【課題】ガラス基板を搬送する際にガラス基板に傷を生じにくいガラス基板搬送方法を提供することを目的とする
【解決手段】スペーサを介してガラス基板を保持具によって保持し、スペーサとガラス基板とを同時に搬送するガラス基板搬送方法、及び、該ガラス基板搬送方法を用いたガラス基板積層体形成方法、ガラス基板搬送装置、前記ガラス基板搬送装置を有するガラス基板積層体形成システム、さらに、前記ガラス基板搬送方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、前記ガラス基板積層体形成方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を回収補助治具のスリットに通すときに、ガラス基板の主面がスリットに接触しないようにして、ガラス基板を回収容器に回収すること。
【解決手段】ガラス基板５０を通すためのスリット２１を有する回収補助治具２０を用いてガラス基板５０を回収容器に回収する回収工程を含む磁気記録媒体用ガラス基板５０の回収方法において、回収工程では、スリット２１の長手方向の側縁部の少なくとも一部が、スリット２１を通過するガラス基板５０の主面５１から離間する側に湾曲する凸弧状である回収補助治具２０を用いる。 （もっと読む）

【課題】 基板ホルダー周りに被エッチング膜の付着することによるエッチングレートの低下を防止する。
【解決手段】 基板ホルダーに搭載された基板に対し各処理を行って磁気記録媒体を製造する装置において、基板を搭載しない状態の前記基板ホルダーに第１の膜を成膜するホルダー成膜室と、前記第１の膜が成膜された前記基板ホルダーに基板を搭載する基板搭載室と、磁性膜層を含む多層膜上に所定パターンのレジスト層が形成された基板に対し、ドライエッチング処理を行い、前記磁性膜層を前記所定パターンに基づく形状に加工する加工室と、を有し、前記第１の膜は、前記ドライエッチング処理により除去される前記多層膜中の膜よりもエッチングされにくい膜であり、前記加工室、ホルダー成膜室及び基板搭載室は、大気より減圧条件下で基板ホルダーを搬送可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】外側チャンバ１と、外側チャンバ１内に設けられて磁気記録媒体５０に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ２内に設けられて磁気記録媒体５０を収容する内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５とを備えた紫外線照射装置１０を備えた製造装置。 （もっと読む）

【課題】
カセットに収納されている磁気ディスクを複数の検査装置に供給し、検査した磁気ディスクをそれぞれの検査装置から回収するのに適した磁気ディスクの検査方法及びそのシステムを提供する。
【解決手段】
検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、検査前の磁気ディスクを収納したカセットが搬送された光学式検査ユニットにおいてカセットに収納された検査前の磁気ディスクを取出して磁気ディスクの両面を検査し、この両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを良品磁気ディスクを回収するカセットに収納し、この良品の磁気ディスクが収納されたカセットを光学式検査ユニットからカセット収容ユニットへ搬送し、この搬送された良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記カセット収容ユニットに収容するようにした。 （もっと読む）

【課題】磁気転写を行う際に磁気記録媒体に対する異物の付着を抑制する。
【解決手段】磁気記録媒体にサーボ・パターンを磁気転写する磁気転写部１４を備えた表面検査・磁気転写装置１０を、ダウンフロー方式を採用したクリーンルーム３００内に配置する。また、クリーンルーム３００において、磁気転写部１４の上方に配置され、下方に向けて清浄化された下降気流を供給する第２ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）３１０ｂの風速を、第２ＦＦＵ３１０ｂの周囲に配置され下方に向けて清浄化された下降気流を供給する第１ＦＦＵ３１０ａや第３ＦＦＵ３１０ｃ等の風速よりも高速にする。 （もっと読む）

【課題】基板を回転させる機構のコスト低減に寄与する基板回転装置を提供する。
【解決手段】センタ孔を有する基板９を回転させてキャリアに支持された基板９の支持位置を変化させる基板回転装置は、駆動源に連結され、進退動、上下動及び左右動が可能なシャフトと、シャフトの端部側に固定され、センタ孔内側の縁部分を載せて基板９を鉛直姿勢で支持するための、上方に開放された支持溝が形成されたピック３２とを有してなり、ピック３２の回転中心とピック３２との距離は、シャフトの上下動に伴い変化させることでピックの回転前後でキャリアに対する基板の位置の変化を抑え、基板９のワイパー動作を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】磁気転写を行う前の磁気記録媒体に対する異物の付着を抑制する。
【解決手段】磁気情報を記録する磁気記録媒体を移載部１７によって磁気転写部１４側に供給し、供給される磁気記録媒体を、サーボ・パターンが形成されたマスタ情報記録体のパターンの形成面と対峙した位置に位置決めし、マスタ情報記録体に吸着により磁気記録媒体を接触させて固定し、マスタ情報記録体に形成されたサーボ・パターンを、マスタ情報記録体に接触させた磁気記録媒体に、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０を用いて磁気的に転写する。このとき、磁気記録媒体の供給、位置決め、マスタ情報記録体への吸着および接触、そして第１磁石部材５０および第２磁石部材６０の回転を行わせる各駆動部７１〜７８を、マスタ情報記録体および磁気記録媒体よりも下方に配置する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体への磁気転写に用いられるパターン形成体の繰り返し使用回数が減少するのを抑制する。
【解決手段】磁気情報を記録する磁気記録媒体１を移載部１７によって磁気転写部１４側に供給し、供給される磁気記録媒体１を、サーボ・パターンが形成されたマスタ情報記録体２００のパターンの形成面と対峙した位置に位置決めし、位置決めされた磁気記録媒体１の振動の大きさを振動検出部２０によって検出し、検出した振動の大きさが±１μｍ以下となった後に、マスタ情報記録体２００に吸着により磁気記録媒体１を接触させて固定し、マスタ情報記録体２００に形成されたサーボ・パターンを、マスタ情報記録体２００に接触させた磁気記録媒体１に、第１磁石部材５０および第２磁石部材６０を用いて磁気的に転写する。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブの開閉動作に伴う振動の発生を抑制しながら、このゲートバルブの開閉動作を高速で行うことを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】シリンダ１１５内のピストン１１４が一の方向の端部に到達する直前に、第２の開閉バルブ１１７ａを全閉することによって第２の流量調整バルブ１１７ｂのみで排気する一方、シリンダ１１５内のピストン１１４が他の方向の端部に到達する直前に、第１の開閉バルブ１１６ａを全閉することによって第１の流量調整バルブ１１６ｂのみで排気する。これにより、シリンダ１１５の端部とピストン１１４との接触による衝撃を緩和し、振動の発生を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板１１収納する基板カセットに用いられる基板整列治具２５であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体２を備え、前記カセット本体２内部には、基板１１を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部７が設けられており、前記基板整列治具２５は、前記カセット本体２の開放した下部に設けられ、基板１１を整列させて保持するための溝２３が設けられたコーム２４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板ロボットを用いることなく第１チャンバから第２チャンバに基板を搬送させることができ、かつその搬送中の基板に処理流体を用いた処理を施すことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】第１チャンバ１内には、ウエハＷの周縁部を支持して、ウエハＷをほぼ水平姿勢に支持するための複数の第１支持部材１０が収容されている。第２チャンバ２内には、ウエハＷをほぼ水平姿勢に支持するための複数の第２支持部材２０が収容されている。第１支持部材１０Ａ〜１０Ｄおよび／または第２支持部材２０Ａ〜２０Ｄが、ウエハＷを支持しつつＸ方向に移動されることにより、ならびに第１支持部材１０Ａ〜１０Ｄおよび第２支持部材２０Ａ〜２０Ｄが開閉されることにより、４つの第１支持部材１０Ａ〜１０Ｄから４つの第２支持部材２０Ａ〜２０ＤにウエハＷが受け渡される。搬送中のウエハＷに対して処理部３による処理が施される。 （もっと読む）

【課題】主表面に傷を付けることなく、磁気ディスク用基板を効率良く搬送することができる磁気ディスク用基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板の搬送方法は、複数の磁気ディスク用基板を、紫外線硬化型樹脂を介して積層して積層体を形成し、前記積層体を把持する治具を前記積層体に取り付け、紫外線を照射して前記紫外線硬化型樹脂を硬化させて前記積層体及び前記治具を固定し、固定された前記積層体及び前記治具を搬送カセットに収納して搬送することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はガラス基板積層体からガラス基板を効率良く、傷つけずに分離・収容させることを課題とする。
【解決手段】積層基板分離収容装置１０は、円盤状のガラスからなるガラス基板２０を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体３０からガラス基板２０を１枚ずつ分離・収容するように構成されている。また、積層基板分離収容装置１０は、ベース１２上に、積層体収納ホルダ４０と、基板収容カセット５０と、液槽６０と、ホルダ駆動部７０と、積層基板位置決め部８０と、カセット駆動部９０と、カセット位置決め部１１０と、基板押出機構１２０と、基板受取機構１３０と、制御装置２００とを有する。制御装置２００は、予めメモリに格納された各制御プログラムに基づいて各制御処理を行なうホルダ位置制御部２１０と、カセット位置制御部２２０と、基板押出制御部２３０と、基板受取制御部２４０と、積層基板位置制御部２５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 磁性層表面が平滑で出力が大きく、十分に垂直配向がなされている垂直磁気記録媒体を製造するのに好適な磁場配向装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
磁性粉末と結合剤と有機溶媒とを含む磁性塗料を搬送される帯状の非磁性支持体上に連続的に塗布して形成された磁性塗膜中の前記磁性粉末の磁化容易軸を配向手段により磁性塗膜面に垂直に連続的に配向させる磁場配向装置であって、前記配向手段は非磁性支持体の搬送面を挟む両側に磁石の異極を対向配置して構成され、前記搬送面に対して垂直な磁場を形成し、前記磁性塗膜位置が二つの対向磁石間の中央より非磁性支持体側に偏るように搬送され、前記配向手段内部は熱風吹き出し口を含まず構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャリアとベアリングとの耐摩耗性を向上させることによって、生産性の更なる向上を可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】キャリア４に保持された基板Ｗを複数のチャンバの間で順次搬送させながら成膜処理を行うインライン式成膜装置であって、キャリア４を非接触状態で駆動する駆動機構２０と、駆動機構２０により駆動されるキャリア４をガイドするガイド機構２１とを備え、ガイド機構２１は、キャリア４に設けられたガイドレール２９に係合された状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を鉛直方向にガイドする主ベアリング２８と、キャリア４を挟み込んだ状態で、駆動機構２０により駆動されるキャリア４を水平方向にガイドする副ベアリング３０とを有して、これらベアリング２８，３０とキャリア４との何れかの接触面に、コルモノイ系合金による耐摩耗処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】容器内の真空度を短時間で高められる真空成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を配置可能な空間部１０１ｄを備えた反応容器１０１と、空間部１０１ｄ内に設置された成膜手段と、空間部１０１ｄの内部を減圧状態とする排気手段と、空間部１０１ｄに連通された開口部１０１ｃを覆うように反応容器１０１に取り付けられ、開口部１０１ｃを開閉自在とする扉部８０１と、前記反応容器１０１と扉部８０１との間に、開口部１０１ｃを囲むように配置されたＯリング８０２と、空間部１０１ｄ内で、開口部１０１ｃに沿ってＯリング８０２の近傍に配置され、冷却媒体を流通させる冷却管８１１と、を有する真空成膜装置を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】キャリアを高速で搬送することができるインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜処理を行う複数のチャンバ２と、複数のチャンバ２内で成膜対象となる基板を保持するキャリア４と、キャリア４を複数のチャンバ２の間で順次搬送させる搬送機構５とを備え、搬送機構５は、キャリア４の下部側に並んで配置された複数の永久磁石２２と、複数の永久磁石２２に対向してキャリア４の搬送方向に並んで配置された複数の電磁石２３とを有して、電磁石２３に電力を供給することによって、この電磁石２３と永久磁石２２とを磁気的に結合させながら、キャリア４を非接触状態で駆動する駆動機構２０を備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、端面の損傷、欠損（カケ）のための外観検査を強化している。この外観検査は、目視にて実施しているが、ガラス基板を一列に並べて外観検査すると正面から見たとき、ガラス基板が重なり見えにくいため、検査精度と検査効率の低下の原因となっている。
【解決手段】本発明は、複数の円板状ディスクを、互いに平行に、かつ階段状に並べて配置するディスク保持構造を有するディスク検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】磁気テープにおける正常部を欠陥部として誤って認識することを防止できるとともに、欠陥部の位置をより正確に検出することができる磁気テープの欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】縞状のパターンが形成されたフィルタ２４によって透過させた照射光を、磁気テープＴの幅方向全体に照射し、磁気テープＴにおける、照射光が照射された照射面Ｒとは反対側の面をバックアップロール１２によって支持するとともに、照射面Ｒを撮影し、撮影された照射面Ｒの縞模様に基づいて欠陥部Ｔｄを検出する。 （もっと読む）