説明

内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォン

【課題】保護スクリーンが形成されたMEMSマイクロフォンを提供する。
【解決手段】MEMS本体2の開口部3に、高融点ポリマーの織布の保護スクリーン4を、MEMSマイクロフォン本体と一体として形成する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォンに関する。
【背景技術】
【0002】
知られているように、音響装置用のマイクロフォンの最も一般的なタイプは、いわゆる「ECM( エレクトレットコンデンサーマイクロホン )と「MEMS」(微小電気機械システム)マイクロフォンである。
【0003】
この2番目のマイクロフォンのタイプは、携帯電話や他の手持ち式の音響装置に設置することを目的とした小型の装置であり、典型的にはそのサイズはちょうど7x4x3mmである。
【0004】
MEMSマイクロフォンは、いわゆる「パッケージング」と呼ばれる組み立て工程によって作製されるマイクロフォン金属本体を備えており、この金属本体では、金属層も含めた種々の材料の層が完全に自動的に互いの上に重ねられる。
【0005】
マイクロフォンの内部の電気回路要素をはんだ付けした後、このようにして作製されたマイクロフォンは、その外周部を切り開くことによって使い捨てのマイクロフォンプレートから分離される。
【0006】
一回の切断作業によって、複数のマイクロフォンが切り離される。
【0007】
切断する前に全てのマイクロフォンは電気的にテストされ、はねられた物は、高品質のものから自動的に選別される。
【0008】
このようにして作製されたマイクロフォンは、基本的な特徴を有しており、最も重要な特徴は、そのサイズが極めて小さいことである。
【0009】
マイクロフォン金属本体は優れた熱導体である。
【0010】
上記の工程は、マイクロフォンの内部がはんだ付けされる際に大きな熱量を生成する。したがって製造ラインの出口において作製されたマイクロフォンの全てを量的かつ質的に管理することが必要である。
【0011】
これもまた知られているように、上記のマイクロフォンは、最終的な音響装置が組み立てられる際に、PCB(すなわちプリント回路基板またはいわゆるマザーボード)にはんだ付けされる複数の、典型的には6本の金属製のピンを備える。
【0012】
MEMSマイクロフォンをPCBに設置する典型的な方法を以下に開示する。
【0013】
MEMSマイクロフォンは、PCB(その内面または外面のいずれか)に対するマイクロフォンの設置位置に関連して、頂部または底部のいずれかに設置されるタイプのMEMSパターンを有することができる。
【0014】
そのどちらの設置パターンも音響装置を大量生産するのに使用することができ、目的とする最終的な音響装置の機構によって選択される。
【0015】
マイクロフォンの開口部は、マイクロフォンが十分に作動するように音波を受信するために、音源の方に向けて配置する必要がある。
【0016】
PCBまたはマザーボードに対するマイクロフォンの位置によって、マイクロフォンの開口部を変えることができる。
【0017】
実際には頂部に設置されるMEMSの場合、開口部は、PCBにはんだ付けされる結合ピンと反対側でPCBの面上に保持される。
【0018】
これに対して底部面に設置されるMEMSマイクロフォンの場合、PCBがドリルで穿孔され、結合ピンは全てその穴の周りに配置された端子にはんだ付けされる。
【0019】
よってMEMSの開口部を、結合ピンと同じ面に、すなわち外部の音源に向けて配置しなければならない。
【0020】
したがって上記の様々な位置は、ピンのはんだ付け作業において開口部に流れる熱量に影響を与える、より具体的には底部に設置されるMEMSの場合、その開口部は、接続ピンの最も近くに配置され、熱流量が最大になることは明らかである。
【0021】
これは、以下で明らかになるように、保護スクリーンが開口部の位置に直接適用される際にある問題を提示する。
【0022】
マイクロフォンの保護に関して、基本的に必要なのは、微粒子や水滴がマイクロフォンに進入することにより、故障が生じたり音響応答の遅れが生じるのを阻止することである。
【0023】
このような保護は、MEMS開口部の近くに保護スクリーンを配置することによって実現することができる。
【0024】
粒子の侵入に対する保護バリアとして、織物材料および多孔質媒体のスクリーンが一般に使用される。
【0025】
音響分野では、目の粗いメッシュの織物材料(ネット)が使用されることが多い。
【0026】
主に使用される材料は、20から100ミクロンの開きのネットのメッシュを有する
合成の1本糸の織り糸を有する織物で構成される。
【0027】
ポリエステルポリマー(PET)が従来より使用されている。
【0028】
このような織物材料の一例は、よく知られた「Acoustex B160」織物であり、これは1cm当たり190本の糸の密度の21ミクロンの開きのメッシュパターンを有し、これは、31ミクロンの1本糸のPET織り糸から紡がれており、160MKSレイリーの音響インピーダンスを有しており、例えばSaati SpA社によって作製される。
【0029】
保護スクリーンが適用される際の典型的な解決法は、ダイカットされた独立した部分を使用することであり、この独立した部分は、発泡接着材料を有する織物ネットで作製され、音響装置の外側の面を貫通する開口部付近に接続される。
【0030】
このように別個の要素を設けることで、スクリーンが準備段階のはんだ付け作業による熱に曝されるのを避ける。
【0031】
頂部に設置されるMEMSの場合、従来の解決法は、ダイカット部分を装置の外側本体の内側の面に適用することである。
【0032】
このような要素は、両面接着リング要素、および任意選択でハンガー層として作用する薄い発泡層を装着することにより布材料の保護スクリーンで構成される。
【0033】
ダイカット部分は、携帯電話の外側の本体、または他の音響装置に装着されたままであるため、該ダイカット部分は最適な保護を実現する。
【0034】
しかしながらこのような手法は、独立した要素を増設し、装置を最終的に組み立てる際にこの要素を必然的に取り付けなければならないため、装置を作製する時間が長くなりコストが上がるという重大な欠点に影響される。
【0035】
さらにMEMSマイクロフォンは、プリント基板はんだ付け段階から、プラスチック材料の本体を閉じる段階までの中間の組み立て段階において保護されないまま放置される。
【0036】
従来のMEMS作製方法にかなりの数の不良品があることを考えると、言及した組み立て段階においてこのような保護がないことは、かなり危険である。
【0037】
底部に設置されるMEMSは、開口部はあまり露出しないが、微粒子の侵入に対して保護する必要がある。
【0038】
今のところ、プリント回路基板の反対側の面に、合成の保護スクリーンと接着剤から成るダイカット部分が適用され、このダイカット部分によってMEMSの開口部を極めて小さい微粒子の侵入から効果的に保護している。
【0039】
このような解決法は、水平方向の開口スペースが残されているため、たとえ完璧ではないとしても十分満足のいくものではあるが、それには頂部に設置されるMEMSシステムと同様の欠点があり、つまり追加のダイカット部分を組み立てる段階があり、装置の組み立て作業においてマイクロフォンの中間の保護がないことである。
【0040】
上記に加えて、いわゆる「パッケージング」および組み立て段階において、MEMSマイクロフォンは、少なくとも2回加熱される。
【0041】
MEMSは他の作製方法によって作製することもでき、一部の作製方法では、「リフロー」工程を利用しマイクロフォン本体内に大量の熱を生成するため、マイクロフォン本体が臨界温度に到達する場合もある。
【0042】
さらに温度データは、MEMS作製方法によって変わることがあるが、これは主に該MEMSが、最終的な装置の組み立て作業段階において、上向きあるいは下向きに向けられた接続用のはんだ付け地点においてPCBにはんだ付けされるためである。
【0043】
これに関連して、MEMSが極めて小さいサイズであり、主に金属材料でできていることをなおさら指摘すべきであり、これは、温度の観点から重要な条件である。
【0044】
MEMSを作製する際に生成される温度は恐らく300℃の値であり、この値は、保護用のスクリーン材料にとって危険なものである。
【0045】
今のところ上記の保護スクリーン、すなわちバリアは通常ポリエステル(PET、ポリエチレンテレフタレート)でできており、それは240から260℃の融解温度のポリマーであるため、高温に直接曝されると合成メッシュスクリーンを損傷させたり破壊する恐れがある。
【0046】
したがって上記の理由により、上記で言及したダイカット部分はMEMSの近くに適用されるが、その中には適用されない。
【0047】
スクリーンの適用はそれ自体が、第2作業段階において全ての加熱工程の終わりに行なわれるが、それは、 MEMSを作製し、それをはんだ付けした後である。
【0048】
これは従来のMEMS作製方法の主な限界であり、この作製方法は、極めて複雑な組み立て作業であり、中間の処理段階において保護するものがなく、使用中も十分とは言えない不完全な保護しかできない。
【0049】
上記に開示したように、従来の手法は、頂部に設置されたMEMSと底部に設置されたMEMSの両方にとって理想的とは言えない。それは追加の要素を組み立てる必要があるため製造コストを大幅に上げるためである。
【0050】
さらに論理計算上の特性もまた低下するが、これは言及される追加の要素の設置が加わり、別個に扱われるためである。
【0051】
さらに保護スクリーンは、最終的な音響装置が完全に組み立てられたとき初めて、あるいは少なくともマイクロフォンをPCBにはんだ付けした後に、通常は別の顧客の異なる作製場所において適用されることをさらに指摘すべきである。
【0052】
したがって作製、保管、輸送(あるとすれば) および最終的なPCB回路のはんだ付けにおいて、MEMSは保護されない状態で放置される。
【0053】
理論上理想とする解決法は、MEMS自体を保護することである。
【0054】
換言すると、保護スクリーンをMEMSを含む1つの本体として作製すべきであり、これにより以下の組立体段階において、スクリーンの存在を「忘れる」ことが可能になる。
【0055】
実際に実施するには、温度の制限があるため、このような案には実現性がない。
【0056】
マイクロフォンをその目的とする位置にはんだ付けする前に、保護スクリーンを完全に取り付けることが極めて有利である。
【0057】
これは合成スクリーンが、少なくともはんだ付け作業において生成される熱に耐えなければならないことを意味しており、主に底部に設置されるMEMSの場合これはかなり重大なことである。
【0058】
実際には底部に設置されるMEMSでは、マイクロフォンの開口部は、PCBに面しており、PCBにはんだ付けされる結合端子に近い。
【0059】
したがってこのような金属部分の最小限の距離と高い伝導性を考えると、残念ながらスクリーンの融解温度は、はんだ付け作業において達成されてしまう。
【0060】
換言すると底部に設置されるパターンは、マイクロフォン開口部領域において最も熱を感知しやすい。
【0061】
開口部付近に保護スクリーンを設置するのが望ましいとすると、スクリーンははんだ付けの熱に耐える必要がある。
【0062】
頂部に設置されるMEMSの場合、結合ピンと開口部の距離がわずかに大きくなり、それに応じてはんだ付け作業の熱ストレスも底部に設置されるMEMSと比べて小さくなる。
【0063】
いくつかの好ましい状況では、温度の観点から従来のポリエステル製のスクリーンでも十分である。
【0064】
しかしながら目的とする用途の全てにおいて適切な保護バリアを保証するには、許容できる温度閾値がより高い材料を有することが望ましい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0065】
したがって本発明の趣旨は、上記に開示した従来技術の欠点を克服するように適合されたMEMSを保護するための内蔵式の織布材料のスクリーンを提供することである。
【0066】
上記に言及した趣旨の範囲内で、本発明の主たる目的は、MEMS作製工程においてマイクロフォンに直接適用され、微粒子および水の侵入からMEMSを保護するように適合される一方で、MEMS装置の音響効果を高める織布材料のスクリーンを提供することである。
【0067】
別の目的は、専用の作製システムを設計する、いわゆる専用の「パッケージング」を設計することによって、MEMS作製工程の開始と同時に、MEMS装置に内蔵される部分として構築することができる織布材料のスクリーンを提供することである。
【0068】
本発明の別の目的は、極めて順応性のあるやり方で、かつ外側に要素を加える必要なしにMEMSをユーザの装置に内蔵することを可能にすることである。
【0069】
本発明の別の目的は、熱に対して満足のいく十分な耐性を有するスクリーン材料で構成された織布スクリーンを提供することにより、MEMSがはんだ付け作業中に損傷しないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【0070】
本発明の一態様によると、上記に言及した趣旨および目的ならびに別の目的は、以下からより明らかになり、内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSによって達成されるが、該MEMSは、織布材料の保護スクリーンが配置される開口部を有するマイクロフォン本体を備えており、この保護スクリーンは、このようなMEMSのパッケージングにおいてマイクロフォン本体に内蔵されることを特徴とする。
【0071】
本発明の別の特徴および利点は、以下の本発明の排他的ではなく、好ましい一実施形態の詳細な開示からより明らかになると思われ、この実施形態は、限定ではなく、指し示すための例として示されている。
【図面の簡単な説明】
【0072】
【図1】PCBの頂部に設置されたMEMSの概略立面図である。
【図2】PCBの底部に設置されたMEMSの別の概略立面図である。
【発明を実施するための形態】
【0073】
上記に言及した図面の数字が表すものに関して、本発明により、MEMSを保護するために内蔵式の織布材料のスクリーンを備えたMEMSマイクロフォンは、参照番号1によって全体が示されており、織布スクリーン4がそこに配置される開口部3を有するマイクロフォン本体2を備えており、このスクリーンは、MEMS装置の「パッケージング」段階においてマイクロフォン本体2に組み込まれる。
【0074】
図1は、頂部位置におけるMEMSの1つの適用例を示している。
【0075】
より具体的には、図1は、参照番号5によって表される点線によって、独立したダイカット部分として適用される従来の保護スクリーンの位置を示している。
【0076】
それに対して本発明による保護スクリーン4は、MEMS本体2に結合され、それと一体化した部分を構成している。
【0077】
したがってマイクロフォンおよび関連するスクリーンは、独立した要素として処理することができる。
【0078】
開口部3は、音響装置の準備段階としての保管、はんだ付けおよび組み立て段階のいずれにおいても外部の粒子から完全に保護されている。
【0079】
頂部に設置される構成の場合、開口部3は、PCB7に対する結合ピン6から離間されており、保護スクリーン4は、従来のPET材料、またはPEEK、PPS、PTFEなどの高温に耐える改良ポリマーのいずれかで構成される。
【0080】
装置の外殻は、例えば携帯電話の外殻は全体が参照番号8で表されている。
【0081】
図2は、底部位置におけるMEMS1の1つの適用例を示している。
【0082】
点線5は、従来のスクリーンの位置を示しており、このスクリーンは、PCB7の外側の面にクランプ留めされた、あるいは貼り付けられたダイカット接着部分で構成されている。
【0083】
これに対して本発明によると、スクリーン4は、PCB7に近い特定の位置でマイクロフォン本体2に直接適用されている。
【0084】
このような位置にすることによって、はんだ付けから音響装置の組み立てが終わるまでの全ての作製に関する作業段階において、外部の微粒子や水滴から完全に保護することができる。
【0085】
上記の構成において、開口部3は、はんだ付けされる結合端子6の極めて近くに配置されるため、極めて高い熱ストレスが生成される。
【0086】
このことは、本発明によって、高温に対して耐性のあるポリマーを利用して保護スクリーンを作製することにより実現可能になる。
【0087】
保護スクリーン4をMEMSの外側または内側の面に直接適用するには、MEMS作製工程において、すなわちその「パッケージング」の間に作業する必要がある。
【0088】
たとえこのような工程が、いずれかの作業段階において熱を生成したとしても、スクリーン4は、この熱に耐えると思われる。
【0089】
この目的のために、構造上の材料としてPEEKなどのポリマーが使用され、これは融解温度が十分に高いことにより、作製方法において実際に到達する最大温度によって材料が損傷するのを防ぐ。
【0090】
はんだ付け作業の後の熱に耐えるために、織布スクリーンは、PEEK、PPSおよびPTFEなどの融解温度が高いポリマー材料で作製される。
【0091】
融解温度がPETよりも高いポリマーならいずれも、このような用途に適している。
【0092】
好ましい織布構造は、1本の織物の糸のメッシュパターンである。
【0093】
一例として、好適な織物ネットは、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)材料でできており、これは343℃の融解温度を有することでMEMSの作製作業およびはんだ付け作業に耐える。
【0094】
好ましくはこのような今までにない新しい材料は、25ミクロンのメッシュサイズで、1cm当たり140メッシュの間隔であり、PEEK糸または織り糸は40ミクロンの直径である。
【0095】
織布スクリーンの構造は、変えることができる。
【0096】
上記に言及したポリマーを、密度が1cm当たり100本以上の糸であり、糸の直径が60ミクロンまでの1本または複数の糸の織り糸を有する、異なる布の織り方の単一層または多層構造のいずれかで利用することが可能である。
【0097】
本発明は、意図される趣旨と目的を完璧に達成することが分かる。
【0098】
実際には、内蔵式の織布スクリーンは、MEMS作製工程においてマイクロフォン本体に直接適用され、微粒子や水滴の侵入から保護するように適合される一方で、MEMSの音響効果を高めるように作製されている。
【0099】
本発明によるスクリーンは、固有に設計された作製方法、すなわちいわゆる「パッケージング」によってMEMS装置の作製を開始すると同時に、MEMS装置の一体化した部分を構成するようになる。
【0100】
本発明によって、外部の要素を増設せずに、極めて順応性のあるやり方でMEMS装置を一体化することが可能になる。
【0101】
本発明を実践する際、使用される材料ならびに条件とするサイズおよび形状はいずれも、要件に左右される場合がある。
【符号の説明】
【0102】
1 MEMSマイクロフォン装置
2 マイクロフォン本体
3 開口部
4 スクリーン
5 従来の保護スクリーンの位置
6 結合ピン
7 PCB
8 装置の外装

【特許請求の範囲】
【請求項1】
内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォンであって、織布材料の保護スクリーンがそこに配置される開口部を有するマイクロフォン本体を備えており、この保護スクリーンが、MEMS装置のパッケージングにおいて該マイクロフォン本体に内蔵されることを特徴とする、内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォン装置。
【請求項2】
前記織布材料の保護スクリーンが、例えばPEEK、PTFE、PPS、ならびに前記MEMS装置の作成中および前記MEMSをPCBにはんだ付けする際に生成される熱に耐えるような十分に高い融解温度を有する任意のポリマーなど高温に耐えるように適合されたポリマー材料で構成されることを特徴とする、請求項1に記載の内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォン。
【請求項3】
前記MEMSマイクロフォンが、その開口部を前記PCBの表面から離すようにして頂部の設置部分に設置される、あるいは前記開口部を前記PCBに向けて底部の設置部分に設置されることを特徴とする、請求項1に記載の内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォン。
【請求項4】
前記MEMSマイクロフォンが、頂部設置位置または組み立て位置に設置される際、周辺環境の状況が比較的高い温度を伴わなければ、前記織布スクリーンが、PET、PA、PPまたは他のポリマーなど従来の材料で作製されることを特徴とする、請求項1に記載の内蔵式の織布材料の保護スクリーンを備えたMEMSマイクロフォン。

【図1】
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【図2】
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【公開番号】特開2013−55649(P2013−55649A)
【公開日】平成25年3月21日(2013.3.21)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−169852(P2012−169852)
【出願日】平成24年7月31日(2012.7.31)
【出願人】(512200310)
【Fターム(参考)】