磁気記録媒体の製造装置および紫外線照射装置
【課題】不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】外側チャンバ１と、外側チャンバ１内に設けられて磁気記録媒体５０に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ２内に設けられて磁気記録媒体５０を収容する内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５とを備えた紫外線照射装置１０を備えた製造装置。
【解決手段】外側チャンバ１と、外側チャンバ１内に設けられて磁気記録媒体５０に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ２内に設けられて磁気記録媒体５０を収容する内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５とを備えた紫外線照射装置１０を備えた製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、潤滑膜を有する磁気記録媒体を製造する装置、およびこれに用いられる紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク等の磁気記録媒体としては、例えば基板上に磁性膜と保護膜が形成され、保護膜の表面に潤滑膜が形成されたものがある。
図８は、磁気記録媒体の一例を示すもので、この磁気記録媒体は、アルミニウム、ガラスなどからなる基板１０１の上にＣｒ合金などからなる下地層１０２が形成され、その上に、Ｒｕ等からなる中間層１０３、Ｃｏ合金等からなる磁性層１０４、カーボンなどからなる保護膜１０５、および潤滑膜１０６が形成されている。
潤滑膜１０６の耐久性を高めるため、潤滑膜１０６には、紫外線照射装置を備えた製造装置を使用して、紫外線が照射されることがある。
紫外線照射装置は、紫外線ランプが設置されたチャンバを備えている。磁気記録媒体は、搬入出口を通してチャンバ内に搬入され、チャンバ内の紫外線ランプにより紫外線が照射される。
この際、チャンバ内に酸素ガスが存在すると、紫外線照射によりオゾンが発生し、潤滑膜１０６の劣化の原因になるため、チャンバ内には窒素ガスなどの不活性ガスが導入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１４０５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記製造装置では、磁気記録媒体の搬入出口を通して外気がチャンバ内に流入し、チャンバ内の酸素濃度が上昇し、オゾンが発生するおそれがある。
搬入出口からチャンバ内への外気流入を防ぐには、多量の不活性ガスを連続的にチャンバ内に導入し、搬入出口から常時流出させることが有効である。
しかしながら、前記製造装置では、多量の不活性ガスが必要となるため、不活性ガスのコストがかさむという問題があった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置および紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の紫外線照射装置は、磁気記録媒体の潤滑層に紫外線を照射する装置であって、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて、前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えている紫外線照射装置である。
前記内側チャンバは、前記光源からの紫外線を外部から内部に透過させて前記磁気記録媒体に照射可能であることが好ましい。
前記内側チャンバは、前記磁気記録媒体を収容する筒状の本体部と、前記本体部の一方の端部に設けられて、前記供給経路からの不活性ガスを前記本体部に導入する１または複数の導入口を有する供給側板部と、前記本体部の他方の端部に設けられて、前記本体部内に前記磁気記録媒体を搬入および搬出する搬入出口を有する排出側板部と、を備えていることが好ましい。
前記複数の導入口は、複数列をなすように形成されていることが好ましい。
【０００６】
本発明の磁気記録媒体の製造装置は、基板上に、少なくとも磁性層と保護膜と潤滑層とを有する磁気記録媒体を製造する装置であって、基板に磁性層を形成する磁性層形成室と、前記保護膜を形成する保護膜形成室と、前記潤滑膜を形成する潤滑膜形成室と、前記潤滑膜に紫外線を照射する紫外線照射装置とを備え、前記紫外線照射装置が、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路とを備えた磁気記録媒体の製造装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、外側チャンバ内に、磁気記録媒体を収容する内側チャンバが設けられているので、容積の小さい内側チャンバ内に不活性ガスを流通させることによって、磁気記録媒体の周囲の酸素濃度を十分に低減できる。
このため、不活性ガスの流通量が小さい場合でも、酸素の影響による潤滑膜の劣化を防止できる。従って、不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例に用いられる紫外線照射装置の内部構造を示す正面図である。
【図２】図１の紫外線照射装置の内部構造を示す平面図である。
【図３】図１の紫外線照射装置を示す横断面図である。
【図４】図１の紫外線照射装置の内側チャンバを示す縦断面図である。
【図５】図１の紫外線照射装置の内側チャンバを示す分解斜視図である。
【図６】磁気記録媒体の一例を模式的に示す一部断面図である。
【図７】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を模式的に示す図である。
【図８】磁気記録媒体の一例を模式的に示す一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（紫外線照射装置）
図１〜図５は、本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例に用いられる紫外線照射装置１０を示すものである。
紫外線照射装置１０は、外側チャンバ１と、磁気記録媒体５０（以下、単に媒体５０ということがある）に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ１の内部に設けられた内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５と、を備えている。
供給経路４と排出経路５は、不活性ガスを内側チャンバ３内に流通させる流通機構を構成する。
【００１０】
図１〜図４に示すように、外側チャンバ１は、底壁部１１と、底壁部１１の両側縁に立設された側壁部１２、１２と、底壁部１１の両端縁に立設された端壁部１３、１３と、側壁部１２および端壁部１３の上縁に設けられた天壁部１４とを有する。
【００１１】
図１に示すように、天壁部１４には、外側チャンバ１内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入する供給経路１５が接続されている。
図３および図４に示すように、天壁部１４の下面には、内側チャンバ３の本体部２２（後述）に相当する範囲を含む領域に導入凹部１６が形成されている。導入凹部１６の内部空間は、供給経路４からの不活性ガスが導入される導入空間１６ａとなっている。
【００１２】
図１、図３および図４に示すように、底壁部１１には、長手方向（図１の左右方向）に間隔をおいた４カ所に、媒体５０を搬入および搬出するための通過口１１ａが形成されている。
図３に示すように、底壁部１１には、供給経路１５から外側チャンバ１内を経た不活性ガスの流通路１１ｂが形成されている。底壁部１１の下面には、流通路１１ｂからの不活性ガスを流出させる流出路１９ａを有する一対の流出部１９、１９が形成されている。流出路１９ａは、不活性ガスが底壁部１１の下面に沿って排出されるように形成されている。流出部１９、１９は、流出路１９ａの開口部が向かい合うように、通過口１１ａを挟んで両側に設けられている。
【００１３】
光源２としては、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ等が使用できる。
光源２は、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３外に設けられている。図３に示すように、具体的には、光源２は、ホルダ１７および取り付け具１８を介して外側チャンバ１の側壁部１２、１２の内面に取り付けられている。
光源２は、外側チャンバ１の長手方向（図１の左右方向）に延在している。図示例では、複数本の光源２が側壁部１２の上下方向に間隔をおいて並列して設置されている。
図示例では、光源２は、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３外に設けられているが、内側チャンバ３内に設けることもできる。
【００１４】
内側チャンバ３は、紫外線照射の対象となる潤滑膜５６（後述）が形成された媒体５０を収容可能なチャンバであり、外側チャンバ１の通過口１１ａが形成された位置に設けられている（図３および図４参照）。図示例では、内側チャンバ３は、外側チャンバ１の長手方向（図１の左右方向）に間隔をおいて４カ所に設けられている。
【００１５】
図３〜図５に示すように、内側チャンバ３は、外側チャンバ１の底壁部１１上に設けられた底板部２１（排出側の板部）と、底板部２１上面から上方に延出する筒状の本体部２２と、本体部２２の上端に設けられた天板部２３（供給側の板部）とを備えている。
図５に示すように、底板部２１は、本体部２２の下端部２２ａ（排出側の端部）に、下端部２２ａの開口を覆って設けられている。
【００１６】
底板部２１には、媒体５０を搬入および搬出する搬入出口２４が形成されている。搬入出口２４は、媒体５０の断面形状に沿うスリット状とされ、長さ方向の中央部２４ａはホルダ４１が通過できるように、他の部分より幅広に形成されている。
底板部２１は、底壁部１１の上面にネジ止め等により気密に取り付けることができる。
【００１７】
図３および図５に示すように、本体部２２は、光源２からの紫外線の透過性が高い材料からなる。本体部２２は、例えば石英ガラス製とすることができる。なお、紫外線の透過性が高い材料であれば、樹脂材料を使用してもよい。
本体部２２は、一対の側板部２５、２５と、側板部２５、２５の側縁に形成された一対の端板部２６、２６からなる断面矩形の筒状体であり、内部に媒体５０を収容できる。本体部２２の上端部２２ｂは不活性ガスの供給側の端部（一方の端部）であり、下端部２２ａは不活性ガスの排出側の端部（他方の端部）である。
本体部２２の下端部２２ａは、搬入出口２４を囲んで配置され、底板部２１の上面に気密に接している。
本体部２２は、側板部２５、２５が外側チャンバ１の側壁部１２に沿う方向となるように配置することが好ましい。
【００１８】
図３に示すように、本体部２２の内部空間の幅寸法Ｗ２は、外側チャンバ１の内部空間の幅寸法Ｗ１より小さくされている。
図２に示すように、外側チャンバ１の長手方向（図２の左右方向）の寸法についても、本体部２２の内部空間の長さ寸法Ｌ２は、外側チャンバ１の内部空間の長さ寸法Ｌ１より小さい。このため、内側チャンバ３の容積は、外側チャンバ１の容積より小さい。
また、本体部２２の内部空間の長さ寸法Ｌ２は、幅寸法Ｗ２より大とすることができる。
【００１９】
図３〜図５に示すように、天板部２３は、本体部２２の上端部２２ｂ（供給側の端部）に、上端部２２ｂの開口を覆って設けられている。天板部２３は上端部２２ｂに気密に接している。
天板部２３には、不活性ガスを内側チャンバ３内に導入する導入口２７が形成されている。導入口２７の数は１でもよいが、複数であることが好ましい。導入口２７は、１または複数の列をなすように配列されていることが望ましい。
【００２０】
図５に示すように、図示例では、導入口２７の配置は、内側チャンバ３の長さ方向（図１の左右方向）に配列された複数の導入口２７からなる第１列２８Ａと、同方向に配列された複数の導入口２７からなる第２列２８Ｂとを有する。列２８Ａ、２８Ｂは、互いに幅方向（図３の左右方向）に間隔をおいて形成されている。
各列２８Ａ、２８Ｂを構成する複数の導入口２７は、前記長さ方向に間隔をおいて直線状に配列している。
【００２１】
列２８Ａ、２８Ｂの一方および他方の端部は、それぞれ本体部２２の長さ方向（図１の左右方向）の一方および他方の端部に近接した位置に達していることが望ましい。
例えば、図５に示すように、第１列２８Ａの一端部に位置する導入口２７（符号２７Ａ１で示す）と、第２列２８Ｂの一端部に位置する導入口２７（符号２７Ｂ１で示す）は、本体部２２の長さ方向の一端部に近い位置に形成することができる。また、第１列２８Ａの他端部に位置する導入口２７（符号２７Ａ２で示す）と、第２列２８Ｂの他端部に位置する導入口２７（符号２７Ｂ２で示す）は、本体部２２の長さ方向の他端部に近い位置に形成することができる。
【００２２】
天板部２３は、天壁部１４の下面にネジ止め等により気密に取り付けることができる。
なお、導入口２７の列の数は２に限らず、１であってもよいし、３以上であってもよい。導入口２７の列の数を３以上とする場合においても、これら複数の列を幅方向に間隔をおいて並列して形成することができる。
【００２３】
紫外線照射装置１０は、外側チャンバ１内に内側チャンバ３が設けられているため、多重構造（図示例では２重構造）のチャンバを有する。なお、本発明では、３重構造以上のチャンバを有する構成も可能である。
【００２４】
図１および図４に示すように、不活性ガスの供給経路４は、内側チャンバ３に不活性ガスを供給するものである。図示例では、４つの内側チャンバ３の位置に応じて４つの供給経路４が外側チャンバ１の天壁部１４に接続され、天壁部１４の供給口１４ａを通して導入凹部１６内に不活性ガスを供給できる。
【００２５】
図３および図４に示すように、排出経路５は、底壁部１１の下面に通過口１１ａおよび流出部１９を囲む排出基部３１と、排出基部３１から延出する排出ダクト３２とを有する。排出基部３１には、ホルダ４１およびこれに保持された媒体５０が通過できる通過口３１ａが形成されている。
【００２６】
（磁気記録媒体）
図６は、本発明の製造装置によって製造される磁気記録媒体の一例を示すもので、この磁気記録媒体５０は、アルミニウム、ガラスなどからなる基板５１の上にＣｒ合金などからなる下地層５２が形成され、その上に、Ｒｕ等からなる中間層５３、Ｃｏ合金等からなる磁性層５４、カーボンなどからなる保護膜５５、および潤滑膜５６が形成されている。
潤滑膜５６はフッ素系ポリエ−テル類（例えばパーフルオロポリエーテル）などからなり、浸漬法などの塗布方法によって形成される。
下地層５２、中間層５３、磁性層５４、保護膜５５、および潤滑膜５６は、基板５１の両面に形成することができる。
本発明の製造装置によって製造される磁気記録媒体としては、基板上に少なくとも磁性層と保護膜とを有し、前記保護膜表面に潤滑膜が形成された磁気記録媒体を挙げることができる。
【００２７】
（磁気記録媒体の製造装置）
図７は、本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を示すもので、この製造装置６０は、基板５１上に下地層５２をスパッタ法などにより形成する下地層形成室６２と、中間層５３をスパッタ法などにより形成する中間層形成室６３と、磁性層５４をスパッタ法などにより形成する磁性層形成室６４と、保護膜５５をスパッタ法などにより形成する保護膜形成室６５と、浸漬法などの塗布方法によって潤滑膜５６を形成する潤滑膜形成室６６と、図１〜図５に示す紫外線照射装置１０とを有する。
【００２８】
（磁気記録媒体の製造方法）
次に、製造装置６０を用いて磁気記録媒体５０を作製する方法の一例について説明する。
図６および図７に示すように、下地層形成室６２において、基板５１上に下地層５２をスパッタ法などにより形成する。次いで、中間層形成室６３にて中間層５３をスパッタ法などにより形成する。次いで、磁性層形成室６４にて磁性層５４をスパッタ法などにより形成する。次いで、保護膜形成室６５にて保護膜５５をスパッタ法などにより形成する。次いで、潤滑膜形成室６６にて、浸漬法などの塗布方法によって保護膜５５上に潤滑膜５６を形成する。
【００２９】
図１に示すように、基板５１上に下地層５２、中間層５３、磁性層５４、保護膜５５および潤滑膜５６が形成された媒体５０（図６参照）は、キャリア４２に保持されて紫外線照射装置１０の下方に配置され、ホルダ４１に下方から支持されて上昇する。
ホルダ４１は、通過口３１ａ、通過口１１ａ、搬入出口２４を通して、媒体５０を搬入出口２４から内側チャンバ３内に搬入する。媒体５０は、本体部２２の側板部２５、２５に沿う姿勢とするのが好ましい。図示例では、媒体５０は側板部２５、２５にほぼ平行である。
【００３０】
図１、図３および図４に示すように、媒体５０に紫外線を照射するにあたっては、供給経路４、１５から不活性ガスを内側チャンバ３および外側チャンバ１に供給する。不活性ガスとしては、窒素ガス、Ａｒ等が使用でき、特に窒素ガスが好ましい。
【００３１】
図１および図３に示すように、供給経路１５を通して導入された不活性ガスは、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３の外の空間１ａに導入される。不活性ガスは、連続的に外側チャンバ１内に導入されるのが好ましい。外側チャンバ１内を経た不活性ガスは、流通路１１ｂを経て流出路１９ａに導入される。
流出部１９、１９の流出路１９ａ、１９ａは向かい合っているため、不活性ガスは底壁部１１の下面に沿って互いに近づく方向に噴出し、通過口１１ａの開口部近傍で衝突し、内側チャンバ３から排出された不活性ガスに伴って排出基部３１を経て排出ダクト３２から排出される。
流出路１９ａ、１９ａから噴出するガス流によって、通過口１１ａへの外気の流入は起こりにくくなる。
外側チャンバ１内に不活性ガスを流通させることによって、外側チャンバ１内の酸素濃度を低減させることができる。
【００３２】
図３および図４に示すように、供給経路４を通して導入された不活性ガスは、天壁部１４の導入凹部１６（導入空間１６ａ）に導入される。導入凹部１６内の不活性ガスは、導入口２７を通して内側チャンバ３内に導入される。
上述のように、導入口２７は複数列をなすように形成されているため、本体部２２の長さ方向および幅方向の広い範囲に不活性ガスが供給される。
不活性ガスは、本体部２２内を下方に向かって流れ、搬入出口２４を通して内側チャンバ３から流出し、排出基部３１を経て排出ダクト３２から排出される。
【００３３】
内側チャンバ３および外側チャンバ１に不活性ガスを流通させた状態で、光源２を点灯させる。紫外線は本体部２２を外部から内部に透過し、本体部２２内の媒体５０の両面に照射される。
光源２による紫外線照射条件としては、例えば波長１５０〜４００ｎｍの紫外線を０．１〜１００ｍＷ／ｃｍ2の照射強度で５〜３０秒照射するなどの条件を適宜採用できる。
潤滑膜５６に紫外線を照射することによって、保護膜５５に対する化学的な結合形成を促進し、潤滑膜５６の耐久性を高めることができる。
これによって、十分な耐久性を有する潤滑膜５６を有する媒体５０が得られる（図６参照）。紫外線照射処理が終わった媒体５０は、ホルダ４１によって搬入出口２４から搬出され、キャリア４２に戻される。
【００３４】
紫外線照射装置１０では、外側チャンバ１内に、媒体５０を収容する内側チャンバ３が設けられているので、容積の小さい内側チャンバ３内に不活性ガスを流通させることによって、媒体５０の周囲の酸素濃度を十分に低減できる。
このため、不活性ガスの流通量が小さい場合でも、酸素の影響による潤滑膜５６の劣化を防止できる。
従って、不活性ガスの使用量を削減し、コスト低減を図ることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・外側チャンバ、２・・・光源、３・・・内側チャンバ、４・・・供給経路、５・・・排出経路、１０・・・紫外線照射装置、２１・・・底板部（排出側板部）、２２・・・本体部、２３・・・天板部（供給側板部）、２４・・・搬入出口、２７・・・導入口、５０・・・磁気記録媒体、５４・・・磁性層、５５・・・保護膜、５６・・・潤滑膜、６０・・・磁気記録媒体の製造装置、６４・・・磁性層形成室、６５・・・保護膜形成室、６６・・・潤滑膜形成室。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、潤滑膜を有する磁気記録媒体を製造する装置、およびこれに用いられる紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク等の磁気記録媒体としては、例えば基板上に磁性膜と保護膜が形成され、保護膜の表面に潤滑膜が形成されたものがある。
図８は、磁気記録媒体の一例を示すもので、この磁気記録媒体は、アルミニウム、ガラスなどからなる基板１０１の上にＣｒ合金などからなる下地層１０２が形成され、その上に、Ｒｕ等からなる中間層１０３、Ｃｏ合金等からなる磁性層１０４、カーボンなどからなる保護膜１０５、および潤滑膜１０６が形成されている。
潤滑膜１０６の耐久性を高めるため、潤滑膜１０６には、紫外線照射装置を備えた製造装置を使用して、紫外線が照射されることがある。
紫外線照射装置は、紫外線ランプが設置されたチャンバを備えている。磁気記録媒体は、搬入出口を通してチャンバ内に搬入され、チャンバ内の紫外線ランプにより紫外線が照射される。
この際、チャンバ内に酸素ガスが存在すると、紫外線照射によりオゾンが発生し、潤滑膜１０６の劣化の原因になるため、チャンバ内には窒素ガスなどの不活性ガスが導入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１４０５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記製造装置では、磁気記録媒体の搬入出口を通して外気がチャンバ内に流入し、チャンバ内の酸素濃度が上昇し、オゾンが発生するおそれがある。
搬入出口からチャンバ内への外気流入を防ぐには、多量の不活性ガスを連続的にチャンバ内に導入し、搬入出口から常時流出させることが有効である。
しかしながら、前記製造装置では、多量の不活性ガスが必要となるため、不活性ガスのコストがかさむという問題があった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置および紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の紫外線照射装置は、磁気記録媒体の潤滑層に紫外線を照射する装置であって、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて、前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えている紫外線照射装置である。
前記内側チャンバは、前記光源からの紫外線を外部から内部に透過させて前記磁気記録媒体に照射可能であることが好ましい。
前記内側チャンバは、前記磁気記録媒体を収容する筒状の本体部と、前記本体部の一方の端部に設けられて、前記供給経路からの不活性ガスを前記本体部に導入する１または複数の導入口を有する供給側板部と、前記本体部の他方の端部に設けられて、前記本体部内に前記磁気記録媒体を搬入および搬出する搬入出口を有する排出側板部と、を備えていることが好ましい。
前記複数の導入口は、複数列をなすように形成されていることが好ましい。
【０００６】
本発明の磁気記録媒体の製造装置は、基板上に、少なくとも磁性層と保護膜と潤滑層とを有する磁気記録媒体を製造する装置であって、基板に磁性層を形成する磁性層形成室と、前記保護膜を形成する保護膜形成室と、前記潤滑膜を形成する潤滑膜形成室と、前記潤滑膜に紫外線を照射する紫外線照射装置とを備え、前記紫外線照射装置が、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路とを備えた磁気記録媒体の製造装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、外側チャンバ内に、磁気記録媒体を収容する内側チャンバが設けられているので、容積の小さい内側チャンバ内に不活性ガスを流通させることによって、磁気記録媒体の周囲の酸素濃度を十分に低減できる。
このため、不活性ガスの流通量が小さい場合でも、酸素の影響による潤滑膜の劣化を防止できる。従って、不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例に用いられる紫外線照射装置の内部構造を示す正面図である。
【図２】図１の紫外線照射装置の内部構造を示す平面図である。
【図３】図１の紫外線照射装置を示す横断面図である。
【図４】図１の紫外線照射装置の内側チャンバを示す縦断面図である。
【図５】図１の紫外線照射装置の内側チャンバを示す分解斜視図である。
【図６】磁気記録媒体の一例を模式的に示す一部断面図である。
【図７】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を模式的に示す図である。
【図８】磁気記録媒体の一例を模式的に示す一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（紫外線照射装置）
図１〜図５は、本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例に用いられる紫外線照射装置１０を示すものである。
紫外線照射装置１０は、外側チャンバ１と、磁気記録媒体５０（以下、単に媒体５０ということがある）に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ１の内部に設けられた内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５と、を備えている。
供給経路４と排出経路５は、不活性ガスを内側チャンバ３内に流通させる流通機構を構成する。
【００１０】
図１〜図４に示すように、外側チャンバ１は、底壁部１１と、底壁部１１の両側縁に立設された側壁部１２、１２と、底壁部１１の両端縁に立設された端壁部１３、１３と、側壁部１２および端壁部１３の上縁に設けられた天壁部１４とを有する。
【００１１】
図１に示すように、天壁部１４には、外側チャンバ１内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入する供給経路１５が接続されている。
図３および図４に示すように、天壁部１４の下面には、内側チャンバ３の本体部２２（後述）に相当する範囲を含む領域に導入凹部１６が形成されている。導入凹部１６の内部空間は、供給経路４からの不活性ガスが導入される導入空間１６ａとなっている。
【００１２】
図１、図３および図４に示すように、底壁部１１には、長手方向（図１の左右方向）に間隔をおいた４カ所に、媒体５０を搬入および搬出するための通過口１１ａが形成されている。
図３に示すように、底壁部１１には、供給経路１５から外側チャンバ１内を経た不活性ガスの流通路１１ｂが形成されている。底壁部１１の下面には、流通路１１ｂからの不活性ガスを流出させる流出路１９ａを有する一対の流出部１９、１９が形成されている。流出路１９ａは、不活性ガスが底壁部１１の下面に沿って排出されるように形成されている。流出部１９、１９は、流出路１９ａの開口部が向かい合うように、通過口１１ａを挟んで両側に設けられている。
【００１３】
光源２としては、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ等が使用できる。
光源２は、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３外に設けられている。図３に示すように、具体的には、光源２は、ホルダ１７および取り付け具１８を介して外側チャンバ１の側壁部１２、１２の内面に取り付けられている。
光源２は、外側チャンバ１の長手方向（図１の左右方向）に延在している。図示例では、複数本の光源２が側壁部１２の上下方向に間隔をおいて並列して設置されている。
図示例では、光源２は、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３外に設けられているが、内側チャンバ３内に設けることもできる。
【００１４】
内側チャンバ３は、紫外線照射の対象となる潤滑膜５６（後述）が形成された媒体５０を収容可能なチャンバであり、外側チャンバ１の通過口１１ａが形成された位置に設けられている（図３および図４参照）。図示例では、内側チャンバ３は、外側チャンバ１の長手方向（図１の左右方向）に間隔をおいて４カ所に設けられている。
【００１５】
図３〜図５に示すように、内側チャンバ３は、外側チャンバ１の底壁部１１上に設けられた底板部２１（排出側の板部）と、底板部２１上面から上方に延出する筒状の本体部２２と、本体部２２の上端に設けられた天板部２３（供給側の板部）とを備えている。
図５に示すように、底板部２１は、本体部２２の下端部２２ａ（排出側の端部）に、下端部２２ａの開口を覆って設けられている。
【００１６】
底板部２１には、媒体５０を搬入および搬出する搬入出口２４が形成されている。搬入出口２４は、媒体５０の断面形状に沿うスリット状とされ、長さ方向の中央部２４ａはホルダ４１が通過できるように、他の部分より幅広に形成されている。
底板部２１は、底壁部１１の上面にネジ止め等により気密に取り付けることができる。
【００１７】
図３および図５に示すように、本体部２２は、光源２からの紫外線の透過性が高い材料からなる。本体部２２は、例えば石英ガラス製とすることができる。なお、紫外線の透過性が高い材料であれば、樹脂材料を使用してもよい。
本体部２２は、一対の側板部２５、２５と、側板部２５、２５の側縁に形成された一対の端板部２６、２６からなる断面矩形の筒状体であり、内部に媒体５０を収容できる。本体部２２の上端部２２ｂは不活性ガスの供給側の端部（一方の端部）であり、下端部２２ａは不活性ガスの排出側の端部（他方の端部）である。
本体部２２の下端部２２ａは、搬入出口２４を囲んで配置され、底板部２１の上面に気密に接している。
本体部２２は、側板部２５、２５が外側チャンバ１の側壁部１２に沿う方向となるように配置することが好ましい。
【００１８】
図３に示すように、本体部２２の内部空間の幅寸法Ｗ２は、外側チャンバ１の内部空間の幅寸法Ｗ１より小さくされている。
図２に示すように、外側チャンバ１の長手方向（図２の左右方向）の寸法についても、本体部２２の内部空間の長さ寸法Ｌ２は、外側チャンバ１の内部空間の長さ寸法Ｌ１より小さい。このため、内側チャンバ３の容積は、外側チャンバ１の容積より小さい。
また、本体部２２の内部空間の長さ寸法Ｌ２は、幅寸法Ｗ２より大とすることができる。
【００１９】
図３〜図５に示すように、天板部２３は、本体部２２の上端部２２ｂ（供給側の端部）に、上端部２２ｂの開口を覆って設けられている。天板部２３は上端部２２ｂに気密に接している。
天板部２３には、不活性ガスを内側チャンバ３内に導入する導入口２７が形成されている。導入口２７の数は１でもよいが、複数であることが好ましい。導入口２７は、１または複数の列をなすように配列されていることが望ましい。
【００２０】
図５に示すように、図示例では、導入口２７の配置は、内側チャンバ３の長さ方向（図１の左右方向）に配列された複数の導入口２７からなる第１列２８Ａと、同方向に配列された複数の導入口２７からなる第２列２８Ｂとを有する。列２８Ａ、２８Ｂは、互いに幅方向（図３の左右方向）に間隔をおいて形成されている。
各列２８Ａ、２８Ｂを構成する複数の導入口２７は、前記長さ方向に間隔をおいて直線状に配列している。
【００２１】
列２８Ａ、２８Ｂの一方および他方の端部は、それぞれ本体部２２の長さ方向（図１の左右方向）の一方および他方の端部に近接した位置に達していることが望ましい。
例えば、図５に示すように、第１列２８Ａの一端部に位置する導入口２７（符号２７Ａ１で示す）と、第２列２８Ｂの一端部に位置する導入口２７（符号２７Ｂ１で示す）は、本体部２２の長さ方向の一端部に近い位置に形成することができる。また、第１列２８Ａの他端部に位置する導入口２７（符号２７Ａ２で示す）と、第２列２８Ｂの他端部に位置する導入口２７（符号２７Ｂ２で示す）は、本体部２２の長さ方向の他端部に近い位置に形成することができる。
【００２２】
天板部２３は、天壁部１４の下面にネジ止め等により気密に取り付けることができる。
なお、導入口２７の列の数は２に限らず、１であってもよいし、３以上であってもよい。導入口２７の列の数を３以上とする場合においても、これら複数の列を幅方向に間隔をおいて並列して形成することができる。
【００２３】
紫外線照射装置１０は、外側チャンバ１内に内側チャンバ３が設けられているため、多重構造（図示例では２重構造）のチャンバを有する。なお、本発明では、３重構造以上のチャンバを有する構成も可能である。
【００２４】
図１および図４に示すように、不活性ガスの供給経路４は、内側チャンバ３に不活性ガスを供給するものである。図示例では、４つの内側チャンバ３の位置に応じて４つの供給経路４が外側チャンバ１の天壁部１４に接続され、天壁部１４の供給口１４ａを通して導入凹部１６内に不活性ガスを供給できる。
【００２５】
図３および図４に示すように、排出経路５は、底壁部１１の下面に通過口１１ａおよび流出部１９を囲む排出基部３１と、排出基部３１から延出する排出ダクト３２とを有する。排出基部３１には、ホルダ４１およびこれに保持された媒体５０が通過できる通過口３１ａが形成されている。
【００２６】
（磁気記録媒体）
図６は、本発明の製造装置によって製造される磁気記録媒体の一例を示すもので、この磁気記録媒体５０は、アルミニウム、ガラスなどからなる基板５１の上にＣｒ合金などからなる下地層５２が形成され、その上に、Ｒｕ等からなる中間層５３、Ｃｏ合金等からなる磁性層５４、カーボンなどからなる保護膜５５、および潤滑膜５６が形成されている。
潤滑膜５６はフッ素系ポリエ−テル類（例えばパーフルオロポリエーテル）などからなり、浸漬法などの塗布方法によって形成される。
下地層５２、中間層５３、磁性層５４、保護膜５５、および潤滑膜５６は、基板５１の両面に形成することができる。
本発明の製造装置によって製造される磁気記録媒体としては、基板上に少なくとも磁性層と保護膜とを有し、前記保護膜表面に潤滑膜が形成された磁気記録媒体を挙げることができる。
【００２７】
（磁気記録媒体の製造装置）
図７は、本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を示すもので、この製造装置６０は、基板５１上に下地層５２をスパッタ法などにより形成する下地層形成室６２と、中間層５３をスパッタ法などにより形成する中間層形成室６３と、磁性層５４をスパッタ法などにより形成する磁性層形成室６４と、保護膜５５をスパッタ法などにより形成する保護膜形成室６５と、浸漬法などの塗布方法によって潤滑膜５６を形成する潤滑膜形成室６６と、図１〜図５に示す紫外線照射装置１０とを有する。
【００２８】
（磁気記録媒体の製造方法）
次に、製造装置６０を用いて磁気記録媒体５０を作製する方法の一例について説明する。
図６および図７に示すように、下地層形成室６２において、基板５１上に下地層５２をスパッタ法などにより形成する。次いで、中間層形成室６３にて中間層５３をスパッタ法などにより形成する。次いで、磁性層形成室６４にて磁性層５４をスパッタ法などにより形成する。次いで、保護膜形成室６５にて保護膜５５をスパッタ法などにより形成する。次いで、潤滑膜形成室６６にて、浸漬法などの塗布方法によって保護膜５５上に潤滑膜５６を形成する。
【００２９】
図１に示すように、基板５１上に下地層５２、中間層５３、磁性層５４、保護膜５５および潤滑膜５６が形成された媒体５０（図６参照）は、キャリア４２に保持されて紫外線照射装置１０の下方に配置され、ホルダ４１に下方から支持されて上昇する。
ホルダ４１は、通過口３１ａ、通過口１１ａ、搬入出口２４を通して、媒体５０を搬入出口２４から内側チャンバ３内に搬入する。媒体５０は、本体部２２の側板部２５、２５に沿う姿勢とするのが好ましい。図示例では、媒体５０は側板部２５、２５にほぼ平行である。
【００３０】
図１、図３および図４に示すように、媒体５０に紫外線を照射するにあたっては、供給経路４、１５から不活性ガスを内側チャンバ３および外側チャンバ１に供給する。不活性ガスとしては、窒素ガス、Ａｒ等が使用でき、特に窒素ガスが好ましい。
【００３１】
図１および図３に示すように、供給経路１５を通して導入された不活性ガスは、外側チャンバ１内であって内側チャンバ３の外の空間１ａに導入される。不活性ガスは、連続的に外側チャンバ１内に導入されるのが好ましい。外側チャンバ１内を経た不活性ガスは、流通路１１ｂを経て流出路１９ａに導入される。
流出部１９、１９の流出路１９ａ、１９ａは向かい合っているため、不活性ガスは底壁部１１の下面に沿って互いに近づく方向に噴出し、通過口１１ａの開口部近傍で衝突し、内側チャンバ３から排出された不活性ガスに伴って排出基部３１を経て排出ダクト３２から排出される。
流出路１９ａ、１９ａから噴出するガス流によって、通過口１１ａへの外気の流入は起こりにくくなる。
外側チャンバ１内に不活性ガスを流通させることによって、外側チャンバ１内の酸素濃度を低減させることができる。
【００３２】
図３および図４に示すように、供給経路４を通して導入された不活性ガスは、天壁部１４の導入凹部１６（導入空間１６ａ）に導入される。導入凹部１６内の不活性ガスは、導入口２７を通して内側チャンバ３内に導入される。
上述のように、導入口２７は複数列をなすように形成されているため、本体部２２の長さ方向および幅方向の広い範囲に不活性ガスが供給される。
不活性ガスは、本体部２２内を下方に向かって流れ、搬入出口２４を通して内側チャンバ３から流出し、排出基部３１を経て排出ダクト３２から排出される。
【００３３】
内側チャンバ３および外側チャンバ１に不活性ガスを流通させた状態で、光源２を点灯させる。紫外線は本体部２２を外部から内部に透過し、本体部２２内の媒体５０の両面に照射される。
光源２による紫外線照射条件としては、例えば波長１５０〜４００ｎｍの紫外線を０．１〜１００ｍＷ／ｃｍ2の照射強度で５〜３０秒照射するなどの条件を適宜採用できる。
潤滑膜５６に紫外線を照射することによって、保護膜５５に対する化学的な結合形成を促進し、潤滑膜５６の耐久性を高めることができる。
これによって、十分な耐久性を有する潤滑膜５６を有する媒体５０が得られる（図６参照）。紫外線照射処理が終わった媒体５０は、ホルダ４１によって搬入出口２４から搬出され、キャリア４２に戻される。
【００３４】
紫外線照射装置１０では、外側チャンバ１内に、媒体５０を収容する内側チャンバ３が設けられているので、容積の小さい内側チャンバ３内に不活性ガスを流通させることによって、媒体５０の周囲の酸素濃度を十分に低減できる。
このため、不活性ガスの流通量が小さい場合でも、酸素の影響による潤滑膜５６の劣化を防止できる。
従って、不活性ガスの使用量を削減し、コスト低減を図ることができる。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・外側チャンバ、２・・・光源、３・・・内側チャンバ、４・・・供給経路、５・・・排出経路、１０・・・紫外線照射装置、２１・・・底板部（排出側板部）、２２・・・本体部、２３・・・天板部（供給側板部）、２４・・・搬入出口、２７・・・導入口、５０・・・磁気記録媒体、５４・・・磁性層、５５・・・保護膜、５６・・・潤滑膜、６０・・・磁気記録媒体の製造装置、６４・・・磁性層形成室、６５・・・保護膜形成室、６６・・・潤滑膜形成室。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の潤滑層に紫外線を照射する装置であって、
外側チャンバと、
前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、
前記外側チャンバ内に設けられて、前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、
前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、
前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えていることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記内側チャンバは、前記光源からの紫外線を外部から内部に透過させて前記磁気記録媒体に照射させることができることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記内側チャンバは、前記磁気記録媒体を収容する筒状の本体部と、
前記本体部の一方の端部に設けられて、前記供給経路からの不活性ガスを前記本体部に導入する１または複数の導入口を有する供給側板部と、
前記本体部の他方の端部に設けられて、前記本体部内に前記磁気記録媒体を搬入および搬出する搬入出口を有する排出側板部と、を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記複数の導入口は、複数列をなすように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
基板上に、少なくとも磁性層と保護膜と潤滑層とを有する磁気記録媒体を製造する装置であって、
基板に磁性層を形成する磁性層形成室と、前記保護膜を形成する保護膜形成室と、前記潤滑膜を形成する潤滑膜形成室と、前記潤滑膜に紫外線を照射する紫外線照射装置とを備え、
前記紫外線照射装置は、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えていることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項１】
磁気記録媒体の潤滑層に紫外線を照射する装置であって、
外側チャンバと、
前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、
前記外側チャンバ内に設けられて、前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、
前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、
前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えていることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記内側チャンバは、前記光源からの紫外線を外部から内部に透過させて前記磁気記録媒体に照射させることができることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記内側チャンバは、前記磁気記録媒体を収容する筒状の本体部と、
前記本体部の一方の端部に設けられて、前記供給経路からの不活性ガスを前記本体部に導入する１または複数の導入口を有する供給側板部と、
前記本体部の他方の端部に設けられて、前記本体部内に前記磁気記録媒体を搬入および搬出する搬入出口を有する排出側板部と、を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記複数の導入口は、複数列をなすように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
基板上に、少なくとも磁性層と保護膜と潤滑層とを有する磁気記録媒体を製造する装置であって、
基板に磁性層を形成する磁性層形成室と、前記保護膜を形成する保護膜形成室と、前記潤滑膜を形成する潤滑膜形成室と、前記潤滑膜に紫外線を照射する紫外線照射装置とを備え、
前記紫外線照射装置は、外側チャンバと、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体に紫外線を照射する光源と、前記外側チャンバ内に設けられて前記磁気記録媒体を収容する内側チャンバと、前記内側チャンバ内に不活性ガスを供給する供給経路と、前記内側チャンバ内の不活性ガスを排出する排出経路と、を備えていることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−９９１６７（Ｐ２０１２−９９１６７Ａ）
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２４３８４２（Ｐ２０１０−２４３８４２）
【出願日】平成２２年１０月２９日（２０１０．１０．２９）
【出願人】（５９１０３５２０９）ワイエイシイ株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月２９日（２０１０．１０．２９）
【出願人】（５９１０３５２０９）ワイエイシイ株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
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