ワークハンドリング機構およびワーク検査システム
【課題】
ワークの検査効率を向上させることができるワークハンドリング機構、あるいは小型なワーク検査システムを提供することにある。
を提供することにある。
【解決手段】 戴き
この発明は、第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有する中継台を設けて、中継台とワーク供給容器およびワーク収納容器との間でのワークの排出／供給処理を中継台の第１の中継点で行い、中継台と複数のワーク検査機との間でのワークのロード／アンロード処理を中継台の第２の中継点で行うものである。
ワークの検査効率を向上させることができるワークハンドリング機構、あるいは小型なワーク検査システムを提供することにある。
を提供することにある。
【解決手段】 戴き
この発明は、第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有する中継台を設けて、中継台とワーク供給容器およびワーク収納容器との間でのワークの排出／供給処理を中継台の第１の中継点で行い、中継台と複数のワーク検査機との間でのワークのロード／アンロード処理を中継台の第２の中継点で行うものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワークハンドリング機構およびワーク検査装置に関し、詳しくはハンドリングロボットにより、供給側のディスクカセット（以下、供給カセット）から未検査の磁気ディスク（以下、ディスク）を取出してそれを磁気ディスク検査機（以下ディスク検査機）にローディングし、検査済みのディスクをディスク検査機からアンローディングして検査結果に応じてディスクを分類して収納する分類ディスクカセット（以下、分類カセット）に収納するディスク検査システムにおいて、検査時間が比較的短い小型のディスクを複数の検査機で並列に検査する場合に検査効率を向上させることができるようなディスクハンドリング機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスクの検査においては、供給カセットに収納された未検査のディスクが１枚づつ取出されてディスク検査機にロードされ、検査が終了すると検査済みのディスクがディスク検査機からアンロードされて検査結果に応じたクラスに分類された分類カセットの１つに収納される。
検査効率を向上させるためにディスク検査システムは、複数のディスク検査機を使用して並列にディスク検査をすることで検査するディスクの枚数を増加させることができる。しかし、そのようにすると、それに伴って供給側と収納側においてそれぞれカセットの個数が多くなる。各カセットの交換と各ディスク検査機に対するディスクの受渡しを効率的に行うハンドリングシステムも必要になる。
そこで、ディスク検査システムとして、供給カセットと分類カセットとをターンテーブルに配置したシステムがある。このシステムは、複数のディスク検査機に連続的に未検査のディスクを供給し、検査が終了したディスクを検査結果に応じた分類に対応する分類カセットに収納することができる。
【０００３】
このような場合のターンテーブルと複数のディスク検査機との間に未検査のディスクの受け渡し中継台（以下中継台）と検査が終了したディスクの中継台とをそれぞれ設ける出願人によるディスク検査システムが公知である（特許文献１）。
このディスク検査システムの中継台は、ターンテーブル側に設けられた各カセットからのディスク供給タイミング、各カセットへのディスク収納タイミングに対するディスク検査機側の処理タイミングのずれを吸収することができる。さらに、複数のディスク検査機に対するディスクロード／アンロードする距離を中継台までとすることで短くして検査効率を向上させている。
【特許文献１】特開平４−１２２５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された中継台は、複数のディスク検査機に対して共通に設けられている。しかもハンドリングロボットによるディスクの中継点として前記の中継台は所定の定位置に移動する。さらに各ディスク検査機へのディスクのロードは、検査済みのディスクがアンロードされてディスクが取外された後に行わなければならない関係でアンロードされたディスクを置く中継台と未検査のディスクを置く中継台の２つが必要であって、それらがそれぞれ設けられている。
そのため、このディスク検査システムは、第１の中継台にセットされた検査済みのディスクと第２の中継台にセットされた未検査のディスクとをそれぞれの受渡しタイミングに応じてハンドリングロボットがディスクをハンドリングする中継点（定位置）に移動させる中継台の移動機構が必要である。
その結果、ハンドリングロボットが次のディスクのハンドリングに処理に移るまで中継台にディスクが置かれることになり、中継台でのディスクの滞留時間が長くなる。そこで、検査時間が比較的短い２．５インチ以下の小型のディスクを並列に検査する小型のディスク検査システムでは検査効率が落ちる問題がある。
【０００５】
また、最近ではディスクの品質が向上しているので、トラックの高密度化とともに全トラック検査ではなく、トラックの間引検査が行われる。このような場合には、２．５インチ以上のディスクであっても検査時間が短くなるので、前記のようなディスク検査システムは、中継台にセットされたディスクの滞留時間がディスク検査の効率化を阻害することになる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスク等のワークを並列に検査するワーク検査システムにおいて、ワークの検査効率を向上させることができるワークハンドリング機構を提供することにある。
この発明の他の目的は、ワークを並列に検査する検査システムにおいてワークの検査効率を向上させることができる小型なワーク検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するためのこの発明のワークハンドリング機構あるいはワーク検査システムの構成は、ワーク供給容器から取出された未検査のワークを複数の検査機の１つへと受渡す中継をし、複数の検査機の１つから受けた検査済みのワークをワーク収納容器へと受渡す中継をする中継台を有するワークハンドリング機構において、
第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有し、複数のワーク載置台の１つが第１の中継点に置かれて未検査のワークを受け、他の１つが第２の中継点に置かれて検査済みのワークを受ける前記した中継台と、
第１の中継点にあるワーク載置台を第２の中継点へ移動しかつ第２の中継点にあるワーク載置台を第１の中継点へ移動することで未検査のワークを第２の中継点へと移送するとともに検査済みのワークを第１の中継点へと移送する載置台移動機構と、
検査済みのワークを第１の中継点にあるワーク載置台からワーク収納容器に送った後にワーク供給容器から未検査のワークを取出して第１の中継点にあるワーク載置台に載置する第１のハンドリングロボットと、
第２の中継点にあるワーク載置台から未検査のワークを複数の検査機の１つに送った後に複数の検査機の１つから検査済みのワークを第２の中継点にあるワーク載置台へと搬送して載置する第２のハンドリングロボットとを備えるものである。
【発明の効果】
【０００７】
このようにこの発明は、第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有する中継台を設けて、中継台とワーク供給容器およびワーク収納容器との間でのワークの排出／供給処理を中継台の第１の中継点で行い、中継台と複数のワーク検査機との間でのワークのロード／アンロード処理を中継台の第２の中継点で行うものである。
この発明は、第１の中継点においては、検査済みのワークをワーク載置台からワーク収納容器に搬送してからワーク供給容器からワーク載置台に未検査のワークを受ける。第２の中継点においては、ワーク載置台から複数のワーク検査機の１つに未検査のワークを搬送してから複数のワーク検査機の１つからワーク載置台に検査済みのワークを受取る。
さらに、この発明は、中継台に設けられた複数のワーク載置台は、載置台移動機構の駆動で第１の中継点と第２の中継点とを交互に巡り、第１の中継点にある供給すべきワークを第２の中継点へと移送し、逆に第２の中継点の排出すべきワークを第１の中継点へと同時移送する。
なお、この場合の載置台移動機構を回転機構として、ワーク載置台を回転させることで第１の中継点と第２の中継点との間でワークに同時移送するようにすれば、ワークハンドリング処理の効率がより向上する。
【０００８】
これにより、ワークの供給／排出処理は、検査済みのワークの排出に続いて未検査のワークの供給が第１の中継点のワーク載置台を介して可能となる。ワーク検査機側のロード／アンロードのワークハンドリング処理は、検査済みのワークの排出に続いて未検査のワークの供給が第２の中継点のワーク載置台を介して可能となる。
その結果、この発明は、未検査のワークと検査済みのワークの供給／排出あるいは逆に排出／供給が連続的にでき、次の段階に移送されるまでの中継台でのワークの待ち時間が低減されるので、ワークを並列に検査するワーク検査システムのワーク検査効率を向上させることができる。
特に、ワークがディスクで小型の場合に特にディスク検査システムでの処理効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、この発明によるワーククハンドリング機構を適用した一実施例のディスク検査システムの構成図、図２は、ディスクハンドリング機構の回転中継台における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図、図３Ａの（ａ）〜（ｆ）は、ディスクハンドリング処理における初期設定動作から通常動作に入るまでの回転中継台の平面説明図、そして図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、ディスクハンドリング処理における回転中継台の通常動作の平面説明図である。
１０は、ディスク検査システムであって、１はディスク、２はディスクハンドリング機構、６は検査ステージ、７はデータ処理／制御装置、８は、供給カセットと収納カセットを載置するカセット収納ターンテーブルである。
ディスクハンドリング機構２は、回転中継台３と、検査側のディスクハンドリングロボット４、そしてカセット側のハンドリングロボット５とからなる。検査ステージ６には、ディスク検査機６ａ〜６ｄが設けられている。
【００１０】
この実施例では、カセット収納ターンテーブル８と各ディスク検査機６ａ〜６ｄとの間に、未検査ディスク１あるいは検査済みのディスク１を載置する回転中継台３が設けられている。回転中継台３は、十字アーム３１を有し、十字アーム３１の４つの先端部がそれぞれディスク載置台３４ａ〜３４ｄを構成している。十字アーム３１が回転することにより４個のディスク載置台３４ａ〜３４ｄのうちの対向する載置台が２つの中継点Ｐ１（以下点Ｐ1）と中継点Ｐ2（以下点Ｐ2）の位置にそれぞれ位置決めされる。点Ｐ1と点Ｐ2は、同一円周上に配置されていて、回転中継台３はディスク載置台３４ａ〜３４ｄを同時に回転する。
なお、この実施例では４台のディスク検査機６ａ〜６ｄを設けているが、その台数は複数個あればよく、任意でよい。ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの数も複数個あればよく、ディスク検査機に対応させて４個にする必要はない。ディスク載置台の数に応じてアームの本数を増減させることができる。
【００１１】
回転中継台３は、前記の十字アーム３１と、回転吸着機構３２、十字アーム３１を回転するステッピングモータ３３とからなる。図２に示すように、十字アーム３１の先端側に位置するディスク載置台３４ａ〜３４ｄは、それぞれディスク１を吸着保持する機構を備えている。なお、回転吸着機構３２とステッピングモータ３３とがこの実施例での回転機構を構成している。
図１，図２に示す十字アーム３１は、ステッピングモータ３３により９０°の単位で半時計方向に回転駆動される。点Ｐ1の位置に設定されたディスク載置台（十字アーム３１の先端側）がカセット側の供給／排出の載置台となり、点Ｐ2の位置に設定されたディスク載置台（十字アーム３１の先端側）がディスク検査機側のディスクロード／アンロードの載置台となる。
図２は、回転中継台３における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図である。
図２に示すように、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄは、それぞれディスク１の中心開口部１ａに嵌合する円板状の突起部３４１とその根本にディスク１のチャンファ部を吸着する４個の吸着孔３４２が設けられている。
ディスク載置台３４ａ〜３４ｄのうち対向する２つは、ステッピングモータ３３の駆動により順次点Ｐ1と点Ｐ2の位置にそれぞれが選択的に位置決めされる。
ここで、点Ｐ1の位置と点Ｐ2の位置とは、Ｙ軸に沿った方向にあって、十字アーム３１において対向するアームの先端部と先端部との間の距離分だけずれ、Ｘ軸上では同じ位置になっている。
【００１２】
十字アーム３１の中心部下側に設けられた回転吸着機構３２は、ステータ円板３２１とこの上に回転可能に載置されるロータ円板３２２とからなり、ステッピングモータ３３の回転軸３３ａに装着されている。回転軸３３ａは、ステータ円板３２１の中心孔３２１ａを貫通してその上にあるロータ円板３２２の中心孔３２２ａを貫通して十字アーム３１に至り、十字アーム３１の中心孔３１０に嵌合する。そして、ねじ３２３により十字アーム３１の中心部で上側から固定されている。これによりステッピングモータ３３により回転軸３３ａを介して十字アーム３１とロータ円板３２２が回転駆動される。
なお、回転軸３３ａは、ステータ円板３２１の中心孔３２１ａとは遊嵌し、ロータ円板３２２の中心孔３２２ａと十字アーム３１の中心孔３１０とは密着嵌合あるいはキー溝による結合をしている。そこで、ロータ円板３２２と十字アーム３１とが回転軸３３ａが回転する方向に対して回転軸３３ａと一体的に回転する。
【００１３】
これに対してステータ円板３２１は、ステッピングモータ３３の筐体側に固定されていて、回転軸３３ａが回転しても回転することはない。ステータ円板３２１の表面には中心孔３２１ａを通る直線上に沿う開放溝３２４とこれの両側に形成された半円形の吸着溝３２５，３２６とが設けられている。開放溝３２４は、大気に接してこれに連通する直線状に伸びるＶ溝である。この溝は、中継点である点Ｐ1と点Ｐ2とを結ぶ線上に位置して設けられている。このＶ溝がディスクの吸着を解除する。これに対して吸着溝３２５，３２６は、これら溝の底面にそれぞれ吸着孔が複数個穿孔されている。これらの吸着孔は、導管（図示せず）を介して真空ポンプ（図示せず）等に接続されてエアー吸引されて、常時この吸着溝３２５，３２６が負圧にされている。
十字アーム３１には、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの吸着孔３４２にそれぞれ連通する４個の導通孔３１ａ〜３１ｄが設けられている。導通孔３１ａ〜３１ｄは、各アームの内部において中心側から十字アーム３１の先端側に向かうようにそれぞれ形成されている。
【００１４】
ロータ円板３２２は、吸着孔３２ａ〜３２ｄが十字アーム３１の各アームの位置に対応して設けられている。吸着孔３２ａ〜３２ｄの各先端口は、導通孔３１ａ〜３１ｄの中心側の孔にそれぞれに嵌合する。このことで吸着孔３２ａ〜３２ｄは、導通孔３１ａ〜３１にそれぞれ連通する。これによりロータ円板３２２の導通孔３２ａ〜３２ｄのそれぞれは、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの吸着孔３４２に連通する。
ロータ円板３２２と十字アーム３１とは、ステッピングモータ３３により角度９０°単位でステップ送りされて回転する。ステッピングモータ３３による９０°ごとの回転によりロータ円板３２２の吸着孔３２ａ〜３２ｄに連通するもののうち対向する２つは、開放溝３２４に位置決めされる。対向する残りの２つは、半円形の吸着溝３２５，３２６に位置決めされる。開放溝３２４に位置決めされた吸着孔３２ａ〜３２ｄのうちの２つがそれぞれ連通する吸着孔３４２は大気圧となり、吸着溝３２５，３２６に位置決めされた残りの２つがそれぞれ連通する吸着孔３４２は負圧吸着する状態になる。
【００１５】
そこで、ディスク載置台３４ａ〜３４ｄに載置された各ディスク１は、開放溝３２４に位置決めされた吸着孔３２ａ〜３２ｄのうちの２つに対応するディスク載置台の吸着孔３４２が大気圧となって、そのディスク載置台に載置されたディスク１の吸着が解除される。残りの２つに対応するディスク載置台の吸着孔３４２が負圧吸着となって、そのディスク載置台に載置されたディスク１が吸着状態にされる。しかも、吸着溝３２５，３２６は半円形であることから、ロータ円板３２２が回転を開始した直後から回転中の間は、残りの２つに連通する吸着孔３４２を持つディスク載置台に載置されたディスク１は、それぞれに吸着状態が維持されて回転移送される。
【００１６】
図１に戻り、各ディスク検査機６ａ〜６ｄは、それぞれスピンドル６１ｂ〜６１ｄとヘッドキャリッジ（図示せず）等とからなり、データ処理／制御装置７により制御されて各スピンドル６１ｂ〜６１ｄに装着されたディスク１が検査される。
カセット収納ターンテーブル８は、複数のエリアに区分され、これらのうち所定のエリアにそれぞれ対応して未検査ディスクが満杯にされた供給カセットＡ〜Ｄと検査済みディスクを収納する分類カセットＥ〜Ｈとがそれぞれ載置されている。そして、検査済みディスクが満杯となった分類カセットＥ〜Ｈの１つが排出されたときにはそこの位置に空の新しい分類カセットが載置される。逆に、供給カセットＡ〜Ｄの１つが空になったときにはそこの位置には未検査ディスクが満杯にされた供給カセットがセットされる。
ディスク検査機６ａ〜６ｄのディスクのロード／アンロードは、ディスクハンドリングロボット４により行われる。各カセットからのディスク１の取出と収納は、カセット側のハンドリングロボット５により行われる。
【００１７】
ディスクハンドリングロボット４は、Ｘ軸移動機構４１と、Ｙ軸方向位置補正機構を有するＸ軸移動機構４１の移動台４１ａ、この移動台４１ａに設けられたＺ軸移動機構４２、そしてＺ軸移動機構４２の移動台４２ａに取付けられた、ディスクの外周をチャックする外周チャック機構４３とからなる。ディスクハンドリングロボット４は、点Ｐ2の中継位置に設定されたディスク載置台（ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの１つ）とディスク検査機との間で外周チャック機構４３をＸ軸に沿って移動させかつＺ軸に沿って上下移動させてディスク１をハンドリングする。このとき、ディスクハンドリングロボット４は、点Ｐ2の中継位置に設定されたディスク載置台と各ディスク検査機６ａ〜６ｄとの間で外周チャック機構４３を往復移動させる。
【００１８】
すなわち、外周チャック機構４３がディスク検査機にあるときには各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうち１つでディスク検査が終了すると、外周チャック機構４３がディスク検査が終了したディスク検査機のディスク１の外周をチャックしてディスク１を受けて点Ｐ2に位置付けられたディスク載置台へと移動し、点Ｐ2の中継位置のディスク載置台に検査済みのディスクを移送して載置する。そして、データ処理／制御装置７の制御により十字アーム３１が９０°回転して次のディスク載置台が点Ｐ2に位置付けられると、このディスク載置台から未検査のディスク１を受けてこれをディスク検査機側へと移送して検査が終了してディスク１が取外されたディスク検査機にロード（装着）する。
これにより外周チャック機構４３はディスク検査機側に戻る。その結果、ディスク検査機６ａ〜６ｄの１つでディスクの検査が終了して検査済みのディスクが回転中継台３に排出された後にはそのディスク検査機に未検査のディスクが即座に供給されることになる。
【００１９】
カセット側のハンドリングロボット５は、Ｘ軸移動機構５１と、Ｘ軸移動機構５１、Ｙ軸方向位置補正機構を有するＸ軸移動機構５１の移動台５１ａ、この移動台５１ａに設けられたＺ軸移動機構５２、そしてＺ軸移動機構５２の移動台５２ａに取付けられた外周チャック機構５３、そして、移動台５２ａを半時計方向に９０°回転させることによって外周チャック機構５３を垂直方向に吊下げられる回転機構５４とからなる。
カセット側のハンドリングロボット５は、点Ｐ1の中継位置のディスク載置台とカセット収納ターンテーブル８の収納カセットと給カセットとの間で外周チャック機構５３をＸ軸に沿って往復移動させかつＺ軸に沿って上下移動させる。カセット側のハンドリングロボット５は、点Ｐ1の中継位置のディスク載置台からディスク１を受けて目的とする分類カセットに収納した後に供給カセットから未検査のディスク１を受けて点Ｐ1の中継位置のディスク載置台に載置する。
なお、Ｘ軸移動機構４１の外周チャック機構４３とＸ軸移動機構５１の外周チャック機構５３とは、図１に示すように、回転中継台３の十字アーム３１を挟んで前後に配置されている。外周チャック機構５３は、ディスクの外周をチャックして回転中継台３と供給カセットあるいは分類カセットとの間を往復移動する。また、供給カセットあるいは分類カセットとの間でディスク１の授受を行うときにはチャックしたディスク１を垂下させる。垂下させるるのは、供給カセットおよび分類カセットは、それぞれにディスク１を縦に所定間隔で配列収納するからである。
【００２０】
次にハンドリングロボット４，５の未検査のディスク１についての供給カセットＡ〜Ｄとディスク検査機６ａ〜６ｄとの間での受渡し、そして検査済みのディスク１についてのディスク検査機６ａ〜６ｄと分類カセット（収納カセット）Ｅ〜Ｈとの間での受渡しについてのハンドリング処理を図３Ａ，図３Ｂを参照して説明する。
図３Ａの（ａ）〜（ｆ）は、初期設定動作であり、４個のディスク検査機６ａ〜６ｄのそれぞれに未検査のディスク１をローディングする処理である。なお、図３Ａの（ａ）〜（ｆ）と図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、十字アーム３１を上からみた平面図である。
この初期設定の処理から説明すると、図１において、ディスク載置台３４ａが点Ｐ1の中継位置に配置されてこれに載置されたディスク１が回転中継台３においてカセット側のディスクの排出／供給のハンドリング処理対象であると仮定する。
まず、図３Ａ（ａ）に示すように、ディスク載置台３４ａに未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されて載置される。
次に、データ処理／制御装置７により十字アーム３１が９０°半時計方向に回転駆動される。その結果、ディスク載置台３４ｂが点Ｐ1の中継位置に配置されてディスク載置台３４ａが回転と同時に吸着保持された状態で十字アーム３１において左側に位置する。次に未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されてディスク載置台３４ｂに載置される（図３Ａ（ｂ））。
【００２１】
次に、データ処理／制御装置７によりまた十字アーム３１が９０°半時計方向に回転駆動される。その結果、ディスク載置台３４ｃが点Ｐ1の中継位置に配置されてディスク載置台３４ｂが回転と同時に吸着保持された状態で十字アーム３１において左側に位置する。このときにはディスク載置台３４ａがディスク１を吸着した状態で回転して点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側の位置）となり、ここでこのディスク１の吸着が解除される。
次に、未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されてディスク載置台３４ｃに載置される（図３Ａ（ｃ）参照）。このとき同時に、図３Ａ（ｄ）に示すように、ディスク載置台３４ａの未検査のディスク１が外周チャック機構４３により吸着されて各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちディスクが装着されていないディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により未検査のディスク１が搬送されてそのスピンドルに装着される。
【００２２】
このようにして、データ処理／制御装置７による９０°ごとの半時計方向への十字アーム３１の回転の繰り返しに応じて各ディスク検査機６ａ〜６ｄのすべてに未検査のディスク１が装着されると、図３Ａ（ｄ）の状態でディスクの検査終了待ちとなる。ただし、このとき点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）に配置されるのはディスク載置台３４ａではなく、４枚目のディスクがディスク検査機に送られるのでディスク載置台３４ｄとなる（図３Ａ（ｅ）参照）。
なお、このときには、点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）のディスク載置台３４ｄには図３Ａ（ｅ）とは異なり、ディスクは載置されていない。
以上が４個のディスク検査機６ａ〜６ｄのそれぞれに未検査のディスク１をローディングする初期設定の処理である。
【００２３】
各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了すると、検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。このディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されてディスク検査機からアンロードされた後に、点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ｄに載置される（図３Ａ（ｅ）参照）。
なお、斜線で示すディスク１は検査済みのディスクである。以下同じである。
これ以降の十字アーム３１の９０°の回転は、Ｐ1点（十字アーム３１において上側）の位置のディスク載置台に未検査のディスク１が載置されかつ点Ｐ2の位置（十字アーム３１において下側）のディスク載置台に検査済みディスク１が載置された論理積条件が整ったときにデータ処理／制御装置７により行われる。
そこで、点Ｐ2の中継位置のディスク載置台への検査済みディスク１の載置は、ディスク検査機６ａ〜６ｄの１つの検査済みまで待つことになる。この待ち時間は、通常、Ｐ1点の位置にある検査済みのディスク（図３Ａ（ｉ）参照）が排出されてから未検査のディスク１がＰ1点の位置に供給され、そこのディスク載置台に載置される（図３Ａ（ｋ）参照）までの時間よりも長い。そこで、通常の処理では、点Ｐ2の中継位置にあるディスク載置台へ検査済みディスク１が載置された後のタイミングでデータ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動することになる。
【００２４】
これが定常状態での回転中継台３の９０°回転動作となる。そこで、以下では、この条件での回転中継台３のディスクのハンドリング処理について説明する。
図３Ａ（ｅ）に示すように、ディスク載置台３４ｄに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動して図３Ａ（ｆ）に示す状態にする。ディスク載置台３４ｄに載置された検査済みディスク１は十字アーム３１において右側に配置され、未検査のディスク１を載置するディスク載置台３４aが点Ｐ2の中継位置へとくる。また、ディスク載置台３４ｃは、点Ｐ1の中継位置に配置される。
図３Ａ（ｆ）に示す点Ｐ2の中継位置のディスク載置台３４aにある未検査のディスク１は、検査が終了してディスク１が取外されたディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により搬送される。この未検査のディスク１がディスクが取外されたディスク検査機にロード（装着）された後にハンドリングロボット４は、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちの１つの検査終了待ちに入る。
このとき同時に、未検査のディスクがハンドリングロボット５により供給カセットから点Ｐ1の中継位置に搬送されてディスク載置台３４ｃに載置される（図３Ｂ（ｇ））。
やがて、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了する。このとき、ディスクハンドリングロボット４により検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。そのディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されて点Ｐ2の中継位置へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ａに載置される（図３Ｂ（ｈ）参照）。
【００２５】
ディスク載置台３４ａに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７は、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動する。そこで、十字アーム３１は図３Ｂ（ｉ）に示す状態になって、ディスク載置台３４ｂに載置された未検査のディスク１は、十字アーム３１において下側の点Ｐ2の中継位置となり、ディスク載置台３４ａに載置された検査済みディスク１は、十字アーム３１において右側に配置される。そして、ディスク載置台３４ａに載置された検査済みディスク１は点Ｐ1の中継位置に配置される。
次に、ディスク載置台３４ｂに載置された未検査のディスク１は、検査済みのディスク１が取外されたディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により搬送され、これにロードされる。このとき同時に、点Ｐ1の中継位置にあるディスク載置台３４ｄに載置された検査済みディスク１は、外周チャック機構５３に保持されてハンドリングロボット５により分類カセットへと搬送される（図３Ｂ（ｊ）参照）。
【００２６】
一方、ディスクハンドリングロボット４は、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちの１つの検査終了待ちとなる。この検査待ちのときに未検査のディスクがハンドリングロボット５により点Ｐ1の中継位置に搬送されてディスク載置台３４ｄに載置される（図３Ｂ（ｋ））。
やがて、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了すると、検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。そのディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されて点Ｐ2の中継位置へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ｂに載置される（図３Ｂ（ｌ）参照）。
そして、ディスク載置台３４ｂに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７は、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動する。そこで、十字アーム３１は先の図３Ｂ（ｉ）に示す状態になる。
ただし、このときには、点Ｐ2の位置にはディスク載置台３４ｃが位置し、Ｐ1の位置にはディスク載置台３４a が位置する。先の図３Ｂ（ｉ）に示す状態より十字アーム３１が半時計方向に９０°回転した状態になっている。
【００２７】
以降は、下側の点Ｐ2に位置するディスク載置台に検査済みディスク１の載置された後のタイミングでデータ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動することで各ディスク載置台３４ａ〜ディスク載置台３４ｄについて順次図３Ｂ（ｉ）〜図３Ｂ（ｌ）の状態が繰り返される。その結果として、未検査ディスクの供給と検査済みディスクの排出、そして検査機に対するロード／アンロードとが連続的に行われていく。
なお、分類カセットの選択は、データ処理／制御装置７によるディスク載置台に載置された検査済みディスク１の検査結果に応じてなされる。
なお、点Ｐ1における、検査済みディスク１のカセット側への排出とカセット側から供給とが、点Ｐ2における検査済みディスク１の載置より遅れたときには、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動は、遅れた点Ｐ1におけるカセット側からの未検査のディスクの供給後に行われる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
以上説明してきたが、実施例のディスク載置台は、４個に限定されるものではなく、２個か、それ以上であればよい。
また、実施例では、検査済みのディスクを収納する収納カセットとして検査結果に応じて分類分けするために複数個分類カセットがターンテーブルに設けられている。しかし、この発明は、設けられる収納カセットは１個であってもよい。収納カセットが１個であっても、１個の収納カセットのディスク収納位置に応じて検査結果を割り当てるデータ管理がデータ処理装置において可能であるからである。
なお、この発明は、収納カセットとして合格となった検査済みのディスクを収納する合格ディスクの収納カセットと不合格となった不合格ディスクの収納カセットの２種類を設けてもよい。
さらに、実施例では、ワーククハンドリング機構を適用した実施例としてディスク検査システムの例を挙げているが、この発明は、磁気ヘッドをワークとする磁気ヘッド検査システムやその他の電子部品（ワーク）のハンドリングに対して適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、この発明によるワーククハンドリング機構を適用した一実施例のディスク検査システムの構成図である。
【図２】図２は、ディスクハンドリング機構の回転中継台における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図である。
【図３Ａ】図３Ａの（ａ）〜（ｄ）は、ディスクハンドリング処理における初期設定動作から通常動作に入るまでの回転中継台の平面説明図である。
【図３Ｂ】図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、ディスクハンドリング処理における回転中継台の通常動作の平面説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１…ディスク、２…ディスクハンドリング機構、
３…回転中継台、
４…ディスクハンドリングロボット、
５…カセット側ハンドリングロボット
６…検査ステージ、６ａ〜６ｄ…ディスク検査機、
７…データ処理／制御装置、
８…カセット収納ターンテーブル、
１０…ディスク検査システム、３１…十字アーム、
３２…回転吸着機構、３３…ステッピングモータ、
３４ａ〜３４ｄ…ディスク載置台、
４１，５１…Ｘ軸移動機構、４１ａ，５１ａ…移動台、
４２，５２…Ｚ軸移動機構、４３，５３…外周チャック機構、
５１…第２のＸ軸移動機構、５２…カセットハンドリングロボット、
３２１…ステータ円板、３２２…ロータ円板、
３２４…開放溝、３２５，３２６…吸着溝。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワークハンドリング機構およびワーク検査装置に関し、詳しくはハンドリングロボットにより、供給側のディスクカセット（以下、供給カセット）から未検査の磁気ディスク（以下、ディスク）を取出してそれを磁気ディスク検査機（以下ディスク検査機）にローディングし、検査済みのディスクをディスク検査機からアンローディングして検査結果に応じてディスクを分類して収納する分類ディスクカセット（以下、分類カセット）に収納するディスク検査システムにおいて、検査時間が比較的短い小型のディスクを複数の検査機で並列に検査する場合に検査効率を向上させることができるようなディスクハンドリング機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスクの検査においては、供給カセットに収納された未検査のディスクが１枚づつ取出されてディスク検査機にロードされ、検査が終了すると検査済みのディスクがディスク検査機からアンロードされて検査結果に応じたクラスに分類された分類カセットの１つに収納される。
検査効率を向上させるためにディスク検査システムは、複数のディスク検査機を使用して並列にディスク検査をすることで検査するディスクの枚数を増加させることができる。しかし、そのようにすると、それに伴って供給側と収納側においてそれぞれカセットの個数が多くなる。各カセットの交換と各ディスク検査機に対するディスクの受渡しを効率的に行うハンドリングシステムも必要になる。
そこで、ディスク検査システムとして、供給カセットと分類カセットとをターンテーブルに配置したシステムがある。このシステムは、複数のディスク検査機に連続的に未検査のディスクを供給し、検査が終了したディスクを検査結果に応じた分類に対応する分類カセットに収納することができる。
【０００３】
このような場合のターンテーブルと複数のディスク検査機との間に未検査のディスクの受け渡し中継台（以下中継台）と検査が終了したディスクの中継台とをそれぞれ設ける出願人によるディスク検査システムが公知である（特許文献１）。
このディスク検査システムの中継台は、ターンテーブル側に設けられた各カセットからのディスク供給タイミング、各カセットへのディスク収納タイミングに対するディスク検査機側の処理タイミングのずれを吸収することができる。さらに、複数のディスク検査機に対するディスクロード／アンロードする距離を中継台までとすることで短くして検査効率を向上させている。
【特許文献１】特開平４−１２２５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された中継台は、複数のディスク検査機に対して共通に設けられている。しかもハンドリングロボットによるディスクの中継点として前記の中継台は所定の定位置に移動する。さらに各ディスク検査機へのディスクのロードは、検査済みのディスクがアンロードされてディスクが取外された後に行わなければならない関係でアンロードされたディスクを置く中継台と未検査のディスクを置く中継台の２つが必要であって、それらがそれぞれ設けられている。
そのため、このディスク検査システムは、第１の中継台にセットされた検査済みのディスクと第２の中継台にセットされた未検査のディスクとをそれぞれの受渡しタイミングに応じてハンドリングロボットがディスクをハンドリングする中継点（定位置）に移動させる中継台の移動機構が必要である。
その結果、ハンドリングロボットが次のディスクのハンドリングに処理に移るまで中継台にディスクが置かれることになり、中継台でのディスクの滞留時間が長くなる。そこで、検査時間が比較的短い２．５インチ以下の小型のディスクを並列に検査する小型のディスク検査システムでは検査効率が落ちる問題がある。
【０００５】
また、最近ではディスクの品質が向上しているので、トラックの高密度化とともに全トラック検査ではなく、トラックの間引検査が行われる。このような場合には、２．５インチ以上のディスクであっても検査時間が短くなるので、前記のようなディスク検査システムは、中継台にセットされたディスクの滞留時間がディスク検査の効率化を阻害することになる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスク等のワークを並列に検査するワーク検査システムにおいて、ワークの検査効率を向上させることができるワークハンドリング機構を提供することにある。
この発明の他の目的は、ワークを並列に検査する検査システムにおいてワークの検査効率を向上させることができる小型なワーク検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するためのこの発明のワークハンドリング機構あるいはワーク検査システムの構成は、ワーク供給容器から取出された未検査のワークを複数の検査機の１つへと受渡す中継をし、複数の検査機の１つから受けた検査済みのワークをワーク収納容器へと受渡す中継をする中継台を有するワークハンドリング機構において、
第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有し、複数のワーク載置台の１つが第１の中継点に置かれて未検査のワークを受け、他の１つが第２の中継点に置かれて検査済みのワークを受ける前記した中継台と、
第１の中継点にあるワーク載置台を第２の中継点へ移動しかつ第２の中継点にあるワーク載置台を第１の中継点へ移動することで未検査のワークを第２の中継点へと移送するとともに検査済みのワークを第１の中継点へと移送する載置台移動機構と、
検査済みのワークを第１の中継点にあるワーク載置台からワーク収納容器に送った後にワーク供給容器から未検査のワークを取出して第１の中継点にあるワーク載置台に載置する第１のハンドリングロボットと、
第２の中継点にあるワーク載置台から未検査のワークを複数の検査機の１つに送った後に複数の検査機の１つから検査済みのワークを第２の中継点にあるワーク載置台へと搬送して載置する第２のハンドリングロボットとを備えるものである。
【発明の効果】
【０００７】
このようにこの発明は、第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有する中継台を設けて、中継台とワーク供給容器およびワーク収納容器との間でのワークの排出／供給処理を中継台の第１の中継点で行い、中継台と複数のワーク検査機との間でのワークのロード／アンロード処理を中継台の第２の中継点で行うものである。
この発明は、第１の中継点においては、検査済みのワークをワーク載置台からワーク収納容器に搬送してからワーク供給容器からワーク載置台に未検査のワークを受ける。第２の中継点においては、ワーク載置台から複数のワーク検査機の１つに未検査のワークを搬送してから複数のワーク検査機の１つからワーク載置台に検査済みのワークを受取る。
さらに、この発明は、中継台に設けられた複数のワーク載置台は、載置台移動機構の駆動で第１の中継点と第２の中継点とを交互に巡り、第１の中継点にある供給すべきワークを第２の中継点へと移送し、逆に第２の中継点の排出すべきワークを第１の中継点へと同時移送する。
なお、この場合の載置台移動機構を回転機構として、ワーク載置台を回転させることで第１の中継点と第２の中継点との間でワークに同時移送するようにすれば、ワークハンドリング処理の効率がより向上する。
【０００８】
これにより、ワークの供給／排出処理は、検査済みのワークの排出に続いて未検査のワークの供給が第１の中継点のワーク載置台を介して可能となる。ワーク検査機側のロード／アンロードのワークハンドリング処理は、検査済みのワークの排出に続いて未検査のワークの供給が第２の中継点のワーク載置台を介して可能となる。
その結果、この発明は、未検査のワークと検査済みのワークの供給／排出あるいは逆に排出／供給が連続的にでき、次の段階に移送されるまでの中継台でのワークの待ち時間が低減されるので、ワークを並列に検査するワーク検査システムのワーク検査効率を向上させることができる。
特に、ワークがディスクで小型の場合に特にディスク検査システムでの処理効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、この発明によるワーククハンドリング機構を適用した一実施例のディスク検査システムの構成図、図２は、ディスクハンドリング機構の回転中継台における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図、図３Ａの（ａ）〜（ｆ）は、ディスクハンドリング処理における初期設定動作から通常動作に入るまでの回転中継台の平面説明図、そして図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、ディスクハンドリング処理における回転中継台の通常動作の平面説明図である。
１０は、ディスク検査システムであって、１はディスク、２はディスクハンドリング機構、６は検査ステージ、７はデータ処理／制御装置、８は、供給カセットと収納カセットを載置するカセット収納ターンテーブルである。
ディスクハンドリング機構２は、回転中継台３と、検査側のディスクハンドリングロボット４、そしてカセット側のハンドリングロボット５とからなる。検査ステージ６には、ディスク検査機６ａ〜６ｄが設けられている。
【００１０】
この実施例では、カセット収納ターンテーブル８と各ディスク検査機６ａ〜６ｄとの間に、未検査ディスク１あるいは検査済みのディスク１を載置する回転中継台３が設けられている。回転中継台３は、十字アーム３１を有し、十字アーム３１の４つの先端部がそれぞれディスク載置台３４ａ〜３４ｄを構成している。十字アーム３１が回転することにより４個のディスク載置台３４ａ〜３４ｄのうちの対向する載置台が２つの中継点Ｐ１（以下点Ｐ1）と中継点Ｐ2（以下点Ｐ2）の位置にそれぞれ位置決めされる。点Ｐ1と点Ｐ2は、同一円周上に配置されていて、回転中継台３はディスク載置台３４ａ〜３４ｄを同時に回転する。
なお、この実施例では４台のディスク検査機６ａ〜６ｄを設けているが、その台数は複数個あればよく、任意でよい。ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの数も複数個あればよく、ディスク検査機に対応させて４個にする必要はない。ディスク載置台の数に応じてアームの本数を増減させることができる。
【００１１】
回転中継台３は、前記の十字アーム３１と、回転吸着機構３２、十字アーム３１を回転するステッピングモータ３３とからなる。図２に示すように、十字アーム３１の先端側に位置するディスク載置台３４ａ〜３４ｄは、それぞれディスク１を吸着保持する機構を備えている。なお、回転吸着機構３２とステッピングモータ３３とがこの実施例での回転機構を構成している。
図１，図２に示す十字アーム３１は、ステッピングモータ３３により９０°の単位で半時計方向に回転駆動される。点Ｐ1の位置に設定されたディスク載置台（十字アーム３１の先端側）がカセット側の供給／排出の載置台となり、点Ｐ2の位置に設定されたディスク載置台（十字アーム３１の先端側）がディスク検査機側のディスクロード／アンロードの載置台となる。
図２は、回転中継台３における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図である。
図２に示すように、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄは、それぞれディスク１の中心開口部１ａに嵌合する円板状の突起部３４１とその根本にディスク１のチャンファ部を吸着する４個の吸着孔３４２が設けられている。
ディスク載置台３４ａ〜３４ｄのうち対向する２つは、ステッピングモータ３３の駆動により順次点Ｐ1と点Ｐ2の位置にそれぞれが選択的に位置決めされる。
ここで、点Ｐ1の位置と点Ｐ2の位置とは、Ｙ軸に沿った方向にあって、十字アーム３１において対向するアームの先端部と先端部との間の距離分だけずれ、Ｘ軸上では同じ位置になっている。
【００１２】
十字アーム３１の中心部下側に設けられた回転吸着機構３２は、ステータ円板３２１とこの上に回転可能に載置されるロータ円板３２２とからなり、ステッピングモータ３３の回転軸３３ａに装着されている。回転軸３３ａは、ステータ円板３２１の中心孔３２１ａを貫通してその上にあるロータ円板３２２の中心孔３２２ａを貫通して十字アーム３１に至り、十字アーム３１の中心孔３１０に嵌合する。そして、ねじ３２３により十字アーム３１の中心部で上側から固定されている。これによりステッピングモータ３３により回転軸３３ａを介して十字アーム３１とロータ円板３２２が回転駆動される。
なお、回転軸３３ａは、ステータ円板３２１の中心孔３２１ａとは遊嵌し、ロータ円板３２２の中心孔３２２ａと十字アーム３１の中心孔３１０とは密着嵌合あるいはキー溝による結合をしている。そこで、ロータ円板３２２と十字アーム３１とが回転軸３３ａが回転する方向に対して回転軸３３ａと一体的に回転する。
【００１３】
これに対してステータ円板３２１は、ステッピングモータ３３の筐体側に固定されていて、回転軸３３ａが回転しても回転することはない。ステータ円板３２１の表面には中心孔３２１ａを通る直線上に沿う開放溝３２４とこれの両側に形成された半円形の吸着溝３２５，３２６とが設けられている。開放溝３２４は、大気に接してこれに連通する直線状に伸びるＶ溝である。この溝は、中継点である点Ｐ1と点Ｐ2とを結ぶ線上に位置して設けられている。このＶ溝がディスクの吸着を解除する。これに対して吸着溝３２５，３２６は、これら溝の底面にそれぞれ吸着孔が複数個穿孔されている。これらの吸着孔は、導管（図示せず）を介して真空ポンプ（図示せず）等に接続されてエアー吸引されて、常時この吸着溝３２５，３２６が負圧にされている。
十字アーム３１には、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの吸着孔３４２にそれぞれ連通する４個の導通孔３１ａ〜３１ｄが設けられている。導通孔３１ａ〜３１ｄは、各アームの内部において中心側から十字アーム３１の先端側に向かうようにそれぞれ形成されている。
【００１４】
ロータ円板３２２は、吸着孔３２ａ〜３２ｄが十字アーム３１の各アームの位置に対応して設けられている。吸着孔３２ａ〜３２ｄの各先端口は、導通孔３１ａ〜３１ｄの中心側の孔にそれぞれに嵌合する。このことで吸着孔３２ａ〜３２ｄは、導通孔３１ａ〜３１にそれぞれ連通する。これによりロータ円板３２２の導通孔３２ａ〜３２ｄのそれぞれは、各ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの吸着孔３４２に連通する。
ロータ円板３２２と十字アーム３１とは、ステッピングモータ３３により角度９０°単位でステップ送りされて回転する。ステッピングモータ３３による９０°ごとの回転によりロータ円板３２２の吸着孔３２ａ〜３２ｄに連通するもののうち対向する２つは、開放溝３２４に位置決めされる。対向する残りの２つは、半円形の吸着溝３２５，３２６に位置決めされる。開放溝３２４に位置決めされた吸着孔３２ａ〜３２ｄのうちの２つがそれぞれ連通する吸着孔３４２は大気圧となり、吸着溝３２５，３２６に位置決めされた残りの２つがそれぞれ連通する吸着孔３４２は負圧吸着する状態になる。
【００１５】
そこで、ディスク載置台３４ａ〜３４ｄに載置された各ディスク１は、開放溝３２４に位置決めされた吸着孔３２ａ〜３２ｄのうちの２つに対応するディスク載置台の吸着孔３４２が大気圧となって、そのディスク載置台に載置されたディスク１の吸着が解除される。残りの２つに対応するディスク載置台の吸着孔３４２が負圧吸着となって、そのディスク載置台に載置されたディスク１が吸着状態にされる。しかも、吸着溝３２５，３２６は半円形であることから、ロータ円板３２２が回転を開始した直後から回転中の間は、残りの２つに連通する吸着孔３４２を持つディスク載置台に載置されたディスク１は、それぞれに吸着状態が維持されて回転移送される。
【００１６】
図１に戻り、各ディスク検査機６ａ〜６ｄは、それぞれスピンドル６１ｂ〜６１ｄとヘッドキャリッジ（図示せず）等とからなり、データ処理／制御装置７により制御されて各スピンドル６１ｂ〜６１ｄに装着されたディスク１が検査される。
カセット収納ターンテーブル８は、複数のエリアに区分され、これらのうち所定のエリアにそれぞれ対応して未検査ディスクが満杯にされた供給カセットＡ〜Ｄと検査済みディスクを収納する分類カセットＥ〜Ｈとがそれぞれ載置されている。そして、検査済みディスクが満杯となった分類カセットＥ〜Ｈの１つが排出されたときにはそこの位置に空の新しい分類カセットが載置される。逆に、供給カセットＡ〜Ｄの１つが空になったときにはそこの位置には未検査ディスクが満杯にされた供給カセットがセットされる。
ディスク検査機６ａ〜６ｄのディスクのロード／アンロードは、ディスクハンドリングロボット４により行われる。各カセットからのディスク１の取出と収納は、カセット側のハンドリングロボット５により行われる。
【００１７】
ディスクハンドリングロボット４は、Ｘ軸移動機構４１と、Ｙ軸方向位置補正機構を有するＸ軸移動機構４１の移動台４１ａ、この移動台４１ａに設けられたＺ軸移動機構４２、そしてＺ軸移動機構４２の移動台４２ａに取付けられた、ディスクの外周をチャックする外周チャック機構４３とからなる。ディスクハンドリングロボット４は、点Ｐ2の中継位置に設定されたディスク載置台（ディスク載置台３４ａ〜３４ｄの１つ）とディスク検査機との間で外周チャック機構４３をＸ軸に沿って移動させかつＺ軸に沿って上下移動させてディスク１をハンドリングする。このとき、ディスクハンドリングロボット４は、点Ｐ2の中継位置に設定されたディスク載置台と各ディスク検査機６ａ〜６ｄとの間で外周チャック機構４３を往復移動させる。
【００１８】
すなわち、外周チャック機構４３がディスク検査機にあるときには各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうち１つでディスク検査が終了すると、外周チャック機構４３がディスク検査が終了したディスク検査機のディスク１の外周をチャックしてディスク１を受けて点Ｐ2に位置付けられたディスク載置台へと移動し、点Ｐ2の中継位置のディスク載置台に検査済みのディスクを移送して載置する。そして、データ処理／制御装置７の制御により十字アーム３１が９０°回転して次のディスク載置台が点Ｐ2に位置付けられると、このディスク載置台から未検査のディスク１を受けてこれをディスク検査機側へと移送して検査が終了してディスク１が取外されたディスク検査機にロード（装着）する。
これにより外周チャック機構４３はディスク検査機側に戻る。その結果、ディスク検査機６ａ〜６ｄの１つでディスクの検査が終了して検査済みのディスクが回転中継台３に排出された後にはそのディスク検査機に未検査のディスクが即座に供給されることになる。
【００１９】
カセット側のハンドリングロボット５は、Ｘ軸移動機構５１と、Ｘ軸移動機構５１、Ｙ軸方向位置補正機構を有するＸ軸移動機構５１の移動台５１ａ、この移動台５１ａに設けられたＺ軸移動機構５２、そしてＺ軸移動機構５２の移動台５２ａに取付けられた外周チャック機構５３、そして、移動台５２ａを半時計方向に９０°回転させることによって外周チャック機構５３を垂直方向に吊下げられる回転機構５４とからなる。
カセット側のハンドリングロボット５は、点Ｐ1の中継位置のディスク載置台とカセット収納ターンテーブル８の収納カセットと給カセットとの間で外周チャック機構５３をＸ軸に沿って往復移動させかつＺ軸に沿って上下移動させる。カセット側のハンドリングロボット５は、点Ｐ1の中継位置のディスク載置台からディスク１を受けて目的とする分類カセットに収納した後に供給カセットから未検査のディスク１を受けて点Ｐ1の中継位置のディスク載置台に載置する。
なお、Ｘ軸移動機構４１の外周チャック機構４３とＸ軸移動機構５１の外周チャック機構５３とは、図１に示すように、回転中継台３の十字アーム３１を挟んで前後に配置されている。外周チャック機構５３は、ディスクの外周をチャックして回転中継台３と供給カセットあるいは分類カセットとの間を往復移動する。また、供給カセットあるいは分類カセットとの間でディスク１の授受を行うときにはチャックしたディスク１を垂下させる。垂下させるるのは、供給カセットおよび分類カセットは、それぞれにディスク１を縦に所定間隔で配列収納するからである。
【００２０】
次にハンドリングロボット４，５の未検査のディスク１についての供給カセットＡ〜Ｄとディスク検査機６ａ〜６ｄとの間での受渡し、そして検査済みのディスク１についてのディスク検査機６ａ〜６ｄと分類カセット（収納カセット）Ｅ〜Ｈとの間での受渡しについてのハンドリング処理を図３Ａ，図３Ｂを参照して説明する。
図３Ａの（ａ）〜（ｆ）は、初期設定動作であり、４個のディスク検査機６ａ〜６ｄのそれぞれに未検査のディスク１をローディングする処理である。なお、図３Ａの（ａ）〜（ｆ）と図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、十字アーム３１を上からみた平面図である。
この初期設定の処理から説明すると、図１において、ディスク載置台３４ａが点Ｐ1の中継位置に配置されてこれに載置されたディスク１が回転中継台３においてカセット側のディスクの排出／供給のハンドリング処理対象であると仮定する。
まず、図３Ａ（ａ）に示すように、ディスク載置台３４ａに未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されて載置される。
次に、データ処理／制御装置７により十字アーム３１が９０°半時計方向に回転駆動される。その結果、ディスク載置台３４ｂが点Ｐ1の中継位置に配置されてディスク載置台３４ａが回転と同時に吸着保持された状態で十字アーム３１において左側に位置する。次に未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されてディスク載置台３４ｂに載置される（図３Ａ（ｂ））。
【００２１】
次に、データ処理／制御装置７によりまた十字アーム３１が９０°半時計方向に回転駆動される。その結果、ディスク載置台３４ｃが点Ｐ1の中継位置に配置されてディスク載置台３４ｂが回転と同時に吸着保持された状態で十字アーム３１において左側に位置する。このときにはディスク載置台３４ａがディスク１を吸着した状態で回転して点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側の位置）となり、ここでこのディスク１の吸着が解除される。
次に、未検査のディスク１が供給カセットから外周チャック機構５３により搬送されてディスク載置台３４ｃに載置される（図３Ａ（ｃ）参照）。このとき同時に、図３Ａ（ｄ）に示すように、ディスク載置台３４ａの未検査のディスク１が外周チャック機構４３により吸着されて各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちディスクが装着されていないディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により未検査のディスク１が搬送されてそのスピンドルに装着される。
【００２２】
このようにして、データ処理／制御装置７による９０°ごとの半時計方向への十字アーム３１の回転の繰り返しに応じて各ディスク検査機６ａ〜６ｄのすべてに未検査のディスク１が装着されると、図３Ａ（ｄ）の状態でディスクの検査終了待ちとなる。ただし、このとき点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）に配置されるのはディスク載置台３４ａではなく、４枚目のディスクがディスク検査機に送られるのでディスク載置台３４ｄとなる（図３Ａ（ｅ）参照）。
なお、このときには、点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）のディスク載置台３４ｄには図３Ａ（ｅ）とは異なり、ディスクは載置されていない。
以上が４個のディスク検査機６ａ〜６ｄのそれぞれに未検査のディスク１をローディングする初期設定の処理である。
【００２３】
各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了すると、検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。このディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されてディスク検査機からアンロードされた後に、点Ｐ2の中継位置（十字アーム３１において下側）へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ｄに載置される（図３Ａ（ｅ）参照）。
なお、斜線で示すディスク１は検査済みのディスクである。以下同じである。
これ以降の十字アーム３１の９０°の回転は、Ｐ1点（十字アーム３１において上側）の位置のディスク載置台に未検査のディスク１が載置されかつ点Ｐ2の位置（十字アーム３１において下側）のディスク載置台に検査済みディスク１が載置された論理積条件が整ったときにデータ処理／制御装置７により行われる。
そこで、点Ｐ2の中継位置のディスク載置台への検査済みディスク１の載置は、ディスク検査機６ａ〜６ｄの１つの検査済みまで待つことになる。この待ち時間は、通常、Ｐ1点の位置にある検査済みのディスク（図３Ａ（ｉ）参照）が排出されてから未検査のディスク１がＰ1点の位置に供給され、そこのディスク載置台に載置される（図３Ａ（ｋ）参照）までの時間よりも長い。そこで、通常の処理では、点Ｐ2の中継位置にあるディスク載置台へ検査済みディスク１が載置された後のタイミングでデータ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動することになる。
【００２４】
これが定常状態での回転中継台３の９０°回転動作となる。そこで、以下では、この条件での回転中継台３のディスクのハンドリング処理について説明する。
図３Ａ（ｅ）に示すように、ディスク載置台３４ｄに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動して図３Ａ（ｆ）に示す状態にする。ディスク載置台３４ｄに載置された検査済みディスク１は十字アーム３１において右側に配置され、未検査のディスク１を載置するディスク載置台３４aが点Ｐ2の中継位置へとくる。また、ディスク載置台３４ｃは、点Ｐ1の中継位置に配置される。
図３Ａ（ｆ）に示す点Ｐ2の中継位置のディスク載置台３４aにある未検査のディスク１は、検査が終了してディスク１が取外されたディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により搬送される。この未検査のディスク１がディスクが取外されたディスク検査機にロード（装着）された後にハンドリングロボット４は、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちの１つの検査終了待ちに入る。
このとき同時に、未検査のディスクがハンドリングロボット５により供給カセットから点Ｐ1の中継位置に搬送されてディスク載置台３４ｃに載置される（図３Ｂ（ｇ））。
やがて、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了する。このとき、ディスクハンドリングロボット４により検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。そのディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されて点Ｐ2の中継位置へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ａに載置される（図３Ｂ（ｈ）参照）。
【００２５】
ディスク載置台３４ａに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７は、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動する。そこで、十字アーム３１は図３Ｂ（ｉ）に示す状態になって、ディスク載置台３４ｂに載置された未検査のディスク１は、十字アーム３１において下側の点Ｐ2の中継位置となり、ディスク載置台３４ａに載置された検査済みディスク１は、十字アーム３１において右側に配置される。そして、ディスク載置台３４ａに載置された検査済みディスク１は点Ｐ1の中継位置に配置される。
次に、ディスク載置台３４ｂに載置された未検査のディスク１は、検査済みのディスク１が取外されたディスク検査機にディスクハンドリングロボット４により搬送され、これにロードされる。このとき同時に、点Ｐ1の中継位置にあるディスク載置台３４ｄに載置された検査済みディスク１は、外周チャック機構５３に保持されてハンドリングロボット５により分類カセットへと搬送される（図３Ｂ（ｊ）参照）。
【００２６】
一方、ディスクハンドリングロボット４は、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちの１つの検査終了待ちとなる。この検査待ちのときに未検査のディスクがハンドリングロボット５により点Ｐ1の中継位置に搬送されてディスク載置台３４ｄに載置される（図３Ｂ（ｋ））。
やがて、各ディスク検査機６ａ〜６ｄのうちのディスク検査機の１つで検査が終了すると、検査済みのディスク１がそのディスク検査機から取外される。そのディスク１は、外周チャック機構４３により吸着されて点Ｐ2の中継位置へとディスクハンドリングロボット４により搬送されて点Ｐ2にあるディスク載置台３４ｂに載置される（図３Ｂ（ｌ）参照）。
そして、ディスク載置台３４ｂに検査済みディスク１が載置されると、データ処理／制御装置７は、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動する。そこで、十字アーム３１は先の図３Ｂ（ｉ）に示す状態になる。
ただし、このときには、点Ｐ2の位置にはディスク載置台３４ｃが位置し、Ｐ1の位置にはディスク載置台３４a が位置する。先の図３Ｂ（ｉ）に示す状態より十字アーム３１が半時計方向に９０°回転した状態になっている。
【００２７】
以降は、下側の点Ｐ2に位置するディスク載置台に検査済みディスク１の載置された後のタイミングでデータ処理／制御装置７が十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動することで各ディスク載置台３４ａ〜ディスク載置台３４ｄについて順次図３Ｂ（ｉ）〜図３Ｂ（ｌ）の状態が繰り返される。その結果として、未検査ディスクの供給と検査済みディスクの排出、そして検査機に対するロード／アンロードとが連続的に行われていく。
なお、分類カセットの選択は、データ処理／制御装置７によるディスク載置台に載置された検査済みディスク１の検査結果に応じてなされる。
なお、点Ｐ1における、検査済みディスク１のカセット側への排出とカセット側から供給とが、点Ｐ2における検査済みディスク１の載置より遅れたときには、十字アーム３１を９０°半時計方向に回転駆動は、遅れた点Ｐ1におけるカセット側からの未検査のディスクの供給後に行われる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
以上説明してきたが、実施例のディスク載置台は、４個に限定されるものではなく、２個か、それ以上であればよい。
また、実施例では、検査済みのディスクを収納する収納カセットとして検査結果に応じて分類分けするために複数個分類カセットがターンテーブルに設けられている。しかし、この発明は、設けられる収納カセットは１個であってもよい。収納カセットが１個であっても、１個の収納カセットのディスク収納位置に応じて検査結果を割り当てるデータ管理がデータ処理装置において可能であるからである。
なお、この発明は、収納カセットとして合格となった検査済みのディスクを収納する合格ディスクの収納カセットと不合格となった不合格ディスクの収納カセットの２種類を設けてもよい。
さらに、実施例では、ワーククハンドリング機構を適用した実施例としてディスク検査システムの例を挙げているが、この発明は、磁気ヘッドをワークとする磁気ヘッド検査システムやその他の電子部品（ワーク）のハンドリングに対して適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、この発明によるワーククハンドリング機構を適用した一実施例のディスク検査システムの構成図である。
【図２】図２は、ディスクハンドリング機構の回転中継台における十字アームと吸着機構の関係を示す分解斜視図である。
【図３Ａ】図３Ａの（ａ）〜（ｄ）は、ディスクハンドリング処理における初期設定動作から通常動作に入るまでの回転中継台の平面説明図である。
【図３Ｂ】図３Ｂの（ｇ）〜（ｌ）は、ディスクハンドリング処理における回転中継台の通常動作の平面説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１…ディスク、２…ディスクハンドリング機構、
３…回転中継台、
４…ディスクハンドリングロボット、
５…カセット側ハンドリングロボット
６…検査ステージ、６ａ〜６ｄ…ディスク検査機、
７…データ処理／制御装置、
８…カセット収納ターンテーブル、
１０…ディスク検査システム、３１…十字アーム、
３２…回転吸着機構、３３…ステッピングモータ、
３４ａ〜３４ｄ…ディスク載置台、
４１，５１…Ｘ軸移動機構、４１ａ，５１ａ…移動台、
４２，５２…Ｚ軸移動機構、４３，５３…外周チャック機構、
５１…第２のＸ軸移動機構、５２…カセットハンドリングロボット、
３２１…ステータ円板、３２２…ロータ円板、
３２４…開放溝、３２５，３２６…吸着溝。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク供給容器から取出された未検査のワークを複数の検査機の１つへと受渡す中継をし、前記複数の検査機の１つから受けた検査済みのワークをワーク収納容器へと受渡す中継をする中継台を有するワークハンドリング機構において、
第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有し、前記複数のワーク載置台の１つが前記第１の中継点に置かれて前記未検査のワークを受け、他の１つが前記第２の中継点に置かれて前記検査済みのワークを受ける前記中継台と、
前記第１の中継点にあるワーク載置台を前記第２の中継点へ移動しかつ前記第２の中継点にある前記ワーク載置台を前記第１の中継点へ移動することで前記未検査のワークを前記第２の中継点へと移送するとともに前記検査済みのワークを前記第１の中継点へと移送する載置台移動機構と、
前記検査済みのワークを前記第１の中継点にある前記ワーク載置台から前記ワーク収納容器に送った後に前記ワーク供給容器から前記未検査のワークを取出して前記第１の中継点にある前記ワーク載置台に載置する第１のハンドリングロボットと、
前記第２の中継点にある前記ワーク載置台から前記未検査のワークを前記複数の検査機の１つに送った後に前記複数の検査機の１つから前記検査済みのワークを前記第２の中継点にある前記ワーク載置台へと搬送して載置する第２のハンドリングロボットとを備えるワークハンドリング機構。
【請求項２】
前記複数のワーク載置台の１つが前記第１の中継点に位置付けられたときに同時に前記他の１つが前記第２の中継点に位置付けられ、前記第２の中継点にある前記未検査のワークが前記第２のハンドリングロボットにより前記検査済みのワークが取外された検査機に送られる請求項１記載のワークハンドリング機構。
【請求項３】
前記載置台移動機構は回転機構であり、前記ワークはディスクであり、前記ワーク載置台はディスク載置台であり、前記ワーク供給容器はディスクの供給カセットであり、前記ワーク収納容器はディスクの収納カセットであり、前記ワーク検査機はディスク検査機であり、前記複数のディスク載置台は、前記回転機構の回転中心を中心として前記第１の中継点と前記第２の中継点を通る円周上に配置されて前記回転機構によって同時に回転させられる請求項２記載のワークハンドリング機構。
【請求項４】
前記回転機構を回転を制御しかつ前記第１のハンドリングロボットおよび前記第２のハンドリングロボットを制御する制御部を有し、前記回転機構は、前記第１の中継点に配置された前記ディスク載置台に前記未検査のディスクを受けかつ前記第２の中継点に配置された前記ディスク載置台に前記検査済みのディスクを受けた条件において所定の角度分回転駆動される請求項３記載のワークハンドリング機構。
【請求項５】
前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットは、前記ディスクの外周をチャックする外周チャック機構をそれぞれ有し、前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットとはそれぞれ１軸に沿って移動し、各前記外周チャック機構は、前記回転機構を挟んで両側に配置され、前記複数のディスク載置台は前記ディスクの内周側を保持する請求項４記載のワークハンドリング機構。
【請求項６】
前記複数のディスク載置台は４個か、それ以上が前記円周上に等間隔で設けられ、それぞれ前記ディスクの内周を負圧吸着する吸着孔を有し、前記ディスク載置台は、前記第１の中継点と前記第２の中継点とにそれぞれ配置されたときに各前記ディスク載置台における前記吸着孔の前記ディスクの吸着が解除される請求項５記載のワークハンドリング機構。
【請求項７】
前記回転機構は、前記未検査のディスクと前記検査済みのディスクの吸着をそれぞれ解除するために前記吸着孔を大気圧に連通させる溝を有する請求項６記載のワークハンドリング機構。
【請求項８】
ディスクは磁気ディスクであり、前記回転機構は、回転軸に結合された十字アームを有し、前記複数のワーク載置台は、それぞれ前記十字アームの先端部に設けられ、前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットとはそれぞれ１軸に沿って移動し、前記複数のディスク検査機は、前記１軸に沿って所定間隔で配置されている請求項７記載のワークハンドリング機構。
【請求項９】
請求項１乃至８のうちのいずれか１項記載のワークハンドリング機構と複数のワーク検査機とワーク供給容器とワーク収納容器とを備え、前記ワーク収納容器は、検査結果に応じて分類分けするために複数個設けられているワーク検査システム。
【請求項１０】
さらにターンテーブルを有し、ワーク供給容器とワーク収納容器とはそれぞれワーク供給カセットとワーク収納カセットであって、前記ターンテーブルに載置され、前記ターンテーブルと前記複数のワーク検査機との間に前記中継台が設けられている請求項９記載のワーク検査システム。
【請求項１】
ワーク供給容器から取出された未検査のワークを複数の検査機の１つへと受渡す中継をし、前記複数の検査機の１つから受けた検査済みのワークをワーク収納容器へと受渡す中継をする中継台を有するワークハンドリング機構において、
第１の中継点と第２の中継点と複数のワーク載置台とを有し、前記複数のワーク載置台の１つが前記第１の中継点に置かれて前記未検査のワークを受け、他の１つが前記第２の中継点に置かれて前記検査済みのワークを受ける前記中継台と、
前記第１の中継点にあるワーク載置台を前記第２の中継点へ移動しかつ前記第２の中継点にある前記ワーク載置台を前記第１の中継点へ移動することで前記未検査のワークを前記第２の中継点へと移送するとともに前記検査済みのワークを前記第１の中継点へと移送する載置台移動機構と、
前記検査済みのワークを前記第１の中継点にある前記ワーク載置台から前記ワーク収納容器に送った後に前記ワーク供給容器から前記未検査のワークを取出して前記第１の中継点にある前記ワーク載置台に載置する第１のハンドリングロボットと、
前記第２の中継点にある前記ワーク載置台から前記未検査のワークを前記複数の検査機の１つに送った後に前記複数の検査機の１つから前記検査済みのワークを前記第２の中継点にある前記ワーク載置台へと搬送して載置する第２のハンドリングロボットとを備えるワークハンドリング機構。
【請求項２】
前記複数のワーク載置台の１つが前記第１の中継点に位置付けられたときに同時に前記他の１つが前記第２の中継点に位置付けられ、前記第２の中継点にある前記未検査のワークが前記第２のハンドリングロボットにより前記検査済みのワークが取外された検査機に送られる請求項１記載のワークハンドリング機構。
【請求項３】
前記載置台移動機構は回転機構であり、前記ワークはディスクであり、前記ワーク載置台はディスク載置台であり、前記ワーク供給容器はディスクの供給カセットであり、前記ワーク収納容器はディスクの収納カセットであり、前記ワーク検査機はディスク検査機であり、前記複数のディスク載置台は、前記回転機構の回転中心を中心として前記第１の中継点と前記第２の中継点を通る円周上に配置されて前記回転機構によって同時に回転させられる請求項２記載のワークハンドリング機構。
【請求項４】
前記回転機構を回転を制御しかつ前記第１のハンドリングロボットおよび前記第２のハンドリングロボットを制御する制御部を有し、前記回転機構は、前記第１の中継点に配置された前記ディスク載置台に前記未検査のディスクを受けかつ前記第２の中継点に配置された前記ディスク載置台に前記検査済みのディスクを受けた条件において所定の角度分回転駆動される請求項３記載のワークハンドリング機構。
【請求項５】
前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットは、前記ディスクの外周をチャックする外周チャック機構をそれぞれ有し、前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットとはそれぞれ１軸に沿って移動し、各前記外周チャック機構は、前記回転機構を挟んで両側に配置され、前記複数のディスク載置台は前記ディスクの内周側を保持する請求項４記載のワークハンドリング機構。
【請求項６】
前記複数のディスク載置台は４個か、それ以上が前記円周上に等間隔で設けられ、それぞれ前記ディスクの内周を負圧吸着する吸着孔を有し、前記ディスク載置台は、前記第１の中継点と前記第２の中継点とにそれぞれ配置されたときに各前記ディスク載置台における前記吸着孔の前記ディスクの吸着が解除される請求項５記載のワークハンドリング機構。
【請求項７】
前記回転機構は、前記未検査のディスクと前記検査済みのディスクの吸着をそれぞれ解除するために前記吸着孔を大気圧に連通させる溝を有する請求項６記載のワークハンドリング機構。
【請求項８】
ディスクは磁気ディスクであり、前記回転機構は、回転軸に結合された十字アームを有し、前記複数のワーク載置台は、それぞれ前記十字アームの先端部に設けられ、前記第１のハンドリングロボットと前記第２のハンドリングロボットとはそれぞれ１軸に沿って移動し、前記複数のディスク検査機は、前記１軸に沿って所定間隔で配置されている請求項７記載のワークハンドリング機構。
【請求項９】
請求項１乃至８のうちのいずれか１項記載のワークハンドリング機構と複数のワーク検査機とワーク供給容器とワーク収納容器とを備え、前記ワーク収納容器は、検査結果に応じて分類分けするために複数個設けられているワーク検査システム。
【請求項１０】
さらにターンテーブルを有し、ワーク供給容器とワーク収納容器とはそれぞれワーク供給カセットとワーク収納カセットであって、前記ターンテーブルに載置され、前記ターンテーブルと前記複数のワーク検査機との間に前記中継台が設けられている請求項９記載のワーク検査システム。
【図１】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【公開番号】特開２００９−１１０６４０（Ｐ２００９−１１０６４０Ａ）
【公開日】平成２１年５月２１日（２００９．５．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２５８３２９（Ｐ２００８−２５８３２９）
【出願日】平成２０年１０月３日（２００８．１０．３）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月２１日（２００９．５．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月３日（２００８．１０．３）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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