【課題】磁性層の表面が極めて平滑で、記録再生特性及び走行特性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体と、前記非磁性支持体の一方の主面上に形成された、非磁性粉末と結合剤と潤滑剤とを含む非磁性層と、前記非磁性層の前記非磁性支持体側とは反対側の主面上に形成された、磁性粉末と結合剤と潤滑剤とを含む磁性層とを有する磁気記録媒体であって、前記磁性粉末は、六方晶系フェライト磁性粉末、強磁性金属鉄系磁性粉末及び窒化鉄系磁性粉末からなる群から選ばれるいずれか１種であり、前記磁性粉末の平均粒子径が、１０ｎｍ以上３５ｎｍ以下であり、前記潤滑剤をｎ−ヘキサンで洗浄する前後の前記磁性層の表面のスペーシングをＴＳＡ（Ｔａｐｅ Ｓｐａｃｉｎｇ Ａｎａｌｙｚｅｒ）で測定したとき、洗浄後のスペーシングの値は、３〜１０ｎｍであり、洗浄前のスペーシングの値は、前記洗浄後のスペーシングの値に比べて１〜５ｎｍ小さい。 （もっと読む）

【課題】製造工程中にＦｅＰｔまたはＣｏＰｔ層の表面が粗くならないような、化学的に規則化されたＦｅＰｔまたはＣｏＰｔ記録層を有する、パターニングされた垂直磁気記録ディスクの作製方法を提供する。
【解決手段】ＦｅＰｔ（またはＣｏＰｔ）合金の記録層２５０を堆積させるステップと、その後、ＦｅＰｔ層２５０の上にシーリング層を堆積させてから、高温アニーリングを実行するステップを含む。高温アニーリングにより、ＦｅＰｔはＬＩ_０相で実質的に化学的に規則化される。アニーリングの後、シーリング層を除去する。シーリング層によって、ＦｅＰｔ層２５０とシーリング層の表面におけるＦｅＰｔ材料のナノクラスタ化と凝集が防止され、ＦｅＰｔの表面粗さが好ましくない大きさとなることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】複数の磁気記録媒体間の潤滑層の膜厚のバラつきを抑制し、均一な潤滑層の膜厚の磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】複数の磁気記録媒体を処理する方法であって、複数の磁気記録媒体の各々が、非磁性基体上に磁性膜、保護膜、および潤滑膜を含み、複数の磁気記録媒体をＵＶランプで照射する第１の照射工程を含み、複数の磁気記録媒体のうちの一部の磁気記録媒体をＵＶランプで追加的に照射する第２の照射工程を含む方法である。 （もっと読む）

【課題】外周傷の発生を抑えた磁気記録媒体の作製が可能となり、より外周側まで浮上性が安定した磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基体上に、磁性膜、保護膜、および潤滑膜を含む磁気記録媒体をＵＶ処理する方法であって、磁気記録媒体をＵＶランプで照射するＵＶ照射工程を含み、ＵＶ照射工程が、磁気記録媒体を樹脂で保持した状態で行われる方法である。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の潤滑層の膜厚のバラつきを抑制し、均一な潤滑層の膜厚の磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基体上に、磁性膜、保護膜、および潤滑膜を含む磁気記録媒体をＵＶ処理する方法であって、磁気記録媒体を収納するためのカセットと、磁気記録媒体をＵＶ処理するためのＵＶランプと、ＵＶランプを収納するためのＵＶランプハウスと、磁気記録媒体をＵＶランプハウスから出し入れする際にＵＶランプハウスの内部を外気から遮蔽するためのカーテンと、を準備する工程と、磁気記録媒体をＵＶランプで照射する照射工程とを含み、照射工程が、カセットおよびカーテン間の距離が６ｍｍ以上１３ｍｍ以下である条件下で行われる方法である。 （もっと読む）

【課題】保護層の厚さを２ｎｍ以下としつつも、優れた耐食性を有する磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】基板上に磁性層と、炭素系保護層とを含み、上記炭素系保護層の厚さが２ｎｍ以下であり、かつ、上記炭素系保護層表面の水滴に対する接触角が２５度以上６０度未満である。 （もっと読む）

【課題】ヘッドスペーシングの拡大、および磁性層の磁気異方性の低下を抑制することができる垂直磁気記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】（１）規則合金を構成する金属および炭素を含むターゲットを用いるスパッタ法によって、非磁性基板上に、規則合金の結晶粒子および炭素からなる粒界層を含む磁気記録層と、磁気記録層上に存在し、炭素からなる保護層前駆体とを形成する工程と、（２）保護層前駆体に、炭化水素系ガスに対するプラズマ放電により生成した炭化水素系イオンを照射して、保護層前駆体を保護層に変化させる工程とを含み、炭化水素系イオンは保護層前駆体に到達する際に３００ｅＶ以上のエネルギーを有することを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】磁気特性の変化を防止するパターン化媒体の製造プロセスを提供する。
【解決手段】実施形態は、スタックのパターン化された磁気材料を保護する方法を開示する。方法は、連続薄膜が堆積されるパターン化されたスタックの磁気材料に対して不活性である不活性材料の連続薄膜を堆積するステップと、非エッチング高レリーフ磁気アイランドの上部および側壁領域ならびにパターン化スタックの磁気薄膜エッチング表面を、空気暴露損傷および埋め戻し材料との接触による損傷から保護するために、連続薄膜から薄膜中間インターフェース層を形成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】平坦化の間に磁気ビットを保護する方法および装置を提供する。
【解決手段】実施形態は、炭素領域平面化の間に磁気ビットを保護するための方法を開示し、パターン化スタック上の磁気ビットおよび磁気薄膜に停止層を堆積させるステップと、停止層上に炭素充填層を堆積させるステップと、炭素領域の平面化およびエッチバックの間に停止層を用いて、炭素領域平面化の間にパターン化スタックの磁気ビットを保護するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドスライダの浮上挙動ないし接触挙動を安定化させ、長期間の製品信頼性を維持すること。
【解決手段】非磁性基板上に磁性層、保護層及び潤滑層が順次積層され、前記潤滑層表面は前記磁気ディスクの周方向に中心角θ_ｒ（°）毎に繰り返される凹凸構造パターンを有し、前記凹凸構造パターンは前記潤滑層と前記保護層表面との吸着により形成されており、前記磁気ヘッドスライダの固有振動数をｆ（ｋＨｚ）、磁気ディスクの回転数をＲ_０（回転/分）としたときに、前記中心角θ_ｒが次式（ａ）：θ_０＝３６０×(Ｒ_０/６０)/(ｆ×１０００)で表される角度θ_０（°）と合致しないように設定されていることを特徴とする磁気ディスク、前記磁気ディスクを含む磁気ディスク装置及びエネルギー線照射により前記凹凸構造パターンを形成する前記磁気ディスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 良好な記録再生が可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体は、基板と、基板上に設けられ、磁性材料を含有する磁気記録層と、保護層とを含む。磁気記録層は、面内方向に規則的に配列されたパターンを有する記録部と、記録部の飽和磁化よりも低い飽和磁化を有する非記録部を含む。非記録部は、磁性材料と、飽和磁化の値を該記録部の飽和磁化の値よりも低下せしめる失活種と、保護層の成分とを含有する。 （もっと読む）

【課題】小さい膜厚においても高い耐久性および高い耐食性を両立することができるＤＬＣ膜の製造方法および製造装置の提供。
【解決手段】炭化水素系原料ガスの熱分解により発生させたラジカル粒子により被成膜基板上に第１層を形成する工程と、該炭化水素系原料ガスのプラズマ中で発生させたイオン粒子により第２層を形成する工程とを含むことを特徴とする第１層および第２層から構成されるＤＬＣ膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】潤滑剤塗布プロセスにおいて所定の膜厚で均一な潤滑層を安定的に形成するためには、潤滑剤塗布液のプロセス管理が重要である。塗布液中の潤滑剤の濃度が低い場合にも適用できる、微量の試料で且つ簡便な潤滑剤塗布液の劣化診断方法を提供する。
【解決手段】本発明における潤滑剤塗布液の劣化診断方法は、塗布液を乾燥して溶媒を揮発・除去した後、ＴＯＦ−ＳＩＭＳにより発生する各種イオンを測定し、基準のＣ_３Ｈ_５Ｏイオン強度と標識のＢｉｓ体潤滑剤末端構造のＣ_６Ｈ_１１Ｏ_３イオンの強度とを比較し、イオン強度比（Ｃ_６Ｈ_１１Ｏ_３イオン強度／Ｃ_３Ｈ_５Ｏイオン強度）から潤滑剤塗布液の寿命を判定して劣化診断を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高密度でＳＮＲを高めた熱アシスト記録装置用の磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】熱アシスト記録装置用の磁気記録媒体である。該磁気記録媒体が、非磁性基体、磁気記録層、保護層、および液体潤滑層をこの順に含み、該磁気記録層が、磁性部および該磁性部を取り囲む非磁性部からなるグラニュラー構造を有し、該グラニュラー構造における該非磁性部の割合が１５体積％以上３０体積％以下であり、該非磁性部が炭素系材料を含み、該磁気記録媒体の表面が、算術平均粗さＲａおよび粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍを有し、Ｒａ／ＲＳｍが０．０５以上０．１５以下である。 （もっと読む）

【課題】短時間で、かつ磁気記録媒体の表面全体にわたって保護層の被覆性を評価できる方法およびその方法に用いる分析装置の提供。
【解決手段】本発明は、基板と、金属材料を含む磁性層と、該磁性層の上に形成された炭素系保護層とを少なくとも含む磁気記録媒体を対象とし、磁気記録媒体にコロイド微粒子を付着させる工程と、コロイド微粒子の付着状態を光学的に観察する工程とを含む炭素系保護層の被覆性を評価する方法に関する。また、本発明は、磁気記録媒体に対するコロイド水溶液の塗布手段と、磁気記録媒体を光学的に観察する手段とを含む、炭素系保護層の被覆性を評価する分析装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンドライクカーボン等のカーボン薄膜について、その膜厚を簡易な手法で評価できるようにした、カーボン薄膜の膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】基材上に形成された厚さ１００ｎｍ以下のカーボン薄膜の膜厚評価方法である。カーボン薄膜の膜厚と明度計測装置で計測したカーボン薄膜の明度との相関を求める工程と、明度計測装置によって被評価膜となるカーボン薄膜の明度を計測する工程と、計測した被評価膜となるカーボン薄膜の明度から先に求めた相関に基づき、被評価膜となるカーボン薄膜の膜厚を評価する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微小領域においても短時間で不良率抑制につながる保護膜の性質を高精度で把握する評価方法が求められている。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用保護膜の所定の領域に２×１０⁴Ｖ／ｃｍから１×１０⁷Ｖ／ｃｍの範囲の所定の電場を印加しながら前記所定の領域の表面を走査し、前記所定の領域のうち絶縁破壊を起こした領域の割合と高温高湿ドライブ評価による不良率との相関をとることを特徴とする磁気記録媒体用保護膜評価方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】十分緻密な薄膜を成膜することが可能な薄膜製造方法および装置を提供する。求める成膜特性、あるいはプロセス条件に応じた薄膜を成膜することが可能な薄膜製造方法および装置を提供する。
【解決手段】原料ガスからプラズマを生成し、該プラズマ中からイオンを抽出し、該イオンにより被成膜基板の片面または両面に薄膜を成膜する薄膜製造方法である。該方法は、該プラズマを発生させるプラズマ室と、被成膜基板を収容する成膜室と、該プラズマ室から該成膜室まで該イオンを輸送するためのイオン輸送路と、該イオン輸送路から分岐する分岐管と、該分岐管に接続された排気系統とを有する装置内で実施される。該イオン以外の原料ガスを該分岐管から排気しながら薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの使用量を抑え、コスト低減を図ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供する。
【解決手段】外側チャンバ１と、外側チャンバ１内に設けられて磁気記録媒体５０に紫外線を照射する光源２と、外側チャンバ２内に設けられて磁気記録媒体５０を収容する内側チャンバ３と、内側チャンバ３内に不活性ガスを供給する供給経路４と、内側チャンバ３内の不活性ガスを排出する排出経路５とを備えた紫外線照射装置１０を備えた製造装置。 （もっと読む）

【課題】保護膜の膜厚を薄くしつつ、耐久性および耐食性を向上させると同時に潤滑膜に対する保護膜表面の結合力を増加させる。さらに、該保護膜を備えた良好な電磁変換特性を有する磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体のための保護膜であって、該保護膜がフッ素と窒素とを含んでいることを特徴とする保護膜である。磁気記録媒体のための保護膜を製造する方法であって、基体と該基体上に形成される金属膜層とを含む積層体の上に該保護膜を形成する工程と、フッ素含有ガスおよび窒素含有ガス中で該保護膜をプラズマ処理する工程とを含むことを特徴とする方法である。 （もっと読む）