【課題】 掻き分けによるシール部材の拡開量を小さくし、それによって、構成の複雑化や装置の大型化を来すことなくシール性能の向上を図ることが可能なアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 長手方向に延長・形成された開口部を備えたハウジングと、開口部に沿ってハウジングの長手方向に移動するスライダと、スライダをハウジングの長手方向に移動させる駆動手段と、ハウジングの開口部の対向する縁部にそれぞれ設けられその先端が係合することにより防塵・防滴機能を発揮する一対のシール部材と、スライダの進行方向両側に取り付けられ一対のシール部材を掻き分けるシール掻分部材とを具備し、シール掻分部材は、一対のシール部材を互いに離間する方向に掻分る掻分部と、掻分部による掻き分けによって生じる掻分開口部を覆う覆い部と、掻分部によりシール部材を掻き分ける際シール部材の拡開量を規制する拡開規制部と、から構成されているもの。 （もっと読む）

【課題】ボールねじの作動ロックを回避すると共に、低コストで回転性能の優れた電動リニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】ハウジング２が、第１のハウジング２ａと第２のハウジング２ｂとからなり、第１のハウジング２ａに電動モータが取り付けられ、第１、第２のハウジング２ａ、２ｂの衝合部にねじ軸１０を収容するための袋孔１１、１２が形成されると共に、減速機構６が、モータ軸に固定された入力歯車３と、この入力歯車３に噛合する中間歯車４と、この中間歯車４に噛合し、ナット１８に一体に固定された出力歯車５とを備え、中間歯車４が、第１のハウジング２ａと第２のハウジング２ｂにそれぞれ植設された歯車軸２２にシェル型針状軸受２３を介して回転自在に支承され、中間歯車４の両側にリング状のワッシャ２７、２８が装着され、当該中間歯車４の歯部の幅が歯幅よりも小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型かつ構造が簡易でありながら、送りネジを回転させた際には、可動ステージを容易かつ安定的にスライドさせることができる一方で、送りネジの回転を止めた際には、可動ステージのバックラッシュを効果的に抑制できるステージ機構およびその製造方法を提供する。
【解決手段】固定ステージと、当該固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構およびその製造方法であって、固定ステージが、送りネジと、連結部材を介して可動ステージに連結されるとともに送りネジのネジ溝に沿って回転移動するナット部材と、を備え、ナット部材が、ナット部材の表面に挿入孔を有するとともに、ナット部材のネジ孔方向において挿入孔の両側に形成されたダブルナット構造を有し、かつ、挿入孔に対して、バックラッシュ吸収部材が挿入してある。 （もっと読む）

【課題】ボールねじの作動ロックを回避すると共に、低コストで回転性能の優れた電動リニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】減速機構６を構成する出力歯車５がナット１８に固定され、この出力歯車５の両側に支持軸受２０、２０が配設されると共に、これら一対の支持軸受２０、２０が、駆動軸７からのスラスト荷重および出力歯車５を介して負荷されるラジアル荷重の両方を負荷することができる同一仕様の転がり軸受で構成され、リング状の弾性部材からなるワッシャ２７を介してハウジング２ａに装着され、当該ワッシャ２７の内径Ｄが支持軸受２０の内輪外径ｄよりも大径に形成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動スピンドルが小型で、コストダウンが図れるパワードアを提供することを課題とする。
【解決手段】バックドア１１と、駆動源が設けられ、本体部２３、スピンドル２５がボデー１３に回転可能に取り付けられ、スピンドル２５の先端部がドア１１の一方の側部に回転可能に取り付けられた駆動スピンドル２１と、スピンドル１２５を付勢する第２スプリング１３７が設けられ、本体部１２３がボデー１３に回転可能に取り付けられ、スピンドル１２５の先端部がドア１１の他方の側部に回転可能に取り付けられたアシストスプリング１２１とを有し、アシストスプリング１２１のスピンドル１２５のストロークは、駆動スピンドル２１のスピンドル２５のストロークより長く、アシストスプリング１２１のドア１１の取り付け位置のドア１１の回転中心軸からの距離は、駆動スピンドル２１のドア１１の取り付け位置のドア１１の回転中心軸からの距離より長い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、軽量化を図った反動吸収装置を提供すること、あるいは軽量化を図った反動吸収装置を用い、更に処理時間を短い生産性或いは品質の高い半導体組立装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、装置ベースと、装置ベースに固定された支持体と、第１のボールネジと、前記第１のボールネジによって所定方向に移動され、少なくとも半導体を組み立てる処理ヘッドを負荷とする負荷ユニットと、前記所定方向と逆の方向に反力を発生させる第２のボールネジと、前記第１のボールネジと前記第２のボールネジを駆動する動力源を有する駆動ユニットと、を具備するカウンタ機構部と、前記支持体と、前記カウンタ機構部を前記第２のボールネジにより移動可能に支持する支持部材とを備えている反動吸収ユニットを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの幅方向寸法を抑えたコンパクトな外形形状にでき、部品点数を削減することが可能なアクチュエータを提供する。
【解決手段】長手方向に延びる第１の転動体転走溝を有する軌道部材と、前記軌道部材の長手方向と平行に設けられるとともに外周に第２の転動体転走溝を有するねじ軸と、転動体を介して前記軌道部材及び前記ねじ軸に沿って軸方向に移動可能に組み付けられた移動部材と、前記軌道部材の端部に取り付けられる取付部と前記ねじ軸の端部が回転自在に保持される回転保持部を有するハウジングを備えるアクチュエータであって、前記ハウジングには、前記移動部材の位置を検出する位置検出手段を取り付ける取付手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】カムフォロアを設けることなく、偏摩耗を抑制することができる直動アクチュエータを提供する。
【解決手段】回転運動要素及び直線運動要素を有し、前記回転運動要素に伝達された回転運動を直線運動に変換するボールねじ機構６２を備え、前記ボールねじ機構は、前記直線運動要素に設けた半径方向に突出する案内突起６６ｅと、前記直線運動要素と対向する固定部に配設されて前記案内突起と係合して当該案内突起を軸方向に案内する案内溝８２とを有して、前記直線運動要素の回り止めを行う構成とされ、円筒状の外周面を有するガイド部材８０に前記案内溝を軸方向に沿って形成し、前記ガイド部材を前記固定部の前記直線運動要素に対面する位置に軸方向に形成した支持孔８１に回動自在に保持した。 （もっと読む）