加工廃液処理装置
【課題】切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターを容易に交換することができる加工廃液処理装置を提供する。
【解決手段】加工廃液を収容する廃液タンク２と、加工廃液を送給する加工廃液送給手段８と、廃液を濾過するためのカセットフィルター４と、カセットフィルター４を支持するとともに清水流出口を備えたフィルターラック５，６と、流出した清水を貯留する清水タンク７とを具備する加工廃液処理装置であって、フィルターラック５，６は清水流出口を備えた底壁と、底壁の外周縁から立設して設けられ底壁とともに清水パンを形成する側壁５６と、底壁の上面に配設されカセットフィルター５，６を載置するための支持面を備えた複数個の支持部材５７とを備えており、複数個の支持部材５７は間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、支持面の高さ位置が側壁の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されている。
【解決手段】加工廃液を収容する廃液タンク２と、加工廃液を送給する加工廃液送給手段８と、廃液を濾過するためのカセットフィルター４と、カセットフィルター４を支持するとともに清水流出口を備えたフィルターラック５，６と、流出した清水を貯留する清水タンク７とを具備する加工廃液処理装置であって、フィルターラック５，６は清水流出口を備えた底壁と、底壁の外周縁から立設して設けられ底壁とともに清水パンを形成する側壁５６と、底壁の上面に配設されカセットフィルター５，６を載置するための支持面を備えた複数個の支持部材５７とを備えており、複数個の支持部材５７は間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、支持面の高さ位置が側壁の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置や被加工物を研削する研削装置等の加工装置に付設され、加工時に供給される加工液の廃液を濾過する加工廃液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。このように表面にデバイスが形成された半導体ウエーハをストリートに沿って切断することにより、デバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、切削ブレードに加工水を供給する加工水供給手段を具備し、該加工水供給手段によって切削水を回転する切削ブレードに供給することにより切削ブレードを冷却するとともに、切削ブレードによる被加工物の切削部に加工水を供給しつつ切削作業を実施する。
【０００４】
このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を研削する研削手段とを具備している。この研削手段は、回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを具備しており、該研削ホイールがホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなっており、研削ホイールを回転し研削水を供給しつつ研削砥石をチャックテーブルに保持された被加工物に押圧することにより被加工物を研削する。
【０００５】
上述したように切削装置による切削時や研削装置による研削時に供給された加工液にはシリコンや窒化ガリウム系化合物半導体を切削や研削することによって発生する切削屑や研削屑が混入される。この半導体素材からなる切削屑や研削屑が混入された加工廃液は環境を汚染することから、加工廃液を処理して排水しなければならず、廃液処理コストが係るという問題がある。
【０００６】
上記問題を解消するために、加工廃液をフィルターで濾過して清水を生成し、切削水または研削水として循環して使用する加工廃液処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−９５９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
而して、加工廃液を濾過することにより切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターは数十キロの重量となり、新たなフィルターと交換する作業を人力によって円滑に行うことが困難であるという問題がある。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターを容易に交換することができる加工廃液処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する加工廃液送給手段と、該加工廃液送給手段によって送給された廃液を濾過するためのカセットフィルターと、該カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックと、該フィルターラックの該清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンクと、を具備する加工廃液処理装置において、
該フィルターラックは、該清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ該底壁とともに清水パンを形成する側壁と、該底壁の上面に配設され該カセットフィルターを載置するための支持面を備えた複数個の支持部材とを備えており、
該複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、該支持面の高さ位置が該側壁の上面から該フォークの厚みより高い位置に設定されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置が提供される。
【００１１】
上記フィルターラックは上下に配設された第１のフィルターラックと第２のフィルターラックとからなり、該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックにはそれぞれ２個のカセットフィルターが配置されており、上記加工廃液送給手段は第１のフィルターラックと第２のフィルターラックに配置された４個のカセットフィルターのうちの２個のカセットフィルターからなる第１のカセットフィルターグループと他の２個のカセットフィルターからなる第２のカセットフィルターグループとに選択的に加工廃液を導入する。
上記第１のカセットフィルターグループは上記第１のフィルターラックと上記第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ一方のカセットフィルターからなり、上記第２のカセットフィルターグループは上記第１のフィルターラックと上記第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ他方のカセットフィルターからなる。
また、上記加工廃液送給手段は、上記廃液タンクに収容された加工廃液を送給するポンプと、該ポンプによって送給された加工廃液を上記第１のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第１の配管と、ポンプによって送給された加工廃液を上記第２のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第２の配管と、ポンプによって送給された加工廃液を第１の配管と第２の配管に選択的に切り換えて導入する切り換え手段と、第１の配管と第２の配管内の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段からの検出信号に基づいて該切り換え手段を制御する制御手段とを具備している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による加工廃液処理装置においては、カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって加工廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックは、清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ底壁とともに清水パンを形成する側壁と、底壁の上面に配設されカセットフィルターを載置するための複数個の支持部材とを備えており、複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面高さが該側壁の上面から該フォークの厚みより大きい値に設定されているので、カセットフィルターをフィルターラックから搬出する際はフォークリフトのフォークを複数個の支持部材間におけるカセットフィルターの下面と清水パンを形成する側壁の上面との間に侵入せしめることにより、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルターをフィルターラックから搬出することができる。従って、カセットフィルターの交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に従って構成された加工廃液処理装置の要部斜視図。
【図２】図１に示す加工廃液処理装置の要部を分解して示す斜視図。
【図３】本発明に従って構成された加工廃液処理装置の構成ブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に従って構成された加工廃液処理装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１には本発明に従って構成された加工廃液処理装置の要部斜視図が示されており、図２には図１に示す加工廃液処理装置の要部分解斜視図が示されている。
図示の実施形態における加工廃液処理装置は、加工廃液を収容する廃液タンク２と、該廃液タンク２に収容された加工廃液を送給するポンプ３と、該ポンプ３によって送給された加工廃液を濾過するための４個のカセットフィルター４a、４b、４c、４dと、上下に配設され２個のカセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５および２個のカセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６と、該第１のフィルターラック５および第２のフィルターラック６の後述する清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンク７を具備している。
【００１６】
廃液タンク２は、端壁に廃液流入口２１を備えており、該廃液流入口２１が図示しない切削装置や研削装置等の加工装置に装備される加工廃液送出手段に接続される。この廃液タンク２の上壁に加工廃液を送給するポンプ３が配設されている。
【００１７】
カセットフィルター４a、４b、４c、４dは、それぞれ筒状に形成された濾紙４１と、該濾紙４１の外周を覆う筒体４２と、筒状の濾紙４１の下端を閉塞する底板４３と、筒状の濾紙４１の上端を閉塞する天板４４とを有している。カセットフィルター４a、４b、４c、４dを構成する筒状の濾紙４１は、放射状に複数折り畳まれて形成され、濾過面積が増大するように構成されている。筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２は、側面に複数の開口４２１が形成されている。また、上記筒状の濾紙４１の上端を閉塞する天板４４には、中央部に廃液導入口４４１が設けられている。
【００１８】
上述したカセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５は、図２に示すように矩形状に形成された底壁５１と、該底壁５１の外側縁から立設された側壁５２、５３、５４、５５とからなっており、４本の支持柱５６によって支持される。第１のフィルターラック５は、底壁５１と側壁５２、５３、５４、５５によって上記カセットフィルター４aおよび４bによって加工屑が分離された濾過済み加工液である清水を収容する清水パン５０を形成している。そして、第１のフィルターラック５を構成する底壁５１には、清水パン５０に貯留された濾過済み加工液である清水を流出する清水流出口５１１が設けられている。なお、この清水流出口５１１には流出ホース５８が接続されており、清水流出口５１１から流出した清水パン５０に貯留され清水流出口５１１から流出した清水が流出ホース５８を介して後述する清水タンク７に流入するようになっている。また、第１のフィルターラック５を構成する底壁５１の上面には、上記カセットフィルター４aおよび４bを支持するためのそれぞれ２個の第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bが配設されている。この第１の支持部材５７a、５７aの上面である支持面にカセットフィルター４aが載置され、第２の支持部材５７b、５７bの上面である支持面にカセットフィルター４bが載置される。上記第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、それぞれ間隔が後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面から後述するフォークの厚みより高い位置に設定されている。なお、図示の実施形態においては、第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bはそれぞれ２個の支持部材によって形成されているが、図２において２点鎖線で示すようにそれぞれ間に１個の支持部材５７cを配設して３支持部材としてもよい。この第１の支持部材５７a、５７aと支持部材５７cとの間隔および第２の支持部材５７b、５７bと支持部材５７cとの間隔は、後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定される。
【００１９】
次に、上記カセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６について、主に図２を参照して説明する。第２のフィルターラック６は、上記第１のフィルターラック５と同様に矩形状に形成された底壁６１と、該底壁６１の外側縁から立設された側壁６２、６３、６４、６５とからなっている。第２のフィルターラック６は、底壁６１と側壁６２、６３、６４、６５によって上記カセットフィルター４cおよび４dによって加工屑が分離された濾過済み加工液である清水を収容する清水パン６０を形成している。そして、第２のフィルターラック６を構成する底壁６１には、清水パン６０に貯留された濾過済み加工液である清水を流出する清水流出口６１１、６１２、６１３が設けられており、この清水流出口６１１、６１２、６１３から流出した清水パン６０に貯留された清水が後述する清水タンク７に流入するようになっている。なお、上記流出ホース５８は、清水流出口６１２を挿通して配設される。また、第２のフィルターラック６を構成する底壁６１の上面には、上記カセットフィルター４cおよび４dを支持するためのそれぞれ２個の第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bが配設されている。この第１の支持部材６７a、６７aの上面である支持面にカセットフィルター４cが載置され、第２の支持台６７b、６７bの上面である支持面にカセットフィルター４dが載置される。上記第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、それぞれ間隔が後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面さから後述するフォークの厚みより高い位置に設定されている。なお、図示の実施形態においては、第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bはそれぞれ２個の支持部材によって形成されているが、図２において２点鎖線で示すようにそれぞれ間に１個の支持部材６７cを配設して３支持部材としてもよい。この第１の支持部材６７a、６７aと支持部材６７cとの間隔および第２の支持部材６７b、６７bと支持部材６７cとの間隔は、後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定される。
【００２０】
以上のように構成された第２のフィルターラック６は図１に示すように清水タンク７上に配置され、この第２のフィルターラック６の４隅上に上記第１のフィルターラック５の４本の支持柱５６が配置され適宜の固定手段によって固定される。
【００２１】
図２を参照して説明を続けると、清水タンク７は矩形状に形成された底壁７１と、該底壁７１の両側縁から立設された側壁７２、７３と、底壁７１の両端縁から立設された端壁７４、７５とからなっており、上方が開放して構成されている。このように構成された清水タンク７の端壁７５に排出口７５１が設けられており、該排出口７５１を通して清水タンク７内に収容された清水が排出される。
【００２２】
次に、上述した廃液タンク２に収容された加工廃液を上記カセットフィルター４a、４b、４c、４dに送給するための加工廃液送給手段について、図３を参照して説明する。
図３に示す加工廃液送給手段８は、上記廃液タンク２に収容された加工廃液を送給するポンプ３と、該ポンプ３に接続された送給配管８１と、該送給配管８１と第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cの廃液導入口４４１および４４１とを接続する第１の配管８１aと、送給配管８１と第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dの廃液導入口４４１および４４１とを接続する第２の配管８１bと、送給配管８１と第１の配管８１aおよび第２の配管８１bとの間に配設された電磁切り換え弁８２を具備している。この電磁切り換え弁８２は、除勢(OFF)している状態では送給配管８１と第１の配管８１aおよび第２の配管８１bとの連通を遮断しており、一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)すると送給配管８１と第１の配管８１aが連通し、他方の電磁コイル８２bを附勢(ON)すると送給配管８１と第２の配管８１bが連通するようになっている。従って、電磁切り換え弁８２は、ポンプ３によって送給された加工廃液を第１の配管８１aと第２の配管８１bに選択的に切り換えて導入する切り換え手段として機能する。なお、送給配管８１には、上記第１の配管８１aと第２の配管８１b内の加工廃液の圧力を検出する圧力検出手段８３が配設されている。この圧力検出手段８３は、その検出信号を後述する制御手段に送る。なお、図示の実施形態においては圧力検出手段８３を送給配管８１に配設した例を示したが、圧力検出手段８３は第１の配管８１aと第２の配管８１bにそれぞれ配設してもよい。
【００２３】
また、図示の実施形態における加工廃液処理装置は、上記圧力検出手段８３からの圧力信号を入力し、上記ポンプ３、電磁切り換え弁８２に制御信号を出力する制御手段９を具備している。この制御手段９は、上記廃液タンク２および清水タンク７に隣接して配設されている。
【００２４】
図示の実施形態における加工廃液処理装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
廃液タンク２に収容された加工廃液を処理するに際しては、制御手段９は先ずポンプ３を作動するとともに、電磁切り換え弁８２の一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第１の配管８１aを介して第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cに導入される。カセットフィルター４aに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出する。このようにして第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出した清水は、第１のフィルターラック５の底壁５１に形成された清水流出口５１１から流出し、流出ホース５８を介して清水タンク７に流入する。
【００２５】
一方、カセットフィルター４cに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出する。このようにして第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出した清水は、第２のフィルターラック６の底壁６１に形成された清水流出口６１１、６１２、６１３から流出して清水タンク７に流入する。
このようにして清水タンク７に流入した清水は、排出口７５１から図示しない加工装置に装備された加工液供給手段によって再循環されるか、廃棄手段を介して廃棄される。
【００２６】
以上のようにして、第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによる加工廃液の処理を実施していると、カセットフィルター４aおよび４cを構成する筒状の濾紙４１の内側には加工屑が堆積する。筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、加工液が筒状の濾紙４１を通過し難くなり、フィルターとしての機能が失われる。このように筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、筒状の濾紙４１内の圧力が上昇し第１の配管８１a内の圧力が上昇する。この結果、第１の配管８１aと電磁切り換え弁８２を介して連通している送給配管８１の圧力も上昇し、送給配管８１内の圧力が例えば２気圧になると、送給配管８１に配設された上記圧力検出手段８３から出力される圧力信号を入力した制御手段９は、電磁切り換え弁８２の他方の電磁コイル８２bを附勢(ON)する。従って、送給配管８１と第１の配管８１aの連通が遮断されて、送給配管８１と第２の配管８１bが連通する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第２の配管８１bを介して第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dに導入される。カセットフィルター４bに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出する。このようにして第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出した清水は、第１のフィルターラック５の底壁５１に形成された清水流出口５１１から流出し、流出ホース５８を介して清水タンク７に流入する。
【００２７】
一方、カセットフィルター４dに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出する。このようにして第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出した清水は、第２のフィルターラック６の底壁６１に形成された清水流出口６１１、６１２、６１３から流出して清水タンク７に流入する。
このようにして清水タンク７に流入した清水は、排出口７５１から図示しない加工装置に装備された加工液供給手段によって再循環されるか、廃棄手段を介して廃棄される。
【００２８】
上述したように電磁切り換え弁８２が切り換えられ、第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって加工廃液を濾過している際に、第１のカセットフィルターグループとしての加工屑が堆積したカセットフィルター４aおよび４cを新しいフィルターと交換する。しかしながら、加工屑が堆積したカセットフィルター４aおよび４cは、重量が数十キロに達し、作業者が人力によって第１のフィルターラック５および第２のフィルターラック６から搬出することが困難である。しかるに、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、カセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５を構成する第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、第１の支持部材５７aと５７aとの間隔および第２の支持部材５７bと５７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出する場合は、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第１の支持部材５７aと５７aとの間におけるカセットフィルター４aの下面と第１の支持部材５７a、５７aの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出することができる。また、カセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６を構成する第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、第１の支持部材６７aと６７aとの間隔および第２の支持部材６７bと６７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出する際も、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第１の支持部材６７aと６７aとの間におけるカセットフィルター４cの下面と第１の支持部材６７a、６７aの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出することができる。従って、カセットフィルターの搬出を円滑に行うことができる。このようにしてカセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出するとともにカセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出したならば、第１のフィルターラック５の第１の支持部材５７a、５７a上および第２のフィルターラック６の第１の支持部材６７a、６７a上に新しいカセットフィルターをそれぞれ載置する。この間に加工廃液の処理は上述したように第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって実施されるので、加工装置の作業を中断する必要はない。
【００２９】
なお、上述したように電磁切り換え弁８２を切り換え、第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって加工廃液を濾過することにより、カセットフィルター４bおよび４dの筒状の濾紙４１の内側には加工屑が堆積する。筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、上述したように筒状の濾紙４１内の圧力が上昇し第２の配管８１b内の圧力が上昇する。この結果、第２の配管８１bと電磁切り換え弁８２を介して連通している送給配管８１の圧力も上昇し、送給配管８１内の圧力が例えば２気圧になると、送給配管８１に配設された上記圧力検出手段８３から出力される圧力信号を入力した制御手段９は、電磁切り換え弁８２の一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)する。従って、送給配管８１と第２の配管８１bの連通が遮断されて、送給配管８１と第１の配管８１aが連通する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第１の配管８１aを介して上述したように新しいフィルターとして交換された第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cに導入され、上述したように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによる加工廃液の濾過が実施される。
【００３０】
このように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによって加工廃液を濾過している際に、第２のカセットフィルターグループとしての加工屑が堆積したカセットフィルター４bおよび４dを新しいフィルターと交換する。このフィルター交換に際しても図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、カセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５を構成する第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、第１の支持部材５７aと５７aとの間隔および第２の支持部材５７bと５７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、フォークリフトを用いることができる。即ち、カセットフィルター４bを第１のフィルターラック５から搬出する場合には、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第２の支持部材５７bと５７bとの間におけるカセットフィルター４bの下面と第２の支持部材５７bと５７bの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４bを第１のフィルターラック５から搬出することができる。また、カセットフィルター４b、４dを支持する第２のフィルターラック６を構成する第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、第１の支持部材６７aと６７aとの間隔および第２の支持部材６７bと６７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４dを第２のフィルターラック６から搬出する際も、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第２の支持部材６７bと６７bとの間におけるカセットフィルター４dの下面と第2の支持部材５７b、５７bの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４dを第２のフィルターラック６から搬出することができる。従って、カセットフィルターの搬出を円滑に行うことができる。このようにしてカセットフィルター４ｂを第１のフィルターラック５から搬出するとともにカセットフィルター４ｄを第２のフィルターラック６から搬出したならば、第１のフィルターラック５の第２の支持部材５７b、５７b上および第２のフィルターラック６の第２の支持部材６７b、６７b上に新しいカセットフィルターをそれぞれ載置する。この間に加工廃液の処理は上述したように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによって実施されるので、加工装置の作業を中断する必要はない。
【００３１】
なお、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６を上下に配設し、第１のフィルターラック５に２個のカセットフィルター４aおよび４bが配置されるとともに、第２のフィルターラック６に２個のカセットフィルター４cおよび４dを配置されている。そして、加工廃液送給手段８は、第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cまたは第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dに加工廃液を導入するように構成されているので、同時に２個のカセットフィルターによって濾過作業を実施するため、カセットフィルターの交換頻度を半減することができる。
また、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、上記第１のカセットフィルターグループは第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ一方のカセットフィルター４aおよび４cからなり、第２のカセットフィルターグループは第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ他方のカセットフィルター４bおよび４dからっているので、第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ２個のフィルターラックのいずれか一方が常に作動していることになる。従って、第１のフィルターラック５によって形成される清水パン５０と第２のフィルターラック６によって形成される清水パン６０に流出する清水の量が平準化されるので、清水パン５０および６０の容量を小さくすることができる。
【符号の説明】
【００３２】
２：廃液タンク
２１：廃液流入口
３：ポンプ
４a、４b、４c、４d：カセットフィルター
４１：筒状の濾紙
４２：筒体
４２１：複数の開口
４３：底板
４４：天板
４４１：廃液導入口
５：第１のフィルターラック
５０：清水パン
６：第２のフィルターラック
６０：清水パン
７：清水タンク
８：加工廃液送給手段
８２：電磁切り換え弁
８３：圧力検出手段
９：制御手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置や被加工物を研削する研削装置等の加工装置に付設され、加工時に供給される加工液の廃液を濾過する加工廃液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。このように表面にデバイスが形成された半導体ウエーハをストリートに沿って切断することにより、デバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
【０００３】
上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、切削ブレードに加工水を供給する加工水供給手段を具備し、該加工水供給手段によって切削水を回転する切削ブレードに供給することにより切削ブレードを冷却するとともに、切削ブレードによる被加工物の切削部に加工水を供給しつつ切削作業を実施する。
【０００４】
このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を研削する研削手段とを具備している。この研削手段は、回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを具備しており、該研削ホイールがホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなっており、研削ホイールを回転し研削水を供給しつつ研削砥石をチャックテーブルに保持された被加工物に押圧することにより被加工物を研削する。
【０００５】
上述したように切削装置による切削時や研削装置による研削時に供給された加工液にはシリコンや窒化ガリウム系化合物半導体を切削や研削することによって発生する切削屑や研削屑が混入される。この半導体素材からなる切削屑や研削屑が混入された加工廃液は環境を汚染することから、加工廃液を処理して排水しなければならず、廃液処理コストが係るという問題がある。
【０００６】
上記問題を解消するために、加工廃液をフィルターで濾過して清水を生成し、切削水または研削水として循環して使用する加工廃液処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−９５９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
而して、加工廃液を濾過することにより切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターは数十キロの重量となり、新たなフィルターと交換する作業を人力によって円滑に行うことが困難であるという問題がある。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターを容易に交換することができる加工廃液処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する加工廃液送給手段と、該加工廃液送給手段によって送給された廃液を濾過するためのカセットフィルターと、該カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックと、該フィルターラックの該清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンクと、を具備する加工廃液処理装置において、
該フィルターラックは、該清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ該底壁とともに清水パンを形成する側壁と、該底壁の上面に配設され該カセットフィルターを載置するための支持面を備えた複数個の支持部材とを備えており、
該複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、該支持面の高さ位置が該側壁の上面から該フォークの厚みより高い位置に設定されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置が提供される。
【００１１】
上記フィルターラックは上下に配設された第１のフィルターラックと第２のフィルターラックとからなり、該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックにはそれぞれ２個のカセットフィルターが配置されており、上記加工廃液送給手段は第１のフィルターラックと第２のフィルターラックに配置された４個のカセットフィルターのうちの２個のカセットフィルターからなる第１のカセットフィルターグループと他の２個のカセットフィルターからなる第２のカセットフィルターグループとに選択的に加工廃液を導入する。
上記第１のカセットフィルターグループは上記第１のフィルターラックと上記第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ一方のカセットフィルターからなり、上記第２のカセットフィルターグループは上記第１のフィルターラックと上記第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ他方のカセットフィルターからなる。
また、上記加工廃液送給手段は、上記廃液タンクに収容された加工廃液を送給するポンプと、該ポンプによって送給された加工廃液を上記第１のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第１の配管と、ポンプによって送給された加工廃液を上記第２のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第２の配管と、ポンプによって送給された加工廃液を第１の配管と第２の配管に選択的に切り換えて導入する切り換え手段と、第１の配管と第２の配管内の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段からの検出信号に基づいて該切り換え手段を制御する制御手段とを具備している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による加工廃液処理装置においては、カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって加工廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックは、清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ底壁とともに清水パンを形成する側壁と、底壁の上面に配設されカセットフィルターを載置するための複数個の支持部材とを備えており、複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面高さが該側壁の上面から該フォークの厚みより大きい値に設定されているので、カセットフィルターをフィルターラックから搬出する際はフォークリフトのフォークを複数個の支持部材間におけるカセットフィルターの下面と清水パンを形成する側壁の上面との間に侵入せしめることにより、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルターをフィルターラックから搬出することができる。従って、カセットフィルターの交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に従って構成された加工廃液処理装置の要部斜視図。
【図２】図１に示す加工廃液処理装置の要部を分解して示す斜視図。
【図３】本発明に従って構成された加工廃液処理装置の構成ブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に従って構成された加工廃液処理装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１には本発明に従って構成された加工廃液処理装置の要部斜視図が示されており、図２には図１に示す加工廃液処理装置の要部分解斜視図が示されている。
図示の実施形態における加工廃液処理装置は、加工廃液を収容する廃液タンク２と、該廃液タンク２に収容された加工廃液を送給するポンプ３と、該ポンプ３によって送給された加工廃液を濾過するための４個のカセットフィルター４a、４b、４c、４dと、上下に配設され２個のカセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５および２個のカセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６と、該第１のフィルターラック５および第２のフィルターラック６の後述する清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンク７を具備している。
【００１６】
廃液タンク２は、端壁に廃液流入口２１を備えており、該廃液流入口２１が図示しない切削装置や研削装置等の加工装置に装備される加工廃液送出手段に接続される。この廃液タンク２の上壁に加工廃液を送給するポンプ３が配設されている。
【００１７】
カセットフィルター４a、４b、４c、４dは、それぞれ筒状に形成された濾紙４１と、該濾紙４１の外周を覆う筒体４２と、筒状の濾紙４１の下端を閉塞する底板４３と、筒状の濾紙４１の上端を閉塞する天板４４とを有している。カセットフィルター４a、４b、４c、４dを構成する筒状の濾紙４１は、放射状に複数折り畳まれて形成され、濾過面積が増大するように構成されている。筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２は、側面に複数の開口４２１が形成されている。また、上記筒状の濾紙４１の上端を閉塞する天板４４には、中央部に廃液導入口４４１が設けられている。
【００１８】
上述したカセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５は、図２に示すように矩形状に形成された底壁５１と、該底壁５１の外側縁から立設された側壁５２、５３、５４、５５とからなっており、４本の支持柱５６によって支持される。第１のフィルターラック５は、底壁５１と側壁５２、５３、５４、５５によって上記カセットフィルター４aおよび４bによって加工屑が分離された濾過済み加工液である清水を収容する清水パン５０を形成している。そして、第１のフィルターラック５を構成する底壁５１には、清水パン５０に貯留された濾過済み加工液である清水を流出する清水流出口５１１が設けられている。なお、この清水流出口５１１には流出ホース５８が接続されており、清水流出口５１１から流出した清水パン５０に貯留され清水流出口５１１から流出した清水が流出ホース５８を介して後述する清水タンク７に流入するようになっている。また、第１のフィルターラック５を構成する底壁５１の上面には、上記カセットフィルター４aおよび４bを支持するためのそれぞれ２個の第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bが配設されている。この第１の支持部材５７a、５７aの上面である支持面にカセットフィルター４aが載置され、第２の支持部材５７b、５７bの上面である支持面にカセットフィルター４bが載置される。上記第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、それぞれ間隔が後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面から後述するフォークの厚みより高い位置に設定されている。なお、図示の実施形態においては、第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bはそれぞれ２個の支持部材によって形成されているが、図２において２点鎖線で示すようにそれぞれ間に１個の支持部材５７cを配設して３支持部材としてもよい。この第１の支持部材５７a、５７aと支持部材５７cとの間隔および第２の支持部材５７b、５７bと支持部材５７cとの間隔は、後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定される。
【００１９】
次に、上記カセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６について、主に図２を参照して説明する。第２のフィルターラック６は、上記第１のフィルターラック５と同様に矩形状に形成された底壁６１と、該底壁６１の外側縁から立設された側壁６２、６３、６４、６５とからなっている。第２のフィルターラック６は、底壁６１と側壁６２、６３、６４、６５によって上記カセットフィルター４cおよび４dによって加工屑が分離された濾過済み加工液である清水を収容する清水パン６０を形成している。そして、第２のフィルターラック６を構成する底壁６１には、清水パン６０に貯留された濾過済み加工液である清水を流出する清水流出口６１１、６１２、６１３が設けられており、この清水流出口６１１、６１２、６１３から流出した清水パン６０に貯留された清水が後述する清水タンク７に流入するようになっている。なお、上記流出ホース５８は、清水流出口６１２を挿通して配設される。また、第２のフィルターラック６を構成する底壁６１の上面には、上記カセットフィルター４cおよび４dを支持するためのそれぞれ２個の第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bが配設されている。この第１の支持部材６７a、６７aの上面である支持面にカセットフィルター４cが載置され、第２の支持台６７b、６７bの上面である支持面にカセットフィルター４dが載置される。上記第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、それぞれ間隔が後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面さから後述するフォークの厚みより高い位置に設定されている。なお、図示の実施形態においては、第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bはそれぞれ２個の支持部材によって形成されているが、図２において２点鎖線で示すようにそれぞれ間に１個の支持部材６７cを配設して３支持部材としてもよい。この第１の支持部材６７a、６７aと支持部材６７cとの間隔および第２の支持部材６７b、６７bと支持部材６７cとの間隔は、後述するフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定される。
【００２０】
以上のように構成された第２のフィルターラック６は図１に示すように清水タンク７上に配置され、この第２のフィルターラック６の４隅上に上記第１のフィルターラック５の４本の支持柱５６が配置され適宜の固定手段によって固定される。
【００２１】
図２を参照して説明を続けると、清水タンク７は矩形状に形成された底壁７１と、該底壁７１の両側縁から立設された側壁７２、７３と、底壁７１の両端縁から立設された端壁７４、７５とからなっており、上方が開放して構成されている。このように構成された清水タンク７の端壁７５に排出口７５１が設けられており、該排出口７５１を通して清水タンク７内に収容された清水が排出される。
【００２２】
次に、上述した廃液タンク２に収容された加工廃液を上記カセットフィルター４a、４b、４c、４dに送給するための加工廃液送給手段について、図３を参照して説明する。
図３に示す加工廃液送給手段８は、上記廃液タンク２に収容された加工廃液を送給するポンプ３と、該ポンプ３に接続された送給配管８１と、該送給配管８１と第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cの廃液導入口４４１および４４１とを接続する第１の配管８１aと、送給配管８１と第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dの廃液導入口４４１および４４１とを接続する第２の配管８１bと、送給配管８１と第１の配管８１aおよび第２の配管８１bとの間に配設された電磁切り換え弁８２を具備している。この電磁切り換え弁８２は、除勢(OFF)している状態では送給配管８１と第１の配管８１aおよび第２の配管８１bとの連通を遮断しており、一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)すると送給配管８１と第１の配管８１aが連通し、他方の電磁コイル８２bを附勢(ON)すると送給配管８１と第２の配管８１bが連通するようになっている。従って、電磁切り換え弁８２は、ポンプ３によって送給された加工廃液を第１の配管８１aと第２の配管８１bに選択的に切り換えて導入する切り換え手段として機能する。なお、送給配管８１には、上記第１の配管８１aと第２の配管８１b内の加工廃液の圧力を検出する圧力検出手段８３が配設されている。この圧力検出手段８３は、その検出信号を後述する制御手段に送る。なお、図示の実施形態においては圧力検出手段８３を送給配管８１に配設した例を示したが、圧力検出手段８３は第１の配管８１aと第２の配管８１bにそれぞれ配設してもよい。
【００２３】
また、図示の実施形態における加工廃液処理装置は、上記圧力検出手段８３からの圧力信号を入力し、上記ポンプ３、電磁切り換え弁８２に制御信号を出力する制御手段９を具備している。この制御手段９は、上記廃液タンク２および清水タンク７に隣接して配設されている。
【００２４】
図示の実施形態における加工廃液処理装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
廃液タンク２に収容された加工廃液を処理するに際しては、制御手段９は先ずポンプ３を作動するとともに、電磁切り換え弁８２の一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第１の配管８１aを介して第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cに導入される。カセットフィルター４aに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出する。このようにして第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出した清水は、第１のフィルターラック５の底壁５１に形成された清水流出口５１１から流出し、流出ホース５８を介して清水タンク７に流入する。
【００２５】
一方、カセットフィルター４cに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出する。このようにして第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出した清水は、第２のフィルターラック６の底壁６１に形成された清水流出口６１１、６１２、６１３から流出して清水タンク７に流入する。
このようにして清水タンク７に流入した清水は、排出口７５１から図示しない加工装置に装備された加工液供給手段によって再循環されるか、廃棄手段を介して廃棄される。
【００２６】
以上のようにして、第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによる加工廃液の処理を実施していると、カセットフィルター４aおよび４cを構成する筒状の濾紙４１の内側には加工屑が堆積する。筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、加工液が筒状の濾紙４１を通過し難くなり、フィルターとしての機能が失われる。このように筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、筒状の濾紙４１内の圧力が上昇し第１の配管８１a内の圧力が上昇する。この結果、第１の配管８１aと電磁切り換え弁８２を介して連通している送給配管８１の圧力も上昇し、送給配管８１内の圧力が例えば２気圧になると、送給配管８１に配設された上記圧力検出手段８３から出力される圧力信号を入力した制御手段９は、電磁切り換え弁８２の他方の電磁コイル８２bを附勢(ON)する。従って、送給配管８１と第１の配管８１aの連通が遮断されて、送給配管８１と第２の配管８１bが連通する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第２の配管８１bを介して第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dに導入される。カセットフィルター４bに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出する。このようにして第１のフィルターラック５に形成された清水パン５０に流出した清水は、第１のフィルターラック５の底壁５１に形成された清水流出口５１１から流出し、流出ホース５８を介して清水タンク７に流入する。
【００２７】
一方、カセットフィルター４dに導入された加工廃液は、筒状の濾紙４１によって濾過され、再生された加工液である清水となって筒状の濾紙４１の外周を覆う筒体４２の側面に形成された複数の開口４２１を通して第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出する。このようにして第２のフィルターラック６に形成された清水パン６０に流出した清水は、第２のフィルターラック６の底壁６１に形成された清水流出口６１１、６１２、６１３から流出して清水タンク７に流入する。
このようにして清水タンク７に流入した清水は、排出口７５１から図示しない加工装置に装備された加工液供給手段によって再循環されるか、廃棄手段を介して廃棄される。
【００２８】
上述したように電磁切り換え弁８２が切り換えられ、第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって加工廃液を濾過している際に、第１のカセットフィルターグループとしての加工屑が堆積したカセットフィルター４aおよび４cを新しいフィルターと交換する。しかしながら、加工屑が堆積したカセットフィルター４aおよび４cは、重量が数十キロに達し、作業者が人力によって第１のフィルターラック５および第２のフィルターラック６から搬出することが困難である。しかるに、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、カセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５を構成する第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、第１の支持部材５７aと５７aとの間隔および第２の支持部材５７bと５７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出する場合は、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第１の支持部材５７aと５７aとの間におけるカセットフィルター４aの下面と第１の支持部材５７a、５７aの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出することができる。また、カセットフィルター４c、４dを支持する第２のフィルターラック６を構成する第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、第１の支持部材６７aと６７aとの間隔および第２の支持部材６７bと６７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出する際も、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第１の支持部材６７aと６７aとの間におけるカセットフィルター４cの下面と第１の支持部材６７a、６７aの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出することができる。従って、カセットフィルターの搬出を円滑に行うことができる。このようにしてカセットフィルター４aを第１のフィルターラック５から搬出するとともにカセットフィルター４cを第２のフィルターラック６から搬出したならば、第１のフィルターラック５の第１の支持部材５７a、５７a上および第２のフィルターラック６の第１の支持部材６７a、６７a上に新しいカセットフィルターをそれぞれ載置する。この間に加工廃液の処理は上述したように第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって実施されるので、加工装置の作業を中断する必要はない。
【００２９】
なお、上述したように電磁切り換え弁８２を切り換え、第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dによって加工廃液を濾過することにより、カセットフィルター４bおよび４dの筒状の濾紙４１の内側には加工屑が堆積する。筒状の濾紙４１の内側に加工屑が堆積すると、上述したように筒状の濾紙４１内の圧力が上昇し第２の配管８１b内の圧力が上昇する。この結果、第２の配管８１bと電磁切り換え弁８２を介して連通している送給配管８１の圧力も上昇し、送給配管８１内の圧力が例えば２気圧になると、送給配管８１に配設された上記圧力検出手段８３から出力される圧力信号を入力した制御手段９は、電磁切り換え弁８２の一方の電磁コイル８２aを附勢(ON)する。従って、送給配管８１と第２の配管８１bの連通が遮断されて、送給配管８１と第１の配管８１aが連通する。この結果、ポンプ３によって送給された加工廃液は、送給配管８１、電磁切り換え弁８２、第１の配管８１aを介して上述したように新しいフィルターとして交換された第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cに導入され、上述したように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによる加工廃液の濾過が実施される。
【００３０】
このように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによって加工廃液を濾過している際に、第２のカセットフィルターグループとしての加工屑が堆積したカセットフィルター４bおよび４dを新しいフィルターと交換する。このフィルター交換に際しても図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、カセットフィルター４a、４bを支持する第１のフィルターラック５を構成する第１の支持部材５７a、５７aおよび第２の支持部材５７b、５７bは、第１の支持部材５７aと５７aとの間隔および第２の支持部材５７bと５７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁５２、５３、５４、５５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、フォークリフトを用いることができる。即ち、カセットフィルター４bを第１のフィルターラック５から搬出する場合には、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第２の支持部材５７bと５７bとの間におけるカセットフィルター４bの下面と第２の支持部材５７bと５７bの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４bを第１のフィルターラック５から搬出することができる。また、カセットフィルター４b、４dを支持する第２のフィルターラック６を構成する第１の支持部材６７a、６７aおよび第２の支持部材６７b、６７bは、第１の支持部材６７aと６７aとの間隔および第２の支持部材６７bと６７bとの間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、上面である支持面の高さ位置が側壁６２、６３、６４、６５の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されているので、カセットフィルター４dを第２のフィルターラック６から搬出する際も、図３において２点鎖線で示すようにフォークリフトの２本のフォーク１０、１０を第２の支持部材６７bと６７bとの間におけるカセットフィルター４dの下面と第2の支持部材５７b、５７bの上面である支持面との間に侵入せしめ、フォークリフトを用いて加工屑が堆積したカセットフィルター４dを第２のフィルターラック６から搬出することができる。従って、カセットフィルターの搬出を円滑に行うことができる。このようにしてカセットフィルター４ｂを第１のフィルターラック５から搬出するとともにカセットフィルター４ｄを第２のフィルターラック６から搬出したならば、第１のフィルターラック５の第２の支持部材５７b、５７b上および第２のフィルターラック６の第２の支持部材６７b、６７b上に新しいカセットフィルターをそれぞれ載置する。この間に加工廃液の処理は上述したように第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cによって実施されるので、加工装置の作業を中断する必要はない。
【００３１】
なお、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６を上下に配設し、第１のフィルターラック５に２個のカセットフィルター４aおよび４bが配置されるとともに、第２のフィルターラック６に２個のカセットフィルター４cおよび４dを配置されている。そして、加工廃液送給手段８は、第１のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４aおよび４cまたは第２のカセットフィルターグループとしてのカセットフィルター４bおよび４dに加工廃液を導入するように構成されているので、同時に２個のカセットフィルターによって濾過作業を実施するため、カセットフィルターの交換頻度を半減することができる。
また、図示の実施形態における加工廃液処理装置においては、上記第１のカセットフィルターグループは第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ一方のカセットフィルター４aおよび４cからなり、第２のカセットフィルターグループは第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ他方のカセットフィルター４bおよび４dからっているので、第１のフィルターラック５と第２のフィルターラック６に配置されたそれぞれ２個のフィルターラックのいずれか一方が常に作動していることになる。従って、第１のフィルターラック５によって形成される清水パン５０と第２のフィルターラック６によって形成される清水パン６０に流出する清水の量が平準化されるので、清水パン５０および６０の容量を小さくすることができる。
【符号の説明】
【００３２】
２：廃液タンク
２１：廃液流入口
３：ポンプ
４a、４b、４c、４d：カセットフィルター
４１：筒状の濾紙
４２：筒体
４２１：複数の開口
４３：底板
４４：天板
４４１：廃液導入口
５：第１のフィルターラック
５０：清水パン
６：第２のフィルターラック
６０：清水パン
７：清水タンク
８：加工廃液送給手段
８２：電磁切り換え弁
８３：圧力検出手段
９：制御手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する加工廃液送給手段と、該加工廃液送給手段によって送給された廃液を濾過するためのカセットフィルターと、該カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックと、該フィルターラックの該清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンクと、を具備する加工廃液処理装置において、
該フィルターラックは、該清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ該底壁とともに清水パンを形成する側壁と、該底壁の上面に配設され該カセットフィルターを載置するための支持面を備えた複数個の支持部材とを備えており、
該複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、該支持面の高さ位置が該側壁の上面から該フォークの厚みより高い位置に設定されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置。
【請求項２】
該フィルターラックは上下に配設された第１のフィルターラックと第２のフィルターラックとからなり、該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックにはそれぞれ２個のカセットフィルターが配置されており、該加工廃液送給手段は該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置された４個のカセットフィルターのうちの２個のカセットフィルターからなる第１のカセットフィルターグループと他の２個のカセットフィルターからなる第２のカセットフィルターグループとに選択的に加工廃液を導入する、請求項１記載の加工廃液処理装置。
【請求項３】
該第１のカセットフィルターグループは該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ一方のカセットフィルターからなり、該第２のカセットフィルターグループは該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ他方のカセットフィルターからなる、請求項２記載の加工廃液処理装置。
【請求項４】
該加工廃液送給手段は、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給するポンプと、該ポンプによって送給された加工廃液を該第１のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第１の配管と、該ポンプによって送給された加工廃液を該第２のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第２の配管と、該ポンプによって送給された加工廃液を該第１の配管と該第２の配管に選択的に切り換えて導入する切り換え手段と、該第１の配管と該第２の配管内の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段からの検出信号に基づいて該切り換え手段を制御する制御手段とを具備している、請求項２又は３記載の加工廃液処理装置。
【請求項１】
加工廃液を収容する廃液タンクと、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給する加工廃液送給手段と、該加工廃液送給手段によって送給された廃液を濾過するためのカセットフィルターと、該カセットフィルターを支持するとともにカセットフィルターによって廃液が濾過された清水を流出する清水流出口を備えたフィルターラックと、該フィルターラックの該清水流出口から流出した清水を貯留する清水タンクと、を具備する加工廃液処理装置において、
該フィルターラックは、該清水流出口を備えた底壁と、該底壁の外周縁から立設して設けられ該底壁とともに清水パンを形成する側壁と、該底壁の上面に配設され該カセットフィルターを載置するための支持面を備えた複数個の支持部材とを備えており、
該複数個の支持部材は、間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、該支持面の高さ位置が該側壁の上面から該フォークの厚みより高い位置に設定されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置。
【請求項２】
該フィルターラックは上下に配設された第１のフィルターラックと第２のフィルターラックとからなり、該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックにはそれぞれ２個のカセットフィルターが配置されており、該加工廃液送給手段は該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置された４個のカセットフィルターのうちの２個のカセットフィルターからなる第１のカセットフィルターグループと他の２個のカセットフィルターからなる第２のカセットフィルターグループとに選択的に加工廃液を導入する、請求項１記載の加工廃液処理装置。
【請求項３】
該第１のカセットフィルターグループは該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ一方のカセットフィルターからなり、該第２のカセットフィルターグループは該第１のフィルターラックと該第２のフィルターラックに配置されたそれぞれ他方のカセットフィルターからなる、請求項２記載の加工廃液処理装置。
【請求項４】
該加工廃液送給手段は、該廃液タンクに収容された加工廃液を送給するポンプと、該ポンプによって送給された加工廃液を該第１のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第１の配管と、該ポンプによって送給された加工廃液を該第２のカセットフィルターグループの２個のカセットフィルターに送る第２の配管と、該ポンプによって送給された加工廃液を該第１の配管と該第２の配管に選択的に切り換えて導入する切り換え手段と、該第１の配管と該第２の配管内の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段からの検出信号に基づいて該切り換え手段を制御する制御手段とを具備している、請求項２又は３記載の加工廃液処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−１５２８５４（Ｐ２０１２−１５２８５４Ａ）
【公開日】平成２４年８月１６日（２０１２．８．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１４０２１（Ｐ２０１１−１４０２１）
【出願日】平成２３年１月２６日（２０１１．１．２６）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年８月１６日（２０１２．８．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月２６日（２０１１．１．２６）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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