２４が出没可能となっている。
【００１３】
シート張力付与部４は、ロールシート保持部２の支持筒２０と連結されたプーリ４０と、プーリ４０に巻回されたベルト４１と、ベルト４１を駆動するモータ４２とから構成されており、ベルト４１を図１における矢印Ａ方向に駆動することにより支持筒２０に矢印Ｂ方向の回転力を与え、これによってシート１００に張力を与えることができる。
【００１４】
図２に示すように、シート引き出し部３は、シート１００の前端を把持する把持部３０と、把持部３０をシートの引き出し方向に移動させる引き出し駆動部３１とを備えている。引き出し駆動部３１は、水平面に対して傾斜する支持台３１０と、支持台３１０上においてシートの引き出し方向に延びるガイドレール３１１と、ガイドレール３１１上を摺動可能なスライダ３１２とを有している。スライダ３１２は、図示しないモータ及びボールネジ等によって駆動されてガイドレール上をスライド可能となっている。
【００１５】
スライダ３１２の上面には、ベースプレート３００が取り付けられている。ベースプレート３００の一端からは固定プレート３０１が立ち上がり、その上端部は後方側（ロールシート保持部２側）に屈曲し、さらにその先端部３０２は下方に向けて屈曲している。また、ベースプレート３００には、ロッド３０３を進退させる駆動部３０４が固定されており、ロッド３０３には、ロッド３０３の進退によって固定プレート３０１の先端部３０２に対して接近及び離反する可動プレート３０５が固定されている。このように構成される把持部３０においては、駆動部３０４がロッド３０３を上昇させることにより、固定プレート３０１の先端部３０２と可動プレート３０５との間でシートの端部を挟持することができ、その状態からロッド３０３を降下させることにより、先端部３０２と可動プレート３０５とによるシートの挟持状態を解除することができる。
【００１６】
また、先端部３０２と可動プレート３０５との間でシートの端部を挟持した状態で、シート引き出し部３がシート１００に移動方向下流側に移動することにより、ロールシート１０からシート１００が引き出される。
【００１７】
ロールシート保持部２よりもシート１００の移動方向の下流側には、シート１００の動きをガイドするための第一ローラ５０及び第二ローラ５１が配設されている。
【００１８】
シート１００の移動経路における第一ローラ５０と第二ローラ５１との間には、第一のエアブロー部５２及び第二のエアブロー部５３が配設されている。第一のエアブロー部５２は、シート１００の表面に対してエアを吹き付けてシート１００の表面側の異物を除去する。他方、第二のエアブロー部５３は、シート１００の裏面に対してエアを吹き付けてシート１００の裏面側の異物を除去する。
【００１９】
図３に示すように、第一、第二のエアブロー部５２、５３は、吹き付け側の流路５４０と吸引側の流路５４１とが形成されたブロック５４を有している。流路５４０の吹き出し口５４０ａは、エアの流れの上流側と比較してその内径が急激に狭められており、これによってシート１００に吹き付けられる気体の流速を高めている。この流路５４０の吹き出し口５４０ａの隙間は、５０〜５００［μｍ］が好ましく、５０〜２００［μｍ］がより好ましい。本実施の形態では、吹き出し口５４０ａの隙間は１００［μｍ］に設定されている。
【００２０】
ブロック５４は、シート１００に近接して配置される。ブローをしていない状態でのブロック５４とシート１００との隙間は、０〜１００［μｍ］が好ましく、０〜５０［μｍ］がより好ましい。本実施の形態では、ブローをしていない状態でのブロック５４とシート１００との隙間が０［μｍ］に設定されている。ブロック５４とシート１００との隙間が０［μｍ］に設定された場合でも、ブローを行うことでシート１００の張力とブローの風量によってブロック５４とシート１００との間に一定の隙間が形成され、数十［μｍ］程度の異物を除去することが可能である。
【００２１】
第一、第二のエアブロー部５２、５３は、吹き付け側の流路５４０にエアを送り込み、吸引側の流路５４１からエアを吸引することで、矢印Ｃ方向のエアの流れを生じさせる。吹き付け側の流路５４０から吹き出したエアは、ブロック５４とシート１００との隙間で異物を取り込みつつ、吸引側の流路５４１を介して排出される。このようにして、第一、第二のエアブロー部５２、５３によりシート１００の両面が洗浄される。
【００２２】
図２に示すように、第二ローラ５１の下流側には、挟持部５５が配設されている。挟持部５５は、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによりシート１００を上下から挟み込むように動作する。上側プレート５５０は、水平面を有する板材によって形成されており、シート１００の上方に位置する駆動部５５２によって駆動されるロッド５５３に取り付けられている。下側プレート５５１は、水平面を有する板材により形成されており、シート１００の下方に位置する駆動部５５４によって駆動されるロッド５５５に取り付けられている。上側プレート５５０及び下側プレート５５１は、ロッド５５４、５５５の駆動によりそれぞれ上下動するように構成されている。上側プレート５５０及び下側プレート５５１は、シート１００の引き出し時と切断時とで、適切な高さに移動する。
【００２３】
挟持部５５よりもシート１００の移動方向下流側には、カット部５６が配設されている。カット部５６は、シート１００を切断するカッター５６０と、シート１００の裏面を吸着保持する保持部５６１と、カッター５６０をシート１００の移動方向に対して直交する幅方向に移動させるカッター移動部５６２とを有している。カッター５６０及び保持部５６１は、シート１００の移動経路を挟んで上下方向に対向するように配置されている。
【００２４】
保持部５６１は、シート１００の裏面を吸着保持する保持面５６１ａを有している。保持面５６１ａは、水平に形成されており、挟持部５５の下側プレート５５１の上面と略面一となっている。保持面５６１ａには、カッター５６０の刃先を逃がす逃げ溝５６１ｂが保持部５６１の延在方向に沿って形成されている。また、保持面５６１ａにおいて逃げ溝５６１ｂを挟んだ両側には、複数の吸引部５６１ｃが逃げ溝５６１ｂに沿って形成されている。複数の吸引部５６１ｃは、不図示の流路を介してエアの吸引源及び供給源に接続されている。
【００２５】
カット部５６においては、引き出されたシート１００を複数の吸引部５６１ｃにおける吸引によって保持面５６１ａに吸着し、カッター移動部５６２による駆動によってカッター５６０の刃先を逃げ溝５６１ｂに沿ってスライド移動させることでシート１００を切断する。また、カット部５６は、シート引き出し時には、複数の吸引部５６１ｃからのエアの吹き付けによってシート１００と保持面５６１ａとの接触を回避する。このエアの吹き付けにより、シート１００の引き出し時におけるシート１００と保持面５６１ａとの擦れが防止される。
【００２６】
図４に示すように、円筒状の支持筒２０の内部には、ロールシート保持部２におけるロールシート１０の固定状態と非固定状態とを切り替えることができる切替機構２２が挿入されている。
【００２７】
この切替機構２２は、支持筒２０に挿入されその軸心方向に延びる進退軸２２０と、進退軸２２０の軸心方向の進退をガイドする進退軸ガイド部２２１ａ、２２１ｂとを備えている。進退軸２２０には、大径部２２０ａと、大径部２２０ａより小径に形成された小径部２２０ｂとが形成されている。
【００２８】
進退軸ガイド部２２１ａは、進退軸２２０の前進方向（図４における矢印Ｄ１方向）先端部を支持し、進退軸ガイド部２２１ｂは、進退軸２２０の後退方向（図４における矢印Ｄ２方向）の端部付近を支持している。
【００２９】
進退軸２２０の前進方向の先端部には、終端プレート２２ａが連結されている。終端プレート２２ａは、進退軸２２０の矢印Ｄ１方向への前進にともなって支持筒２０の外側に突出可能となっている。
【００３０】
進退軸２２０には、前進方向である矢印Ｄ１方向に向けて縮径するテーパ部２２２が形成されている。テーパ部２２２は、進退軸ガイド部２２１ａと進退軸ガイド部２２１ｂとの間の位置に形成されている。
【００３１】
進退軸２２０の外周側と支持筒２０の内周側との間の空間には、２つ以上のロールシート固定部２４が配設されている。なお、図４，５，６においては、ロールシート固定部２４を１つのみ図示している。
【００３２】
ロールシート固定部２４は、爪状に形成されており、支点部２４０によって回動可能に支持されている。また、ロールシート固定部２４には、進退軸２２０の大径部２２０ａと小径部２２０ｂとの間の段差部分によって係止される係止部２４１を備えている。
【００３３】
ロールシート固定部２４は、ローラ２５を転動可能に支持している。また、ロールシート固定部２４には、ローラ２５を転動可能としてローラ２５と接する力点部２４２を備えている。
【００３４】
ローラ２５の外周面はテーパ部２２２に接しており、進退軸２２０の矢印Ｄ１方向の前進に応じてローラ２５が回転しながら進退軸２２０の径方向（図４における上下方向）に移動すると、これにともない、ローラ２５が力点部２４２を径方向に押し込み、その力によって、ロールシート固定部２４が、支点部２４０を支点としてローラ２５の移動方向と同方向に回動する構成となっている。
【００３５】
そして、ロールシート固定部２４が回動することにより、その上部が支持筒２０に形成された貫通孔２００に挿入されロールシート１０の筒１０１に接触して筒１０１を固定する。このように、ロールシート固定部２４においては、力点部２４２がローラ２５に押されることにより筒１０１に接触する上部が、作用点部２４３となっている。このように、作用点部２４３は、貫通孔２００を進退可能となっている。
【００３６】
進退軸２２０の基部は、エアピストン２６０に連結されている。エアピストン２６０は、エアシリンダ２６１によって駆動されて、図４における矢印Ｄ１またはＤ２方向に移動可能となっている。エアシリンダ２６１には、圧縮エア供給部２６２が接続されており、圧縮エア供給部２６２にエアが導入されると、エアピストン２６０が矢印Ｄ１方向に移動し、これにともない進退軸２２０も矢印Ｄ１方向に進出する構成となっている。
【００３７】
図１に示すように、ロールシート保持部２を構成する支持部２１には、圧縮エア供給部２６２を貫通させた保持検知プレート２１２を備えている。保持検知プレート２１２は、図４に示すように、進退軸２２０に連結されており、進退軸２２０の移動に伴って保持検知プレート２１２も同方向に移動する構成となっている。
【００３８】
保持検知プレート２１２の上方には、保持検知センサ２８が配設されている。保持検知センサ２８は、保持検知センサ２８は、例えば光センサにより構成され、制御部２７と接続されており、保持検知プレート２１２の存在を検知するか否かに関する情報を制御部２７に通知することができる。保持検知センサ２８は、進退軸２２０がＤ２方向に後退した状態の保持検知プレート２１２の直上よりも、Ｄ１方向にずれた位置に配設されており、進退軸２２０がＤ１方向に進出すると、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８の下方に移動する構成となっている。
【００３９】
以上のように構成されるシートフィーダ装置１では、図１に示したように、最初に、ロールシート１０の筒１０１を支持筒２０に挿入する。そして、シート１００の前端部を、シート引き出し部３の把持部３０で把持する。このときは、図４に示したように、進退軸２２０が後退して最も矢印Ｄ２側に位置しており、係止部２４１が進退軸２２０の大径部２２０ａと小径部２２０ｂとの段差部分に係止されている。このときの進退軸２２０の位置を退避位置という。また、このとき、ローラ２５はテーパ部２２２の最も下流部分に位置しており、終端プレート２２ａは支持筒２０の内部に収容されている。進退軸２２０が退避位置にある状態では、保持検知プレート２１２は、保持検知センサ２８よりもＤ２方向側にあり、保持検知センサ２８によって検知されない位置にある。
【００４０】
ロールシート１０の筒１０１が支持筒２０に挿入されると、次に、図５に示すように、圧縮エア供給部２６２からエアを導入することによりエアシリンダ２６１がエアピストン２６０を駆動し、エアピストン２６０が進退軸２２０を矢印Ｄ１方向に進出させる。そうすると、テーパ部２２２のＤ１方向への移動によって、ローラ２５が回動しながらテーパ部２２２に沿って進退軸２２０の径方向外側に向けて押され、ローラ２５が力点部２４１を押すため、移動ロールシート固定部２４が支点部２４０を中心として矢印Ｅ方向に回動する。かかる回動により、作用点部２４３は、貫通孔２００に入って行く。このように、テーパ部２２２は、ロールシート固定部２４の力点２４１に力を伝達する役割を果たす。
【００４１】
こうして作用点部２４３が貫通孔２００に入っていき、貫通孔２００の外側に突出すると、作用点部２４３が筒１０１の内周面に作用し、ロールシート固定部２４が筒１０１を固定する。このときの進退軸２２０の位置が、テーパ部２２２がロールシート固定部２４の力点部２４２に作用する作用位置である。
【００４２】
また、このとき、終端プレート２２ａが支持筒２０から突出するか、または支持筒２０の端面２０ａと面一になるため、このことをオペレータが確認することにより、ロールシート１０がロールシート支持部２に固定されたことを確認することができる。このように、終端プレート２２ａは、保持目視確認プレートとして機能する。
【００４３】
図５に示したように、進退軸２２０がＤ１方向に進出して作用位置に位置すると、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８の下方に位置する。そうすると、保持検知センサ２８は、保持検知プレート２１２を検知した旨の信号を制御部２７に通知する。制御部２７では、保持検知プレート２１２を検知した旨の信号を受けると、シートフィーダ装置１を適正に動作させることが可能になったと判断し、図１及び図２に示したシート引き出し部３及びシート張力付与部４を動作可能とする。
【００４４】
図５に示した状態からさらに進退軸２２０を矢印Ｄ１方向に進出させると、図６に示すように、ローラ２５がテーパ部２２２の上流部分に位置するようになり、作用点部２４３が貫通孔２００の外側にさらに突出する。そうすると、作用点部２４３が筒１０１の内周面１０１ａに強く作用してロールシート固定部２４が筒１０１をがっちりと固定する。
【００４５】
図６に示したように、終端プレート２２ａが支持筒２０から突出した状態から、オペレータによって終端プレート２２ａを支持筒２０の内部に押し込むと、進退軸２２０が矢印Ｄ２方向に後退していく。そして、図４に示したように、進退軸２２０が退避位置に位置し、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８よりも矢印Ｄ２方向側に後退すると、ロールシート保持部２４の作用部２４３が筒１０１に作用しなくなり、固定状態が解除される。このことを検知した保持検知センサ２８は、その情報を制御部２７に通知し、制御部２７では、シート引き出し部３によるシート１００の引き出しを停止するとともに、シート張力付与部４によってシート１００に張力を与えるのを停止する。
【００４６】
このように、保持検知センサ２８は、保持検知プレート２１２の位置に応じて、ロールシート１０がロールシート固定部２４によって固定されているかどうかを検知し、制御部２７は、その検知結果に応じてシート引き出し部３及びシート張力付与部４を制御するため、ロールシート１０がロールシート固定部２４によってロールシート保持部２に固定されている場合にのみシート１００を引き出しシート１００に張力を与えることができ、ロールシート１０がロールシート固定部２４によって固定されていない場合は、シートフィーダ装置１の動作を停止させることができる。したがって、ロールシート１０が固定されていない状態でシート１００が引き出されることがなく、ロールシート１０が固定されている状態でのみ装置を動作させ、シート１００に張力を作用させて送り出すことができる。
【００４７】
また、ロールシート固定部２４によるロールシート１０の固定状態の解除は、オペレータが終端プレート２２ａを押すことにより行うことができ、オペレータが意図しないロールシート１０のアンロックを抑制することができる。
【００４８】
ロールシート１０がロールシート固定部２４によってロールシート保持部２に固定されている状態では、シート張力付与部４によってシート１００に適切な張力を与えつつ、シート引き出し部３によってシート１００を引き出していき、シート１００をカッター５６０によってカットすることが可能となる。以下では、シート１００の引き出し及びカットの動作について説明する。
【００４９】
図７（ａ）に示すように、シート引き出し部３によって引き出されるシート１００は、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによって下段位置５７０において挟持される。この場合、シート１００の前端は、カット部５６の保持部５６１の保持面５６１ａ上に位置している。また、把持部３０が、先端部３０２と可動プレート３０５とを離間させた状態で前方位置５８０よりも前方に待機している。このとき、把持部３０の高さが、下段位置５７０においてシート１００の前端を把持できる高さに合わせられている。
【００５０】
次に、図７（ｂ）に示すように、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによってシート１００を挟持した状態で、挟持部５５が上段位置５７１に向かって矢印Ｆ１方向に移動する。これにより、シート１００の前端が保持面５６１ａの上方に移動する。
【００５１】
そして、図７（ｃ）に示すように、把持部３０が、後方位置５８１に向かって斜め上方（矢印Ｆ２方向）に向けて移動する。そして、先端部３０２と可動プレート３０５との間にシート１００の前端が位置付けされる。
【００５２】
次に、図８（ａ）に示すように、可動プレート３０５が矢印Ｆ３方向に上昇することにより固定プレート３０１の先端部３０２に接近させ、先端部３０１と可動プレート３０５とによりシート１００の前端が把持される。このように、後方位置５８１では、把持部３０の高さが、上段位置５７１でシート１００を把持可能な高さに合わせられる。
【００５３】
次に、図８（ｂ）に示すように、下側プレート５５１が下段位置５７０に向かって矢印Ｆ４方向に移動することでシート１００の挟持が解除されるとともに、把持部３０が前方位置５８０に向かって斜め下方（矢印Ｆ５方向）に移動することで、シート１００が引き出される。このとき、把持部３０は、シート１００の把持位置の高さを上段位置５７１から下段位置５７０まで変えながら移動する。また、シート１００の引き出し時には、保持面５６１ａに形成された複数の吸引口５６１ｃからシート１００に対してエアが吹き付けられる。このエアの吹き付けによってシート１００の引き出し時におけるシート１００と保持面５６１ａとの擦れが防止される。
【００５４】
次に、図８（ｃ）に示すように、シート１００の引き出しが完了すると、複数の吸引口５６１ｃにより保持面５６１ａにシート１００が吸着され、シート搬送部５９が把持部３０と保持面５６１ａとの間に引き出されたシート１００を上方から保持する。そして、シート搬送部５９によってシート１００が保持された状態で、カッター５６０が保持面５６１ａに形成された逃げ溝５６１ｂに沿ってスライドし、シート１００の搬送方向に対して直交する幅方向にシート１００を切断する。逃げ溝５６１ｂに沿って逃げ溝５６１ｂを挟んで両側に形成された複数の吸引口５６１ｃがシート１００を保持した状態で切断を行うため、安定した切断が可能となる。
【００５５】
このようにしてシート１００が切断されると、把持部３０によるシート１００の把持が解除され、シート搬送部５９によってシート１００が図示しないシート貼付装置に搬送される。このとき、上側プレート５５０が下段位置５７０に移動することでシート１００が挟持され、図７（ａ）に示した状態に戻る。
【００５６】
このように、把持部３０が斜め前方に移動することで、シート１００が高さを変えながら引き出される。よって、把持部３０を斜め方向の１軸方向に移動させればよく、前後方向及び上下方向の２軸方向に移動させる構成と比較して、安価かつ簡易な構成によりシート１００を引き出すことができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０：ロールシート １００：シート １０１：筒
１：シートフィーダ装置
２：ロールシート保持部
２０：支持筒 ２００：貫通孔
２１：支持部 ２１０：壁部 ２１１：包囲部 ２１２：保持検知プレート
２２：切替機構 ２２０：進退軸 ２２０ａ：大径部 ２２０ｂ：小径部
２２１ａ，２２１ｂ：進退軸ガイド部 ２２ａ：終端プレート
２２２：テーパ部
２４：ロールシート固定部
２４０：支点部 ２４１：係止部 ２４２：力点部 ２４３：作用点部
２５：ローラ
２６０：エアピストン ２６１：エアシリンダ ２６２：圧縮エア供給部
２７：制御部
２８：保持検知センサ
３：シート引き出し部
３０：把持部
３００：ベースプレート ３０１：固定プレート ３０２：先端部
３０３：ロッド ３０４：駆動部 ３０５：可動プレート
３１：引き出し駆動部 ３１０：支持台 ３１１：ガイドレール ３１２：スライダ
４：シート張力付与部 ４０：プーリ ４１：ベルト ４２：モータ
５０：第一ローラ ５１：第二ローラ
５２：第一のエアブロー部 ５３：第二のエアブロー部
５４：ブロック ５４０，５４１：流路 ５４０ａ：噴出し口
５５：挟持部
５５０：上側プレート ５５１：下側プレート ５５２：駆動部 ５５３：ロッド
５５４：駆動部 ５５５：ロッド
５６：カット部
５６０：カッター
５６１：保持部 ５６１ａ：保持面 ５６１ｂ：逃げ溝 ５６１ｃ：吸引部
５６２：カッター移動部
５９：シート搬送部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール状に巻かれたシートを保持して送り出すシートフィーダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハメイキング工程では、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされ、基板状のウェーハ（ワーク）が形成される。切り出されたワークの両面には、スライス時にうねりや反りが生じるが、片面には液状樹脂が塗布されて平坦面が形成される。そして、液状樹脂が塗布された平坦面には、ワークのハンドリングを容易とするための樹脂製のシートが貼り付けられ、このシート面を基準としてシート面の裏側の面を研削することで、平坦な薄板状に形成される。
【０００３】
ワークの片面に樹脂を塗布する貼着装置に対してシートを供給する装置として、ロール状に巻回されたシートを一方向に搬送する構成の装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された装置では、シートの搬送方向の上流側に位置する従動用の回転軸にロール状のシートが取り付けられ、ロールから引き出されたシートの前端が搬送方向下流に位置するモータの回転軸に巻き付けられる。そして、モータの回転軸が回転駆動されることで、シートが貼着装置に搬送されていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の装置では、搬送中におけるシートの弛みを防止するために、ロール状のシートが取り付けられる従動用の回転軸に対してシートが引き出される方向に反する方向に力を加えることにより、従動用の回転軸に制動力を与えてシートに張力を作用させる必要がある。しかしながら、シートに適度な張力を作用させるためにはロールシートを回転軸に確実に固定する必要があり、ロールシートを確実に固定できていない場合は、装置を稼働させないようにする必要がある。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、引き出されるシートに対して張力を与えるとともに、シートに対して適度な張力が与えられていない場合は、装置を稼働させないようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、シートが筒に巻きつけられて構成されたロールシートの筒の長手方向を回転軸としてロールシートを回転可能に支持するロールシート保持部と、ロールシート保持部によって保持されたロールシートからシートを引き出すシート引き出し部と、引き出されたシートに張力を与えるシート張力付与部とを有するシートフィーダ装置に関するもので、ロールシート保持部は、ロールシートの筒の内部に進入して筒を保持する円筒状の支持筒と、支持筒の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部と、支持筒に少なくとも２箇所形成され外周面と内周面との間を貫通する貫通孔と、貫通孔から作用点が進退しロールシートの筒の内周面に作用して筒を固定するロールシート固定部と、ロールシート固定部の力点に力を伝達するテーパ部を備え支持筒に挿入された進退軸と、進退軸を進出させテーパ部をロールシート固定部の力点に作用させる作用位置に位置づけるエアピストンと、進退軸が作用位置または退避位置にあるかを検知する保持検知センサとから構成され、保持検知センサからの信号により、進退軸が作用位置に位置づけされた際にシート引き出し部が動作可能となることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、進退軸が支持筒内を作用位置に進出することでロールシート固定部がロールシートを固定し、進退軸が作用位置に進出したことを保持検知センサが検知するとシート引き出し部が動作可能になるため、ロールシートが固定されていない状態でシートが引き出されることがなく、ロールシートが固定されている状態でのみ装置を動作させ、シートに張力を作用させて送り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】シートフィーダ装置の一例を示す斜視図である。
【図２】シートフィーダ装置を側面側から表した模式図である。
【図３】第一、第二のエアブロー部を示す拡大図である。
【図４】ロールシート固定部の構造を略示的に示す断面図である。
【図５】ロールシート固定部がロールシートの筒の内周に作用する状態を略示的に示す断面図である。
【図６】ロールシート固定部がロールシートの筒の内周に作用し固定した状態を略示的に示す断面図である。
【図７】シートを引き出す処理の準備段階を側面側から表した模式図である。
【図８】シートを引き出す処理を側面側から表した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示すシートフィーダ装置１は、ワークに対してシートを貼付するシート貼付装置（図示せず）の前段に配置され、シート貼付装置に対してシートを送り出す装置である。このシートフィーダ装置１は、送り出されるシート１００が筒１０１に巻きつけられて構成されたロールシート１０を保持するロールシート保持部２と、ロールシート保持部２によって保持されたロールシート１０からシート１００の前端部を保持してシートを引き出すシート引き出し部３と、引き出されたシート１００に張力を与えるシート張力付与部４とを備えている。シート引き出し部３及びシート張力付与部４は、制御部２７によって制御される。なお、シート１００は、例えば、ポリエチレンテレフタレート製のフィルムにより構成され、筒１０１は、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂、紙等により形成されている。
【００１１】
ロールシート保持部２は、円筒状に形成された支持筒２０と、支持筒２０の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部２１とを備え、筒１０１の長手方向を回転軸としてロールシート１０を回転可能に支持する。支持筒２０の外径は、ロールシート１０を構成する筒１０１の内径より小さく形成されており、支持筒２０は、筒１０１の内周側に進入して筒１０１を保持することができる。支持部２１は、起立した壁部２１０と、支持筒２０の片側を支持する包囲部２１１とを備えている。
【００１２】
支持筒２０には、内周面と外周面とを貫通する貫通孔２００が複数形成されている。この貫通孔２００は、少なくとも２箇所に形成されている。貫通孔２００からは、ロールシート１０の筒１０１を固定するためのロールシート固定部２４が出没可能となっている。
【００１３】
シート張力付与部４は、ロールシート保持部２の支持筒２０と連結されたプーリ４０と、プーリ４０に巻回されたベルト４１と、ベルト４１を駆動するモータ４２とから構成されており、ベルト４１を図１における矢印Ａ方向に駆動することにより支持筒２０に矢印Ｂ方向の回転力を与え、これによってシート１００に張力を与えることができる。
【００１４】
図２に示すように、シート引き出し部３は、シート１００の前端を把持する把持部３０と、把持部３０をシートの引き出し方向に移動させる引き出し駆動部３１とを備えている。引き出し駆動部３１は、水平面に対して傾斜する支持台３１０と、支持台３１０上においてシートの引き出し方向に延びるガイドレール３１１と、ガイドレール３１１上を摺動可能なスライダ３１２とを有している。スライダ３１２は、図示しないモータ及びボールネジ等によって駆動されてガイドレール上をスライド可能となっている。
【００１５】
スライダ３１２の上面には、ベースプレート３００が取り付けられている。ベースプレート３００の一端からは固定プレート３０１が立ち上がり、その上端部は後方側（ロールシート保持部２側）に屈曲し、さらにその先端部３０２は下方に向けて屈曲している。また、ベースプレート３００には、ロッド３０３を進退させる駆動部３０４が固定されており、ロッド３０３には、ロッド３０３の進退によって固定プレート３０１の先端部３０２に対して接近及び離反する可動プレート３０５が固定されている。このように構成される把持部３０においては、駆動部３０４がロッド３０３を上昇させることにより、固定プレート３０１の先端部３０２と可動プレート３０５との間でシートの端部を挟持することができ、その状態からロッド３０３を降下させることにより、先端部３０２と可動プレート３０５とによるシートの挟持状態を解除することができる。
【００１６】
また、先端部３０２と可動プレート３０５との間でシートの端部を挟持した状態で、シート引き出し部３がシート１００に移動方向下流側に移動することにより、ロールシート１０からシート１００が引き出される。
【００１７】
ロールシート保持部２よりもシート１００の移動方向の下流側には、シート１００の動きをガイドするための第一ローラ５０及び第二ローラ５１が配設されている。
【００１８】
シート１００の移動経路における第一ローラ５０と第二ローラ５１との間には、第一のエアブロー部５２及び第二のエアブロー部５３が配設されている。第一のエアブロー部５２は、シート１００の表面に対してエアを吹き付けてシート１００の表面側の異物を除去する。他方、第二のエアブロー部５３は、シート１００の裏面に対してエアを吹き付けてシート１００の裏面側の異物を除去する。
【００１９】
図３に示すように、第一、第二のエアブロー部５２、５３は、吹き付け側の流路５４０と吸引側の流路５４１とが形成されたブロック５４を有している。流路５４０の吹き出し口５４０ａは、エアの流れの上流側と比較してその内径が急激に狭められており、これによってシート１００に吹き付けられる気体の流速を高めている。この流路５４０の吹き出し口５４０ａの隙間は、５０〜５００［μｍ］が好ましく、５０〜２００［μｍ］がより好ましい。本実施の形態では、吹き出し口５４０ａの隙間は１００［μｍ］に設定されている。
【００２０】
ブロック５４は、シート１００に近接して配置される。ブローをしていない状態でのブロック５４とシート１００との隙間は、０〜１００［μｍ］が好ましく、０〜５０［μｍ］がより好ましい。本実施の形態では、ブローをしていない状態でのブロック５４とシート１００との隙間が０［μｍ］に設定されている。ブロック５４とシート１００との隙間が０［μｍ］に設定された場合でも、ブローを行うことでシート１００の張力とブローの風量によってブロック５４とシート１００との間に一定の隙間が形成され、数十［μｍ］程度の異物を除去することが可能である。
【００２１】
第一、第二のエアブロー部５２、５３は、吹き付け側の流路５４０にエアを送り込み、吸引側の流路５４１からエアを吸引することで、矢印Ｃ方向のエアの流れを生じさせる。吹き付け側の流路５４０から吹き出したエアは、ブロック５４とシート１００との隙間で異物を取り込みつつ、吸引側の流路５４１を介して排出される。このようにして、第一、第二のエアブロー部５２、５３によりシート１００の両面が洗浄される。
【００２２】
図２に示すように、第二ローラ５１の下流側には、挟持部５５が配設されている。挟持部５５は、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによりシート１００を上下から挟み込むように動作する。上側プレート５５０は、水平面を有する板材によって形成されており、シート１００の上方に位置する駆動部５５２によって駆動されるロッド５５３に取り付けられている。下側プレート５５１は、水平面を有する板材により形成されており、シート１００の下方に位置する駆動部５５４によって駆動されるロッド５５５に取り付けられている。上側プレート５５０及び下側プレート５５１は、ロッド５５４、５５５の駆動によりそれぞれ上下動するように構成されている。上側プレート５５０及び下側プレート５５１は、シート１００の引き出し時と切断時とで、適切な高さに移動する。
【００２３】
挟持部５５よりもシート１００の移動方向下流側には、カット部５６が配設されている。カット部５６は、シート１００を切断するカッター５６０と、シート１００の裏面を吸着保持する保持部５６１と、カッター５６０をシート１００の移動方向に対して直交する幅方向に移動させるカッター移動部５６２とを有している。カッター５６０及び保持部５６１は、シート１００の移動経路を挟んで上下方向に対向するように配置されている。
【００２４】
保持部５６１は、シート１００の裏面を吸着保持する保持面５６１ａを有している。保持面５６１ａは、水平に形成されており、挟持部５５の下側プレート５５１の上面と略面一となっている。保持面５６１ａには、カッター５６０の刃先を逃がす逃げ溝５６１ｂが保持部５６１の延在方向に沿って形成されている。また、保持面５６１ａにおいて逃げ溝５６１ｂを挟んだ両側には、複数の吸引部５６１ｃが逃げ溝５６１ｂに沿って形成されている。複数の吸引部５６１ｃは、不図示の流路を介してエアの吸引源及び供給源に接続されている。
【００２５】
カット部５６においては、引き出されたシート１００を複数の吸引部５６１ｃにおける吸引によって保持面５６１ａに吸着し、カッター移動部５６２による駆動によってカッター５６０の刃先を逃げ溝５６１ｂに沿ってスライド移動させることでシート１００を切断する。また、カット部５６は、シート引き出し時には、複数の吸引部５６１ｃからのエアの吹き付けによってシート１００と保持面５６１ａとの接触を回避する。このエアの吹き付けにより、シート１００の引き出し時におけるシート１００と保持面５６１ａとの擦れが防止される。
【００２６】
図４に示すように、円筒状の支持筒２０の内部には、ロールシート保持部２におけるロールシート１０の固定状態と非固定状態とを切り替えることができる切替機構２２が挿入されている。
【００２７】
この切替機構２２は、支持筒２０に挿入されその軸心方向に延びる進退軸２２０と、進退軸２２０の軸心方向の進退をガイドする進退軸ガイド部２２１ａ、２２１ｂとを備えている。進退軸２２０には、大径部２２０ａと、大径部２２０ａより小径に形成された小径部２２０ｂとが形成されている。
【００２８】
進退軸ガイド部２２１ａは、進退軸２２０の前進方向（図４における矢印Ｄ１方向）先端部を支持し、進退軸ガイド部２２１ｂは、進退軸２２０の後退方向（図４における矢印Ｄ２方向）の端部付近を支持している。
【００２９】
進退軸２２０の前進方向の先端部には、終端プレート２２ａが連結されている。終端プレート２２ａは、進退軸２２０の矢印Ｄ１方向への前進にともなって支持筒２０の外側に突出可能となっている。
【００３０】
進退軸２２０には、前進方向である矢印Ｄ１方向に向けて縮径するテーパ部２２２が形成されている。テーパ部２２２は、進退軸ガイド部２２１ａと進退軸ガイド部２２１ｂとの間の位置に形成されている。
【００３１】
進退軸２２０の外周側と支持筒２０の内周側との間の空間には、２つ以上のロールシート固定部２４が配設されている。なお、図４，５，６においては、ロールシート固定部２４を１つのみ図示している。
【００３２】
ロールシート固定部２４は、爪状に形成されており、支点部２４０によって回動可能に支持されている。また、ロールシート固定部２４には、進退軸２２０の大径部２２０ａと小径部２２０ｂとの間の段差部分によって係止される係止部２４１を備えている。
【００３３】
ロールシート固定部２４は、ローラ２５を転動可能に支持している。また、ロールシート固定部２４には、ローラ２５を転動可能としてローラ２５と接する力点部２４２を備えている。
【００３４】
ローラ２５の外周面はテーパ部２２２に接しており、進退軸２２０の矢印Ｄ１方向の前進に応じてローラ２５が回転しながら進退軸２２０の径方向（図４における上下方向）に移動すると、これにともない、ローラ２５が力点部２４２を径方向に押し込み、その力によって、ロールシート固定部２４が、支点部２４０を支点としてローラ２５の移動方向と同方向に回動する構成となっている。
【００３５】
そして、ロールシート固定部２４が回動することにより、その上部が支持筒２０に形成された貫通孔２００に挿入されロールシート１０の筒１０１に接触して筒１０１を固定する。このように、ロールシート固定部２４においては、力点部２４２がローラ２５に押されることにより筒１０１に接触する上部が、作用点部２４３となっている。このように、作用点部２４３は、貫通孔２００を進退可能となっている。
【００３６】
進退軸２２０の基部は、エアピストン２６０に連結されている。エアピストン２６０は、エアシリンダ２６１によって駆動されて、図４における矢印Ｄ１またはＤ２方向に移動可能となっている。エアシリンダ２６１には、圧縮エア供給部２６２が接続されており、圧縮エア供給部２６２にエアが導入されると、エアピストン２６０が矢印Ｄ１方向に移動し、これにともない進退軸２２０も矢印Ｄ１方向に進出する構成となっている。
【００３７】
図１に示すように、ロールシート保持部２を構成する支持部２１には、圧縮エア供給部２６２を貫通させた保持検知プレート２１２を備えている。保持検知プレート２１２は、図４に示すように、進退軸２２０に連結されており、進退軸２２０の移動に伴って保持検知プレート２１２も同方向に移動する構成となっている。
【００３８】
保持検知プレート２１２の上方には、保持検知センサ２８が配設されている。保持検知センサ２８は、保持検知センサ２８は、例えば光センサにより構成され、制御部２７と接続されており、保持検知プレート２１２の存在を検知するか否かに関する情報を制御部２７に通知することができる。保持検知センサ２８は、進退軸２２０がＤ２方向に後退した状態の保持検知プレート２１２の直上よりも、Ｄ１方向にずれた位置に配設されており、進退軸２２０がＤ１方向に進出すると、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８の下方に移動する構成となっている。
【００３９】
以上のように構成されるシートフィーダ装置１では、図１に示したように、最初に、ロールシート１０の筒１０１を支持筒２０に挿入する。そして、シート１００の前端部を、シート引き出し部３の把持部３０で把持する。このときは、図４に示したように、進退軸２２０が後退して最も矢印Ｄ２側に位置しており、係止部２４１が進退軸２２０の大径部２２０ａと小径部２２０ｂとの段差部分に係止されている。このときの進退軸２２０の位置を退避位置という。また、このとき、ローラ２５はテーパ部２２２の最も下流部分に位置しており、終端プレート２２ａは支持筒２０の内部に収容されている。進退軸２２０が退避位置にある状態では、保持検知プレート２１２は、保持検知センサ２８よりもＤ２方向側にあり、保持検知センサ２８によって検知されない位置にある。
【００４０】
ロールシート１０の筒１０１が支持筒２０に挿入されると、次に、図５に示すように、圧縮エア供給部２６２からエアを導入することによりエアシリンダ２６１がエアピストン２６０を駆動し、エアピストン２６０が進退軸２２０を矢印Ｄ１方向に進出させる。そうすると、テーパ部２２２のＤ１方向への移動によって、ローラ２５が回動しながらテーパ部２２２に沿って進退軸２２０の径方向外側に向けて押され、ローラ２５が力点部２４１を押すため、移動ロールシート固定部２４が支点部２４０を中心として矢印Ｅ方向に回動する。かかる回動により、作用点部２４３は、貫通孔２００に入って行く。このように、テーパ部２２２は、ロールシート固定部２４の力点２４１に力を伝達する役割を果たす。
【００４１】
こうして作用点部２４３が貫通孔２００に入っていき、貫通孔２００の外側に突出すると、作用点部２４３が筒１０１の内周面に作用し、ロールシート固定部２４が筒１０１を固定する。このときの進退軸２２０の位置が、テーパ部２２２がロールシート固定部２４の力点部２４２に作用する作用位置である。
【００４２】
また、このとき、終端プレート２２ａが支持筒２０から突出するか、または支持筒２０の端面２０ａと面一になるため、このことをオペレータが確認することにより、ロールシート１０がロールシート支持部２に固定されたことを確認することができる。このように、終端プレート２２ａは、保持目視確認プレートとして機能する。
【００４３】
図５に示したように、進退軸２２０がＤ１方向に進出して作用位置に位置すると、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８の下方に位置する。そうすると、保持検知センサ２８は、保持検知プレート２１２を検知した旨の信号を制御部２７に通知する。制御部２７では、保持検知プレート２１２を検知した旨の信号を受けると、シートフィーダ装置１を適正に動作させることが可能になったと判断し、図１及び図２に示したシート引き出し部３及びシート張力付与部４を動作可能とする。
【００４４】
図５に示した状態からさらに進退軸２２０を矢印Ｄ１方向に進出させると、図６に示すように、ローラ２５がテーパ部２２２の上流部分に位置するようになり、作用点部２４３が貫通孔２００の外側にさらに突出する。そうすると、作用点部２４３が筒１０１の内周面１０１ａに強く作用してロールシート固定部２４が筒１０１をがっちりと固定する。
【００４５】
図６に示したように、終端プレート２２ａが支持筒２０から突出した状態から、オペレータによって終端プレート２２ａを支持筒２０の内部に押し込むと、進退軸２２０が矢印Ｄ２方向に後退していく。そして、図４に示したように、進退軸２２０が退避位置に位置し、保持検知プレート２１２が保持検知センサ２８よりも矢印Ｄ２方向側に後退すると、ロールシート保持部２４の作用部２４３が筒１０１に作用しなくなり、固定状態が解除される。このことを検知した保持検知センサ２８は、その情報を制御部２７に通知し、制御部２７では、シート引き出し部３によるシート１００の引き出しを停止するとともに、シート張力付与部４によってシート１００に張力を与えるのを停止する。
【００４６】
このように、保持検知センサ２８は、保持検知プレート２１２の位置に応じて、ロールシート１０がロールシート固定部２４によって固定されているかどうかを検知し、制御部２７は、その検知結果に応じてシート引き出し部３及びシート張力付与部４を制御するため、ロールシート１０がロールシート固定部２４によってロールシート保持部２に固定されている場合にのみシート１００を引き出しシート１００に張力を与えることができ、ロールシート１０がロールシート固定部２４によって固定されていない場合は、シートフィーダ装置１の動作を停止させることができる。したがって、ロールシート１０が固定されていない状態でシート１００が引き出されることがなく、ロールシート１０が固定されている状態でのみ装置を動作させ、シート１００に張力を作用させて送り出すことができる。
【００４７】
また、ロールシート固定部２４によるロールシート１０の固定状態の解除は、オペレータが終端プレート２２ａを押すことにより行うことができ、オペレータが意図しないロールシート１０のアンロックを抑制することができる。
【００４８】
ロールシート１０がロールシート固定部２４によってロールシート保持部２に固定されている状態では、シート張力付与部４によってシート１００に適切な張力を与えつつ、シート引き出し部３によってシート１００を引き出していき、シート１００をカッター５６０によってカットすることが可能となる。以下では、シート１００の引き出し及びカットの動作について説明する。
【００４９】
図７（ａ）に示すように、シート引き出し部３によって引き出されるシート１００は、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによって下段位置５７０において挟持される。この場合、シート１００の前端は、カット部５６の保持部５６１の保持面５６１ａ上に位置している。また、把持部３０が、先端部３０２と可動プレート３０５とを離間させた状態で前方位置５８０よりも前方に待機している。このとき、把持部３０の高さが、下段位置５７０においてシート１００の前端を把持できる高さに合わせられている。
【００５０】
次に、図７（ｂ）に示すように、上側プレート５５０と下側プレート５５１とによってシート１００を挟持した状態で、挟持部５５が上段位置５７１に向かって矢印Ｆ１方向に移動する。これにより、シート１００の前端が保持面５６１ａの上方に移動する。
【００５１】
そして、図７（ｃ）に示すように、把持部３０が、後方位置５８１に向かって斜め上方（矢印Ｆ２方向）に向けて移動する。そして、先端部３０２と可動プレート３０５との間にシート１００の前端が位置付けされる。
【００５２】
次に、図８（ａ）に示すように、可動プレート３０５が矢印Ｆ３方向に上昇することにより固定プレート３０１の先端部３０２に接近させ、先端部３０１と可動プレート３０５とによりシート１００の前端が把持される。このように、後方位置５８１では、把持部３０の高さが、上段位置５７１でシート１００を把持可能な高さに合わせられる。
【００５３】
次に、図８（ｂ）に示すように、下側プレート５５１が下段位置５７０に向かって矢印Ｆ４方向に移動することでシート１００の挟持が解除されるとともに、把持部３０が前方位置５８０に向かって斜め下方（矢印Ｆ５方向）に移動することで、シート１００が引き出される。このとき、把持部３０は、シート１００の把持位置の高さを上段位置５７１から下段位置５７０まで変えながら移動する。また、シート１００の引き出し時には、保持面５６１ａに形成された複数の吸引口５６１ｃからシート１００に対してエアが吹き付けられる。このエアの吹き付けによってシート１００の引き出し時におけるシート１００と保持面５６１ａとの擦れが防止される。
【００５４】
次に、図８（ｃ）に示すように、シート１００の引き出しが完了すると、複数の吸引口５６１ｃにより保持面５６１ａにシート１００が吸着され、シート搬送部５９が把持部３０と保持面５６１ａとの間に引き出されたシート１００を上方から保持する。そして、シート搬送部５９によってシート１００が保持された状態で、カッター５６０が保持面５６１ａに形成された逃げ溝５６１ｂに沿ってスライドし、シート１００の搬送方向に対して直交する幅方向にシート１００を切断する。逃げ溝５６１ｂに沿って逃げ溝５６１ｂを挟んで両側に形成された複数の吸引口５６１ｃがシート１００を保持した状態で切断を行うため、安定した切断が可能となる。
【００５５】
このようにしてシート１００が切断されると、把持部３０によるシート１００の把持が解除され、シート搬送部５９によってシート１００が図示しないシート貼付装置に搬送される。このとき、上側プレート５５０が下段位置５７０に移動することでシート１００が挟持され、図７（ａ）に示した状態に戻る。
【００５６】
このように、把持部３０が斜め前方に移動することで、シート１００が高さを変えながら引き出される。よって、把持部３０を斜め方向の１軸方向に移動させればよく、前後方向及び上下方向の２軸方向に移動させる構成と比較して、安価かつ簡易な構成によりシート１００を引き出すことができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０：ロールシート １００：シート １０１：筒
１：シートフィーダ装置
２：ロールシート保持部
２０：支持筒 ２００：貫通孔
２１：支持部 ２１０：壁部 ２１１：包囲部 ２１２：保持検知プレート
２２：切替機構 ２２０：進退軸 ２２０ａ：大径部 ２２０ｂ：小径部
２２１ａ，２２１ｂ：進退軸ガイド部 ２２ａ：終端プレート
２２２：テーパ部
２４：ロールシート固定部
２４０：支点部 ２４１：係止部 ２４２：力点部 ２４３：作用点部
２５：ローラ
２６０：エアピストン ２６１：エアシリンダ ２６２：圧縮エア供給部
２７：制御部
２８：保持検知センサ
３：シート引き出し部
３０：把持部
３００：ベースプレート ３０１：固定プレート ３０２：先端部
３０３：ロッド ３０４：駆動部 ３０５：可動プレート
３１：引き出し駆動部 ３１０：支持台 ３１１：ガイドレール ３１２：スライダ
４：シート張力付与部 ４０：プーリ ４１：ベルト ４２：モータ
５０：第一ローラ ５１：第二ローラ
５２：第一のエアブロー部 ５３：第二のエアブロー部
５４：ブロック ５４０，５４１：流路 ５４０ａ：噴出し口
５５：挟持部
５５０：上側プレート ５５１：下側プレート ５５２：駆動部 ５５３：ロッド
５５４：駆動部 ５５５：ロッド
５６：カット部
５６０：カッター
５６１：保持部 ５６１ａ：保持面 ５６１ｂ：逃げ溝 ５６１ｃ：吸引部
５６２：カッター移動部
５９：シート搬送部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートが筒に巻きつけられて構成されたロールシートの該筒の長手方向を回転軸として該ロールシートを回転可能に支持するロールシート保持部と、
該ロールシート保持部によって保持された該ロールシートからシートを引き出すシート引き出し部と、
引き出されたシートに張力を与えるシート張力付与部と、
を有するシートフィーダ装置であって、
該ロールシート保持部は、
該ロールシートの該筒の内部に進入して該筒を保持する円筒状の支持筒と、
該支持筒の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部と、
該支持筒に少なくとも２箇所形成され外周面と内周面との間を貫通する貫通孔と、
該貫通孔から作用点が進退し該ロールシートの該筒の内周面に作用して該筒を固定するロールシート固定部と、
該ロールシート固定部の力点に力を伝達するテーパ部を備え、該支持筒に挿入された進退軸と、
該進退軸を進出させ、該テーパ部を該ロールシート固定部の力点に作用させる作用位置に位置づけるエアピストンと、
該進退軸が作用位置または退避位置にあるかを検知する保持検知センサと、
から構成され、
該保持検知センサからの信号により、該進退軸が該作用位置に位置づけされた際に該シート引き出し部が動作可能となることを特徴とするシートフィーダ装置。
【請求項１】
シートが筒に巻きつけられて構成されたロールシートの該筒の長手方向を回転軸として該ロールシートを回転可能に支持するロールシート保持部と、
該ロールシート保持部によって保持された該ロールシートからシートを引き出すシート引き出し部と、
引き出されたシートに張力を与えるシート張力付与部と、
を有するシートフィーダ装置であって、
該ロールシート保持部は、
該ロールシートの該筒の内部に進入して該筒を保持する円筒状の支持筒と、
該支持筒の一方の端部を回転可能に片持ち状態で支持する支持部と、
該支持筒に少なくとも２箇所形成され外周面と内周面との間を貫通する貫通孔と、
該貫通孔から作用点が進退し該ロールシートの該筒の内周面に作用して該筒を固定するロールシート固定部と、
該ロールシート固定部の力点に力を伝達するテーパ部を備え、該支持筒に挿入された進退軸と、
該進退軸を進出させ、該テーパ部を該ロールシート固定部の力点に作用させる作用位置に位置づけるエアピストンと、
該進退軸が作用位置または退避位置にあるかを検知する保持検知センサと、
から構成され、
該保持検知センサからの信号により、該進退軸が該作用位置に位置づけされた際に該シート引き出し部が動作可能となることを特徴とするシートフィーダ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２５４８４３（Ｐ２０１２−２５４８４３Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２８０７８（Ｐ２０１１−１２８０７８）
【出願日】平成２３年６月８日（２０１１．６．８）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２７日（２０１２．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月８日（２０１１．６．８）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]