【課題】研磨砥粒を含むフィルタからの研磨砥粒回収方法、研磨液再生方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】フィルタに付着した研磨砥粒を、液体を用いてフィルタから分離する分離工程を含む、フィルタからの研磨砥粒回収方法、研磨液再生方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】濾過材料の局部的なスラッジの堆積を防止すること。
【解決手段】冷却媒体を循環させる循環経路に設けられ、冷却媒体を貯留させるコンベアタンク（濾過槽）２２と、前記コンベアタンク２２内にて前記冷却媒体に混在するスラッジを取り除く濾過材料２３とを有する冷却媒体濾過装置において、前記コンベアタンク２２に貯留される冷却媒体に浸された状態で冷却媒体を排出する排出部５０が、異なる複数方向に向けて排出口５０ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒回収装置のスクリューやボウルへのダメージが均一であり、かつ、制御精度良く、回収率が高い研磨砥粒回収装置を提供すること。
【解決手段】研磨砥粒を含むスラリから前記研磨砥粒を含む濃縮液を分離する研磨砥粒回収装置であって、当該研磨砥粒回収装置は、前記スラリを保持するボウルと、前記濃縮液をボウルからかき出すためのスクリューコンベアと、前記ボウル及び前記スクリューコンベアを回転駆動するための駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記ボウル又は前記スクリューコンベアを回転駆動するための、前記駆動手段の駆動電流値に基づいて、前記ボウルの回転速度と前記スクリューコンベアの回転速度との差を制御するものである、研磨砥粒回収装置。 （もっと読む）

【課題】使用済クーラントからシリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを生成することが可能なクーラント再生方法を提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニット２に使用済クーラント３の一部を供給し、固形分１７と遠心分離液１９とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２、及び遠心分離液１９を使用済クーラント３と混合する遠心分離液混合工程Ｓ３を備える遠心分離循環工程Ａと、濾過膜６を有する膜分離ユニット７に使用済クーラント３の残部を供給し、濃縮液２２と膜濾過液２１とに膜分離する膜分離工程Ｓ４、及び濃縮液２２を使用済クーラント３と混合する濃縮液混合工程Ｓ５とを備える膜分離循環工程Ｂと、循環させた遠心分離液１９、及び、回収した膜濾過液２１を混合し、クーラント４を生成するクーラント混合生成工程Ｓ６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】使用済クーラントから各成分を再利用可能に分離するとともに、一次遠心処理工程及び二次遠心処理工程のそれぞれの処理時間を近似させ、生産効率の向上を図ることのできる分離回収装置の提供を課題とするものである。
【解決手段】分離回収装置１は、ボウル状の一次回転体７及び一次回転駆動部８を備える一次遠心分離部９と、使用済クーラント２を一時的に貯留する使用済クーラント貯留槽１０と、一次回転体７の回転速度を変化させる一次回転速度制御部１１と、回収砥粒３及び破砕砥粒４を分別する砥粒分別回収部１２と、ボウル状の二次回転体１３及び二次回転駆動部１４を備える二次遠心分離部１５と、一次遠心分離液１６を吐出する一次遠心分離液貯留槽１７と、二次回転体１３の回転速度を変化させる二次回転速度制御部１８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の粒径のシリコン微粒子の比率を抑えた再生クーラント、及びクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、遠心分離ユニット２に使用済クーラント３を供給するクーラント供給工程Ｓ１と、使用済クーラント３を遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、分離した遠心分離液１９を回収する遠心分離液回収工程Ｓ３と、遠心分離液５を膜分離ユニット７に供給する遠心分離液供給工程Ｓ５と、遠心分離液１９を膜分離する膜分離工程Ｓ６と、分離された膜濾過液２１を回収する膜濾過液回収工程Ｓ７とを具備し、再生クーラント４は、残存シリコン成分が再生クーラント全体の０．０１重量％以上、３．０重量％以下であり、残存シリコン成分に含まれる０．１μｍ以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の０．０１重量％以上、３０重量％以下になる。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでクーラントを再生し、回転体に付着したスラッジを除去する機能を有するクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１は、縦型遠心分離装置に洗浄液を吐出する洗浄液吐出工程Ｓ０’と、洗浄液の吐出される縦型遠心分離装置の回転体を遠心分離工程時の回転数よりも低速で回転させ、縦型遠心分離装置に付着したスラッジを洗浄及び除去するスラッジ洗浄工程Ｓ０”と、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに使用済クーラントを供給するクーラント供給工程Ｓ１と、遠心分離ユニットに供給された使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、遠心分離ユニットの縦型遠心分離装置を稼動させた状態で使用済クーラントの供給を間欠的に制御する間欠制御工程Ｓ３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】切削や研磨機械加工に防錆剤や防腐剤を水に混ぜ合わせて使用する必要がなく、しかも切削性が向上する水性研削・切削液の電気分解処理方法の提供。
【解決手段】対象とする水性研削・切削液中に、一対の交流電極板と２つの接地電極板を挿入し、該交流電極に交流電源を通電させて高周波交流により電気分解処理を行うに際し、交流の発振周波数約５〜１００KHzを中心に変動幅±３〜５KHzのＦＭ変調をかけ、ランダム信号発生器を内蔵した装置で、ゆるやかな上下周波数変動中に急激に周波数上昇又は下降の変化する部分をもたらすことによって電界干渉を発生させ衝撃波を作り、上記電気分解により発生する水素量を多くするとともにナノバブルまで小さくした酸素を発生させる。 （もっと読む）

【課題】切削油等の循環液体の濾過能力および冷却能力を高め、大型の機械類、あるいは複数の機械類における切削油等の循環液体の濾過および温度制御を可能にする。もしくは、同程度の濾過能力を得ながら、単位濾過部材面積あたりの設置面積を小さくして小型化を図る。
【解決手段】切削油循環装置１（循環液体濾過装置）は、切削油３（循環液体）が貯留される濾過タンク６と、濾過タンク６に切削油３が流入する流入部８と、濾過タンク６から切削油３が流出する流出部９と、濾過タンク６の内部空間を上下に区画し、その上方の空間を流入部８に繋がるダーティーサイドＤＳ、下方の空間を流出部９に繋がるクリーンサイドＣＳとするロールシート状の濾過部材１１と、濾過部材１１を濾過タンク６の水平方向一端側から送り出し、濾過タンク６の内部を上下に蛇行させながら通過させ、濾過タンク６の水平方向他端側で回収する濾過部材送給機構１２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおいて、加工液に混ざった切削屑を除去し、切削屑の除去された加工液を再度ワイヤソーに供給する。
【解決手段】走行するワイヤ４１にワーク４４を押し当てて切断するワイヤソー２と、ワイヤソー２に加工液８を供給する供給槽６と、加工液８の回収槽５とを備えたワイヤソー２の加工液循環装置１であって、回収槽５は、回収された加工液８が供給される加工液貯留部１２と、加工液貯留部１２の一端に設けられた傾斜部１３と、回収槽５の幅方向両端に沿って周回可能な無端チェーン１８と、加工液貯留部１２の底面３５に沈降した切削屑２８を傾斜部１３上方へ掻き上げる複数のスクレーパー２３と、切削屑２８の排出口１１と、加工液貯留部１２の加工液８をオーバーフローさせて供給槽６に供給する加工液流出部７とから構成し、供給槽６は、回収槽５からオーバーフローする加工液８を貯留するとともにワイヤソー１に供給するように構成する。 （もっと読む）

【課題】半導体インゴットの切断工程又は半導体インゴットから切削した半導体ウエハの加工工程で排出される使用済みの冷却液の循環再使用を可能とする冷却液の回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】半導体インゴットの切断又は半導体インゴットから切断された半導体ウエハの加工装置２から排出される使用済みの冷却液を処理して固形粒子を粗除去する遠心分離機４と、遠心分離機４で固形粒子が粗除去された使用済みの冷却液を濾過する直径０．０２μｍ以上の粒子を濾別可能なフッ素系樹脂からなる膜分離装置５と、膜分離装置５を透過した使用済み冷却液を加工装置２に還流させる還流手段と、を有する使用済み冷却液の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】スラリーが供される配管内や研磨装置内などに残留するスラリー残留物を確実に除去でき、かつ、フラッシング時間の短縮化を図れるスラリー循環装置を提供する。
【解決手段】スラリー循環装置３は、第１，第２供給タンク４１，４２と、第１，第２供給タンク４１，４２に貯留された液体を第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２に供給する供給ライン４３と、第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２に供給される液体の供給元を切り替える第１，第２循環弁４３６，４３７と、第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２から排出される液体を第１，第２供給タンク４１，４２に回収する回収ライン６３と、液体の回収先を切り替えるセパレータ６４と、第１，第２供給タンク４１，４２に純水を補給する第１，第２ＤＩＷ補給部５３，５４と、第１，第２供給タンク４１，４２にアルカリ溶液を補給するアルカリ溶液補給部５５とを備える。 （もっと読む）

【課題】非晶質固体が付着した酸化セリウム系研磨材から、酸化セリウム系研磨材を製造できる方法を提供する。
【解決手段】非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む懸濁液を遠心分離し、非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む分離堆積物を得る工程を行う。非晶質固体の溶解剤と分離堆積物とを水中で混合することにより、酸化セリウム系研磨材の表面に付着した非晶質固体を溶解させる溶解工程を行う。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂ボンベを交換した際に、イオン交換樹脂ボンベに溜まった空気を加工装置側に送ることなく排出することができる加工廃液処理装置を提供する。
【解決手段】廃液収容タンクと、加工廃液を濾過して清水に精製する廃液濾過手段と、廃液濾過手段によって精製された清水を貯水する清水貯水タンクと、清水を純水に精製するイオン交換樹脂を収容したイオン交換樹脂ボンベを含む純水生成手段と、純水生成手段によって精製された純水を上記加工装置に供給する加工液供給手段とを具備する加工廃液処理装置であって、純水生成手段のイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管と清水貯水タンクとを空気排出管によって接続し、空気排出管に開閉弁を配設するとともにイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管における空気排出管との接続部より加工液供給手段側に開閉弁が配設されている。 （もっと読む）

【課題】 助剤膜を形成する手間も時間もかからず、有価資源として高価値の銅粉を回収することができ、装置の大小に係わらず採用可能な濾過フィルタを提供することにある。
【解決手段】 本願発明の濾過フィルタは、プリント基板の研磨廃液を濾過するための濾過フィルタであって、メッシュ材からなる内袋及び外袋を備えるものである。内袋のメッシュ径を外袋のメッシュ径よりも大きくしてある。内袋及び外袋はいずれも可撓性を備えている。内袋及び外袋は縦長の袋状であり、下端側に開口部が設けられ、開口部から回収物を取り出せるようにしてある。開口部側には開口部を封止するための巻上げ部を設けてもよい。内袋と外袋の上端側に導入口を設けてある。内袋と外袋を連結してユニットとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】作業者が棒の先に取付けた掻板で切くず箱または研削滓箱に回収するという労力が無くなり、１個のモータで沈降した切くずまたは、研削滓そして切削油剤中の微小切くず、または、研削滓を自動的に回収出来る。
【解決手段】１個のモータ１で、外側のスクレーパ１０で沈降した切くず、または、研削滓を排出し、同時に外側のロータ８の内部に設けた磁石９によってロータ８の下面外側に切削油剤または、研削油剤中の微小切くず、または、研削滓を吸着させて、切削液剤または、研削剤の中から回収し、さらに、内側スクレーパ１４で機外へ搬送するという１連の動作を連結した部品で同時に自動的に行い切くず、または、研削滓を回収することが出来る。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置であって、前記使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状で、かつ有効濾過部の長さが０．８ｍ以下である分離膜４１を有しており、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、１０質量％以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】クーラント熱に対する断熱効果を有効に発揮でき、しかも積極的な冷却効果が期待できる工作機械を提供する。
【解決手段】装置本体２上の工作具にクーラントＣを供給してワークに対して工作を行う工作機械である。機械全体が全体カバー１０にて覆われる。クーラントＣを機外へ排出するクーラント排出路１５と、クーラント排出路１５に沿って配設させてミストＭを機外へ排出するミスト排出路１６とを備える。さらに、機内のミストＭをミスト排出路１６を介して機外へ排出することにより、外気を機内に導入して、その外気の循環によって、装置本体２へのクーラントＣの熱の伝達を抑制する断熱機構５０を備える。 （もっと読む）