モータ
【課題】真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。
【解決手段】ステータ１３の周囲にはモールド層１６が配されている。このモールド層１６は、ステータ１３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ１３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層１６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。
【解決手段】ステータ１３の周囲にはモールド層１６が配されている。このモールド層１６は、ステータ１３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ１３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層１６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータに関し、詳しくは構成部材から発生したガスの漏洩を防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マルチチャンバ型ＣＶＤ装置などの真空装置には、仕込・取出室や処理室などの間で被成膜物を搬送するための搬送装置が備えられている。こうした搬送装置は、例えば基板を支持して動かすローラや、このローラを回転させるモータなどから構成されている。
【０００３】
従来、搬送装置に用いられるモータは、真空環境となるチャンバの外側、即ち外気に接するところに配置され、モータシャフト（回転軸）をチャンバの中に配されたローラに接続することによって、チャンバ内のローラを回転させていた。このため、モータシャフトがチャンバの壁面を突き抜ける部分には、チャンバ内の気密を保つための気密シールが設けられている。
【０００４】
しかし、搬送装置のモータをチャンバ外に設置して、気密シールを介してモータシャフトをチャンバ内のローラに接続する構造では、搬送装置全体が大型化してしまい、真空装置の小型化の障害となっていた。
【０００５】
また、モータシャフトとチャンバ壁面との間に気密シールが必要になるなど構造が複雑化するといった課題もあった。更に、こうした気密シールはモータシャフトの回転数が５００ｒｐｍ程度までしかチャンバ内の気密を保つことができず、モータの回転数を例えば２０００〜３０００ｒｐｍ程度まで高めて被成膜物を高速搬送する際の障害となっていた。
【０００６】
このため、搬送装置のモータをチャンバの内部に配置した搬送装置を備えた真空装置も知られている（例えば、特許文献１参照）。モータをチャンバの内部に配置することによって、モータシャフトとチャンバ壁面との間の気密シールが不要になり、構成を簡単にして真空装置の小型化が可能になるとともに、チャンバ内部の気密を保ちつつモータの回転数を高めて被成膜物の高速搬送が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２７７６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、チャンバ内に設置されたモータは、チャンバ内の減圧に伴って必然的に真空環境下に置かれることになる。モータの内部には、コイルや磁石などの磁気部材設けられており、こうしたコイルや磁石などは真空環境下に置かれるとガスが発生するという課題があった。即ち、磁石は一般的に多孔質材料であり、多数の空孔からガスが放出される。
【０００９】
また、コイルは巻回した金属線をモールドしている接着剤やその溶媒がガス化して放出される。こうしたモータを構成するコイルや磁石などから放出されたガスがチャンバ内に拡散すると、被成膜物が汚染される懸念があった。
【００１０】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は次のようなモータを提供する。
即ち、本発明のモータは、ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記ステータおよび前記磁気部材の少なくともいずれか一方に密着して覆うモールド層を備えたことを特徴とする。
【００１２】
前記モールド層の表面を覆う金属薄膜を更に備えたことを特徴とする。
また、前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材を更に備えたことを特徴とする。
【００１３】
前記隔壁部材は前記モールド層によって端部を支持されていることを特徴とする。
また、前記隔壁部材は前記モールド層に対して融着されていることを特徴とする。
【００１４】
前記隔壁部材には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする。
また、前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のモータによれば、真空環境下に設置したとしても、モータを構成するロータやステータから生じたガスが、ハウジングの外部に放出されることがない。即ち、ロータやステータは、モールド層によって覆われる。これにより、ロータやステータは、モールド層とハウジングやシャフトによって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。
【００１６】
従って、ロータの磁気部材やステータが、磁石や、金属細線を巻回させて樹脂材料でモールドした電磁コイルなと、真空環境でガスが生じやすいものであっても、ロータの磁気部材やステータを隔壁部材で気密に覆うことによって、ロータやステータから発生したガスがモータの外部に漏れ出ることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第一実施形態におけるモータ（真空モータ）を示す断面図である。
【図２】本発明の第二実施形態におけるモータを示す断面図である。
【図３】本発明の第三実施形態におけるモータを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係るモータについて、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために、一例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１９】
［第一実施形態］
図１は、本発明の第一実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
例えば真空装置の基板搬送機構に用いられる真空モータ（モータ）１０は、ハウジング（外装体）１１と、このハウジング１１に収容されるロータ１２、およびステータ１３とを備えている。ロータ１２は、シャフト２１と、このシャフト２１の周囲に形成された磁気部材２２とを有している。
【００２０】
ハウジング１１は、例えば、金属や樹脂等から構成され、シャフト２１の軸方向Ｌに沿った２箇所に軸受１４ａ，１４ｂが形成される。軸受１４ａ，１４ｂは、例えばベアリングおよびベアリングを支持する受け部材などから構成されていればよい。
【００２１】
シャフト２１は、ハウジング１１に取り付けられた軸受１４ａ，１４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支される。これによってロータ１２はハウジング１１の内部で回転可能に支持される。
【００２２】
シャフト２１の周面に形成された磁気部材２２は、例えば永久磁石から構成されている。具体的には、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、ネオジム磁石などが挙げられる。こうした永久磁石は、磁性体粒子を粉砕したものを成型し焼結することによって得られるものが多く、内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすい。
【００２３】
ステータ１３はハウジング１１に固着され、ロータ１２に対して所定の間隔を開けてロータ１２の周りを取り巻くように形成されている。ステータ１３は、例えば電磁コイルから構成されている。電磁コイルは、例えば、銅などの細線を磁性体の周りに巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなる。こうした接着剤などの樹脂材料は、真空環境では樹脂の構成材料そのものや溶剤などが揮発してガス化し放出されやすい。
【００２４】
真空モータ（モータ）１０は、ステータ１３を構成する電磁コイルに外部から電力を供給することによって、ロータ１２の磁気部材２２と、ステータ１３との間に磁界が生じ、シャフト２１が磁気部材２２とともに回転する。
【００２５】
ステータ１３の周囲にはモールド層１６が配されている。このモールド層１６は、ステータ１３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ１３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層１６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層１６によって、ステータ１３の周囲は固められている。
【００２６】
モールド層１６の周囲は、更に金属薄膜１７で覆われていることが好ましい。金属薄膜１７は、例えば、Ａｌ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ａｇや、これらの合金からなる薄膜によって構成されている。このような金属薄膜１７は、例えばモールド層１６の外面に蒸着、無電解めっき、貼着などの方法によって形成すればよい。金属薄膜１７は、モールド層１６の露呈領域全体を覆うことが好ましいが、一部領域だけに形成してもよい。
【００２７】
ロータ１２を構成する磁気部材２２の周囲にもモールド層１８が配されている。モールド層１８は、磁気部材２２に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１８も、モールド層１６と同様の部材、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、磁気部材２２で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。
【００２８】
また、モールド層１８自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層１８によって、磁気部材２２の露呈領域は固められている。そして、シャフト２１の回転によって、磁気部材２２とともにモールド層１８も一体に回転する。
【００２９】
モールド層１８の周囲も、モールド層１６と同様に金属薄膜１９で覆われていることが好ましい。金属薄膜１９は、例えば、Ａｌ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ａｇや、これらの合金からなる薄膜によって構成されている。このような金属薄膜１９は、例えばモールド層１８の外面に蒸着、無電解めっき、貼着などの方法によって形成すればよい。金属薄膜１９は、モールド層１８の露呈領域全体を覆うことが好ましいが、一部領域だけに形成してもよい。
【００３０】
なお、シャフト２１の一方の端側には、この真空モータ（モータ）１０の軸位置や回転数を検出するためのエンコーダ２７がさらに形成されていることも好ましい。こうしたエンコーダ２７は、例えば、指標が形成されシャフトと共に回転する回転板と、指標を検出するセンサなどから構成される。
【００３１】
以上のような構成の本発明の一実施形態の真空モータ（モータ）１０によれば、例えばこの真空モータ１０を真空装置における被成膜物（基板）を搬送するための搬送モータとして用い、真空環境となるチャンバ内に設置したとしても、ロータ１２の磁気部材２２から生じたガスやステータ１３から生じたガスが、ハウジング１１の外部に放出されることがない。
【００３２】
即ち、電磁コイルなどから構成されるステータ１３は、周囲をモールド層１６によって固められている。更に、このモールド層１６の外面も金属薄膜１７によって更に覆われている。これによって、ステータ１３は、モールド層１６によって気密に封止された状態となる。
【００３３】
ステータ１３を構成する電磁コイルは、例えば、銅などの細線を巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなり、真空環境ではモールドした樹脂そのものや溶剤などが揮発してガス化しやすいが、ステータ１３全体をモールド層１６によって気密に覆うことで、ステータ１３からガスが発生したとしても、真空モータ１０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。しかも、モールド層１６自体も金属薄膜１７によって覆われているので、モールド層１６自体から微量のガスが生じたとしても、モールド層１６の外部にガスが流出することを防止できる。
【００３４】
一方、ロータ１２の磁気部材２２も、周囲をモールド層１８によって固められている。しかも、このモールド層１８の外面も金属薄膜１９によって更に覆われている。これによって、磁気部材２２もモールド層１６によって気密に封止された状態となる。
【００３５】
磁気部材２２は、例えば、永久磁石から構成されており、こうした永久磁石のうち、特に焼結体は内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすいが、磁気材料２２の露出面をモールド層１８で覆うことによって、磁気部材２２からガスが発生したとしても、真空モータ１０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。しかも、モールド層１８自体も金属薄膜１９によって覆われているので、モールド層１８自体から微量のガスが生じたとしても、モールド層１８の外部にガスが流出することを防止できる。
【００３６】
従って、本実施形態の真空モータ１０を真空装置のチャンバ内など真空環境になるところに設置しても、真空モータ１０のロータ１２やステータ１３で生じたガスがチャンバ内に放出されることがなく、成膜不良や被成膜物の不純物汚染といった不具合を防止することが可能になる。
【００３７】
上述した実施形態では、ロータ１２の磁気部材２２を永久磁石、ステータ１３を電磁コイルから構成しているが、逆にロータの磁気部材を電磁コイル、ステータを永久磁石で構成してもよい。
【００３８】
また、上述した実施形態では、ロータ１２をモールド層１６で、また磁気部材２２をモールド層１８でそれぞれ覆っている。しかし、例えば一方の永久磁石に真空環境においてもガスの発生が少ないものを用いることによって、ロータの磁気材料、あるいはステータのいずれか一方だけを気密に封止するモールド層を配した構成としてもよい。
【００３９】
［第二実施形態］
図２は、本発明の第二実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
第二実施形態における真空モータ（モータ）３０は、ハウジング（外装体）３１と、このハウジング３１に収容されるロータ３２、およびステータ３３とを備え、ロータ３２は、シャフト４１と、このシャフト４１の周囲に形成された磁気部材４２とを有している。
【００４０】
ハウジング３１は、例えば、金属や樹脂等から構成され、シャフト４１の軸方向Ｌに沿った２箇所に軸受４４ａ，４４ｂが形成される。シャフト４１は、軸受４４ａ，４４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支され、これによりロータ３２はハウジング３１の内部で回転可能に支持される。また、シャフト４１の周面に形成された磁気部材４２は、例えば永久磁石から構成されている。
【００４１】
ステータ３３はハウジング３１に固着され、ロータ３２に対して所定の間隔を開けてロータ３２の周りを取り巻くように形成されている。ステータ３３は、例えば電磁コイルから構成されている。
【００４２】
ロータ３２の磁気部材４２と、ステータ３３との間には、隔壁部材３５が配されている。本実施形態においては、隔壁部材３５は、第一隔壁部材３６と、第二隔壁部材３７とから構成される。第一隔壁部材３６は、シャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がり、ステータ３３のロータ３２側露出面を覆うように配されている。
【００４３】
ステータ３３の両側面にはモールド層４６が形成されている。モールド層４６は、ステータ３３の両側面に密着して覆うように形成されている。モールド層４６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ３３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層４６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層４６によって、ステータ３３の両側面は固められている。
【００４４】
第一隔壁部材３６は、モールド層４６によって端部を支持されている。即ち、第一隔壁部材３６の両端部は、モールド層４６によって融着部Ｍで気密に接合されている。これによって、ハウジング３１の内壁、第一隔壁部材３６、およびモールド層４６で囲まれたステータ３３が気密に封止される。
【００４５】
第一隔壁部材３６は、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。第一隔壁部材３６は、例えば、厚みが０．１ｍｍ〜２ｍｍ程度の金属板であれば良い。
【００４６】
第一隔壁部材３６の融着部Ｍに隣接する部分、および中央付近には、リブ４９が形成されている。リブ４９は、例えばシャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がる第一隔壁部材３６を成す金属板の一部を、背骨状に屈曲させた部位である。
【００４７】
第一隔壁部材３６にリブ４９を形成することによって、厚みの薄い軽量な金属板を第一隔壁部材３６として用いた場合であっても、第一隔壁部材３６が応力によって湾曲したり、座屈してしまうことを防止し、面広がり方向の強度を高めることができる。
【００４８】
第二隔壁部材３７は、隔壁３７ａと、この隔壁３７ａの両端部に形成された支持体３７ｂとからなる。隔壁３７ａは、シャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がり、磁気部材４２のステータ３３側露出面を覆うように配されている。支持体３７ｂは、磁気材料４２の両側面にそれぞれ沿って広がり、隔壁３７ａよりも厚みが厚くなるように形成されている。
【００４９】
こうした支持体３７ｂはシャフト４１に取り付けられる。そして、隔壁３７ａの両端部は、支持体３７ｂに対して溶接によって気密に接合されている。また、支持体３７ｂはシャフト４１に対してシール部材４８によって気密に封止される。これによって、シャフト４１の周面と、第二隔壁部材３７によって囲まれた磁気部材４２が気密に封止される。そして、シャフト４１の回転によって、磁気部材４２とともに第二隔壁部材３７も一体に回転する。
【００５０】
隔壁３７ａは、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。また、支持体１７ｂも、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなどの金属から形成されていれば良い。隔壁３７ａは、例えば、厚みが０．１ｍｍ〜２ｍｍ程度の金属板であれば良い。これら隔壁３７ａと支持体３７ｂとは、互いに異なる部材から構成されるのが好ましいが、同じ部材であっても良く限定されるものではない。
【００５１】
シール部材４８は、シャフト４１の軸心周りに延びるＯリングであればよく、真空環境においても弾性が保持される弾性部材からなる。シール部材４８を構成する弾性部材の具体例としては、フッ素樹脂、シリコン樹脂、ニトリル樹脂、アチレンプロピレンゴム、アクリルゴムなどが挙げられるが、真空環境中で構成材料のガスなどが発生しないものを選択することが好ましい。
【００５２】
なお、シャフト４１の一方の端側には、この真空モータ（モータ）３０の軸位置や回転数を検出するためのエンコーダ４７がさらに形成されていることも好ましい。こうしたエンコーダは、例えば、指標が形成されシャフトと共に回転する回転板と、指標を検出するセンサなどから構成される。
【００５３】
以上のような構成の本発明の第二実施形態の真空モータ（モータ）３０によれば、例えばこの真空モータ３０を真空装置における被成膜物（基板）を搬送するための搬送モータとして用い、真空環境となるチャンバ内に設置したとしても、磁気部材４２から生じたガスやステータ３３から生じたガスが、ハウジング３１の外部に放出されることがない。
【００５４】
即ち、電磁コイルなどから構成されるステータ３３は、ハウジング３１の内壁面、モールド層４６、およびこのモールド層４６に端部が融着された第一隔壁部材３６によって覆われる。ステータ３３を構成する電磁コイルは、例えば、銅などの細線を巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなり、真空環境ではモールドした樹脂そのものや溶剤などが揮発してガス化しやすいが、ステータ３３全体をハウジング３１の内壁面、モールド層４６、および第一隔壁部材３６で気密に覆うことによって、ステータ３３からガスが発生したとしても、真空モータ３０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。
【００５５】
一方、ロータ３２の磁気部材４２は、シャフト４１の周面と第二隔壁部材３７によって覆われる。しかも第二隔壁部材３７を構成する隔壁３７ａと支持体３７ｂとは、気密に溶接されている。また、支持体３７ｂはシャフト４１に対してシール部材４８によって気密に取り付けられている。これによって、磁気材料４２は、シャフト４１の周面と第二隔壁部材３７によって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。
【００５６】
磁気部材４２は、例えば、永久磁石から構成されており、こうした永久磁石のうち、特に焼結体は内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすいが、磁気材料４２全体を第二隔壁部材３７とシャフト４１の周面の間で気密に覆うことによって、磁気部材４２からガスが発生したとしても、真空モータ３０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。
【００５７】
従って、本実施形態の真空モータ３０を真空装置のチャンバ内など真空環境になるところに設置しても、真空モータ３０のロータ３２やステータ３３で生じたガスがチャンバ内に放出されることがなく、成膜不良や被成膜物の不純物汚染といった不具合を防止することが可能になる。
【００５８】
［第三実施形態］
図３は、本発明の第三実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
第三実施形態における真空モータ（モータ）５０は、ハウジング（外装体）５１、ロータ５２、およびステータ５３とを備え、ロータ５２は、シャフト６１、シャフト６１の周囲に形成された磁気部材６２とを有している。シャフト６１は、軸受６４ａ，６４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支されている。ステータ５３はハウジング５１に固着され、例えば電磁コイルから構成されている。
【００５９】
ステータ５３の周囲にはモールド層７１が配されている。このモールド層７１は、ステータ５３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層７１は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ５３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層７１自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層７１によって、ステータ５３の周囲は固められている。
【００６０】
モールド層７１の表面、即ちロータ５２側露出面には、第一隔壁部材５６が形成されている。第一隔壁部材５６は、シャフト６１の軸方向Ｌに沿って広がり、モールド層７１のロータ５２側露出面を覆うように配されている。このような第一隔壁部材５６は、モールド層７１の表面に、例えば融着によって固定されている。一例として、モールド層７１を形成する際に、固化前のモールド材に第一隔壁部材５６を配して、このモールド材を固化させるとともに第一隔壁部材５６も共に固定する。
【００６１】
ロータ５２を構成する磁気部材６２の周囲にもモールド層７２が配されている。モールド層７２は、磁気部材６２に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層７２も、モールド層７１と同様の部材、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、磁気部材６２で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。
【００６２】
また、モールド層７２自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層７２によって、磁気部材６２の露呈領域はモールド層７２によって固められている。そして、シャフト６１の回転によって、磁気部材６２とともにモールド層７２も一体に回転する。
【００６３】
モールド層７２の表面、即ちステータ５３側露出面には、第二隔壁部材５７が形成されている。第二隔壁部材５７は、シャフト６１の軸方向Ｌに沿って広がり、モールド層７２のステータ５３側露出面を覆うように配されている。このような第二隔壁部材５７は、モールド層７１の表面に、例えば融着によって固定されている。
【００６４】
第一隔壁部材５６、第二隔壁部材５７は、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。なお、この実施形態では、第一隔壁部材５６、第二隔壁部材５７は、モールド層７１やモールド層７２の露呈部分全体を完全に覆わなくても良く、その大部分を覆うことによって、モールド層７１やモールド層７２から生じる虞のあるガス（例えば樹脂の揮発成分）の拡散を防止することができる。
【００６５】
なお、本発明のモータは、モータの種類に限定されず、各種方式のモータに適用可能である。表１に、本発明の構成を適用可能なモータの種類、およびそのステータ、ロータの組み合わせを例示する。
【００６６】
【表１】
【符号の説明】
【００６７】
１０ 真空モータ（モータ）、１１ ハウジング、１２ ロータ、１３ ステータ、１６ モールド層、１８ モールド層、２１ シャフト、２２ 磁気部材。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータに関し、詳しくは構成部材から発生したガスの漏洩を防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、マルチチャンバ型ＣＶＤ装置などの真空装置には、仕込・取出室や処理室などの間で被成膜物を搬送するための搬送装置が備えられている。こうした搬送装置は、例えば基板を支持して動かすローラや、このローラを回転させるモータなどから構成されている。
【０００３】
従来、搬送装置に用いられるモータは、真空環境となるチャンバの外側、即ち外気に接するところに配置され、モータシャフト（回転軸）をチャンバの中に配されたローラに接続することによって、チャンバ内のローラを回転させていた。このため、モータシャフトがチャンバの壁面を突き抜ける部分には、チャンバ内の気密を保つための気密シールが設けられている。
【０００４】
しかし、搬送装置のモータをチャンバ外に設置して、気密シールを介してモータシャフトをチャンバ内のローラに接続する構造では、搬送装置全体が大型化してしまい、真空装置の小型化の障害となっていた。
【０００５】
また、モータシャフトとチャンバ壁面との間に気密シールが必要になるなど構造が複雑化するといった課題もあった。更に、こうした気密シールはモータシャフトの回転数が５００ｒｐｍ程度までしかチャンバ内の気密を保つことができず、モータの回転数を例えば２０００〜３０００ｒｐｍ程度まで高めて被成膜物を高速搬送する際の障害となっていた。
【０００６】
このため、搬送装置のモータをチャンバの内部に配置した搬送装置を備えた真空装置も知られている（例えば、特許文献１参照）。モータをチャンバの内部に配置することによって、モータシャフトとチャンバ壁面との間の気密シールが不要になり、構成を簡単にして真空装置の小型化が可能になるとともに、チャンバ内部の気密を保ちつつモータの回転数を高めて被成膜物の高速搬送が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２７７６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、チャンバ内に設置されたモータは、チャンバ内の減圧に伴って必然的に真空環境下に置かれることになる。モータの内部には、コイルや磁石などの磁気部材設けられており、こうしたコイルや磁石などは真空環境下に置かれるとガスが発生するという課題があった。即ち、磁石は一般的に多孔質材料であり、多数の空孔からガスが放出される。
【０００９】
また、コイルは巻回した金属線をモールドしている接着剤やその溶媒がガス化して放出される。こうしたモータを構成するコイルや磁石などから放出されたガスがチャンバ内に拡散すると、被成膜物が汚染される懸念があった。
【００１０】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、真空環境下でもガスが漏れ出ることがないモータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は次のようなモータを提供する。
即ち、本発明のモータは、ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記ステータおよび前記磁気部材の少なくともいずれか一方に密着して覆うモールド層を備えたことを特徴とする。
【００１２】
前記モールド層の表面を覆う金属薄膜を更に備えたことを特徴とする。
また、前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材を更に備えたことを特徴とする。
【００１３】
前記隔壁部材は前記モールド層によって端部を支持されていることを特徴とする。
また、前記隔壁部材は前記モールド層に対して融着されていることを特徴とする。
【００１４】
前記隔壁部材には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする。
また、前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のモータによれば、真空環境下に設置したとしても、モータを構成するロータやステータから生じたガスが、ハウジングの外部に放出されることがない。即ち、ロータやステータは、モールド層によって覆われる。これにより、ロータやステータは、モールド層とハウジングやシャフトによって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。
【００１６】
従って、ロータの磁気部材やステータが、磁石や、金属細線を巻回させて樹脂材料でモールドした電磁コイルなと、真空環境でガスが生じやすいものであっても、ロータの磁気部材やステータを隔壁部材で気密に覆うことによって、ロータやステータから発生したガスがモータの外部に漏れ出ることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第一実施形態におけるモータ（真空モータ）を示す断面図である。
【図２】本発明の第二実施形態におけるモータを示す断面図である。
【図３】本発明の第三実施形態におけるモータを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係るモータについて、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために、一例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１９】
［第一実施形態］
図１は、本発明の第一実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
例えば真空装置の基板搬送機構に用いられる真空モータ（モータ）１０は、ハウジング（外装体）１１と、このハウジング１１に収容されるロータ１２、およびステータ１３とを備えている。ロータ１２は、シャフト２１と、このシャフト２１の周囲に形成された磁気部材２２とを有している。
【００２０】
ハウジング１１は、例えば、金属や樹脂等から構成され、シャフト２１の軸方向Ｌに沿った２箇所に軸受１４ａ，１４ｂが形成される。軸受１４ａ，１４ｂは、例えばベアリングおよびベアリングを支持する受け部材などから構成されていればよい。
【００２１】
シャフト２１は、ハウジング１１に取り付けられた軸受１４ａ，１４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支される。これによってロータ１２はハウジング１１の内部で回転可能に支持される。
【００２２】
シャフト２１の周面に形成された磁気部材２２は、例えば永久磁石から構成されている。具体的には、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、ネオジム磁石などが挙げられる。こうした永久磁石は、磁性体粒子を粉砕したものを成型し焼結することによって得られるものが多く、内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすい。
【００２３】
ステータ１３はハウジング１１に固着され、ロータ１２に対して所定の間隔を開けてロータ１２の周りを取り巻くように形成されている。ステータ１３は、例えば電磁コイルから構成されている。電磁コイルは、例えば、銅などの細線を磁性体の周りに巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなる。こうした接着剤などの樹脂材料は、真空環境では樹脂の構成材料そのものや溶剤などが揮発してガス化し放出されやすい。
【００２４】
真空モータ（モータ）１０は、ステータ１３を構成する電磁コイルに外部から電力を供給することによって、ロータ１２の磁気部材２２と、ステータ１３との間に磁界が生じ、シャフト２１が磁気部材２２とともに回転する。
【００２５】
ステータ１３の周囲にはモールド層１６が配されている。このモールド層１６は、ステータ１３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ１３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層１６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層１６によって、ステータ１３の周囲は固められている。
【００２６】
モールド層１６の周囲は、更に金属薄膜１７で覆われていることが好ましい。金属薄膜１７は、例えば、Ａｌ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ａｇや、これらの合金からなる薄膜によって構成されている。このような金属薄膜１７は、例えばモールド層１６の外面に蒸着、無電解めっき、貼着などの方法によって形成すればよい。金属薄膜１７は、モールド層１６の露呈領域全体を覆うことが好ましいが、一部領域だけに形成してもよい。
【００２７】
ロータ１２を構成する磁気部材２２の周囲にもモールド層１８が配されている。モールド層１８は、磁気部材２２に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層１８も、モールド層１６と同様の部材、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、磁気部材２２で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。
【００２８】
また、モールド層１８自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層１８によって、磁気部材２２の露呈領域は固められている。そして、シャフト２１の回転によって、磁気部材２２とともにモールド層１８も一体に回転する。
【００２９】
モールド層１８の周囲も、モールド層１６と同様に金属薄膜１９で覆われていることが好ましい。金属薄膜１９は、例えば、Ａｌ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ａｇや、これらの合金からなる薄膜によって構成されている。このような金属薄膜１９は、例えばモールド層１８の外面に蒸着、無電解めっき、貼着などの方法によって形成すればよい。金属薄膜１９は、モールド層１８の露呈領域全体を覆うことが好ましいが、一部領域だけに形成してもよい。
【００３０】
なお、シャフト２１の一方の端側には、この真空モータ（モータ）１０の軸位置や回転数を検出するためのエンコーダ２７がさらに形成されていることも好ましい。こうしたエンコーダ２７は、例えば、指標が形成されシャフトと共に回転する回転板と、指標を検出するセンサなどから構成される。
【００３１】
以上のような構成の本発明の一実施形態の真空モータ（モータ）１０によれば、例えばこの真空モータ１０を真空装置における被成膜物（基板）を搬送するための搬送モータとして用い、真空環境となるチャンバ内に設置したとしても、ロータ１２の磁気部材２２から生じたガスやステータ１３から生じたガスが、ハウジング１１の外部に放出されることがない。
【００３２】
即ち、電磁コイルなどから構成されるステータ１３は、周囲をモールド層１６によって固められている。更に、このモールド層１６の外面も金属薄膜１７によって更に覆われている。これによって、ステータ１３は、モールド層１６によって気密に封止された状態となる。
【００３３】
ステータ１３を構成する電磁コイルは、例えば、銅などの細線を巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなり、真空環境ではモールドした樹脂そのものや溶剤などが揮発してガス化しやすいが、ステータ１３全体をモールド層１６によって気密に覆うことで、ステータ１３からガスが発生したとしても、真空モータ１０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。しかも、モールド層１６自体も金属薄膜１７によって覆われているので、モールド層１６自体から微量のガスが生じたとしても、モールド層１６の外部にガスが流出することを防止できる。
【００３４】
一方、ロータ１２の磁気部材２２も、周囲をモールド層１８によって固められている。しかも、このモールド層１８の外面も金属薄膜１９によって更に覆われている。これによって、磁気部材２２もモールド層１６によって気密に封止された状態となる。
【００３５】
磁気部材２２は、例えば、永久磁石から構成されており、こうした永久磁石のうち、特に焼結体は内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすいが、磁気材料２２の露出面をモールド層１８で覆うことによって、磁気部材２２からガスが発生したとしても、真空モータ１０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。しかも、モールド層１８自体も金属薄膜１９によって覆われているので、モールド層１８自体から微量のガスが生じたとしても、モールド層１８の外部にガスが流出することを防止できる。
【００３６】
従って、本実施形態の真空モータ１０を真空装置のチャンバ内など真空環境になるところに設置しても、真空モータ１０のロータ１２やステータ１３で生じたガスがチャンバ内に放出されることがなく、成膜不良や被成膜物の不純物汚染といった不具合を防止することが可能になる。
【００３７】
上述した実施形態では、ロータ１２の磁気部材２２を永久磁石、ステータ１３を電磁コイルから構成しているが、逆にロータの磁気部材を電磁コイル、ステータを永久磁石で構成してもよい。
【００３８】
また、上述した実施形態では、ロータ１２をモールド層１６で、また磁気部材２２をモールド層１８でそれぞれ覆っている。しかし、例えば一方の永久磁石に真空環境においてもガスの発生が少ないものを用いることによって、ロータの磁気材料、あるいはステータのいずれか一方だけを気密に封止するモールド層を配した構成としてもよい。
【００３９】
［第二実施形態］
図２は、本発明の第二実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
第二実施形態における真空モータ（モータ）３０は、ハウジング（外装体）３１と、このハウジング３１に収容されるロータ３２、およびステータ３３とを備え、ロータ３２は、シャフト４１と、このシャフト４１の周囲に形成された磁気部材４２とを有している。
【００４０】
ハウジング３１は、例えば、金属や樹脂等から構成され、シャフト４１の軸方向Ｌに沿った２箇所に軸受４４ａ，４４ｂが形成される。シャフト４１は、軸受４４ａ，４４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支され、これによりロータ３２はハウジング３１の内部で回転可能に支持される。また、シャフト４１の周面に形成された磁気部材４２は、例えば永久磁石から構成されている。
【００４１】
ステータ３３はハウジング３１に固着され、ロータ３２に対して所定の間隔を開けてロータ３２の周りを取り巻くように形成されている。ステータ３３は、例えば電磁コイルから構成されている。
【００４２】
ロータ３２の磁気部材４２と、ステータ３３との間には、隔壁部材３５が配されている。本実施形態においては、隔壁部材３５は、第一隔壁部材３６と、第二隔壁部材３７とから構成される。第一隔壁部材３６は、シャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がり、ステータ３３のロータ３２側露出面を覆うように配されている。
【００４３】
ステータ３３の両側面にはモールド層４６が形成されている。モールド層４６は、ステータ３３の両側面に密着して覆うように形成されている。モールド層４６は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ３３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層４６自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層４６によって、ステータ３３の両側面は固められている。
【００４４】
第一隔壁部材３６は、モールド層４６によって端部を支持されている。即ち、第一隔壁部材３６の両端部は、モールド層４６によって融着部Ｍで気密に接合されている。これによって、ハウジング３１の内壁、第一隔壁部材３６、およびモールド層４６で囲まれたステータ３３が気密に封止される。
【００４５】
第一隔壁部材３６は、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。第一隔壁部材３６は、例えば、厚みが０．１ｍｍ〜２ｍｍ程度の金属板であれば良い。
【００４６】
第一隔壁部材３６の融着部Ｍに隣接する部分、および中央付近には、リブ４９が形成されている。リブ４９は、例えばシャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がる第一隔壁部材３６を成す金属板の一部を、背骨状に屈曲させた部位である。
【００４７】
第一隔壁部材３６にリブ４９を形成することによって、厚みの薄い軽量な金属板を第一隔壁部材３６として用いた場合であっても、第一隔壁部材３６が応力によって湾曲したり、座屈してしまうことを防止し、面広がり方向の強度を高めることができる。
【００４８】
第二隔壁部材３７は、隔壁３７ａと、この隔壁３７ａの両端部に形成された支持体３７ｂとからなる。隔壁３７ａは、シャフト４１の軸方向Ｌに沿って広がり、磁気部材４２のステータ３３側露出面を覆うように配されている。支持体３７ｂは、磁気材料４２の両側面にそれぞれ沿って広がり、隔壁３７ａよりも厚みが厚くなるように形成されている。
【００４９】
こうした支持体３７ｂはシャフト４１に取り付けられる。そして、隔壁３７ａの両端部は、支持体３７ｂに対して溶接によって気密に接合されている。また、支持体３７ｂはシャフト４１に対してシール部材４８によって気密に封止される。これによって、シャフト４１の周面と、第二隔壁部材３７によって囲まれた磁気部材４２が気密に封止される。そして、シャフト４１の回転によって、磁気部材４２とともに第二隔壁部材３７も一体に回転する。
【００５０】
隔壁３７ａは、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。また、支持体１７ｂも、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなどの金属から形成されていれば良い。隔壁３７ａは、例えば、厚みが０．１ｍｍ〜２ｍｍ程度の金属板であれば良い。これら隔壁３７ａと支持体３７ｂとは、互いに異なる部材から構成されるのが好ましいが、同じ部材であっても良く限定されるものではない。
【００５１】
シール部材４８は、シャフト４１の軸心周りに延びるＯリングであればよく、真空環境においても弾性が保持される弾性部材からなる。シール部材４８を構成する弾性部材の具体例としては、フッ素樹脂、シリコン樹脂、ニトリル樹脂、アチレンプロピレンゴム、アクリルゴムなどが挙げられるが、真空環境中で構成材料のガスなどが発生しないものを選択することが好ましい。
【００５２】
なお、シャフト４１の一方の端側には、この真空モータ（モータ）３０の軸位置や回転数を検出するためのエンコーダ４７がさらに形成されていることも好ましい。こうしたエンコーダは、例えば、指標が形成されシャフトと共に回転する回転板と、指標を検出するセンサなどから構成される。
【００５３】
以上のような構成の本発明の第二実施形態の真空モータ（モータ）３０によれば、例えばこの真空モータ３０を真空装置における被成膜物（基板）を搬送するための搬送モータとして用い、真空環境となるチャンバ内に設置したとしても、磁気部材４２から生じたガスやステータ３３から生じたガスが、ハウジング３１の外部に放出されることがない。
【００５４】
即ち、電磁コイルなどから構成されるステータ３３は、ハウジング３１の内壁面、モールド層４６、およびこのモールド層４６に端部が融着された第一隔壁部材３６によって覆われる。ステータ３３を構成する電磁コイルは、例えば、銅などの細線を巻回させ、接着剤などの樹脂材料でモールドしたものからなり、真空環境ではモールドした樹脂そのものや溶剤などが揮発してガス化しやすいが、ステータ３３全体をハウジング３１の内壁面、モールド層４６、および第一隔壁部材３６で気密に覆うことによって、ステータ３３からガスが発生したとしても、真空モータ３０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。
【００５５】
一方、ロータ３２の磁気部材４２は、シャフト４１の周面と第二隔壁部材３７によって覆われる。しかも第二隔壁部材３７を構成する隔壁３７ａと支持体３７ｂとは、気密に溶接されている。また、支持体３７ｂはシャフト４１に対してシール部材４８によって気密に取り付けられている。これによって、磁気材料４２は、シャフト４１の周面と第二隔壁部材３７によって囲まれた空間内に気密に封止された状態となる。
【００５６】
磁気部材４２は、例えば、永久磁石から構成されており、こうした永久磁石のうち、特に焼結体は内部に微細な空洞があり、真空環境でガスが生じやすいが、磁気材料４２全体を第二隔壁部材３７とシャフト４１の周面の間で気密に覆うことによって、磁気部材４２からガスが発生したとしても、真空モータ３０の外部にこうしたガスが漏れ出ることを防止する。
【００５７】
従って、本実施形態の真空モータ３０を真空装置のチャンバ内など真空環境になるところに設置しても、真空モータ３０のロータ３２やステータ３３で生じたガスがチャンバ内に放出されることがなく、成膜不良や被成膜物の不純物汚染といった不具合を防止することが可能になる。
【００５８】
［第三実施形態］
図３は、本発明の第三実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
第三実施形態における真空モータ（モータ）５０は、ハウジング（外装体）５１、ロータ５２、およびステータ５３とを備え、ロータ５２は、シャフト６１、シャフト６１の周囲に形成された磁気部材６２とを有している。シャフト６１は、軸受６４ａ，６４ｂによって回転軸方向に沿った２箇所で軸支されている。ステータ５３はハウジング５１に固着され、例えば電磁コイルから構成されている。
【００５９】
ステータ５３の周囲にはモールド層７１が配されている。このモールド層７１は、ステータ５３に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層７１は、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、ステータ５３で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。また、モールド層７１自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層７１によって、ステータ５３の周囲は固められている。
【００６０】
モールド層７１の表面、即ちロータ５２側露出面には、第一隔壁部材５６が形成されている。第一隔壁部材５６は、シャフト６１の軸方向Ｌに沿って広がり、モールド層７１のロータ５２側露出面を覆うように配されている。このような第一隔壁部材５６は、モールド層７１の表面に、例えば融着によって固定されている。一例として、モールド層７１を形成する際に、固化前のモールド材に第一隔壁部材５６を配して、このモールド材を固化させるとともに第一隔壁部材５６も共に固定する。
【００６１】
ロータ５２を構成する磁気部材６２の周囲にもモールド層７２が配されている。モールド層７２は、磁気部材６２に密着して外面を覆うように形成されている。モールド層７２も、モールド層７１と同様の部材、例えば、熱硬化性樹脂やゴムなどの樹脂材料からなり、更に、磁気部材６２で生じたガスなどを透過させない緻密な樹脂が好ましい。
【００６２】
また、モールド層７２自体からもガスが発生しにくい材料であることが好ましい。このような樹脂材料からなるモールド層７２によって、磁気部材６２の露呈領域はモールド層７２によって固められている。そして、シャフト６１の回転によって、磁気部材６２とともにモールド層７２も一体に回転する。
【００６３】
モールド層７２の表面、即ちステータ５３側露出面には、第二隔壁部材５７が形成されている。第二隔壁部材５７は、シャフト６１の軸方向Ｌに沿って広がり、モールド層７２のステータ５３側露出面を覆うように配されている。このような第二隔壁部材５７は、モールド層７１の表面に、例えば融着によって固定されている。
【００６４】
第一隔壁部材５６、第二隔壁部材５７は、例えば、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、ＳＵＳなど発塵とガス放出の少ない金属板から形成されていれば良い。なお、この実施形態では、第一隔壁部材５６、第二隔壁部材５７は、モールド層７１やモールド層７２の露呈部分全体を完全に覆わなくても良く、その大部分を覆うことによって、モールド層７１やモールド層７２から生じる虞のあるガス（例えば樹脂の揮発成分）の拡散を防止することができる。
【００６５】
なお、本発明のモータは、モータの種類に限定されず、各種方式のモータに適用可能である。表１に、本発明の構成を適用可能なモータの種類、およびそのステータ、ロータの組み合わせを例示する。
【００６６】
【表１】
【符号の説明】
【００６７】
１０ 真空モータ（モータ）、１１ ハウジング、１２ ロータ、１３ ステータ、１６ モールド層、１８ モールド層、２１ シャフト、２２ 磁気部材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記ステータおよび前記磁気部材の少なくともいずれか一方に密着して覆うモールド層を備えたことを特徴とするモータ。
【請求項２】
前記モールド層の表面を覆う金属薄膜を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のモータ。
【請求項３】
前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のモータ。
【請求項４】
前記隔壁部材は前記モールド層によって端部を支持されていることを特徴とする請求項３記載のモータ。
【請求項５】
前記隔壁部材は前記モールド層に対して融着されていることを特徴とする請求項３または４記載のモータ。
【請求項６】
前記隔壁部材には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする請求項３ないし５いずれか１項記載のモータ。
【請求項７】
前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記載のモータ。
【請求項１】
ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記ステータおよび前記磁気部材の少なくともいずれか一方に密着して覆うモールド層を備えたことを特徴とするモータ。
【請求項２】
前記モールド層の表面を覆う金属薄膜を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のモータ。
【請求項３】
前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のモータ。
【請求項４】
前記隔壁部材は前記モールド層によって端部を支持されていることを特徴とする請求項３記載のモータ。
【請求項５】
前記隔壁部材は前記モールド層に対して融着されていることを特徴とする請求項３または４記載のモータ。
【請求項６】
前記隔壁部材には、屈曲防止用のリブが一体に形成されていることを特徴とする請求項３ないし５いずれか１項記載のモータ。
【請求項７】
前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記載のモータ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−２７０９０（Ｐ２０１３−２７０９０Ａ）
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１５７７７５（Ｐ２０１１−１５７７７５）
【出願日】平成２３年７月１９日（２０１１．７．１９）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月１９日（２０１１．７．１９）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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