円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイア
【課題】
ディスク生産の歩留を悪化させることなく、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができる円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイアを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで欠陥データの検査領域を設定して、この検査領域に欠陥データを制限してその中で細長い検索枠を移動させて検索枠の領域内における連続性欠陥を追跡検出していくことで、磁気ディスクが持つ円に近い比較的曲率の大きな曲線状の連続性欠陥だけを選択的に検出してそれをサークル状の欠陥として得るものである。
ディスク生産の歩留を悪化させることなく、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができる円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイアを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで欠陥データの検査領域を設定して、この検査領域に欠陥データを制限してその中で細長い検索枠を移動させて検索枠の領域内における連続性欠陥を追跡検出していくことで、磁気ディスクが持つ円に近い比較的曲率の大きな曲線状の連続性欠陥だけを選択的に検出してそれをサークル状の欠陥として得るものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイア（以下サーテファイア）に関し、詳しくは、磁気ディスクサーテファイアにおいて円周方向に沿ったスクラッチ欠陥（サークルスクラッチ）を電気的特性検査において検出できるようなサーテファイアに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータシステムに使用されるハード磁気ディスク（以下単に磁気ディスクまたはディスクという）は、磁気媒体に異常があると書込データまたは読出データにエラーが生するので、サーテファイアにより所定のテストデータ、例えば、ＦＦｈのデータをディスクの所定のトラック上に書込み、それを読出して、磁気媒体の良否をサーテファイ（電気的な特性検査での評価）している。なお、前記のＦＦｈのｈは１６進を示すものでＦＦｈは、オール“１”のビットデータを意味する。
【０００３】
サーテファイアにより検出するビットエラーには、ビットの消失、いわゆるミッシングエラー（所定の閾値以下のレベルとなったビットを含む）と、ビットの飛び出し（スパイク）によるスパイクエラー、ポジティブモジュレーションエラー、ネガティブモジュレーションエラーなどがある。また、これらとは別に、データを消去した状態においてビットが読出されるか否かを検出し、このとき検出されるエラーをエキストラ（湧きだし）エラーとしている。
ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）では、データの書込みは、コイル形式の磁気ヘッド（インダクティブヘッド）が使用され、読出しにはＭＲヘッドが使用されている。これら書込ヘッドと読出ヘッドとは複合ヘッドとして一体化され、ディスク記録密度は、日々向上している。
【０００４】
前記のような欠陥検査には、磁気ヘッドを磁気ディスクの各トラックにシークさせて磁気ヘッドにより各トラックに沿って同心円状にディスクを走査して欠陥を検出する同心円検査と呼ばれるものと、磁気ヘッド（ヘッドキャリッジ）により渦巻き状にディスクを走査して欠陥を検出するスパイラル検査と呼ばれるものとがある。
前者の同心円検査は、通常、ディスクを全面検査するのに時間がかかり、効率が悪い。しかも、最近では、検査トラック数が増大し、ディスクの品質も向上している。実際には、欠陥を持つトラックは、多くても全ラックに対して１００本乃至２００本程度である。そのため、検査トラックを一部間引いて行う間引き同心円検査や後者のスパイラル検査が行われることが多い。なお、後者のスパイラル検査においても間引きピッチでスパイラル検査が行われることもある（特許文献1，２，３）。
【特許文献１】特開平１０−２７５４３４号公報
【特許文献２】特開２０００−５７５０２号号公報
【特許文献３】特開２０００−５７５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高記録密度の要求から近年のＨＤＤで使用されているヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド＋サスペンションスプリング）の実際の大きさは、１．８インチ以下のディスクに対しては、１５ｍｍ〜２０ｍｍ程度の長さであり、サスペンションスプリングの先端に設けられる磁気ヘッドの大きさも０．５ｍｍ×０．５ｍｍ程度か、それ以下であって、スライダを含めても３ｍｍ×３ｍｍ程度のもので、非常に小さい。しかも、磁気ヘッドと磁気ディスクの間隔は、十数ｎｍから数十ｎｍの距離までに接近している。
そのため、サークルスクラッチがあると、磁気ディスクが不良となる可能性が高い。従来、このサークルスクラッチは、光学的な欠陥検査により検出されていたが最近の高記録密度では光学的な検査で合格した磁気ディスクの中にあっても電気的な特性検査でサークルスクラッチにより、不良となるディスクも出てきている。そのため、光学的検査でサークルスクラッチの検出精度を上げて不合格ディスクの判定をすることになるが、そのようにしても、本来のサークルスクラッチ以外の欠陥のあるディスクも不合格とされて、ディスク生産の歩留まりが悪化する問題がある。
【０００６】
そのため、電気的な特性検査においてサークルスクラッチを検出することが要求されているが、現在のところサークルスクラッチだけの検出は難しく、線状の欠陥を検出することになる。線状欠陥には各種の欠陥があって、線状欠陥を検出すると、サークルスクラッチ以外のものが多数検出される問題がある。
通常の線状欠陥は円周状のものでないため、ディスクの電気的な特性には大きな影響を与えない。そのため、そのような欠陥があっても電気的な特性においてディスクは不合格にならないことが多い。Ｓ字欠陥などの曲線欠陥や多数の線状の欠陥の中からサークルスクラッチを抽出するとなると、その曲率の状態や曲がる方向を含めなければならず、その判定が難しくかつその判定に時間がかかるのが現状である。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスク生産の歩留を悪化させることなく、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができる円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法あるいは磁気ディスクサーテファイアの構成は、磁気ディスクの検査をして欠陥のデータとその磁気ディスク上の位置とを採取して採取された欠陥データに対して磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定して、検査領域における欠陥データに対して検査領域の所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いある長さを持つ長方形の検索枠を設けて前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出して、検出された前記連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動し、移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域におけるサークルスクラッチ（円周方向のスクラッチ欠陥）として検出するものである。
【発明の効果】
【０００８】
このようにこの発明は、設定された円周状の検査領域の中で長方形の検索枠を連続性欠陥に沿って追従移動させて検査領域内において連続性欠陥が途切れるまで連続性欠陥の検出をし続ける。これにより、連続性欠陥のトータル長さあるいはトータル欠陥数を得て、その長さあるいは欠陥数が所定値以上のものをサークルスクラッチとして抽出する。
前記のような所定の幅の検索領域に限定して検索枠で連続性欠陥を追跡することで、この発明は、曲線状の連続性欠陥のうち円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥を排除することができる。その理由は、サークルスクラッチ以外のこれらの曲線は、検索領域により切断されてサークルスクラッチより小さな断片となるからである。そこで、問題とされるサークルスクラッチ以外のこれらの曲線の連続性欠陥は、次に説明する実施例では検索枠の８回以下の移動でその検出が終了する。
すなわち、採取された欠陥データに対して磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さに渡って欠陥データの検査領域を設定すると、この検査領域は、欠陥データに対しては、磁気ディスクの円周方向に沿ってかつ半径方向にある幅をもつ領域となる。この領域にある連続性欠陥は、この幅の中に入る線状の欠陥とサークルスクラッチ欠陥に制限できる。しかも、サークルスクラッチ欠陥は、この領域の円周方向に沿ってその中に含まれているので、線状の欠陥に対してサークルスクラッチ欠陥の方が欠陥長さあるいは欠陥数が大きくなる。
【０００９】
そこで、そのサークルスクラッチ欠陥を検出するために、この検査領域の中である幅とある長さの細長い検索枠を設定して検索枠の領域内にある連続性欠陥の方向に沿って検索枠を移動させてその連続性欠陥を追跡して連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を得る。それにより、磁気ディスクが持つ円に近い比較的曲率の大きな曲線状の連続性欠陥だけを選択的に検出してそれをサークルスクラッチとして抽出する。
この場合のある幅とある長さの検索枠は、実施例では、８回か、それ以上検索枠を継ぎ足し移動することで、検出したい最小長さ、例えば、２ｍｍのサークルスクラッチの全体が入るものとする。そのため、検索枠は、検出したい最小長さのサークルスクラッチの１／８か、それ以下の円弧断片が入る大きさ（長さと幅）の枠とする。ただし、サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周側と外周側では多少曲率が相違することがあるので、それを含むように検索枠の大きさが決定される。
検索枠は、所定の曲率のサークルスクラッチの円弧断片が入るテンプレート枠あるいは基準枠であり、検出したいサークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠の４回〜１２回程度の移動で連続性欠陥が終了するような大きさであることが好ましい。
【００１０】
この発明の検索枠を継ぎ足す具体的な移動方法の一例は、検索枠を渡る長さあるいは欠陥数を持つ連続性欠陥を検出して検索枠における連続性欠陥につての検索の開始点に対して検索枠を次の開始点に移動させる際にはその移動方向を検索枠の開始点と最後の欠陥（あるいはこれから３個以下手前の欠陥）と結ぶ方向に設定していく。これによりサークル曲線状とならない直線的な線状欠陥は、次か、次の検索枠の移動で検索枠が検査領域の幅を越えることにより連続性欠陥の検索が終了するので各種の線状欠陥が排除されていく。
さらに、前記の方向への検索枠の移動により曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥についてはその曲率に応じて途中で検索枠からはみ出すので、次の開始点は曲率に応じた方向になる。これにより検索枠の移動は、曲線の曲率に追従する方向に移動することになるので検索領域を越える向きになり、検索枠を継ぎ足す回数が低減する。
【００１１】
このようにして、検索枠を検査領域の中で順次追従移動することによりサークル状の欠陥を検索枠の長さに応じた回数で連続性欠陥の曲線に沿って追跡して検出していくことができる。その結果、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される連続性欠陥の長さあるいは欠陥数によって検出される連続性欠陥を実質的にサークルスクラッチに限定することができる。
なお、ここでの検索枠の長さは、磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて選択するとよい。
その結果、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができ、光学的検査でサークルスクラッチの検出精度を上げて不合格磁気ディスクを検出する必要がなくなり、磁気ディスク生産の歩留まりを悪化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、この発明を適用したサーテファイアの一実施例の構成図、図２（ａ）は、サークルスクラッチ検出の検査領域についての説明図、図２（ｂ）は、検索枠の設定とその移動方向についての説明図、図３（ａ）は、検索を開始する基準欠陥に対して検索枠の検索方向決定についての説明図、図３（ｂ）は、検査領域をブロック分けして検索する処理の説明図、そして 図４は、サークルスクラッチ検出処理のフローチャートである。
図１において、磁気ディスク１は、回転機構２のスピンドル２a に装着されて回転する。ロータリエンコーダ２ｂは、スピンドル２aの回転状態を検出するＩＮＤＸパルス、他のパルス等を発生し、これらパルスを検査装置５の欠陥検出処理・制御部５４に入力する。このパルスを受けて欠陥検出処理・制御部５４は、磁気ディスク１の回転基準位置（インデックス、以下ＩＮＤＸ）とこれよりの回転角度θ（＝磁気ディスクの回転量）とを検出して欠陥の位置座標を算出する。
欠陥検査においては、回転する磁気ディスク１に対して、欠陥検出処理・制御部５４の内部に設けられたＭＰＵ（マイクロプロセッサ）５４１が書込／読出制御ユニット５１に対して磁気ディスク半径方向の移動速度を決めるテストピッチの信号とテストデータ、例えば、前記したＦＦｈのデータを与える。
【００１３】
書込／読出制御ユニット５１は、ヘッドキャリッジ位置制御回路を内蔵し、ヘッドキャリッジ７を駆動して磁気ディスク１上の半径方向に沿ってＭＰＵ５４１から与えられたテストピッチに対応する所定の移動速度で書込み側のインダクティブ磁気ヘッド３ｂをシークさせる。
また、書込／読出制御ユニット５１は、ＭＰＵ５４１から与えられたテストデータを所定の電流値の信号に変換してこれを所定のタイミングで書込／読出回路５０の書込回路へと送り、これを介して磁気ヘッド３ｂを駆動する。回転基準位置を示すＩＮＤＸ信号を受けた書込／読出制御ユニット５１は、それを起点としてスパイラル走査における軌跡に沿って順次にテストデータを磁気ディスク１の所定のトラックに書込む処理をする。
なお、ロータリエンコーダ２ｂの出力は、書込／読出制御ユニット５１のほかにエラー検出ユニット５２と欠陥検出処理・制御部５４にも入力されている。
【００１４】
スパイラル走査における軌跡に沿って書込まれたテストデータはヘッドユニット４により読出される。ヘッドユニット４は、書込／読出制御ユニット５１により駆動されその移動が制御されるヘッドキャリッジ６により磁気ディスク１上のテストデータが書き込まれた所定のトラックに位置決めされる。ヘッドユニット４には、インダクティブ磁気ヘッド３ａと読出ＭＲヘッド３とが一体的に組込まれていて、ヘッドユニット４の読出ＭＲヘッド３がテストデータを読出す。
磁気ディスク１の裏面側にも前記磁気ヘッド３ｂとヘッドユニット４と同様なものが設けられている。これら磁気ヘッドとヘッドユニットについてはこの発明に直接関係はないので、図では省略してある。これら磁気ヘッドの読み書き動作も同様に行われ、欠陥データが採取されるが、以下は、磁気ディスク１の表面側の欠陥の検査について説明し、裏面側については割愛する。
読出されたテストデータは、書込／読出回路５０に加えられ、書込／読出回路５０を経てエラー検出ユニット５２に読出信号として送出されてここでエラー検出が行われる。エラー検出ユニット５２で検出されたエラービットデータは、検査装置５の欠陥検出処理・制御部５４に送出され、ここでエラービットデータに基づいて欠陥検出のために所定の解析処理とそのほかのデータ処理とが行われる。
【００１５】
８は、半周分遅延回路であって、キャリッジを移動する移動制御信号を書込／読出制御ユニット５１から受けて磁気ディスク１の１回転の周期に対してその半分の時間分移動制御信号を遅延させる回路である。この回路は、書込／読出制御ユニット５１とヘッドキャリッジ６との間に挿入されていて、書込／読出制御ユニット５１からの移動制御信号が半周期分遅延されてヘッドキャリッジ６に送出される。
その結果、ヘッドキャリッジ６、７は、書込／読出制御ユニット５１から同じ移動制御信号を受けるが、ヘッドキャリッジ６側の移動制御信号が半周期分遅れることからヘッドユニット４の読出ＭＲヘッド３は、磁気ディスク１の半径方向上のアクセス位置がヘッドキャリッジ７により位置決めされる磁気ヘッド３ｂのアクセス位置に半周期遅れて到達する。
【００１６】
例えば、図に示すように、書込側の磁気ヘッド３ｂが磁気ディスク１の外周からＤの距離の位置にあって、テストデータを書込んでいるとすると、磁気ディスク１が半周分回転して、このテストデータが書込まれた位置が読出ＭＲヘッド３の位置に来たときには、読出ＭＲヘッド３も磁気ディスク１の外周からＤの距離に位置決めされる。読出ＭＲヘッド３が前記のテストデータを読出しているときには、磁気ヘッド３ｂは、点線で示すように、磁気ディスク１の外周からＤ＋ｐ／２の位置に移動して次のテストデータを書込んでいる。ただし、ｐは、スパイラル走査の磁気ディスク半径方向の移動ピッチである。このようなテストデータの書込みと読出とがキャリッジ６，７に対する書込／読出制御ユニット５１の移動制御により半周期ずれた状態で連続的に行われる。
これにより読出ＭＲヘッド３が書込側の磁気ヘッド３ａのスパイラル走査の軌跡と同じ軌跡を描いて磁気ディスク１を走査することができる。
なお、初期状態のそれぞれのヘッドは、実質的に磁気ディスク上の同一トラックに位置決めされるように調整されて各ヘッドが各ヘッドキャリッジ６，７に取付けられている。また、スパイラル走査は、磁気ディスク１の外周から内周に向かって行われ、同時に両ヘッドキャリッジ６，７の駆動が開始されるものとする。
【００１７】
欠陥検出処理・制御部５４は、ＭＰＵ５４１，メモリ５４２、ＣＲＴディスプレイ５４３、キーボード５４４等がバス５４５により相互に接続されている。
メモリ５４２には、欠陥データ採取プログラム５４２ａと、サークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂ、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃ、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｅ、ディスク合否判定プログラム５４２ｅが格納され、検索枠の大きさ（幅Ｗ、長さＬ）、半径方向の欠陥データ検索幅ＲＷ、サークルスクラッチの分類基準値１ｍｍ，１０ｍｍ等を記憶したパラメータ領域５４２ｆ、そして作業領域５４２ｇ等が設けられている。
この実施例では、検出する欠陥の平均径を１０μｍ程度としている。この場合、欠陥データの半径方向の検索範囲を制約する欠陥データ検索幅ＲＷ（図２（ａ）参照）は、２．５インチのディスクを検査した場合にあっては１ｍｍ程度であり、半径方向に対応している連続性欠陥（複数個の欠陥が列をなして続くときの各欠陥）の欠陥数が１００個程度入るものである。検査領域Ｐの幅、すなわち、欠陥データ検索幅ＲＷは、ここでは、分類されるミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを１ｍｍ（これは、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さ（＝２ｍｍ）の１／２に相当するもの）としたときの（後述）、これに対応している。
【００１８】
検索枠（検索枠９（図２（ｂ）参照））は、長方形の追跡枠であって、２．５インチのディスクを検査した場合において、その大きさは、その幅Ｗ（垂直軸）が５０μｍであって、半径方向に連続する欠陥が５個程度、その長さＬ（水平軸）が２５０μｍであり、円周方向に連続する欠陥が２５個程度入るものである。
このような大きさの検索枠は、図２（ｂ）に示すように、サークルスクラッチの一部の円弧断片が入る大きさの枠である。前記したように連続性欠陥を追跡する検索枠は、所定の曲率のサークルスクラッチの円弧断片が入るテンプレート枠であり、サークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠９の８回かこれ以下の移動で連続性欠陥が終了するようなものである。
なお、欠陥データに対する検索枠９の設定は、例えば、検索枠９の内の領域の欠陥データを検査領域Ｐから抽出して作業領域５４２ｇの特定の場所に記憶し、この記憶された欠陥データに対して処理をすることで行われる。この場合、検索枠９の枠上にある欠陥データも含めてもよい。
【００１９】
ここで、幅Ｗ（垂直軸）を５０μｍ（＝１０μｍ×５）としたのは、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを２ｍｍとしたときに、その１／８の円弧断片２５０μｍか、それ以下の円弧断片が検索枠９の中心線Ｏに沿って入り、幅方向の前後に１個以上の余分な欠陥が入る余裕を持つ大きさである。その理由は、サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周から外周までの多少異なる曲率となる多種類のサークルスクラッチがあるからである。このようなサークルスクラッチは入る幅である必要がある。この大きさにするには半径方向に連続する欠陥が５個程度は必要になる。なお、検索枠９の大きさとしては、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さに対して１／４の円弧断片から１／１２の円弧断片が入る範囲が好ましい。前記した１／８の円弧断片の場合には、サークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠９の８回か、それ以下の移動で連続性欠陥が終了するようなものとなる。
ここでは、図２（ｂ）に示すように、検索枠９の幅Ｗは、欠陥データ検索幅ＲＷより小さく、５０μｍ〜１００μｍ程度の範囲が好ましい。その長さＬは、磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて決定され、１５０μｍ〜５００μｍ程度の範囲が好ましい。そして、欠陥データ検索幅ＲＷ（検査領域Ｐの幅）は、同様に磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて決定され、０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度が好ましい。この範囲は、サークルスクラッチやこれと類似する放物線疵として形成されるデータ読出／書込に影響する曲線疵が変化する範囲として設定されている。
したがって、ここで検出するサークルスクラッチには、サークルスクラッチと類似する放物線疵等のデータの読み／書きにおいて問題となる欠陥を含めることができる。
【００２０】
ＭＰＵ５４１は、欠陥データ採取プログラム５４２ａを実行し、スパイラル走査をして磁気ディスク１の全トラックを検査し、ロータリエンコーダ２ｂからのパルス信号と磁気ディスク１の半径方向のヘッド４の現在位置とに応じて欠陥が検出された座標値を算出し、この座標値とともに欠陥の種別を示すデータをメモリの作業領域５４２ｇに欠陥データ（各種の欠陥についてのデータ）として記憶する。
ここでの欠陥データとしては、スパイクエラー、ポジティブモジュレーションエラー、ネガティブモジュレーションエラー、ミッシングエラー、エラーをエキストラエラー等のエラーとして検出される欠陥すべてを対象とすることが好ましいが、いずれか１つの検出される欠陥に対してあるいはこれらのうちいくつかついて検出される欠陥に対して連続性欠陥を検出するものであってもよい。
ＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチの検出に対応する所定の機能キー入力に応じてサークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂを実行して、キーボード５４４からの入力されたパラメータ領域５４２ｆのデータに従って磁気ディスク上にＷ×Ｌの長方形のエリアの検索枠（図２（ｂ）の検索枠９参照）の座標値データを生成してメモリの作業領域５４２ｇに記憶して、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃをコールする。
【００２１】
次にＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃを実行して、あらかじめ半径方向に設定される欠陥データ検査幅ＲＷの磁気ディスク１周分の検査領域Ｐ（図２（ａ）参照）の欠陥データを作業領域５４２ｇから抽出して検査領域Ｐの欠陥データとして作業領域５４２ｇの所定の領域に別に記憶し、作業領域５４２ｆに記憶された検索枠９の座標値データを読出して、検査領域Ｐの欠陥データを参照して検索枠９の領域にある欠陥データを抽出して検索枠９の領域内にある連続性欠陥を検出する。検索枠９の座標データで形成される検索枠９（図２（ｂ）参照）を円周方向へ、ここでは時計方向に欠陥の連続性欠陥に沿って検索枠９を継ぎ足しように順次移動させていく。
検索枠で追跡した連続性欠陥について移動前と移動後の移動させた枠の全体の領域範囲に入る欠陥データの個数と長さとを検出して、所定値以上の連続欠陥があるときあるいは所定の長さ以上の欠陥があるときにサークルスクラッチとしてその長さと座標データとを作業領域５４２ｇの所定のエリアに記憶して、検査領域Ｐにおけるすべての連続性欠陥について検出していく。さらに、検査領域Ｐを更新して磁気ディスクの全面について連続性欠陥について検出していく。
このようにして磁気ディスクの全面についての連続性欠陥の検出が済むと、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｄをコールする。
【００２２】
次にＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｄを実行して、パラメータ領域５４２ｆのサークル欠陥のサイズ分類基準値（１ｍｍ，１０ｍｍ）を参照してショートサークルスクラッチ（以下ショートサイズ）、ミドルサークルスクラッチ（以下ミドルサイズ）、ロングサークルスクラッチ（以下ロングサイズ）の３種類の欠陥に分類する。
ショート、ミドル、ロングのサイズ分類は、連続性欠陥の長さが１ｍｍ（＝１０μｍ×１００個）以下はショート、連続性欠陥の長さが１０ｍｍ（＝１０μｍ×１０００個）以上はロングとして、その間をミドルとしてそれぞれに分類して欠陥データの個数と長さとその座標（開始点と終了点の座標）を作業領域５４２ｇに記憶する。そして、ディスク合否判定プログラム５４２ｅをコールする。
なお、前記サークルスクラッチのサイズ分類値は、サークルスクラッチ１個の長さではなく、サークルスクラッチの連続性欠陥の欠陥列における総欠陥の数であってもよい。この場合には、その基準値は１００個以下と１０００個以上として、１００個以下がショート、１０００個以上がロング、その間がミドルとなる。
また、検索枠９の長さＬとの関係でここでは検索枠９を複数回、例えば４回程度移動させて追従させて検出された連続性欠陥が前記の判定でショートとしてサークルスクラッチの一部として検出してはいるが、ショートには、円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥の断片が多く含まれる。それらは問題のあるサークルスクラッチと扱う必要はない。問題のあるサークルスクラッチあるいはほんとうのサークルスクラッチは、１ｍｍか、それ以上の長さを持つミドル、ロングとしてサイズ分類されるものである。
【００２３】
問題となるミドルサイズ、ロングサイズの連続性欠陥は、検索枠９を５回か、それ以上継ぎ足し移動させることで、サークルスクラッチが全体が入る長さとなる。検索枠９を５回継ぎ足して検出される連続性欠陥の最大長は、実質的に５×（２５０μｍ−１０μｍ）である。ここで、検索枠９の長さが（２５０μｍ−１０μｍ）と決定される理由は、検索枠における連続する最後の欠陥が次に設定される検索枠９の開始点となるからである。なお、この点については後述する。
５×（２５０μｍ−１０μｍ）の長さは、１ｍｍ以上となるが、４×（２５０μｍ−１０μｍ）の長さは、１ｍｍ以下となる。先に説明したように、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さは２ｍｍであるが、この例では、ミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さが１ｍｍになっている。それ故、１ｍｍ〜２ｍｍの長さの範囲で検出される連続性欠陥としてサークルスクラッチと各種の欠陥からなる線状欠陥がミドルとして分類される。ミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを１ｍｍにする理由は、合格ディスクの判定についての信頼性を確保するためである。この点からすれば、検索枠９の長さＬ（＝２５０μｍ）は、１ｍｍの長さのサークルスクラッチに対してその１／４の円弧断片が入るものとして決定されている。なお、８回検索枠９を継ぎ足して検出される連続性欠陥の最大長は、実質的に８×（２５０μｍ−１０μｍ）であり、２ｍｍ以下となるが、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さの２ｍｍの範囲のものとして扱う。
そこで、問題となるサークルスクラッチの判定の分類は、欠陥長さと欠陥数の両者を採用してもよい。それらのアンド条件、オア条件に応じて適切な分類分けをするとよい。そのサイズ分類数は、ショート、ミドル、ロングの３分類に限定されない。
【００２４】
次にＭＰＵ５４１は、ディスク合否判定プログラム５４２ｅを実行して、作業領域５４２ｇを参照して、まず、ロングサイズのサークルスクラッチがあるか否かを判定する。判定の結果１個でもあるときには、検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。
そうでないとき（ロングのサークルスクラッチがないとき）には、次にミドルサイズのサークルスクラッチが所定数以上あるか否かを判定する。所定数、例えば１０個とし、１０個以上あったときには検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。
ここで、１０個以上あったときとしている理由は、１ｍｍ〜２ｍｍの長さの範囲にあるサークルスクラッチと各種の欠陥からなる線状欠陥を含めてミドルサイズについて合格ディスクの判定をすることでその判定に信頼性を持たせるためでである。
そうでないときには、次に、ショートサイズのサークルスクラッチが所定数以上あるか否かを判定する。この所定数を、例えば３０個とし、これ以上あったときには、問題となるサークルスクラッチの有無に関係なく、検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。そうでないときには、合格（ＧＤ）と判定して検査磁気ディスクを合格のカセットにその磁気ディスクを収納する。
【００２５】
以下、図２，図３のサークルスクラッチ検出についての説明図と図４のサークルスクラッチ検出処理のフローチャートを参照してサークルスクラッチ検出処理について説明する。
図２（ａ）は、磁気ディスク１の半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ欠陥データの検査領域Ｐであり、検索枠９の移動が検査領域Ｐに制限されることで欠陥データを検索する範囲を検索幅ＲＷの範囲に制限する。検索枠９は、検査領域Ｐの範囲内でこれに沿って連続性欠陥を追跡移動することになる。
検査領域Ｐの検索幅ＲＷは、曲線状の連続性欠陥のうち円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥を切断する。サークルスクラッチ以外のこれらの曲線は、サークルスクラッチより小さな断片となる。したがって、これらの曲線の連続性欠陥は、この実施例では検索枠９の８回か、それ以下の移動で連続性欠陥の検出が終了する。
【００２６】
図２（ｂ）は、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷの検査領域Ｐの範囲内で移動する検索枠９の移動についての説明図である。
検索枠９は、幅Ｗと長さＬとを有していて、これら幅Ｗと長さＬの値は、キーボード５４４から入力されてパラメータ領域５４２ｆに記憶されている。これらの値は検出する欠陥の最小値とディスクの半径等に応じて変更可能である。前記したように幅Ｗは、幅ＲＷの１／２以下であって、欠陥データ検索幅ＲＷより小さく、検査領域Ｐの欠陥データ検索幅ＲＷの中に入る大きさである。
検索枠９の移動方向は、図２（ｂ）では時計方向であり、磁気ディスク１の円周方向に対応している。そのスタート点は、検索枠９ａ（９）における連続性欠陥の開始点であり、それが基準欠陥Ｋsである。そこで、基準欠陥Ｋsが検索枠９の左端の辺（時計方向の枠移動では枠の幅方向の辺）の中央に一致するように最初の検索枠９が設定される。なお、検索枠９の移動方向は、後述するように反時計方向としてもよく、あるいは移動方向として両者をそれぞれに採用していもよい。
【００２７】
基準欠陥Ｋsは、検索枠の移動過程で未登録の最初の欠陥が当てられる。検索枠９内で発見された欠陥は、メモリ５４２の所定の領域にその位置座標が記憶されて登録されて登録欠陥となる。そこで、メモリ５４２の所定の領域に記憶されていないものが未登録欠陥になる。
検索枠９は、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐにおいて連続性欠陥に沿って時計方向に採取された欠陥データを追跡して磁気ディスク１周分（トラック１周分）移動し、連続性欠陥がなくなると同じ１周分の欠陥データに対して未登録欠陥を探して次にそこを開始点として移動を繰り返す。
１周分の欠陥データに未登録欠陥がなくなると、さらに検査領域Ｐが磁気ディスクの内周から外周に向かって移動して採取された磁気ディスク上の欠陥データに対して検査領域Ｐが更新設定される。そして更新された検査領域Ｐで同様に検索枠９が移動して連続性欠陥が検出されていく。
【００２８】
ここで、検査領域Ｐの内周から外周への移動について説明する。
半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐの１周分の欠陥データについて未登録欠陥がなくなると、１周分の欠陥データに対して検索枠９の検索が完了する。その後には、欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐが半径方向にＲＷ−α分、外周側に更新される。これにより欠陥データ検索幅ＲＷが一部（α分）だけ重複される形で内周から外周へと検査領域Ｐが移動する。なお、重複幅αは、欠陥が２〜３個程度入る幅とするとよい。重複幅は、検出する欠陥が１０μｍ程度のときには２０〜３０μｍ程度である。
なお、各検索枠９が設定された範囲で検出される１個〜５個程度で孤立あるいは連続性欠陥は、連続性のない欠陥（孤立欠陥）として欠陥の各座標値が登録されてその結果は無視される。これ以外の連続性欠陥を構成するそれぞれの欠陥データは、順次作業領域５４２ｇに連続性欠陥として各座標値が登録され、残りが未登録欠陥となる。
連続性欠陥は、例えば、連続性を示すフラグを立てて連続性欠陥として位置座標が記憶されることで登録され、孤立欠陥と分けられる。あるいは孤立欠陥とは別に連続性欠陥の領域に登録される。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、基準欠陥Ｋs（開始点の欠陥）を基準とする最初の検索枠９ａ（９）の方向は、検索枠９ａの長さＬの方向の中心線Ｏが連続性欠陥の方向に合うようにまず設定される。中心線Ｏは、検索枠９ａ（９）の長さ方向の枠の中心線である。図２（ｂ）の基準欠陥Ｋs（検索枠９ａの開始点）は、検索枠９ａの幅方向の一辺と中心線Ｏとの交点上にある。図２（ｂ）に示す、移動した検索枠９ｂの基準欠陥Ｋｂ（開始点）についても同様である。
なお、このとき、複数の連続性欠陥が検索枠９に入るときには、長さの最も長い連続性欠陥あるいは欠陥個数の最も多い連続性欠陥が採用される。欠陥数あるいは長さが同一のときには、さらに基準欠陥Ｋs（開始点の欠陥）と検索枠９に入る開始点から最も遠い欠陥（欠陥列の検索枠内での最後の欠陥が開始点から最も離れているもの）を含む連続性欠陥が採用される。
ところで、ここでの連続性欠陥とは、連続性欠陥の途中で所定数以下の欠陥、例えば３個か、これ以下の単位で欠陥が欠落していて連続しないものも連続性欠陥ととみなす。３個あるいはこれ以下の途中での欠陥の欠落を無視して欠陥列を作る欠陥を連続性欠陥としている。その理由は、５個を越える連続性欠陥において途中でのこの程度の欠陥の欠落を検査上の検出ミスと判定しているからである。１０μｍ程度の欠陥検出では通常３個程度の検出欠落が生じることがある。
【００３０】
検索枠の移動方向として、２番目以降の検索枠９の方向は、すなわち、検索枠９の連続性欠陥の追従方向（移動方向）は、開始点から最も遠い欠陥を検出して、開始点と最も遠い欠陥とを結ぶ直線上Ｍの方向とする。これにより磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの曲線状態に応じた追従が可能になる。
以上は、サークルスクラッチ検索枠設定プログラムの処理において行われる。
以下、その詳細について説明する。
まず、基準欠陥Ｋsをスタートとする最初の検索枠９の方向決定について図３（ａ）を参照して説明をする。
図３（ａ）に示すように、基準欠陥Ｋsを中心として±９０゜（１８０゜）の半円の範囲Ｑで検索枠９を回転させて、欠陥データ検索幅ＲＷの範囲にある欠陥データのうち連続性のある欠陥を検索してそれらの欠陥が回帰する直線上あるいはそれらの多数の欠陥を結ぶ直線上に最初の検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ａ）の中心線Ｏを設定する。すなわち、その長さＬの方向の中心線Ｏの方向を、欠陥が形成する直線の方向に一致させて検索枠９（９ａ）を方向付ける。このとき基準欠陥Ｋsは、検索枠９（９ａ）の左端の幅方向の枠線上の中央に位置している。この状態を示すのが図２（ｂ）の検索枠９ａである。
なお、時計方向に向いた半円の範囲Ｑで連続性欠陥を検索するのは、検索方向を時計方向としているからである。半円の角度が少し傾いているのは、未登録欠陥の欠陥列の方向がその回転角の位置で発見されたからである。
【００３１】
次に、検索枠９の連続性欠陥に対する追従移動について説明する。
設定された検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ａ）において検索枠９の枠領域に渡って欠陥に連続性があるときにその連続性欠陥に追従する次の検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ｂ）が最初の検索枠９（検索枠９ａ）に継ぎ足される形（接続される形）で設定される。その継ぎ足しは、欠陥列の検索枠内での最後の欠陥が次の検索枠の開始点にされることによる。
検索枠９の追従移動は、検索枠９に渡って欠陥に連続性があるか否かによる。その判定は、検索枠９に渡って欠陥に連続性があるか否かの判定は、検索枠９の開始点の欠陥から開始点のある検索枠の１辺を除いた残り３辺のいずれかの辺の近傍（枠線までに３個程度の欠陥が入る長さ）まで欠陥が連続するか否かによる。言い換えれば、検索枠９を渡る欠陥とは、検索枠内の欠陥列の最後の欠陥の座標が検索枠線の座標より３個分（＝３０μｍ）か、それ以上に枠に接近した位置にあるか否かによる。もちろん、このときの３個分は、１０μｍ程度の欠陥検出では通常３個程度の検出欠落が生じることがあるので、連続性欠陥の途中での欠陥欠落が枠の近傍で起きているとみるからである。また、検索枠９の枠上に最後の欠陥があれば、その欠陥は恐らく枠を越え、次の枠に渡る欠陥となる。
【００３２】
検索枠９に渡って欠陥に連続性があったときには、図２（ｂ）の検索枠９ａに示すように、基準欠陥Ｋsから最も遠い欠陥を欠陥座標から検索して最も遠い欠陥Ｋａを検出する。欠陥Ｋａを次の検索枠９ｂの開始点として１つ前の枠の開始点の欠陥（基準欠陥Ｋs）と最後の欠陥Ｋａを結ぶ直線Ｍ上を検索枠９ｂ（検索枠９）の方向と決定する。次の検索枠９ｂの中心線Ｏをその方向に設定して検索枠９ａの位置から検索枠９ｂの位置に検索枠９を移動する。言い換えれば、次に連続性欠陥の検索対象となる欠陥データは、検索枠９ｂの位置のものを抽出して行われる。
図２（ｂ）に示すように、検索枠９ｂにおいても検索枠９ｂの枠に渡って連続性欠陥が連続するので、同様にして欠陥Ｋａ（開始点の欠陥）から最も遠い欠陥を欠陥座標を検索して、最も遠い欠陥Ｋｂを検出して、これを次の検索枠９ｃの開始点として１つ前の検索枠９ｂの開始点の欠陥（欠陥Ｋａ）と最後の欠陥Ｋｂを結ぶ直線Ｍ上を検索枠９ｃ（検索枠９）の方向として設定する。以下同様に検索枠９の枠を渡る欠陥の連続性を検出しながら、検索枠９を移動させ、連続性欠陥を追跡してく。
このようにして連続性欠陥が連続する限り欠陥データ検索幅ＲＷの範囲で検索枠９が順次継ぎ足されていく。その継ぎ足し移動の終了は、連続性がなくなるか、３個を越えて連続性が途切れるかによる。また、検索枠９の中の欠陥が欠陥データ検索幅ＲＷ（検査領域Ｐ）の範囲を越えたときにも終了する。そして、検査領域Ｐにおいて、次の未登録の基準欠陥Ｋsを検索することになる。
【００３３】
前記したように最初の検索枠９の検索方向は、図３（ａ）に示すように、基準欠陥Ｋsを中心として長さＬの半径で検索枠９を半円Ｑの範囲で回転させることにるが、このときも最初の検索枠９の中に、５個を越えて連続する連続欠陥が他の方向にもあるときには、その方向にも検索枠９を順次継ぎ足し設定して連続性欠陥を検索していく。
こうして検査領域Ｐの範囲で検索枠９を順次継ぎ足した範囲内の各欠陥をサークルスクラッチとして検出して作業領域５４２ｇに各連続性欠陥の個々の欠陥座標ともにそれぞれに連続するものを１個のサークルスクラッチとして順次メモリ５４２の所定の領域に記憶し登録していく。
なお、基準欠陥Ｋsの検索枠９ａの範囲内の長さしかなく、その範囲に留まる連続性欠陥も所定値以上のもの、ここでは欠陥数が５個を越えるものは連続性欠陥として後に分類処理をするのでサークルスクラッチ扱いとしている。
このように、半径方向に幅のある検索枠９の範囲で一度連続性欠陥を検出して検索枠を継ぎ足してさらに欠陥の連続性を検出することにより検査領域Ｐに入る曲線状の連続性欠陥を検出できる。さらに、この曲線状の連続性欠陥を検索枠９に限定して追跡することで、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される欠陥を実質的にサークルスクラッチに限定することができる。
【００３４】
図４は、そのサークルスクラッチの検出の全体的な処理の流れである。
まず、ＭＰＵ５４１により欠陥データ採取プログラム５４２ａが実行されて、作業領域５４２ｇに磁気ディスク全面の欠陥データが欠陥座標とともに採取される（ステップ１０１）。
次にサークルスクラッチ検出か否かの機能キー入力判定に入る（ステップ１０２）。サークルスクラッチ検出に対応する所定の機能キー以外のキーが入力されたときには、ＮＯとなって、その機能キーに応じた欠陥検出処理に移行する（ステップ１０３ａ）。
サークルスクラッチ検出に対応する所定の機能キーが入力されると、ここでＹＥＳとなり、ＭＰＵ５４１がサークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂを実行して、検索枠９のデータを生成して検索枠９を作る（ステップ１０３）。
次に、ＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃを実行して半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐを磁気ディスクの最内周に設定し（ステップ１０４）、作業領域５４２ｇから磁気ディスク１周分の欠陥データを抽出し（ステップ１０５）、未登録の欠陥から基準欠陥Ｋsを検索する（ステップ１０６）。
【００３５】
基準欠陥Ｋsに最初の検索枠９を設定して（ステップ１０７）、設定された検索枠９の領域範囲にある欠陥データを参照して検索枠９を渡る連続性欠陥があるか否か判定する（ステップ１０８）。ここでＮＯとなると、検索枠９の中に欠陥数と欠陥の長さを算出してメモリ５４２の所定の作業領域５４２ｇに記憶する（ステップ１０９）。
また、ステップ１０８の判定でＹＥＳのときには、検索枠９の最後の欠陥を検出して（ステップ１１３）、検索枠９を最後の欠陥の位置を開始点として検索枠９を移動して（ステップ１１４）、ステップ１０８へと戻る。そして、次のステップ１０９では前記と異なり、移動前の検索枠９と移動後の検索枠９におけるトータル欠陥数とトータル欠陥の長さの合計を算出してメモリ５４２の所定の作業領域５４２ｇに記憶することになる。
【００３６】
ステップ１０９の後には未登録欠陥の有無により１周分の欠陥データの検索が終了したか否かの判定をして（ステップ１１０）、ここでＮＯのときには、ステップ１０６へと戻り、同様な処理を繰り返す。ステップ１１０の判定でＹＥＳのときには、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐを外周側にＲＷ−α分移動して検索範囲を更新して（ステップ１１１）、磁気ディスクの外周まで終了したか否かの判定をして（ステップ１１２）、ここでＮＯとなると、ステップ１０５の処理へと移行して前記と同様な処理を繰り返す。
そして、ステップ１１２の判定でＹＥＳとなると、スクラッチ欠陥分類処理をして、磁気ディスクの合否判定処理に入る（ステップ１１５）。
【００３７】
以上は、検査領域Ｐにより円周状に１周分の欠陥データを順次更新していくものであるが、スパイラルやブロック対応で欠陥データの範囲を制限してサークルスクラッチを検出することができる。
図３（ｂ）は、その実施例を示す説明図である。これは、図２（ｂ）とは逆に検索枠９を反時計方向に移動させる例である。
検査領域Ｐをスパイラル走査に対応してスパイラルな検査領域Ｐａとして設定し、１周分ではなく、検査領域Ｐに対して円周方向に沿って検索ブロック１、検索ブロック２、検索ブロック３…というように重複領域Ｄａを採ってブロック分割して欠陥データを各ブロック対応に抽出する。そして、各ブロックごとの欠陥データに対して検索枠９を図２（ｂ）とは逆方向に同様にして追従させていき、サークルスクラッチを各ブロック対応で検出していく。
この場合の検査領域Ｐは、磁気ディスク一周分の欠陥データに対して検索枠の長さより５倍か、これ以上大きい所定の長さのブロックとする。順次設定された検索ブロック１、検索ブロック２、検索ブロック３…の各ブロック内の欠陥データに対して検索枠９がそのブロックの範囲で移動することになる。
【００３８】
この実施例の欠陥データ検索幅ＲＷのスパイラル状の検査領域Ｐａの幅は、検索枠９のの幅Ｗの２倍以上とし、そのブロック長さを検索枠９の５倍〜１０倍の範囲として順次読み出して検査領域をブロックとしてこのブロック対応にサークルスクラッチの検出処理をするとよい。
前記した各実施例では、検索枠９の幅Ｗと長さＬは、周囲の線状欠陥に影響されることなく、サークルスクラッチを追跡できる大きさに選択されている。サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周側と外周側では多少曲率が相違することがある。そこで、これを考慮して検索枠９の幅Ｗと長さＬとを決定することになる。検索枠９がある程度の幅を持つことで放物状の欠陥もそれにより検出することができる。
ここでの検索枠９は、各種のサークルスクラッチの円弧断片が入る大きさ（長さと幅）の枠、すなわちテンプレート枠となっているので、磁気ディスクの内周から外周までの多少異なる曲率となる多種類のサークルスクラッチを検出することができる。
その結果、磁気ディスクの合否判定に影響を与えるようなある程度の長さのサークルスクラッチとこれと同様な放物線などを積極的に検出することが可能になる。
【００３９】
さらに、前記実施例では、手前の検索枠を渡る長さあるいは欠陥数の連続性欠陥を検出しても検索枠９の領域の開始点と最後の欠陥と結ぶ方向として次の検索枠９の領域の方向を設定していくので検査領域Ｐの幅ＲＷで制限されてサークル曲線状とならない線状欠陥は、次か、次の検索枠９で枠から外れて８回程度の検索枠の移動で長さの短い欠陥として検出されていく。
さらに、前記実施例では、欠陥の連続性が検索枠９の領域を渡るときには開始点から最も遠い欠陥を次の検索枠９の領域の次の開始点の欠陥としている。しかし、この発明にあっては、次の検索枠９の領域の次の開始点は、最も遠い欠陥に続く次の欠陥としてもよく、最も遠い欠陥に限定されるものではない。
前記実施例においては、検索枠９の領域を検査領域Ｐの幅ＲＷの中で順次移動することによりサークル状の欠陥を検索枠の長さでその曲線に沿って追跡することができる。これにより、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される比較的長い長さの欠陥を実質的にサークルスクラッチとして検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上説明してきたが、実施例では、連続性の欠落が３個か、それ以下のものを連続性あるものとして、検索枠９の開始点の欠陥からいずれかの辺の近傍（枠線までに３個程度の欠陥が入る長さ）まで欠陥が連続するか否かにより、枠を渡る連続性欠陥と認定している。そこで、この発明は、最も遠い欠陥に換えて枠から３個以下で手前の欠陥を欠陥の欠落の有無にかかわらず、次の検索枠の開始点の欠陥としてもよい。同様な理由から検索枠の移動方向も前の開始点の欠陥と３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向としてもよいことはもちろんである。
また、実施例では、検査領域Ｐを磁気ディスクの内周から外周へに向かって移動させて設定しているが、この発明は、検査領域Ｐをその逆に外周から内周へに順次移動して設定してもよいことはもちろんである。
さらに、実施例では、欠陥検出においては磁気ディスクをスパイラル走査しているが、この発明は、磁気ディスクをスパイラル走査することにに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１は、この発明を適用したサーテファイアの一実施例の構成図である。
【図２】図２（ａ）は、サークルスクラッチ検出の検査領域についての説明図であり、図２（ｂ）は、検索枠の設定とその移動方向についての説明図である。
【図３】図３（ａ）は、検索を開始する基準欠陥に対して検索枠の検索方向決定についての説明図であり、図３（ｂ）は、検査領域をブロック分けして検索する処理の説明図である。
【図４】図４は、サークルスクラッチ検出処理のフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１…磁気ディスク、２…回転機構、２b…ロータリエンコーダ、
３…ＭＲヘッド、４…ヘッドユニット、５…検査装置、
６，７…ヘッドキャリッジ、８…半周分遅延回路、
５０…書込／読出回路、５１…書込／読出制御ユニット、
５２…エラー検出ユニット、５４…欠陥検出処理・制御部、
５４１…ＭＰＵ、５４２…メモリ、５４３…ＣＲＴディスプレイ、
５４４…キーボード、５４５…バス、
５４２ａ…欠陥データ採取プログラ、
５４２ｂ…サークルスクラッチ検索枠設定プログラム、
５４２ｃ…サークルスクラッチ検出プログラム、
５４２ｄ…サークルスクラッチ分類プログラム、
５４２ｅ…ディスク合否判定プログラム、
５４２ｆ…パラメータ領域、５４２ｇ…作業領域。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイア（以下サーテファイア）に関し、詳しくは、磁気ディスクサーテファイアにおいて円周方向に沿ったスクラッチ欠陥（サークルスクラッチ）を電気的特性検査において検出できるようなサーテファイアに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータシステムに使用されるハード磁気ディスク（以下単に磁気ディスクまたはディスクという）は、磁気媒体に異常があると書込データまたは読出データにエラーが生するので、サーテファイアにより所定のテストデータ、例えば、ＦＦｈのデータをディスクの所定のトラック上に書込み、それを読出して、磁気媒体の良否をサーテファイ（電気的な特性検査での評価）している。なお、前記のＦＦｈのｈは１６進を示すものでＦＦｈは、オール“１”のビットデータを意味する。
【０００３】
サーテファイアにより検出するビットエラーには、ビットの消失、いわゆるミッシングエラー（所定の閾値以下のレベルとなったビットを含む）と、ビットの飛び出し（スパイク）によるスパイクエラー、ポジティブモジュレーションエラー、ネガティブモジュレーションエラーなどがある。また、これらとは別に、データを消去した状態においてビットが読出されるか否かを検出し、このとき検出されるエラーをエキストラ（湧きだし）エラーとしている。
ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）では、データの書込みは、コイル形式の磁気ヘッド（インダクティブヘッド）が使用され、読出しにはＭＲヘッドが使用されている。これら書込ヘッドと読出ヘッドとは複合ヘッドとして一体化され、ディスク記録密度は、日々向上している。
【０００４】
前記のような欠陥検査には、磁気ヘッドを磁気ディスクの各トラックにシークさせて磁気ヘッドにより各トラックに沿って同心円状にディスクを走査して欠陥を検出する同心円検査と呼ばれるものと、磁気ヘッド（ヘッドキャリッジ）により渦巻き状にディスクを走査して欠陥を検出するスパイラル検査と呼ばれるものとがある。
前者の同心円検査は、通常、ディスクを全面検査するのに時間がかかり、効率が悪い。しかも、最近では、検査トラック数が増大し、ディスクの品質も向上している。実際には、欠陥を持つトラックは、多くても全ラックに対して１００本乃至２００本程度である。そのため、検査トラックを一部間引いて行う間引き同心円検査や後者のスパイラル検査が行われることが多い。なお、後者のスパイラル検査においても間引きピッチでスパイラル検査が行われることもある（特許文献1，２，３）。
【特許文献１】特開平１０−２７５４３４号公報
【特許文献２】特開２０００−５７５０２号号公報
【特許文献３】特開２０００−５７５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高記録密度の要求から近年のＨＤＤで使用されているヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド＋サスペンションスプリング）の実際の大きさは、１．８インチ以下のディスクに対しては、１５ｍｍ〜２０ｍｍ程度の長さであり、サスペンションスプリングの先端に設けられる磁気ヘッドの大きさも０．５ｍｍ×０．５ｍｍ程度か、それ以下であって、スライダを含めても３ｍｍ×３ｍｍ程度のもので、非常に小さい。しかも、磁気ヘッドと磁気ディスクの間隔は、十数ｎｍから数十ｎｍの距離までに接近している。
そのため、サークルスクラッチがあると、磁気ディスクが不良となる可能性が高い。従来、このサークルスクラッチは、光学的な欠陥検査により検出されていたが最近の高記録密度では光学的な検査で合格した磁気ディスクの中にあっても電気的な特性検査でサークルスクラッチにより、不良となるディスクも出てきている。そのため、光学的検査でサークルスクラッチの検出精度を上げて不合格ディスクの判定をすることになるが、そのようにしても、本来のサークルスクラッチ以外の欠陥のあるディスクも不合格とされて、ディスク生産の歩留まりが悪化する問題がある。
【０００６】
そのため、電気的な特性検査においてサークルスクラッチを検出することが要求されているが、現在のところサークルスクラッチだけの検出は難しく、線状の欠陥を検出することになる。線状欠陥には各種の欠陥があって、線状欠陥を検出すると、サークルスクラッチ以外のものが多数検出される問題がある。
通常の線状欠陥は円周状のものでないため、ディスクの電気的な特性には大きな影響を与えない。そのため、そのような欠陥があっても電気的な特性においてディスクは不合格にならないことが多い。Ｓ字欠陥などの曲線欠陥や多数の線状の欠陥の中からサークルスクラッチを抽出するとなると、その曲率の状態や曲がる方向を含めなければならず、その判定が難しくかつその判定に時間がかかるのが現状である。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスク生産の歩留を悪化させることなく、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができる円周方向のスクラッチ欠陥検出方法および磁気ディスクサーテファイアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法あるいは磁気ディスクサーテファイアの構成は、磁気ディスクの検査をして欠陥のデータとその磁気ディスク上の位置とを採取して採取された欠陥データに対して磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定して、検査領域における欠陥データに対して検査領域の所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いある長さを持つ長方形の検索枠を設けて前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出して、検出された前記連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動し、移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域におけるサークルスクラッチ（円周方向のスクラッチ欠陥）として検出するものである。
【発明の効果】
【０００８】
このようにこの発明は、設定された円周状の検査領域の中で長方形の検索枠を連続性欠陥に沿って追従移動させて検査領域内において連続性欠陥が途切れるまで連続性欠陥の検出をし続ける。これにより、連続性欠陥のトータル長さあるいはトータル欠陥数を得て、その長さあるいは欠陥数が所定値以上のものをサークルスクラッチとして抽出する。
前記のような所定の幅の検索領域に限定して検索枠で連続性欠陥を追跡することで、この発明は、曲線状の連続性欠陥のうち円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥を排除することができる。その理由は、サークルスクラッチ以外のこれらの曲線は、検索領域により切断されてサークルスクラッチより小さな断片となるからである。そこで、問題とされるサークルスクラッチ以外のこれらの曲線の連続性欠陥は、次に説明する実施例では検索枠の８回以下の移動でその検出が終了する。
すなわち、採取された欠陥データに対して磁気ディスクの半径方向に所定の幅で磁気ディスクの円周方向に磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さに渡って欠陥データの検査領域を設定すると、この検査領域は、欠陥データに対しては、磁気ディスクの円周方向に沿ってかつ半径方向にある幅をもつ領域となる。この領域にある連続性欠陥は、この幅の中に入る線状の欠陥とサークルスクラッチ欠陥に制限できる。しかも、サークルスクラッチ欠陥は、この領域の円周方向に沿ってその中に含まれているので、線状の欠陥に対してサークルスクラッチ欠陥の方が欠陥長さあるいは欠陥数が大きくなる。
【０００９】
そこで、そのサークルスクラッチ欠陥を検出するために、この検査領域の中である幅とある長さの細長い検索枠を設定して検索枠の領域内にある連続性欠陥の方向に沿って検索枠を移動させてその連続性欠陥を追跡して連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を得る。それにより、磁気ディスクが持つ円に近い比較的曲率の大きな曲線状の連続性欠陥だけを選択的に検出してそれをサークルスクラッチとして抽出する。
この場合のある幅とある長さの検索枠は、実施例では、８回か、それ以上検索枠を継ぎ足し移動することで、検出したい最小長さ、例えば、２ｍｍのサークルスクラッチの全体が入るものとする。そのため、検索枠は、検出したい最小長さのサークルスクラッチの１／８か、それ以下の円弧断片が入る大きさ（長さと幅）の枠とする。ただし、サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周側と外周側では多少曲率が相違することがあるので、それを含むように検索枠の大きさが決定される。
検索枠は、所定の曲率のサークルスクラッチの円弧断片が入るテンプレート枠あるいは基準枠であり、検出したいサークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠の４回〜１２回程度の移動で連続性欠陥が終了するような大きさであることが好ましい。
【００１０】
この発明の検索枠を継ぎ足す具体的な移動方法の一例は、検索枠を渡る長さあるいは欠陥数を持つ連続性欠陥を検出して検索枠における連続性欠陥につての検索の開始点に対して検索枠を次の開始点に移動させる際にはその移動方向を検索枠の開始点と最後の欠陥（あるいはこれから３個以下手前の欠陥）と結ぶ方向に設定していく。これによりサークル曲線状とならない直線的な線状欠陥は、次か、次の検索枠の移動で検索枠が検査領域の幅を越えることにより連続性欠陥の検索が終了するので各種の線状欠陥が排除されていく。
さらに、前記の方向への検索枠の移動により曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥についてはその曲率に応じて途中で検索枠からはみ出すので、次の開始点は曲率に応じた方向になる。これにより検索枠の移動は、曲線の曲率に追従する方向に移動することになるので検索領域を越える向きになり、検索枠を継ぎ足す回数が低減する。
【００１１】
このようにして、検索枠を検査領域の中で順次追従移動することによりサークル状の欠陥を検索枠の長さに応じた回数で連続性欠陥の曲線に沿って追跡して検出していくことができる。その結果、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される連続性欠陥の長さあるいは欠陥数によって検出される連続性欠陥を実質的にサークルスクラッチに限定することができる。
なお、ここでの検索枠の長さは、磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて選択するとよい。
その結果、電気的な特性検査でサークルスクラッチを効率よく検出ができ、光学的検査でサークルスクラッチの検出精度を上げて不合格磁気ディスクを検出する必要がなくなり、磁気ディスク生産の歩留まりを悪化を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、この発明を適用したサーテファイアの一実施例の構成図、図２（ａ）は、サークルスクラッチ検出の検査領域についての説明図、図２（ｂ）は、検索枠の設定とその移動方向についての説明図、図３（ａ）は、検索を開始する基準欠陥に対して検索枠の検索方向決定についての説明図、図３（ｂ）は、検査領域をブロック分けして検索する処理の説明図、そして 図４は、サークルスクラッチ検出処理のフローチャートである。
図１において、磁気ディスク１は、回転機構２のスピンドル２a に装着されて回転する。ロータリエンコーダ２ｂは、スピンドル２aの回転状態を検出するＩＮＤＸパルス、他のパルス等を発生し、これらパルスを検査装置５の欠陥検出処理・制御部５４に入力する。このパルスを受けて欠陥検出処理・制御部５４は、磁気ディスク１の回転基準位置（インデックス、以下ＩＮＤＸ）とこれよりの回転角度θ（＝磁気ディスクの回転量）とを検出して欠陥の位置座標を算出する。
欠陥検査においては、回転する磁気ディスク１に対して、欠陥検出処理・制御部５４の内部に設けられたＭＰＵ（マイクロプロセッサ）５４１が書込／読出制御ユニット５１に対して磁気ディスク半径方向の移動速度を決めるテストピッチの信号とテストデータ、例えば、前記したＦＦｈのデータを与える。
【００１３】
書込／読出制御ユニット５１は、ヘッドキャリッジ位置制御回路を内蔵し、ヘッドキャリッジ７を駆動して磁気ディスク１上の半径方向に沿ってＭＰＵ５４１から与えられたテストピッチに対応する所定の移動速度で書込み側のインダクティブ磁気ヘッド３ｂをシークさせる。
また、書込／読出制御ユニット５１は、ＭＰＵ５４１から与えられたテストデータを所定の電流値の信号に変換してこれを所定のタイミングで書込／読出回路５０の書込回路へと送り、これを介して磁気ヘッド３ｂを駆動する。回転基準位置を示すＩＮＤＸ信号を受けた書込／読出制御ユニット５１は、それを起点としてスパイラル走査における軌跡に沿って順次にテストデータを磁気ディスク１の所定のトラックに書込む処理をする。
なお、ロータリエンコーダ２ｂの出力は、書込／読出制御ユニット５１のほかにエラー検出ユニット５２と欠陥検出処理・制御部５４にも入力されている。
【００１４】
スパイラル走査における軌跡に沿って書込まれたテストデータはヘッドユニット４により読出される。ヘッドユニット４は、書込／読出制御ユニット５１により駆動されその移動が制御されるヘッドキャリッジ６により磁気ディスク１上のテストデータが書き込まれた所定のトラックに位置決めされる。ヘッドユニット４には、インダクティブ磁気ヘッド３ａと読出ＭＲヘッド３とが一体的に組込まれていて、ヘッドユニット４の読出ＭＲヘッド３がテストデータを読出す。
磁気ディスク１の裏面側にも前記磁気ヘッド３ｂとヘッドユニット４と同様なものが設けられている。これら磁気ヘッドとヘッドユニットについてはこの発明に直接関係はないので、図では省略してある。これら磁気ヘッドの読み書き動作も同様に行われ、欠陥データが採取されるが、以下は、磁気ディスク１の表面側の欠陥の検査について説明し、裏面側については割愛する。
読出されたテストデータは、書込／読出回路５０に加えられ、書込／読出回路５０を経てエラー検出ユニット５２に読出信号として送出されてここでエラー検出が行われる。エラー検出ユニット５２で検出されたエラービットデータは、検査装置５の欠陥検出処理・制御部５４に送出され、ここでエラービットデータに基づいて欠陥検出のために所定の解析処理とそのほかのデータ処理とが行われる。
【００１５】
８は、半周分遅延回路であって、キャリッジを移動する移動制御信号を書込／読出制御ユニット５１から受けて磁気ディスク１の１回転の周期に対してその半分の時間分移動制御信号を遅延させる回路である。この回路は、書込／読出制御ユニット５１とヘッドキャリッジ６との間に挿入されていて、書込／読出制御ユニット５１からの移動制御信号が半周期分遅延されてヘッドキャリッジ６に送出される。
その結果、ヘッドキャリッジ６、７は、書込／読出制御ユニット５１から同じ移動制御信号を受けるが、ヘッドキャリッジ６側の移動制御信号が半周期分遅れることからヘッドユニット４の読出ＭＲヘッド３は、磁気ディスク１の半径方向上のアクセス位置がヘッドキャリッジ７により位置決めされる磁気ヘッド３ｂのアクセス位置に半周期遅れて到達する。
【００１６】
例えば、図に示すように、書込側の磁気ヘッド３ｂが磁気ディスク１の外周からＤの距離の位置にあって、テストデータを書込んでいるとすると、磁気ディスク１が半周分回転して、このテストデータが書込まれた位置が読出ＭＲヘッド３の位置に来たときには、読出ＭＲヘッド３も磁気ディスク１の外周からＤの距離に位置決めされる。読出ＭＲヘッド３が前記のテストデータを読出しているときには、磁気ヘッド３ｂは、点線で示すように、磁気ディスク１の外周からＤ＋ｐ／２の位置に移動して次のテストデータを書込んでいる。ただし、ｐは、スパイラル走査の磁気ディスク半径方向の移動ピッチである。このようなテストデータの書込みと読出とがキャリッジ６，７に対する書込／読出制御ユニット５１の移動制御により半周期ずれた状態で連続的に行われる。
これにより読出ＭＲヘッド３が書込側の磁気ヘッド３ａのスパイラル走査の軌跡と同じ軌跡を描いて磁気ディスク１を走査することができる。
なお、初期状態のそれぞれのヘッドは、実質的に磁気ディスク上の同一トラックに位置決めされるように調整されて各ヘッドが各ヘッドキャリッジ６，７に取付けられている。また、スパイラル走査は、磁気ディスク１の外周から内周に向かって行われ、同時に両ヘッドキャリッジ６，７の駆動が開始されるものとする。
【００１７】
欠陥検出処理・制御部５４は、ＭＰＵ５４１，メモリ５４２、ＣＲＴディスプレイ５４３、キーボード５４４等がバス５４５により相互に接続されている。
メモリ５４２には、欠陥データ採取プログラム５４２ａと、サークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂ、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃ、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｅ、ディスク合否判定プログラム５４２ｅが格納され、検索枠の大きさ（幅Ｗ、長さＬ）、半径方向の欠陥データ検索幅ＲＷ、サークルスクラッチの分類基準値１ｍｍ，１０ｍｍ等を記憶したパラメータ領域５４２ｆ、そして作業領域５４２ｇ等が設けられている。
この実施例では、検出する欠陥の平均径を１０μｍ程度としている。この場合、欠陥データの半径方向の検索範囲を制約する欠陥データ検索幅ＲＷ（図２（ａ）参照）は、２．５インチのディスクを検査した場合にあっては１ｍｍ程度であり、半径方向に対応している連続性欠陥（複数個の欠陥が列をなして続くときの各欠陥）の欠陥数が１００個程度入るものである。検査領域Ｐの幅、すなわち、欠陥データ検索幅ＲＷは、ここでは、分類されるミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを１ｍｍ（これは、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さ（＝２ｍｍ）の１／２に相当するもの）としたときの（後述）、これに対応している。
【００１８】
検索枠（検索枠９（図２（ｂ）参照））は、長方形の追跡枠であって、２．５インチのディスクを検査した場合において、その大きさは、その幅Ｗ（垂直軸）が５０μｍであって、半径方向に連続する欠陥が５個程度、その長さＬ（水平軸）が２５０μｍであり、円周方向に連続する欠陥が２５個程度入るものである。
このような大きさの検索枠は、図２（ｂ）に示すように、サークルスクラッチの一部の円弧断片が入る大きさの枠である。前記したように連続性欠陥を追跡する検索枠は、所定の曲率のサークルスクラッチの円弧断片が入るテンプレート枠であり、サークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠９の８回かこれ以下の移動で連続性欠陥が終了するようなものである。
なお、欠陥データに対する検索枠９の設定は、例えば、検索枠９の内の領域の欠陥データを検査領域Ｐから抽出して作業領域５４２ｇの特定の場所に記憶し、この記憶された欠陥データに対して処理をすることで行われる。この場合、検索枠９の枠上にある欠陥データも含めてもよい。
【００１９】
ここで、幅Ｗ（垂直軸）を５０μｍ（＝１０μｍ×５）としたのは、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを２ｍｍとしたときに、その１／８の円弧断片２５０μｍか、それ以下の円弧断片が検索枠９の中心線Ｏに沿って入り、幅方向の前後に１個以上の余分な欠陥が入る余裕を持つ大きさである。その理由は、サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周から外周までの多少異なる曲率となる多種類のサークルスクラッチがあるからである。このようなサークルスクラッチは入る幅である必要がある。この大きさにするには半径方向に連続する欠陥が５個程度は必要になる。なお、検索枠９の大きさとしては、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さに対して１／４の円弧断片から１／１２の円弧断片が入る範囲が好ましい。前記した１／８の円弧断片の場合には、サークルスクラッチ以外の曲線のほとんどが検索枠９の８回か、それ以下の移動で連続性欠陥が終了するようなものとなる。
ここでは、図２（ｂ）に示すように、検索枠９の幅Ｗは、欠陥データ検索幅ＲＷより小さく、５０μｍ〜１００μｍ程度の範囲が好ましい。その長さＬは、磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて決定され、１５０μｍ〜５００μｍ程度の範囲が好ましい。そして、欠陥データ検索幅ＲＷ（検査領域Ｐの幅）は、同様に磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの状態に応じて決定され、０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度が好ましい。この範囲は、サークルスクラッチやこれと類似する放物線疵として形成されるデータ読出／書込に影響する曲線疵が変化する範囲として設定されている。
したがって、ここで検出するサークルスクラッチには、サークルスクラッチと類似する放物線疵等のデータの読み／書きにおいて問題となる欠陥を含めることができる。
【００２０】
ＭＰＵ５４１は、欠陥データ採取プログラム５４２ａを実行し、スパイラル走査をして磁気ディスク１の全トラックを検査し、ロータリエンコーダ２ｂからのパルス信号と磁気ディスク１の半径方向のヘッド４の現在位置とに応じて欠陥が検出された座標値を算出し、この座標値とともに欠陥の種別を示すデータをメモリの作業領域５４２ｇに欠陥データ（各種の欠陥についてのデータ）として記憶する。
ここでの欠陥データとしては、スパイクエラー、ポジティブモジュレーションエラー、ネガティブモジュレーションエラー、ミッシングエラー、エラーをエキストラエラー等のエラーとして検出される欠陥すべてを対象とすることが好ましいが、いずれか１つの検出される欠陥に対してあるいはこれらのうちいくつかついて検出される欠陥に対して連続性欠陥を検出するものであってもよい。
ＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチの検出に対応する所定の機能キー入力に応じてサークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂを実行して、キーボード５４４からの入力されたパラメータ領域５４２ｆのデータに従って磁気ディスク上にＷ×Ｌの長方形のエリアの検索枠（図２（ｂ）の検索枠９参照）の座標値データを生成してメモリの作業領域５４２ｇに記憶して、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃをコールする。
【００２１】
次にＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃを実行して、あらかじめ半径方向に設定される欠陥データ検査幅ＲＷの磁気ディスク１周分の検査領域Ｐ（図２（ａ）参照）の欠陥データを作業領域５４２ｇから抽出して検査領域Ｐの欠陥データとして作業領域５４２ｇの所定の領域に別に記憶し、作業領域５４２ｆに記憶された検索枠９の座標値データを読出して、検査領域Ｐの欠陥データを参照して検索枠９の領域にある欠陥データを抽出して検索枠９の領域内にある連続性欠陥を検出する。検索枠９の座標データで形成される検索枠９（図２（ｂ）参照）を円周方向へ、ここでは時計方向に欠陥の連続性欠陥に沿って検索枠９を継ぎ足しように順次移動させていく。
検索枠で追跡した連続性欠陥について移動前と移動後の移動させた枠の全体の領域範囲に入る欠陥データの個数と長さとを検出して、所定値以上の連続欠陥があるときあるいは所定の長さ以上の欠陥があるときにサークルスクラッチとしてその長さと座標データとを作業領域５４２ｇの所定のエリアに記憶して、検査領域Ｐにおけるすべての連続性欠陥について検出していく。さらに、検査領域Ｐを更新して磁気ディスクの全面について連続性欠陥について検出していく。
このようにして磁気ディスクの全面についての連続性欠陥の検出が済むと、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｄをコールする。
【００２２】
次にＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ分類プログラム５４２ｄを実行して、パラメータ領域５４２ｆのサークル欠陥のサイズ分類基準値（１ｍｍ，１０ｍｍ）を参照してショートサークルスクラッチ（以下ショートサイズ）、ミドルサークルスクラッチ（以下ミドルサイズ）、ロングサークルスクラッチ（以下ロングサイズ）の３種類の欠陥に分類する。
ショート、ミドル、ロングのサイズ分類は、連続性欠陥の長さが１ｍｍ（＝１０μｍ×１００個）以下はショート、連続性欠陥の長さが１０ｍｍ（＝１０μｍ×１０００個）以上はロングとして、その間をミドルとしてそれぞれに分類して欠陥データの個数と長さとその座標（開始点と終了点の座標）を作業領域５４２ｇに記憶する。そして、ディスク合否判定プログラム５４２ｅをコールする。
なお、前記サークルスクラッチのサイズ分類値は、サークルスクラッチ１個の長さではなく、サークルスクラッチの連続性欠陥の欠陥列における総欠陥の数であってもよい。この場合には、その基準値は１００個以下と１０００個以上として、１００個以下がショート、１０００個以上がロング、その間がミドルとなる。
また、検索枠９の長さＬとの関係でここでは検索枠９を複数回、例えば４回程度移動させて追従させて検出された連続性欠陥が前記の判定でショートとしてサークルスクラッチの一部として検出してはいるが、ショートには、円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥の断片が多く含まれる。それらは問題のあるサークルスクラッチと扱う必要はない。問題のあるサークルスクラッチあるいはほんとうのサークルスクラッチは、１ｍｍか、それ以上の長さを持つミドル、ロングとしてサイズ分類されるものである。
【００２３】
問題となるミドルサイズ、ロングサイズの連続性欠陥は、検索枠９を５回か、それ以上継ぎ足し移動させることで、サークルスクラッチが全体が入る長さとなる。検索枠９を５回継ぎ足して検出される連続性欠陥の最大長は、実質的に５×（２５０μｍ−１０μｍ）である。ここで、検索枠９の長さが（２５０μｍ−１０μｍ）と決定される理由は、検索枠における連続する最後の欠陥が次に設定される検索枠９の開始点となるからである。なお、この点については後述する。
５×（２５０μｍ−１０μｍ）の長さは、１ｍｍ以上となるが、４×（２５０μｍ−１０μｍ）の長さは、１ｍｍ以下となる。先に説明したように、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さは２ｍｍであるが、この例では、ミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さが１ｍｍになっている。それ故、１ｍｍ〜２ｍｍの長さの範囲で検出される連続性欠陥としてサークルスクラッチと各種の欠陥からなる線状欠陥がミドルとして分類される。ミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さを１ｍｍにする理由は、合格ディスクの判定についての信頼性を確保するためである。この点からすれば、検索枠９の長さＬ（＝２５０μｍ）は、１ｍｍの長さのサークルスクラッチに対してその１／４の円弧断片が入るものとして決定されている。なお、８回検索枠９を継ぎ足して検出される連続性欠陥の最大長は、実質的に８×（２５０μｍ−１０μｍ）であり、２ｍｍ以下となるが、検出したいミドルサイズのサークルスクラッチの最小長さの２ｍｍの範囲のものとして扱う。
そこで、問題となるサークルスクラッチの判定の分類は、欠陥長さと欠陥数の両者を採用してもよい。それらのアンド条件、オア条件に応じて適切な分類分けをするとよい。そのサイズ分類数は、ショート、ミドル、ロングの３分類に限定されない。
【００２４】
次にＭＰＵ５４１は、ディスク合否判定プログラム５４２ｅを実行して、作業領域５４２ｇを参照して、まず、ロングサイズのサークルスクラッチがあるか否かを判定する。判定の結果１個でもあるときには、検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。
そうでないとき（ロングのサークルスクラッチがないとき）には、次にミドルサイズのサークルスクラッチが所定数以上あるか否かを判定する。所定数、例えば１０個とし、１０個以上あったときには検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。
ここで、１０個以上あったときとしている理由は、１ｍｍ〜２ｍｍの長さの範囲にあるサークルスクラッチと各種の欠陥からなる線状欠陥を含めてミドルサイズについて合格ディスクの判定をすることでその判定に信頼性を持たせるためでである。
そうでないときには、次に、ショートサイズのサークルスクラッチが所定数以上あるか否かを判定する。この所定数を、例えば３０個とし、これ以上あったときには、問題となるサークルスクラッチの有無に関係なく、検査磁気ディスクをＮＧと判定して検査磁気ディスクをＮＧのカセットに収納する。そうでないときには、合格（ＧＤ）と判定して検査磁気ディスクを合格のカセットにその磁気ディスクを収納する。
【００２５】
以下、図２，図３のサークルスクラッチ検出についての説明図と図４のサークルスクラッチ検出処理のフローチャートを参照してサークルスクラッチ検出処理について説明する。
図２（ａ）は、磁気ディスク１の半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ欠陥データの検査領域Ｐであり、検索枠９の移動が検査領域Ｐに制限されることで欠陥データを検索する範囲を検索幅ＲＷの範囲に制限する。検索枠９は、検査領域Ｐの範囲内でこれに沿って連続性欠陥を追跡移動することになる。
検査領域Ｐの検索幅ＲＷは、曲線状の連続性欠陥のうち円周方向に沿わない曲線欠陥、曲率の小さい曲線欠陥、逆に曲率が大きすぎる曲線欠陥を切断する。サークルスクラッチ以外のこれらの曲線は、サークルスクラッチより小さな断片となる。したがって、これらの曲線の連続性欠陥は、この実施例では検索枠９の８回か、それ以下の移動で連続性欠陥の検出が終了する。
【００２６】
図２（ｂ）は、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷの検査領域Ｐの範囲内で移動する検索枠９の移動についての説明図である。
検索枠９は、幅Ｗと長さＬとを有していて、これら幅Ｗと長さＬの値は、キーボード５４４から入力されてパラメータ領域５４２ｆに記憶されている。これらの値は検出する欠陥の最小値とディスクの半径等に応じて変更可能である。前記したように幅Ｗは、幅ＲＷの１／２以下であって、欠陥データ検索幅ＲＷより小さく、検査領域Ｐの欠陥データ検索幅ＲＷの中に入る大きさである。
検索枠９の移動方向は、図２（ｂ）では時計方向であり、磁気ディスク１の円周方向に対応している。そのスタート点は、検索枠９ａ（９）における連続性欠陥の開始点であり、それが基準欠陥Ｋsである。そこで、基準欠陥Ｋsが検索枠９の左端の辺（時計方向の枠移動では枠の幅方向の辺）の中央に一致するように最初の検索枠９が設定される。なお、検索枠９の移動方向は、後述するように反時計方向としてもよく、あるいは移動方向として両者をそれぞれに採用していもよい。
【００２７】
基準欠陥Ｋsは、検索枠の移動過程で未登録の最初の欠陥が当てられる。検索枠９内で発見された欠陥は、メモリ５４２の所定の領域にその位置座標が記憶されて登録されて登録欠陥となる。そこで、メモリ５４２の所定の領域に記憶されていないものが未登録欠陥になる。
検索枠９は、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐにおいて連続性欠陥に沿って時計方向に採取された欠陥データを追跡して磁気ディスク１周分（トラック１周分）移動し、連続性欠陥がなくなると同じ１周分の欠陥データに対して未登録欠陥を探して次にそこを開始点として移動を繰り返す。
１周分の欠陥データに未登録欠陥がなくなると、さらに検査領域Ｐが磁気ディスクの内周から外周に向かって移動して採取された磁気ディスク上の欠陥データに対して検査領域Ｐが更新設定される。そして更新された検査領域Ｐで同様に検索枠９が移動して連続性欠陥が検出されていく。
【００２８】
ここで、検査領域Ｐの内周から外周への移動について説明する。
半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐの１周分の欠陥データについて未登録欠陥がなくなると、１周分の欠陥データに対して検索枠９の検索が完了する。その後には、欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐが半径方向にＲＷ−α分、外周側に更新される。これにより欠陥データ検索幅ＲＷが一部（α分）だけ重複される形で内周から外周へと検査領域Ｐが移動する。なお、重複幅αは、欠陥が２〜３個程度入る幅とするとよい。重複幅は、検出する欠陥が１０μｍ程度のときには２０〜３０μｍ程度である。
なお、各検索枠９が設定された範囲で検出される１個〜５個程度で孤立あるいは連続性欠陥は、連続性のない欠陥（孤立欠陥）として欠陥の各座標値が登録されてその結果は無視される。これ以外の連続性欠陥を構成するそれぞれの欠陥データは、順次作業領域５４２ｇに連続性欠陥として各座標値が登録され、残りが未登録欠陥となる。
連続性欠陥は、例えば、連続性を示すフラグを立てて連続性欠陥として位置座標が記憶されることで登録され、孤立欠陥と分けられる。あるいは孤立欠陥とは別に連続性欠陥の領域に登録される。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、基準欠陥Ｋs（開始点の欠陥）を基準とする最初の検索枠９ａ（９）の方向は、検索枠９ａの長さＬの方向の中心線Ｏが連続性欠陥の方向に合うようにまず設定される。中心線Ｏは、検索枠９ａ（９）の長さ方向の枠の中心線である。図２（ｂ）の基準欠陥Ｋs（検索枠９ａの開始点）は、検索枠９ａの幅方向の一辺と中心線Ｏとの交点上にある。図２（ｂ）に示す、移動した検索枠９ｂの基準欠陥Ｋｂ（開始点）についても同様である。
なお、このとき、複数の連続性欠陥が検索枠９に入るときには、長さの最も長い連続性欠陥あるいは欠陥個数の最も多い連続性欠陥が採用される。欠陥数あるいは長さが同一のときには、さらに基準欠陥Ｋs（開始点の欠陥）と検索枠９に入る開始点から最も遠い欠陥（欠陥列の検索枠内での最後の欠陥が開始点から最も離れているもの）を含む連続性欠陥が採用される。
ところで、ここでの連続性欠陥とは、連続性欠陥の途中で所定数以下の欠陥、例えば３個か、これ以下の単位で欠陥が欠落していて連続しないものも連続性欠陥ととみなす。３個あるいはこれ以下の途中での欠陥の欠落を無視して欠陥列を作る欠陥を連続性欠陥としている。その理由は、５個を越える連続性欠陥において途中でのこの程度の欠陥の欠落を検査上の検出ミスと判定しているからである。１０μｍ程度の欠陥検出では通常３個程度の検出欠落が生じることがある。
【００３０】
検索枠の移動方向として、２番目以降の検索枠９の方向は、すなわち、検索枠９の連続性欠陥の追従方向（移動方向）は、開始点から最も遠い欠陥を検出して、開始点と最も遠い欠陥とを結ぶ直線上Ｍの方向とする。これにより磁気ディスクの半径や検出するサークルスクラッチの曲線状態に応じた追従が可能になる。
以上は、サークルスクラッチ検索枠設定プログラムの処理において行われる。
以下、その詳細について説明する。
まず、基準欠陥Ｋsをスタートとする最初の検索枠９の方向決定について図３（ａ）を参照して説明をする。
図３（ａ）に示すように、基準欠陥Ｋsを中心として±９０゜（１８０゜）の半円の範囲Ｑで検索枠９を回転させて、欠陥データ検索幅ＲＷの範囲にある欠陥データのうち連続性のある欠陥を検索してそれらの欠陥が回帰する直線上あるいはそれらの多数の欠陥を結ぶ直線上に最初の検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ａ）の中心線Ｏを設定する。すなわち、その長さＬの方向の中心線Ｏの方向を、欠陥が形成する直線の方向に一致させて検索枠９（９ａ）を方向付ける。このとき基準欠陥Ｋsは、検索枠９（９ａ）の左端の幅方向の枠線上の中央に位置している。この状態を示すのが図２（ｂ）の検索枠９ａである。
なお、時計方向に向いた半円の範囲Ｑで連続性欠陥を検索するのは、検索方向を時計方向としているからである。半円の角度が少し傾いているのは、未登録欠陥の欠陥列の方向がその回転角の位置で発見されたからである。
【００３１】
次に、検索枠９の連続性欠陥に対する追従移動について説明する。
設定された検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ａ）において検索枠９の枠領域に渡って欠陥に連続性があるときにその連続性欠陥に追従する次の検索枠９（図２（ｂ）の検索枠９ｂ）が最初の検索枠９（検索枠９ａ）に継ぎ足される形（接続される形）で設定される。その継ぎ足しは、欠陥列の検索枠内での最後の欠陥が次の検索枠の開始点にされることによる。
検索枠９の追従移動は、検索枠９に渡って欠陥に連続性があるか否かによる。その判定は、検索枠９に渡って欠陥に連続性があるか否かの判定は、検索枠９の開始点の欠陥から開始点のある検索枠の１辺を除いた残り３辺のいずれかの辺の近傍（枠線までに３個程度の欠陥が入る長さ）まで欠陥が連続するか否かによる。言い換えれば、検索枠９を渡る欠陥とは、検索枠内の欠陥列の最後の欠陥の座標が検索枠線の座標より３個分（＝３０μｍ）か、それ以上に枠に接近した位置にあるか否かによる。もちろん、このときの３個分は、１０μｍ程度の欠陥検出では通常３個程度の検出欠落が生じることがあるので、連続性欠陥の途中での欠陥欠落が枠の近傍で起きているとみるからである。また、検索枠９の枠上に最後の欠陥があれば、その欠陥は恐らく枠を越え、次の枠に渡る欠陥となる。
【００３２】
検索枠９に渡って欠陥に連続性があったときには、図２（ｂ）の検索枠９ａに示すように、基準欠陥Ｋsから最も遠い欠陥を欠陥座標から検索して最も遠い欠陥Ｋａを検出する。欠陥Ｋａを次の検索枠９ｂの開始点として１つ前の枠の開始点の欠陥（基準欠陥Ｋs）と最後の欠陥Ｋａを結ぶ直線Ｍ上を検索枠９ｂ（検索枠９）の方向と決定する。次の検索枠９ｂの中心線Ｏをその方向に設定して検索枠９ａの位置から検索枠９ｂの位置に検索枠９を移動する。言い換えれば、次に連続性欠陥の検索対象となる欠陥データは、検索枠９ｂの位置のものを抽出して行われる。
図２（ｂ）に示すように、検索枠９ｂにおいても検索枠９ｂの枠に渡って連続性欠陥が連続するので、同様にして欠陥Ｋａ（開始点の欠陥）から最も遠い欠陥を欠陥座標を検索して、最も遠い欠陥Ｋｂを検出して、これを次の検索枠９ｃの開始点として１つ前の検索枠９ｂの開始点の欠陥（欠陥Ｋａ）と最後の欠陥Ｋｂを結ぶ直線Ｍ上を検索枠９ｃ（検索枠９）の方向として設定する。以下同様に検索枠９の枠を渡る欠陥の連続性を検出しながら、検索枠９を移動させ、連続性欠陥を追跡してく。
このようにして連続性欠陥が連続する限り欠陥データ検索幅ＲＷの範囲で検索枠９が順次継ぎ足されていく。その継ぎ足し移動の終了は、連続性がなくなるか、３個を越えて連続性が途切れるかによる。また、検索枠９の中の欠陥が欠陥データ検索幅ＲＷ（検査領域Ｐ）の範囲を越えたときにも終了する。そして、検査領域Ｐにおいて、次の未登録の基準欠陥Ｋsを検索することになる。
【００３３】
前記したように最初の検索枠９の検索方向は、図３（ａ）に示すように、基準欠陥Ｋsを中心として長さＬの半径で検索枠９を半円Ｑの範囲で回転させることにるが、このときも最初の検索枠９の中に、５個を越えて連続する連続欠陥が他の方向にもあるときには、その方向にも検索枠９を順次継ぎ足し設定して連続性欠陥を検索していく。
こうして検査領域Ｐの範囲で検索枠９を順次継ぎ足した範囲内の各欠陥をサークルスクラッチとして検出して作業領域５４２ｇに各連続性欠陥の個々の欠陥座標ともにそれぞれに連続するものを１個のサークルスクラッチとして順次メモリ５４２の所定の領域に記憶し登録していく。
なお、基準欠陥Ｋsの検索枠９ａの範囲内の長さしかなく、その範囲に留まる連続性欠陥も所定値以上のもの、ここでは欠陥数が５個を越えるものは連続性欠陥として後に分類処理をするのでサークルスクラッチ扱いとしている。
このように、半径方向に幅のある検索枠９の範囲で一度連続性欠陥を検出して検索枠を継ぎ足してさらに欠陥の連続性を検出することにより検査領域Ｐに入る曲線状の連続性欠陥を検出できる。さらに、この曲線状の連続性欠陥を検索枠９に限定して追跡することで、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される欠陥を実質的にサークルスクラッチに限定することができる。
【００３４】
図４は、そのサークルスクラッチの検出の全体的な処理の流れである。
まず、ＭＰＵ５４１により欠陥データ採取プログラム５４２ａが実行されて、作業領域５４２ｇに磁気ディスク全面の欠陥データが欠陥座標とともに採取される（ステップ１０１）。
次にサークルスクラッチ検出か否かの機能キー入力判定に入る（ステップ１０２）。サークルスクラッチ検出に対応する所定の機能キー以外のキーが入力されたときには、ＮＯとなって、その機能キーに応じた欠陥検出処理に移行する（ステップ１０３ａ）。
サークルスクラッチ検出に対応する所定の機能キーが入力されると、ここでＹＥＳとなり、ＭＰＵ５４１がサークルスクラッチ検索枠設定プログラム５４２ｂを実行して、検索枠９のデータを生成して検索枠９を作る（ステップ１０３）。
次に、ＭＰＵ５４１は、サークルスクラッチ検出プログラム５４２ｃを実行して半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐを磁気ディスクの最内周に設定し（ステップ１０４）、作業領域５４２ｇから磁気ディスク１周分の欠陥データを抽出し（ステップ１０５）、未登録の欠陥から基準欠陥Ｋsを検索する（ステップ１０６）。
【００３５】
基準欠陥Ｋsに最初の検索枠９を設定して（ステップ１０７）、設定された検索枠９の領域範囲にある欠陥データを参照して検索枠９を渡る連続性欠陥があるか否か判定する（ステップ１０８）。ここでＮＯとなると、検索枠９の中に欠陥数と欠陥の長さを算出してメモリ５４２の所定の作業領域５４２ｇに記憶する（ステップ１０９）。
また、ステップ１０８の判定でＹＥＳのときには、検索枠９の最後の欠陥を検出して（ステップ１１３）、検索枠９を最後の欠陥の位置を開始点として検索枠９を移動して（ステップ１１４）、ステップ１０８へと戻る。そして、次のステップ１０９では前記と異なり、移動前の検索枠９と移動後の検索枠９におけるトータル欠陥数とトータル欠陥の長さの合計を算出してメモリ５４２の所定の作業領域５４２ｇに記憶することになる。
【００３６】
ステップ１０９の後には未登録欠陥の有無により１周分の欠陥データの検索が終了したか否かの判定をして（ステップ１１０）、ここでＮＯのときには、ステップ１０６へと戻り、同様な処理を繰り返す。ステップ１１０の判定でＹＥＳのときには、半径方向に対応して欠陥データ検索幅ＲＷを持つ検査領域Ｐを外周側にＲＷ−α分移動して検索範囲を更新して（ステップ１１１）、磁気ディスクの外周まで終了したか否かの判定をして（ステップ１１２）、ここでＮＯとなると、ステップ１０５の処理へと移行して前記と同様な処理を繰り返す。
そして、ステップ１１２の判定でＹＥＳとなると、スクラッチ欠陥分類処理をして、磁気ディスクの合否判定処理に入る（ステップ１１５）。
【００３７】
以上は、検査領域Ｐにより円周状に１周分の欠陥データを順次更新していくものであるが、スパイラルやブロック対応で欠陥データの範囲を制限してサークルスクラッチを検出することができる。
図３（ｂ）は、その実施例を示す説明図である。これは、図２（ｂ）とは逆に検索枠９を反時計方向に移動させる例である。
検査領域Ｐをスパイラル走査に対応してスパイラルな検査領域Ｐａとして設定し、１周分ではなく、検査領域Ｐに対して円周方向に沿って検索ブロック１、検索ブロック２、検索ブロック３…というように重複領域Ｄａを採ってブロック分割して欠陥データを各ブロック対応に抽出する。そして、各ブロックごとの欠陥データに対して検索枠９を図２（ｂ）とは逆方向に同様にして追従させていき、サークルスクラッチを各ブロック対応で検出していく。
この場合の検査領域Ｐは、磁気ディスク一周分の欠陥データに対して検索枠の長さより５倍か、これ以上大きい所定の長さのブロックとする。順次設定された検索ブロック１、検索ブロック２、検索ブロック３…の各ブロック内の欠陥データに対して検索枠９がそのブロックの範囲で移動することになる。
【００３８】
この実施例の欠陥データ検索幅ＲＷのスパイラル状の検査領域Ｐａの幅は、検索枠９のの幅Ｗの２倍以上とし、そのブロック長さを検索枠９の５倍〜１０倍の範囲として順次読み出して検査領域をブロックとしてこのブロック対応にサークルスクラッチの検出処理をするとよい。
前記した各実施例では、検索枠９の幅Ｗと長さＬは、周囲の線状欠陥に影響されることなく、サークルスクラッチを追跡できる大きさに選択されている。サークルスクラッチは、完全な円に乗るものではなく、磁気ディスクの内周側と外周側では多少曲率が相違することがある。そこで、これを考慮して検索枠９の幅Ｗと長さＬとを決定することになる。検索枠９がある程度の幅を持つことで放物状の欠陥もそれにより検出することができる。
ここでの検索枠９は、各種のサークルスクラッチの円弧断片が入る大きさ（長さと幅）の枠、すなわちテンプレート枠となっているので、磁気ディスクの内周から外周までの多少異なる曲率となる多種類のサークルスクラッチを検出することができる。
その結果、磁気ディスクの合否判定に影響を与えるようなある程度の長さのサークルスクラッチとこれと同様な放物線などを積極的に検出することが可能になる。
【００３９】
さらに、前記実施例では、手前の検索枠を渡る長さあるいは欠陥数の連続性欠陥を検出しても検索枠９の領域の開始点と最後の欠陥と結ぶ方向として次の検索枠９の領域の方向を設定していくので検査領域Ｐの幅ＲＷで制限されてサークル曲線状とならない線状欠陥は、次か、次の検索枠９で枠から外れて８回程度の検索枠の移動で長さの短い欠陥として検出されていく。
さらに、前記実施例では、欠陥の連続性が検索枠９の領域を渡るときには開始点から最も遠い欠陥を次の検索枠９の領域の次の開始点の欠陥としている。しかし、この発明にあっては、次の検索枠９の領域の次の開始点は、最も遠い欠陥に続く次の欠陥としてもよく、最も遠い欠陥に限定されるものではない。
前記実施例においては、検索枠９の領域を検査領域Ｐの幅ＲＷの中で順次移動することによりサークル状の欠陥を検索枠の長さでその曲線に沿って追跡することができる。これにより、周囲の線状欠陥に影響されることなく、検出される比較的長い長さの欠陥を実質的にサークルスクラッチとして検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上説明してきたが、実施例では、連続性の欠落が３個か、それ以下のものを連続性あるものとして、検索枠９の開始点の欠陥からいずれかの辺の近傍（枠線までに３個程度の欠陥が入る長さ）まで欠陥が連続するか否かにより、枠を渡る連続性欠陥と認定している。そこで、この発明は、最も遠い欠陥に換えて枠から３個以下で手前の欠陥を欠陥の欠落の有無にかかわらず、次の検索枠の開始点の欠陥としてもよい。同様な理由から検索枠の移動方向も前の開始点の欠陥と３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向としてもよいことはもちろんである。
また、実施例では、検査領域Ｐを磁気ディスクの内周から外周へに向かって移動させて設定しているが、この発明は、検査領域Ｐをその逆に外周から内周へに順次移動して設定してもよいことはもちろんである。
さらに、実施例では、欠陥検出においては磁気ディスクをスパイラル走査しているが、この発明は、磁気ディスクをスパイラル走査することにに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１は、この発明を適用したサーテファイアの一実施例の構成図である。
【図２】図２（ａ）は、サークルスクラッチ検出の検査領域についての説明図であり、図２（ｂ）は、検索枠の設定とその移動方向についての説明図である。
【図３】図３（ａ）は、検索を開始する基準欠陥に対して検索枠の検索方向決定についての説明図であり、図３（ｂ）は、検査領域をブロック分けして検索する処理の説明図である。
【図４】図４は、サークルスクラッチ検出処理のフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１…磁気ディスク、２…回転機構、２b…ロータリエンコーダ、
３…ＭＲヘッド、４…ヘッドユニット、５…検査装置、
６，７…ヘッドキャリッジ、８…半周分遅延回路、
５０…書込／読出回路、５１…書込／読出制御ユニット、
５２…エラー検出ユニット、５４…欠陥検出処理・制御部、
５４１…ＭＰＵ、５４２…メモリ、５４３…ＣＲＴディスプレイ、
５４４…キーボード、５４５…バス、
５４２ａ…欠陥データ採取プログラ、
５４２ｂ…サークルスクラッチ検索枠設定プログラム、
５４２ｃ…サークルスクラッチ検出プログラム、
５４２ｄ…サークルスクラッチ分類プログラム、
５４２ｅ…ディスク合否判定プログラム、
５４２ｆ…パラメータ領域、５４２ｇ…作業領域。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
書込ヘッドと読出ヘッドとを有し、磁気ディスクを走査して前記書込ヘッドによりテストデータを書込み、前記読出ヘッドにより前記テストデータを読出すことで前記磁気ディスクの欠陥を検出する磁気ディスクサーテファイアにおける円周方向のスクラッチ欠陥検出方法において、
前記磁気ディスクの検査をして前記欠陥のデータとその前記磁気ディスク上の位置とを採取して採取された欠陥データに対して前記磁気ディスクの半径方向に所定の幅で前記磁気ディスクの円周方向に前記磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定して、前記検査領域における前記欠陥データに対して前記検査領域の前記所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いある長さを持つ長方形の検索枠を設けて前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出して、
検出された連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動し、移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域における円周方向のスクラッチ欠陥として検出する円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項２】
前記連続性欠陥は、欠陥の個数が５個を越える数で列を作る欠陥であり、前記検索枠の大きさは、検出したい最小の前記円周方向のスクラッチ欠陥の長さに対して１／４の円弧か、それ以下の円弧が入る長さと幅とを有し、前記検索枠を５回か、それ以上継ぎ足すように移動することで円周方向のスクラッチ欠陥を検出する請求項１記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項３】
前記連続性欠陥は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出することで行われ、
前記検索枠の移動は、前記検索枠内の前記連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出し、前記検索枠を渡るような前記連続性欠陥がある場合に前記開始点から最も遠い欠陥あるいはこれから３個以下手前の欠陥を次の前記検索枠の次の開始点の欠陥として前記検索枠を次に移動する請求項１又は２記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項４】
前記検索枠における開始点の位置は、前記長方形の幅方向の１辺と前記長さの方向における枠の中心線との交点であり、前記検索枠の移動方向は、移動前の前記検索枠の前記開始点と前記最後の欠陥あるいは前記３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向に前記中心線が位置付けられることで決定される請求項３記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項５】
採取される前記欠陥データは、前記磁気ディスクの全面を検査して得られるものであり、前記連続性欠陥は、前記欠陥の列の途中において欠陥の所定数かそれ以下が欠落しているものも含めるものであり、前記検査領域は、前記半径方向に前記磁気ディスクの内周から外周へあるいはその逆に順次設定される請求項４記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項６】
前記欠陥の所定数は、３個か、これ以下である請求項５記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項７】
前記連続性欠陥として検出されたものはメモリに記憶されることで登録され、前記ある欠陥は、未登録の欠陥であり、前記検査領域の前記所定の幅は、０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲にあって、前記検査領域の長さは、前記所定の幅よりも大きく、前記検索枠の幅は、５０μｍ〜１００μｍの範囲にあって、その長さは、１５０μｍ〜５００μｍの範囲にある請求項６記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項８】
前記検査領域は、前記磁気ディスク一周分の前記欠陥データに対して前記検索枠の長さより５倍か、これ以上大きい長さの複数のブロックに分割され、この分割されたブロックの前記欠陥データに対して前記検索枠が設定されかつ前記ブロックの範囲で検索枠が移動する請求項４記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項９】
書込ヘッドと読出ヘッドとを有し、磁気ディスクを走査して前記書込ヘッドによりテストデータを書込み、前記読出ヘッドにより前記テストデータを読出すことで前記磁気ディスクの欠陥を検出する磁気ディスクサーテファイアにおいて、
前記磁気ディスクの検査をして前記欠陥のデータとその前記磁気ディスク上の位置とを採取する欠陥データ採取手段と、
前記磁気ディスクの半径方向に所定の幅で前記磁気ディスクの円周方向に前記磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定する検査領域設定手段と、
前記検査領域における前記欠陥データに対して前記検査領域の前記所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いあるの長方形の検索枠と、
前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出する連続性欠陥検出手段と、
検出された前記連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動する検索枠移動手段とを備え、
移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域における円周方向のスクラッチ欠陥として検出する磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１０】
前記連続性欠陥は、欠陥の個数が５個を越える数で列を作る欠陥であり、前記検索枠の大きさは、検出したい最小の前記円周方向のスクラッチ欠陥の長さに対して１／４の円弧か、それ以下の円弧が入る長さと幅とを有し、前記検索枠を５回か、それ以上継ぎ足すように移動することで円周方向のスクラッチ欠陥を検出する請求項９記載のの磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１１】
前記連続性欠陥検出手段は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出するものであり、
前記検索枠移動手段は、前記検索枠内の前記連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出し、前記検索枠を渡るような前記連続性欠陥がある場合に前記開始点から最も遠い欠陥あるいはこれから３個以下手前の欠陥を次の前記検索枠の次の開始点の欠陥として前記検索枠を次に移動する請求項９又は１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１２】
前記検索枠における開始点の位置は、前記長方形の幅方向の１辺と前記長さの方向における枠の中心線との交点であり、前記検索枠の移動方向は、移動前の前記検索枠の前記開始点と前記最後の欠陥あるいは前記３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向に前記中心線が位置付けられることで決定される請求項１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１３】
採取される前記欠陥データは、前記磁気ディスクの全面を検査して得られるものであり、前記連続性欠陥は、前記欠陥の列の途中において欠陥の所定数かそれ以下が欠落しているものも含めるものであり、前記検査領域は、前記半径方向に前記磁気ディスクの内周から外周へあるいはその逆に順次設定される請求項１２記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１４】
前記欠陥の所定数は、３個か、これ以下である請求項１３記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１５】
前記連続性欠陥として検出されたものはメモリに記憶されることで登録され、前記ある欠陥は、未登録の欠陥であり、前記検査領域の前記所定の幅は、０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲にあって、前記検査領域の長さは、前記所定の幅よりも大きく、前記検索枠の幅は、５０μｍ〜１００μｍの範囲にあって、その長さは、１５０μｍ〜５００μｍの範囲にある請求項１４記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１６】
プロセッサとメモリとを有し、前記連続性欠陥検出手段は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出する検索枠設定手段を有し、前記欠陥データ採取手段と前記連続性欠陥検出手段と前記検索枠移動設定手段とが、前記プロセッサが前記メモリに記憶されたプログラムを実行することで実現される請求項１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１】
書込ヘッドと読出ヘッドとを有し、磁気ディスクを走査して前記書込ヘッドによりテストデータを書込み、前記読出ヘッドにより前記テストデータを読出すことで前記磁気ディスクの欠陥を検出する磁気ディスクサーテファイアにおける円周方向のスクラッチ欠陥検出方法において、
前記磁気ディスクの検査をして前記欠陥のデータとその前記磁気ディスク上の位置とを採取して採取された欠陥データに対して前記磁気ディスクの半径方向に所定の幅で前記磁気ディスクの円周方向に前記磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定して、前記検査領域における前記欠陥データに対して前記検査領域の前記所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いある長さを持つ長方形の検索枠を設けて前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出して、
検出された連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動し、移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域における円周方向のスクラッチ欠陥として検出する円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項２】
前記連続性欠陥は、欠陥の個数が５個を越える数で列を作る欠陥であり、前記検索枠の大きさは、検出したい最小の前記円周方向のスクラッチ欠陥の長さに対して１／４の円弧か、それ以下の円弧が入る長さと幅とを有し、前記検索枠を５回か、それ以上継ぎ足すように移動することで円周方向のスクラッチ欠陥を検出する請求項１記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項３】
前記連続性欠陥は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出することで行われ、
前記検索枠の移動は、前記検索枠内の前記連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出し、前記検索枠を渡るような前記連続性欠陥がある場合に前記開始点から最も遠い欠陥あるいはこれから３個以下手前の欠陥を次の前記検索枠の次の開始点の欠陥として前記検索枠を次に移動する請求項１又は２記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項４】
前記検索枠における開始点の位置は、前記長方形の幅方向の１辺と前記長さの方向における枠の中心線との交点であり、前記検索枠の移動方向は、移動前の前記検索枠の前記開始点と前記最後の欠陥あるいは前記３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向に前記中心線が位置付けられることで決定される請求項３記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項５】
採取される前記欠陥データは、前記磁気ディスクの全面を検査して得られるものであり、前記連続性欠陥は、前記欠陥の列の途中において欠陥の所定数かそれ以下が欠落しているものも含めるものであり、前記検査領域は、前記半径方向に前記磁気ディスクの内周から外周へあるいはその逆に順次設定される請求項４記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項６】
前記欠陥の所定数は、３個か、これ以下である請求項５記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項７】
前記連続性欠陥として検出されたものはメモリに記憶されることで登録され、前記ある欠陥は、未登録の欠陥であり、前記検査領域の前記所定の幅は、０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲にあって、前記検査領域の長さは、前記所定の幅よりも大きく、前記検索枠の幅は、５０μｍ〜１００μｍの範囲にあって、その長さは、１５０μｍ〜５００μｍの範囲にある請求項６記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項８】
前記検査領域は、前記磁気ディスク一周分の前記欠陥データに対して前記検索枠の長さより５倍か、これ以上大きい長さの複数のブロックに分割され、この分割されたブロックの前記欠陥データに対して前記検索枠が設定されかつ前記ブロックの範囲で検索枠が移動する請求項４記載の円周方向のスクラッチ欠陥検出方法。
【請求項９】
書込ヘッドと読出ヘッドとを有し、磁気ディスクを走査して前記書込ヘッドによりテストデータを書込み、前記読出ヘッドにより前記テストデータを読出すことで前記磁気ディスクの欠陥を検出する磁気ディスクサーテファイアにおいて、
前記磁気ディスクの検査をして前記欠陥のデータとその前記磁気ディスク上の位置とを採取する欠陥データ採取手段と、
前記磁気ディスクの半径方向に所定の幅で前記磁気ディスクの円周方向に前記磁気ディスク一周分に渡ってあるいは円周方向に所定の長さで前記欠陥データの検査領域を設定する検査領域設定手段と、
前記検査領域における前記欠陥データに対して前記検査領域の前記所定の幅より短いある幅でこの幅に対して直角な方向に前記所定の長さより短いあるの長方形の検索枠と、
前記検索枠の領域内において複数個の欠陥が列をなして続く連続性欠陥を検出する連続性欠陥検出手段と、
検出された前記連続性欠陥が続く方向に合わせて前記検出された連続性欠陥が前記検査領域内で続く限り前記検索枠の領域内に入るように前記検索枠を順次移動する検索枠移動手段とを備え、
移動前と移動後の前記検索枠の全領域内における前記検出された連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出してその長さあるいは欠陥数が所定値以上のものを前記検査領域における円周方向のスクラッチ欠陥として検出する磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１０】
前記連続性欠陥は、欠陥の個数が５個を越える数で列を作る欠陥であり、前記検索枠の大きさは、検出したい最小の前記円周方向のスクラッチ欠陥の長さに対して１／４の円弧か、それ以下の円弧が入る長さと幅とを有し、前記検索枠を５回か、それ以上継ぎ足すように移動することで円周方向のスクラッチ欠陥を検出する請求項９記載のの磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１１】
前記連続性欠陥検出手段は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出するものであり、
前記検索枠移動手段は、前記検索枠内の前記連続性欠陥の長さあるいは欠陥数を検出し、前記検索枠を渡るような前記連続性欠陥がある場合に前記開始点から最も遠い欠陥あるいはこれから３個以下手前の欠陥を次の前記検索枠の次の開始点の欠陥として前記検索枠を次に移動する請求項９又は１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１２】
前記検索枠における開始点の位置は、前記長方形の幅方向の１辺と前記長さの方向における枠の中心線との交点であり、前記検索枠の移動方向は、移動前の前記検索枠の前記開始点と前記最後の欠陥あるいは前記３個以下手前の欠陥とを結ぶ方向に前記中心線が位置付けられることで決定される請求項１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１３】
採取される前記欠陥データは、前記磁気ディスクの全面を検査して得られるものであり、前記連続性欠陥は、前記欠陥の列の途中において欠陥の所定数かそれ以下が欠落しているものも含めるものであり、前記検査領域は、前記半径方向に前記磁気ディスクの内周から外周へあるいはその逆に順次設定される請求項１２記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１４】
前記欠陥の所定数は、３個か、これ以下である請求項１３記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１５】
前記連続性欠陥として検出されたものはメモリに記憶されることで登録され、前記ある欠陥は、未登録の欠陥であり、前記検査領域の前記所定の幅は、０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲にあって、前記検査領域の長さは、前記所定の幅よりも大きく、前記検索枠の幅は、５０μｍ〜１００μｍの範囲にあって、その長さは、１５０μｍ〜５００μｍの範囲にある請求項１４記載の磁気ディスクサーテファイア。
【請求項１６】
プロセッサとメモリとを有し、前記連続性欠陥検出手段は、前記検査領域の前記欠陥データにおいてある欠陥を前記検索枠の開始点として選択して前記ある欠陥に続く欠陥を検出する検索枠設定手段を有し、前記欠陥データ採取手段と前記連続性欠陥検出手段と前記検索枠移動設定手段とが、前記プロセッサが前記メモリに記憶されたプログラムを実行することで実現される請求項１０記載の磁気ディスクサーテファイア。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００８−４２５３（Ｐ２００８−４２５３Ａ）
【公開日】平成２０年１月１０日（２００８．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１２３０４７（Ｐ２００７−１２３０４７）
【出願日】平成１９年５月８日（２００７．５．８）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月１０日（２００８．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年５月８日（２００７．５．８）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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