可動体送り装置

【目的】送りねじ軸の固有振動数を有効に高める位置に来るように中間サポートの位置を設定又は制御し、送りねじ軸の振動を有効に低減できる可動体送り装置を提供する。
【構成】案内レールに嵌合された直動軸受に支持され軸方向に移動自在とされた中間サポートフレームと、送りねじ軸にボールを介して螺合され中間サポートフレームに軸方向相対移動不能かつ回転自在に支持された中間サポートナットと、送りねじ軸と平行な軸線を有する補助送りねじと、補助送りねじに螺合され中間サポートフレームに固定された中間サポート送りナットと、送りねじ軸の回転に対応して中間サポートフレームを移動させる補助送りねじ駆動手段とを備えるようにした。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、送りねじ軸の支持間距離（スパン）が長い場合、送りねじ軸の危険速度が低い回転数域となることによる送りねじ軸の共振を回避するため、送りねじ軸の中間部を補助的に支持する送りねじ軸支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】送りねじ軸の回転数が送りねじ軸の固有振動数に近くなると共振が生じ危険である。この危険速度は送りねじ軸の支持スパンの２乗に反比例する。ＮＣ制御の平面研削盤などのようにテーブルストロークが長い場合には、テーブルを送る送りねじ軸が長くなり、送りねじ軸の支持スパンが長くなるので危険速度が低い回転域となる。送り速度の高速化に伴い送りねじ軸の回転数は高回転で使用されるので、危険速度領域で使用しなければならないことになる。このような場合はねじ軸の中間部を支持する中間サポートを設けて支持スパンが短くなるようにし、送りねじ軸の固有振動数を高くする手段が知られている。
【０００３】従来この種の手段としては、図５に模式的に示すように、送りねじ軸２′の両端部を支える軸受ＳＡ、ＳＢの間に、送り方向に移動自在で２個の送りねじ軸支持部Ａ、Ｂを持つ中間サポートＳを設け、送りねじ軸の回転によって移動するナット３′を前記２個の送りねじ支持部Ａ、Ｂの間に位置せしめ、ナット３′の移動を妨げないよう中間サポートＳがナット３′に係合する場合は中間サポートの一方の送りねじ軸支持部がナット３′に押され中間サポートＳがナット３′と共に移動するようになっているものである（例えば特開昭58-109242号）。
【０００４】また、両端が回転自在に支持された送りねじ軸に螺合されたナットを挟み中間サポートがねじ軸方向に移動可能に配設された送りねじ軸支持装置において、中間サポートをすべり軸受とすることによってねじ軸を支持し、中間サポートをリニアガイド装置で支承すると共に、中間サポートと基台とナット間に動滑車を有する滑車装置を併設する構成とすることによって中間サポートがナットに連動し、ねじ軸の支持スパンがナットの移動に伴い順次短縮されるようにしたものが知られている（例えば特開平2-66359号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従来例の特開昭58-109242号公報に示される技術にあっては図５に示されているように、軸受ＳＡ、ＳＢ間（距離２Ｌ）に介挿された中間サポートＳは、その支持部Ａ、Ｂ（距離Ｌ）の間に配された、ナット３′が支持部Ａ、Ｂいずれにか当接してから移動するようになっているので、ナット３′が一方の端部まで移動した状態の図５（ａ）の状態からナット３′が左方に移動する場合即ちナット３′が支持部Ａ、Ｂの中間位置にある間は、支持スパンＡ〜ＳＡが軸受ＳＡ、ＳＢ間距離２Ｌと中間サポートの支持部Ａ、Ｂ間距離Ｌとの差のＬにより定まってしまいそれ以上の短縮はできないため危険速度をあまり小さくできないという問題点があり、さらに、中間サポートＳは一方の中間サポート支持部がナット３′に当接して動かされるものであるから、ナット３′が中間サポートＳに当接するときテーブルの質量に中間サポートＳの質量が急激に加わりテーブルの高速移動が妨げられ移動速度が変動するという問題があった。
【０００６】また、特開平2-66359号公報に示される技術にあっては次のような問題点がある。
(1) 中間サポートはテーブルの案内とは別の１本のリニアガイドだけによって案内され（同公報第３頁右上欄第２行乃至第１５行）、しかもスライダの軸方向の寸法がスライダからねじ軸支持部までの寸法に比較して短い形状であるので中間サポートが倒れやすく中間サポートの移動性が悪い。
(2) 中間サポートのねじ軸の支持がすべり軸受とされておりねじ軸支持部にはわずかな隙間が有るためねじ軸の振動を十分におさえることが出来ない。
(3) 中間サポートとテーブルの案内が別の部材による案内である為夫々の案内レールの平行度を精密に出すことが困難であり平行度を精密にできない為ねじ軸に無理な力が加わりやすい。
(4) 中間サポートとナットとの間をベルトにより係合したものである為中間サポートとナットとの相対位置関係がベルトのスリップによりずれやすくねじ軸の所定位置関係を精密に維持出来ない。
【０００７】そこで本発明はこれらの問題点を解決し、制振作用に優れたねじ軸用中間サポート装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明にあっては基台に固定された案内レールに支持され送りねじ軸により軸方向に移動自在とされた可動体を有する可動体送り装置において、前記案内レールに嵌合された直動軸受に支持され軸方向に移動自在とされた中間サポートフレームと、前記送りねじ軸にボールを介して螺合され前記中間サポートフレームに軸方向相対移動不能かつ回転自在に支持された中間サポートナットと、前記送りねじ軸と平行な軸線を有し前記基台に支持された補助送りねじと、該補助送りねじに螺合され前記中間サポートフレームに固定された中間サポート送りナットと、前記送りねじ軸の回転に対応して前記中間サポートフレームを移動させる補助送りねじ駆動手段とを備えた構成としたものである。
【０００９】
【作用】中間サポートナットは送りねじ軸にボールを介して螺合され、そのナットはころがり軸受を介して中間サポートフレームに支持され、このフレームはテーブル案内用と同じ２本の案内レールに嵌合された直動軸受の２つのスライダに支持されている。その為中間サポートフレームがテーブル案内用とは別の案内レールに嵌合された直動軸受のスライダに支持されているものと比べて送りねじ軸と中間サポートの平行度を精密化することが出来るので中間サポートの安定性が良く移動がスムーズである。また、中間サポートナットと送りねじ軸及び中間サポートナットを支持するころがり軸受及び中間サポート支持用スライダに予圧を付与することによって送りねじ軸と中間サポートフレームの支持のガタを無くすことが出来る。さらに、中間サポートは補助送りねじ駆動手段により移動されるのでテーブル用ねじ軸の回転に対応させて中間サポートを所望の位置に移動できる。また、中間サポートの移動量は送りねじ軸の回転には影響されず補助送りねじの回転のみによって独立に移動量が決められる。
【００１０】
【実施例】縦長平板状で両側に案内レール取付部材３５を設けた基台７の案内レール取付部材には案内レール６が互いに平行に固定されている。案内レール６にはテーブル用スライダ８が軸方向移動自在に嵌合されこのテーブル用スライダ８の上方には可動体であるテーブル１０がテーブル取付部材２８を介して固定され、テーブルは軸方向に移動自在とされている。
【００１１】送りねじ軸２は案内レール６と平行に配され、基台７に固定されたサポートユニット１により両端を回転自在に支持され送りねじ軸２の一端はモータブラケット３１を介して基台７に固定された駆動モータ２３の出力軸にカップリング２２を介して固定され、駆動モータ２３を駆動することによって送りねじ軸２に回転を与えられるようにされている。この送りねじ軸２にはテーブル用ナット３が螺合され、このテーブル用ナット３はテーブル１０の下面に固定されたナットハウジング２５に嵌合され固定されている。
【００１２】第１の中間サポートフレーム１３は駆動モータ２３とテーブル用ナット３の中間部に配され、第２の中間サポートフレーム１４はテーブル用ナット３と駆動モータ２３と反対側のサポートユニット１の中間部に配されている。第１及び第２の中間サポートフレーム１３、１４は案内レール６、６に嵌合された直動軸受である中間サポート用スライダ９、９に両端をボルトＢ３により固定され、テーブルの移動方向と同じ方向に移動可能とされている。この第１及び第２の中間サポートフレーム１３、１４の移動はテーブル１０と同じ案内レール６、６に案内されるものであるからテーブルとの平行度が確保される。第１及び第２の中間サポートフレーム１３、１４には送りねじ軸２と同芯の穴が形成されており、この穴にころがり軸受１１を介して第１の中間サポートフレーム１３には第１の中間サポートナット４が回転自在に支持され、第２の中間サポートフレーム１４には第２の中間サポートナット５が回転自在に支持されている。この第１及び第２の中間サポートナット４、５は送りねじ軸２のねじ軸にボールを介して螺合されている。
【００１３】第１及び第２の中間サポートナット４、５の外周面にはころがり軸受１１が嵌合されブラケット１２を介してボルトＢ１により固定されている。ころがり軸受１１の外輪は中間サポートフレーム１３、１４に嵌合され、プレート３４を介してボルトＢ２によって固定されている。第１の中間サポートフレーム１３及び第２の中間サポートフレーム１４の夫々の長手方向の両端は中間サポート用スライダ９にボルトＢ３によって固定され、第１の中間サポートフレーム１３及び第２の中間サポートフレーム１４は中間サポート連結部材１５によって軸方向に所定間隔を保って連結されている。
【００１４】送りねじ軸２と一方の案内レール６との間に送りねじ軸２と同一のねじれ方向で同一ピッチのボールねじ溝を有する補助送りねじ１６が送りねじ軸２及び一方の案内レール６とに平行に配され両端をサポートユニット１７と支持軸受１８により回転自在に軸支されている。補助送りねじ１６には中間サポート送りナット２４がボール（不図示）を介して螺合され、その中間サポート送りナット２４の外周面は第１の中間サポートフレーム１３にボルトＢ４によって固定されている。
【００１５】図１に於いてテーブル用ナット３の左側に位置する第１の中間サポートナット４、ころがり軸受１１、第１の中間サポートフレーム１３、中間サポート送りナット２４、中間サポート用スライダ９により第１の中間サポート２６が構成され、テーブル用ナット３の右側に位置する第２の中間サポートナット５、ころがり軸受１１、第２の中間サポートフレーム１４、中間サポート用スライダ９により第２の中間サポート２７が構成される。
【００１６】第１及び第２の中間サポート２６、２７の位置を図６に於いて説明する。送りねじ軸２を軸支するサポートユニット１、１を夫々ＳＡ、ＳＢとし、ＳＡ、ＳＢ間の距離Ｌを１／４づつに区切る点をＰ０、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４とする。第１の中間サポートナット４と第２の中間サポートナット５の位置はテーブル用ナット３がＰ２の位置に来たときに第１の中間サポートナット４がＰ３に、第２の中間サポートナット５がＰ１に位置するように設定されている。
【００１７】送りねじ軸２の軸端にはタイミングプーリ１９が固定され補助送りねじ１６の軸端にはタイミングプーリ２０が固定され、このタイミングプーリ１９，２０にはタイミングベルト２１が掛け渡され送りねじ軸２の回転が補助送りねじ１６に伝達されるようになっている。タイミングプーリ２０の歯数はタイミングプーリ１９の歯数の２倍とされている。
【００１８】駆動モータ２３に駆動されて送りねじ軸２が例えばモータを後部側から見て時計方向となる方向に回転すると、テーブル用ナット３はモータに近づく方向に移動し、このナット３に固定されたテーブル１０がリニアガイド装置に案内され、ねじ軸の回転に応じて軸方向に滑らかに移動する。このとき、第１及び第２の中間サポート２６、２７が設けられ、支点間距離（支持スパン）が短かくされているから、危険速度がねじ軸の使用回転数より大幅にアップされることになり、ねじ軸の共振がさけられる。
【００１９】この実施例では更にテーブル用ナット３と第１の中間サポートフレーム１３がタイミングプーリ１９、２０とタイミングベルト２１を介して連動され第２の中間サポートフレーム１４は第１の中間サポートフレーム１３と中間サポート連結部材１５を介して連結されているので第１と第２の中間サポートフレームは同じ間隔を保って連動するようにされている。中間サポートの作動について図７により説明する。両端のサポートユニット１、１間の距離Ｌを１／４づつに区切る点を夫々Ｐ０、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４とする。テーブル用ナット３と第２の中間サポート２７とが共に送りねじ軸２の右端Ｐ０点にあるとする（図７（a））。このとき支持スパンは、送りねじ軸２の左端（Ｐ４点）と第１の中間サポート２６（Ｐ２点）間において最長でＰ２〜Ｐ４＝Ｌ／２である。この状態から駆動モータ２３によって送りねじ軸２を回転しテーブル用ナット３を左方に移動し、これに伴いテーブル１０が左方に移動するとタイミングプーリ１９、２０とタイミングベルト２１によって送りねじ軸２の回転数が１／２に減少されて補助送りねじ１６に伝達され送りねじ軸２と補助送りねじ１６とはねじピッチが同一であるからテーブル用ナット３の移動量に対して１／２の割合で第１の中間サポート２６及び第２の中間サポート２７も移動する。
【００２０】第１の中間サポートナット４と第２の中間サポートナット５の外周部にはころがり軸受１１が嵌合されており、送りねじ軸２が回転すると第１の中間サポートナット４及び第２のサポートナット５は送りねじ軸２と同一回転方向で回転するので第１及び第２の中間サポートナット４、５は送りねじ軸２に対して移動せず、したがって第１及び第２の中間サポート２６、２７の移動はタイミングプーリ１９、２０及びタイミングベルト２１を介して回転駆動される補助送りねじ１６の回転のみによっておこなわれる。したがって、テーブル用ナット３が右端からＬ／４移動してＰ１点に達したとき、左端のサポートユニットと第１の中間サポート２６間の支持スパンａはａ＝３／８Ｌになり、従来の場合におけるＬ／２より短縮されている（図７（b））。更にテーブル用ナット３がＬ／４左方に移動してＰ２点に達したときは、第１の中間サポート２６はＬ／８左方に進行しており、Ｐ３点の位置になり、支持スパンａはａ＝Ｌ／４に縮小している（図７（ｃ））．これから更にテーブル用ナット３がＬ／４左方に移動してＰ３点に達したときは、第１の中間サポート２６も更にＬ／８左方に進行しており、Ｐ３〜Ｐ４点の中間位置になり、支持スパンａはａ＝Ｌ／８に縮小する（図７（ｄ））。また更にテーブル用ナット３がＬ／４左方に移動して左端に移動して左端のＰ４点に達したときは、第１の中間サポート２６も更にＬ／８左方に進行しており、左端Ｐ４点の位置になる。このとき支持スパンａはａ＝０になる。一方、右側の第２の中間サポート２７はＰ２点になり、右端Ｐ０点との間の支持スパンｄは最長のＬ／２となる（図７（ｅ））。
【００２１】かくして、左方の支持スパンａは、テーブル用ナット３の左方移動と共に順次縮小していき、左端において零となり、反対に右方の支持スパンｄは、テーブル用ナット１３の左方移動と共に順次拡大していき、最大Ｌ／２となる。テーブル用ナット３が送りねじ軸２の左端部に至り左側の第１の中間サポート２６に近接すると、図外のリミットスイッチが作動して駆動モータ２３が停止され、送りねじ軸２の回転が停止すると同時に、テーブル１０と第１及び第２の中間サポート２６、２７も停止し中間サポートとサポートユニットが衝突しないように安全がはかられている。
【００２２】次に、駆動モータ２３を反対方向に回転させる（このとき上記のリミットスイッチは働かないようにされている）と、テーブル用ナット３はテーブル１０と共に図１で駆動モータから遠ざかる方向に移動をはじめる（図７（ｅ））。テーブル用ナット３が左端から右方に移動し、図７の（ｄ），（ｃ），（ｂ），（ａ），のように前と逆方向の作動となる。右方のサポートユニット１と第２の中間サポートユニット２７との支持スパンｄは連続的に縮小されていく。
【００２３】テーブル用ナット３、第１の中間サポートナット４及び第２の中間サポートナット５は送りねじ軸２とボールを介して螺合されボールねじを構成しておりまた直動案内はリニアガイド装置を用いているから、テーブル１０及中間サポート２６、２７の送りは、高速でも極めて円滑で追従性が良く、且つ送りねじ軸２の軸線に対する直角方向の振れが抑制されテーブルの動作が高精度である。このボールねじは送りねじ軸と夫々のナットが送りねじ軸の外面にボールねじを形成し、夫々のナットの内面に対向させて設けられたボール転動溝を転動する多数のボールを介して予圧を付加された状態で組合せてあり、リニアガイド装置にあっては、案内レール６とテーブル用スライダ８とが、両者の側面に対向させて設けられたボール転動溝内を転動する多数の予圧されたボールを介して組合せてあり、夫々のボールナット３、４、５及びテーブル用スライダ８の直線移動性が高剛性、高精度であり、しかも非常に軽く安定しているためである。また、第１の中間サポート２６及び第２の中間サポート２７とテーブル１０の直進移動の案内は同一の案内レール６、６によるリニアガイド装置による為夫々の移動の際の平行度が精密に確保でき送りねじ軸２に無理な力が加わらない。
【００２４】テーブル用ナット３が距離Ｌを移動し、第１及び第２の中間サポート２６、２７がこれに連動して、やがて送りねじ軸２の右端部に至ると、左端部におけると同様に図外のリミットスイッチが作動して駆動モータ２３が停止され、送りねじ軸２の回転が停止すると同時に、テーブル１０と第１及び第２の中間サポート２６、２７も停止するようにされている。
【００２５】この第１の実施例によれば、テーブル用ナット３の位置が送りねじ軸２の両端部にあるときを除き、第１及び第２の中間サポート２６、２７による送りねじ軸２の支持スパンは常に従来より短くなり、したがって軸危険速度が安全側に高められる。また、中間サポート連結部材１５により互いに連結された第１及び第２の中間サポート２６、２７の移動はタイミングプーリ１９、２０及びタイミングベルト２１を介して行われる為本出願人の先の出願（特開平2-66359号）に開示した滑車及び平ベルトを介して中間サポートを移動させる構成のようにベルトのすべりによってテーブルと中間サポートとの相対位置関係がずれてしまうということが無い。
【００２６】図３は第２の実施例を示している。第２の実施例は第１の実施例に於いて送りねじ軸２の駆動モータ２３と反対側の軸端をサポートユニット１の代りにブラケットに嵌合させた支持軸受１３０により支持した場合で第１の中間サポート２６は設けず第２の中間サポート２７のみとし、この第２の中間サポート２７を第１の実施例と同様にボールねじにより移動可能としたものである。補助送りねじ１１６のピッチは送りねじ軸１０２のピッチと等しくされており、補助送りねじ１１６がタイミングプーリ１１９、１２０及びタイミングベルト１２１を介して送りねじ軸１０２の回転数の１／２で回転されるという点も第１の実施例と同様である。その結果、送りねじ軸１０２が駆動モータ２３によって回転駆動されるとテーブル用ナット３が移動し第２の中間サポート１２７はテーブル用ナット３に連動してテーブル用ナット３の移動量の１／２同じ方向に移動し、常に第２の中間サポート１２７が送りねじ軸１０２をテーブル用ナット３と支持軸受１３０とのほぼ中央で支持されるようになっており送りねじ軸１０２の危険速度が高められるようになっている。
【００２７】第２の実施例の場合、駆動モータ２３側のサポートユニット１とテーブル用ナット３との間に中間サポートが設けられていないがこの例は補助送りねじ１６が駆動モータ２３に近い側に設けるスペースがとれない場合のものである。この例においてサポートユニット１はベアリングのアンギュラコンタクト構造によって送りねじ軸１０２を固定し、テーブル用ナットと送りねじ軸１０２とはボールを介して互いに螺合されしかも予圧が与えられているので送りねじ軸はテーブル用ナット３によってガタがなくサポートユニット１とテーブル用ナット３との送りねじ軸１０２の固有振動数は高くなり振動しにくくなっているので中間サポートを片側に設けたものでも十分に使用できる。
【００２８】図４は第３の実施例を表している。送りねじ軸２０２は長尺のボールねじ軸で両端を固定ブロック４０、４０によって固定されている。送りねじ軸２０２にはテーブル用ナット２０３がボールを介して螺合されその前後に第１及び第２の中間サポートナット２０４、２０５がボールを介して螺合されている。テーブル用ナット２０３のフランジ部には送りねじ軸２０２を挿通するように設けられたテーブルを駆動するテーブル駆動モータ（中空モータ）４１が取付部材４２を介して固定されている。
【００２９】送りねじ軸２０２を挟んで送りねじ軸２０２と平行に案内レール２０６、２０６が配され基台２０７に固定されている。夫々の案内レール２０６、２０６には２個のテーブル用スライダ２０８が夫々ボールを介して嵌合され同一案内レール上のテーブル用スライダ２０８、２０８の前後には中間サポート用スライダ２０９、２０９が同様にボールを介して案内レール２０６に嵌合されている。
【００３０】４個のテーブル用スライダ２０８にはテーブル２１０が載置されテーブル２１０とテーブル駆動モータ４１とはブラケット４３を介して固定されている。第１及び第２の中間サポートナット２０４、２０５の外周面にはころがり軸受２１１が嵌合されブラケット２１２を介してボルトＢ５により固定されている。そのころがり軸受２１１は中間サポートフレーム２９に嵌合しプレート２３４によって抜け止めがされている。中間サポートフレーム２９、２９は夫々長手方向の両端を中間サポート用スライダ２０９、２０９に固定され、第１の中間サポート２２６及び第２の中間サポート２２７を構成している。第１及び第２の中間サポート２２６、２２７は互いに連結板４４を介してボルトＢ６によってねじ止め固定されている。連結板４４の近くに案内レール２０６と平行に補助送りねじ２１６が配され両端を支持軸受２１８及びサポートユニット２１７によって回転自在に軸支されている。補助送りねじ２１６には中間サポート送りナット２２４がボールを介して螺合され補助送りねじ２１６のサポートユニット２１７側の端面はカップリング２２２を介して中間サポート駆動用モータ４５の出力軸と連結されている。中間サポート送りナット２２４は連結板４４の中央付近に於いて連結板と固定されている。
【００３１】次に作用を説明する。テーブル駆動モータ４１の出力軸を所定方向に回転させるとテーブル駆動モータ４１の出力軸と取付部材４２を介して固定されたテーブル用ナット２０３も回転する。送りねじ軸２０２は両端を固定ブロック４０によって固定されているのでテーブル用ナット２０３が回転することによってテーブル用ナット２０３が送りねじ軸２０２に沿って移動し、したがってテーブル２１０もテーブル用スライダ２０８に案内されながら移動する。次に中間サポート駆動用モータ４５を回転駆動させることによって補助送りねじ２１６を回転させると中間サポート送りナット２２４が補助送りねじ２１６に沿って移動する。このとき、中間サポート送りナット２２４には第１及び第２の中間サポート２２６、２２７を連結する連結板４４が固定されているので中間サポート送りナット２２４の移動と連動して移動する。
【００３２】第３の実施例に於いては第１及び第２の実施例のように補助送りねじ２１６は送りねじ軸２０２の回転力を伝達され、所定の回転数に減速されて回転するようにはなっておらずテーブル駆動モータ４１の回転によるテーブル用ナット２０３の移動、すなわちテーブル２１０の移動に応じて中間サポート駆動用モータ４５の回転数を制御することによって連結板４４により互いに連結された第１及び第２の中間サポート２２６、２２７の移動位置を決める。テーブル用ナット２０３と第１及び第２の中間サポート２２６、２２７との相対位置関係の制御は第１の実施例と同様にテーブル用ナット２０３の位置にかかわらずテーブル用ナット２０３と固定ブロック４０、４０との間の２ヵ所の送りねじ軸の夫々のほぼ中央部に常に第１及び第２の中間サポート２２６、２２７が移動するようにされている。したがってテーブル用ナット２０３に対して第１の実施例と同様に第１及び第２の中間サポートナット２０４、２０５の位置を決めることが出来、送りねじ軸２０２の支持スパンは常に従来より短くなることにより軸危険速度が安全側に高められ送りねじ軸２０２が振動しにくくなるのでテーブル用ナット２０３の高速送りが可能となった。
【００３３】なお、第１及び第２の実施例において送りねじ軸と補助送りねじのボールねじ溝のピッチは等しくした場合について述べたが必ずしも等しくする必要はない。但し、その場合ピッチの違いを考慮して２つのタイミングプーリの歯数を決めればよい。また第１乃至第３の実施例において中間サポートの位置は送りねじ軸の両端支持部とテーブル用ナットとの間の夫々の中間を支持するようにされているが中間サポートの位置は中間付近に位置するようにさせればよい。さらにまた、第１乃至第３の実施例において、テーブル用ナット及び中間サポート用ナットはナットを１個で使用するシングルナットを用いてもよいしダブルナットを用いてもよいことは勿論である。
【００３４】
【発明の効果】中間サポートナットは送りねじ軸にボールを介して螺合されそのナットの外周面にころがり軸受が嵌合されそのころがり軸受を嵌合したフレームはテーブルを案内するのと同じ案内レールに支承されたスライダに２ヵ所を支持されている。その為フレームが１個のスライダに固定される場合と比べて中間サポートの安定性が良く、移動が送りねじ軸と案内レールの平行度を精密に出すことが出来、テーブル及び中間サポートが送りねじ軸方向に移動する際送りねじ軸にラジアル方向に加わる力は極めて小さくまた中間サポート用ボールねじ部ところがり軸受及びフレーム固定部のリニアガイドに予圧を付加することによって中間サポートのガタを無くし送りねじ軸の振動を有効に抑止することが出来、中間サポートはボールねじのねじ軸の回転に応じて移動されその中間サポートナットは予圧を付加されたボールを介して螺合され、予圧構造とされた中間サポート送りナットによって駆動されるので、送りねじ軸の回転に対応した中間サポートナットの移動のずれが無く、精密に中間サポートの位置を設定又は制御出来、また中間サポートをテーブルに固定されたテーブル用スライダと衝突させずに移動させることが出来、中間サポートは送りねじ軸に影響されず又中間サポートナットの移動によって送りねじ軸の回転に影響を与えることなしに補助送りねじの回転によってのみ移動量がきめられる。
【００３５】その結果、中間サポートがテーブルに対応して連動する場合と異なり中間サポートが送りねじ軸の固有振動数を有効に高める位置に来るように中間サポートの位置を設定又は制御することができ、送りねじ軸の振動を有効に低減することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例を示す平面図
【図２】第１の実施例を示す正面図
【図３】第２の実施例を示す平面図
【図４】第３の実施例を示す平面図
【図５】（ａ）〜（ｅ）は従来例におけるナットと中間サポートとの作動説明図
【図６】第１の実施例における中間サポートの位置を示す図
【図７】（ａ）〜（ｅ）は第１の実施例におけるナットと中間サポートとの作動説明図
【符号の説明】
２，１０２．２０２送りねじ軸
４，２０４第１の中間サポートナット
５，２０５第２の中間サポートナット
６，２０６案内レール
７，２０７基台
９，１０９，２０９中間サポート用スライダ（直動軸受）
１０，２１０テーブル
１３，１１３第１の中間サポートフレーム
１４，第２の中間サポートフレーム
１６，１１６，２１６補助送りねじ
２４，１２４，２２４中間サポート送りナット

【特許請求の範囲】
【請求項１】基台に固定された案内レールに支持され送りねじ軸により軸方向に移動自在とされた可動体を有する可動体送り装置において、前記案内レールに嵌合された直動軸受に支持され軸方向に移動自在とされた中間サポートフレームと、前記送りねじ軸にボールを介して螺合され前記中間サポートフレームに軸方向相対移動不能かつ回転自在に支持された中間サポートナットと、前記送りねじ軸と平行な軸線を有し前記基台に支持された補助送りねじと、該補助送りねじに螺合され前記中間サポートフレームに固定された中間サポート送りナットと、前記送りねじ軸の回転に対応して前記中間サポートフレームを移動させる補助送りねじ駆動手段とを備えたことを特徴とする可動体送り装置。

【図１】