密閉式ブースおよび基板処理システム
【課題】その内部に密閉された作業空間を形成するとともに、組み立てにおける作業性を良好としながら、確実に密閉性を実現できる密閉式ブースおよびこのような密閉式ブースを利用した基板処理システムを提供する。
【解決手段】互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースにおいて、第１フレーム部材と、第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とにより構成される連結封止構造を備えさせる。
【解決手段】互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースにおいて、第１フレーム部材と、第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とにより構成される連結封止構造を備えさせる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、その内部に密閉された作業空間を形成する密閉式ブースに関するものであり、特に、クリーンルーム内にて使用される装置を囲うことで、装置に要求される密閉環境を形成する密閉式ブース、およびこのような密閉式ブースを利用した基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム内にて使用される装置を囲うクリーンブースは、複数のアルミニウム製のフレーム（骨部材）を、ボルト止めあるいは溶接などの手段を用いて組み立てることによりフレーム構造体を形成した後、ステンレス製、アルミニウム製、あるいは樹脂製などのパネル部材がこのフレーム構造体に貼り付けられた構造が採用されている。さらにこのようなクリーンブースでは、ブースの天井にファン付のＨＥＰＡフィルタユニットを組み付けて、ブース内空間を清浄環境とするシステムが採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような従来のクリーンブースを用いることで、装置に要求される清浄環境（例えば、クラス１００〜１０００など）をクリーンブース内に形成することができ、装置による所定の作業処理を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０８９０３６号公報
【特許文献２】特開２００４−１７４６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、クリーンルーム内にて製造される製品の技術革新が進むに伴って、製品の製造工程にて使用される処理装置に対して要求される環境条件も多様化しつつある。例えば、フラットディスプレイパネルの一種である有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程にて使用される基板処理装置の中には、要求される環境条件として、清浄環境に加えて、より水分量が少ないドライ環境や酸素濃度が低減された低酸素環境などが要求されるものがある。より具体的には、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程において、ガラスパネル等の基板上に塗液を塗布して膜を形成するコーティング処理を行うコータと称される基板処理装置では、その環境条件として、清浄環境に加えて窒素ガス等の不活性ガス環境が要求される。
【０００６】
このような窒素ガス環境の要求に対応するためには、従来のクリーンブースを密閉構造とする必要があり、フレームを溶接接続としてＯリングなどの封止部材を用いてパネル部材等を封止する、あるいは、コーキング剤を用いて隙間を埋める構造にすることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、フレームを溶接接続して、パネル部材の封止にＯリングを用いるような構造では、コータのような基板処理装置をその内側に配置する比較的大型のブースに対応することが困難となる。すなわち、このような装置をその内側に配置するブースは、いわゆるグローブボックス装置（例えば、特許文献２参照）と比して、そのサイズが大型となり、ブースの運搬などの作業性を考えると、現場であるクリーンルーム内にて組み立てることが望ましい。しかしながら、現場での溶接作業を伴うことは、ブース組み立てにおける作業性を低下させるとともに、クリーンルーム内におけるパーティクル発生の問題も生じるおそれがある。
【０００８】
また、コーキング剤を用いて隙間を埋めるような構造についても、やはり現場での作業性が良好とは言えず、また、コーキング剤の劣化によりパーティクル発生の問題も生じる。
【０００９】
さらに、このような従来の構造では、クリーンブースの保守作業やブースの移動作業を行う際に、フレームの着脱、分解を行うことが困難であるという問題も生じる。特に、フレームが溶接接続されている場合は、フレームの着脱や分解を行うことが不可能に近く、また、コーキング剤を用いて封止を行っている場合についても特に分解時のパーティクル処理等、その作業が著しく困難となる。
【００１０】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、その内部に密閉された作業空間を形成するとともに、組み立てにおける作業性を良好としながら、確実に密閉性を実現できる密閉式ブースおよびこのような密閉式ブースを利用した基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１２】
本発明の第１態様によれば、互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースであって、第１フレーム部材と、第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とを備える連結封止構造を有する、密閉式ブースを提供する。
【００１３】
本発明の第２態様によれば、第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が挿入される凹部が形成され、弾性部材は、凹部の縁部よりも突出して形成され、封止部材を介してパネル部材により、弾性部材が凹部の深さ方向に弾性圧縮変形されることにより、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が、実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域が形成される、第１態様に記載の密閉式ブースを提供する。
【００１４】
本発明の第３態様によれば、第１フレーム部材、第２フレーム部材および弾性部材は、少なくとも２枚のパネル部材の縁部を封止する隣接して延在するパネル封止領域を形成し、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分において、少なくともそれぞれのパネル封止領域に配置される封止部材の間の部分が弾性部材により封止される、第１または第２態様に記載の密閉式ブースを提供する。
【００１５】
本発明の第４態様によれば、第１フレーム部材は、第２フレーム部材と第３フレーム部材とを互いに直交させる方向に配置させた状態にて連結する連結用フレーム部材であり、前記弾性部材として、連結用フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第１弾性部材と、連結用フレーム部材と第３フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第２弾性部材とが備えられ、連結用フレーム部材、第２フレーム部材、第３フレーム部材、第１弾性部材、および第２弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、１枚のパネル部材との間が、１本の封止部材により連続的に封止される、第１から第３態様のいずれか１つに記載の密閉式ブースを提供する。
【００１６】
本発明の第５態様によれば、第１から第４態様のいずれか１つに記載の密閉式ブースと、前記密閉式ブース内の空間を不活性ガスにて満たす不活性ガス充填手段と、不活性ガスにて満たされた密閉式ブース内に配置され、基板に対する処理を行う基板処理装置とを備える、基板処理システムを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が配置されていることにより、このフレーム部材間の連結部分を弾性部材により確実に封止することができる。さらに、互いに連結されかつ封止された状態の第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に、封止部材が延在して配置されていることにより、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止することができる。特に、パネル封止領域において、第１フレーム部材の表面と第２フレーム部材の表面との間に、弾性部材の表面が連なるように配置されていることにより、弾性部材の弾性を効果的に利用して、パネル部材との間を確実に封止することができる。したがって、第１および第２フレーム部材、弾性部材、封止部材、およびパネル部材の組み立て性を良好としながら、フレーム部材の連結部分およびパネル部材との間を確実に封止して、密閉性が確保された密閉式ブースを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一の実施形態にかかる密閉式クリーンブースの外観模式図
【図２】コーナー連結部分の分解状態の模式斜視図
【図３】図２のコーナー連結部分におけるＣ−Ｃ線矢視図
【図４】図２のコーナー連結部分におけるＤ−Ｄ線矢視図
【図５】図１のクリーンブースの内側よりコーナー連結部分を見た模式斜視図
【図６】ブロック部材に対するシール用ゴム部材の配置関係（外側シール構造）を示す図
【図７Ａ】シール用ゴム部材およびＯリングを用いた連結封止構造の模式説明図
【図７Ｂ】シール用ゴム部材およびＯリングを用いた連結封止構造の模式説明図
【図８】ブロック部材に対するシール用ゴム部材の配置関係（内側シール構造）を示す図
【図９】Ｔ字連結部分の分解状態の模式斜視図
【図１０】Ｔ字連結部分の組み立て状態の模式斜視図
【図１１】図１０のＴ字連結部分におけるＥ−Ｅ線矢視図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
本発明の一の実施形態にかかる密閉式ブースの一例である密閉式クリーンブース１の外観の模式図を図１に示す。図１に示すように、本実施形態の密閉式クリーンブース１は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に配置された複数のフレーム部材（骨部材）が互いに連結された箱状枠体形状を有するフレーム構造体２と、このフレーム構造体２の複数の開口を覆うように、フレーム構造体２に固定して支持された複数のパネル部材３とを備えている。さらに、それぞれのフレーム部材の連結部分およびパネル部材３とフレーム構造体２との間は、後述するように封止部材等により封止（シール）されており、クリーンブース１の直方体状の内部空間が、クリーンブース１の外部に対して密閉された状態となっている。なお、図１において、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交する方向である。
【００２１】
フレーム構造体２を構成するそれぞれのフレーム部材としては、清浄環境にて使用することができる剛体材料として、例えば、金属製の部材を用いることができ、コストおよび汎用性を考慮して、アルミニウム製の部材が用いられる。また、パネル部材３としては、ステンレス製、アルミニウム製、または樹脂製などの部材を用いることができ、要求される清浄度レベルやその他の環境条件などに応じた材質を設定することができる。また、クリーンブース１内を外部から視認可能とするために、パネル部材３として透明性を有する材料により形成されたパネル部材を用いても良い。
【００２２】
図１に示すように、フレーム構造体２におけるそれぞれのフレーム部材の連結封止構造の典型的な種類としては、大きく２種類の連結封止構造があり、コーナー連結部分ＡとＴ字連結部分Ｂとがある。以降、コーナー連結部分ＡおよびＴ字連結部分Ｂにおけるフレーム部材の連結構造およびパネル部材３の支持構造ならびに封止構造（すなわち、連結封止構造）について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２３】
まず、コーナー連結部分Ａの構造について、その分解状態の模式斜視図を図２に示し、コーナー連結部分ＡにおけるＣ−Ｃ線矢視図を図３に示し、Ｄ−Ｄ線矢視図を図４に示す。また、クリーンブース１の内側よりコーナー連結部分Ａを見た模式斜視図（一部分解状態）を図５に示す。なお、図４および図５においては、図２に比してフレーム部材などの詳細形状をより簡略化して示している。
【００２４】
図２および図５に主に示すように、コーナー連結部分Ａにおけるフレーム構造体２は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に沿ってそれぞれ配置された３本のフレーム部材１１、１２、１３（第２フレーム部材または第３フレーム部材の一例である。）と、これら３本のフレーム部材１１〜１３を互いに連結するコーナー用ブロック部材１４（第１フレーム部材および連結用フレーム部材の一例である。）とを備えている。
【００２５】
アルミニウム製のフレーム部材１１〜１３は、図２に示すように、中空断面形状を有しており、その外周面にはパネル部材３を取り付けるための複数の溝（例えば、溝１１ａ）が長手方向に沿って連続的に形成されており、さらにその断面部分にはブロック部材１４と連結するための複数のボルト連結用孔（例えば、ボルト連結用孔１１ｂ）が形成されている。
【００２６】
コーナー用ブロック部材１４は、アルミニウム材料により形成された大略立方体形状を有しており、その３つの面において、それぞれのフレーム部材１１〜１３と連結される連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚを有している。それぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、および１４ｚには、フレーム部材１１〜１３のボルト連結用孔（１１ｂ）およびボルトを介して連結するためのボルト連結用孔１４ａが形成されている。
【００２７】
それぞれのフレーム部材１１〜１３の端面が、ブロック部材１４のそれぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚに互いに接した状態にて、ボルト連結用孔１４ａおよび１１ｂ等を通して、図示しないボルトにより互いに連結されることにより、フレーム部材１１〜１３がブロック部材１４を介して連結されたコーナー連結部分Ａのフレーム構造体２が構成される。
【００２８】
図２に示すように、ブロック部材１４におけるそれぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚは、連結されるそれぞれのフレーム部材１１〜１３の端面よりも一回り小さく形成されている。そのため、ブロック部材１４とフレーム部材１１〜１３とが連結された状態にて、両者の連結部分における外周面に凹部１５が形成される。この凹部１５内には、弾性部材の一例であるシール用ゴム部材１６が挿入配置される。シール用ゴム部材１６は、大略Ｌ字形状を有しており、フレーム部材１１〜１３とブロック部材１４とのそれぞれの連結部分におけるクリーンブース１の外面側を封止するように、それぞれの凹部１５内に挿入配置される。クリーンブース１の外面側の封止箇所とは、例えば、図２において、Ｘ方向のフレーム部材１１とブロック部材１４との連結部分における図示下辺部分と右辺部分であり、この部分に相当する凹部１５内にＬ字形状のシール用ゴム部材１６が挿入配置されることにより、これらの部分が封止される。なお、シール用ゴム部材１６の配置位置をより理解し易くするために、ブロック部材１４と３つのシール用ゴム部材１６との模式分解図を図６に示す。また、このようなシール用ゴム部材１６としては、弾性材料にて形成されていれば良く、例えば、硬度５０〜９０度程度のゴム材料が用いられ、凹部１５内に隙間無く挿入配置されるように形成されている。
【００２９】
次に、コーナー連結部分Ａにおいて、このような連結封止構造を有するフレーム構造体２に対して、３枚のパネル部材３を固定してパネル部材３とフレーム構造体２との間を確実に封止する構造について説明する。
【００３０】
図４に示すコーナー連結部分ＡにおけるＤ−Ｄ線矢視図において、フレーム構造体２の内縁側の表面上には、Ｘ方向のフレーム部材１１の表面、シール用ゴム部材１６の表面、ブロック部材１４の表面、別のシール用ゴム部材１６の表面、およびＺ方向のフレーム部材１３の表面が、それぞれのフレーム部材１１、１３の長手方向に沿って連続的に連なった図示大略Ｌ字状の領域が形成される（図４において点線にて示す帯状の領域）。このフレーム構造体２上の領域をパネル封止領域Ｒとして、このパネル封止領域Ｒとパネル部材３との間にＯリング１７（封止部材の一例）を配置することで、パネル封止領域Ｒとパネル部材３との間が連続的に封止される。図４においては、一例として、ＸＺ平面に配置されるパネル部材３の封止構造について説明したが、他の平面、例えば、ＹＺ平面（あるいはＸＹ平面）に配置されるパネル部材３の封止構造についても同様である。なお、図４に示すように、コーナー連結部分Ａにおいては、ＸＺ平面、ＹＺ平面、およびＸＹ平面の３平面それぞれにパネル部材３が配置された構造が採用されている。また、図４では、ＸＺ平面に配置されるパネル部材３を透過させた状態にて、フレーム構造体２の構造を図示している。
【００３１】
パネル部材３の縁部には、Ｏリング１７を配置されるための凹部３ａ（図３および図４参照）が、その周縁に沿って連続的に形成、すなわち全周囲に渡って形成されている。また、パネル部材３は、図示しない固定手段と用いて、フレーム部材１１〜１３に解除可能に固定されている。なお、このような固定手段として、ボルトおよびナットが用いられる場合には、フレーム部材１１〜１３の溝１１ａ等がボルト固定用溝として用いられる。また、図４に示す構造では、フレーム部材１１、１３が第１フレーム部材、第３フレーム部材に相当し、シール用ゴム部材１６および別のシール用ゴム部材１６が第１弾性部材、第２弾性部材に相当し、ブロック部材１４が連結用フレーム部材に相当する。
【００３２】
なお、本実施形態では、パネル封止領域とパネル部材との間を封止する封止部材として、Ｏリングが用いられるような場合を例としているが、封止部材としてその他様々な形態の部材を適用することができる。すなわち、封止部材としては、パネル部材３の縁部全周囲に沿って配置される細長い環状形状を有し、かつ、弾性を有する部材を適用することができる。Ｏリングの他に、Ｘリングなどを封止部材として適用しても良い。
【００３３】
ここで、シール用ゴム部材１６およびＯリング１７を用いた連結封止構造について、図７Ａおよび図７Ｂに示す模式説明図を用いて、さらに詳細に説明する。なお、図７Ａおよび図７Ｂでは、本実施形態の連結封止構造の理解を容易にするために、フレーム部材やブロック部材などの各構成部材をさらに模式化して、連結封止構造を概念的に示している。
【００３４】
図７Ａでは、例えば、Ｚ方向のフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分を、Ｘ方向より見た状態を模式的に示している。図７Ａに示すように、互いに連結されるフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分には凹部１５（図示上面）が形成される。この凹部１５内には、シール用ゴム部材１６が挿入配置される。パネル部材３が配置されておらず、かつ、フレーム部材１３とブロック部材１４とが連結されていない状態では、ブロック部材１４の凹部１５に配置されたシール用ゴム部材１６が、パネル部材３側に突出高さｈだけ突出するとともに、フレーム部材１３側に突出幅ｗだけ突出するような寸法形状に、シール用ゴム部材１６は形成されている。すなわち、シール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形されていない状態にて、凹部１５の深さ方向（図示上下方向）および幅方向（図示左右方向）において、シール用ゴム部材１６が凹部１５の開口縁部よりも突出するように、シール用ゴム部材１６は形成されている。
【００３５】
その後、フレーム部材１３とブロック部材１４とが連結されると、突出幅ｗだけブロック部材１４の端面より突出されていた状態のシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形される。さらに、図７Ｂに示すように、パネル封止領域Ｒに相当する領域にＯリング１７を介してパネル部材３が配置されると、突出高さｈだけフレーム部材１３およびブロック部材１４の表面より突出されていた状態のシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形される。この弾性圧縮変形により、シール用ゴム部材１６は、高さｈおよび幅ｗだけ押し縮められて、フレーム部材１３の表面、ブロック部材１４の表面、およびシール用ゴム部材１６の表面が実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域Ｒが形成される。
【００３６】
このようにシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形されて、フレーム部材１３の表面とブロック部材１４の表面とが、実質的に同じ高さ位置にてシール用ゴム部材１６の表面により連なった状態とされることにより、フレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分と、パネル部材３との間を、Ｏリング１７により確実に封止することができる。また、シール用ゴム部材１６は、凹部１５の幅方向においても弾性圧縮変形されることにより、フレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分を確実に封止することができる。特に、この連結部分とパネル部材３との間は、シール用ゴム部材１６とＯリング１７とが互いに接触されかつ弾性変形された状態にて封止が行われるため、その封止効果を高めることができる。さらに、シール用ゴム部材１６が高さ方向および幅方向に弾性圧縮変形されることにより、凹部１５における封止効果、すなわちフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分における封止効果を高めることができる。
【００３７】
このようなシール用ゴム部材１６の突出高さｈおよび突出幅ｗは、弾性圧縮変形による「潰し代」とも言うことができる。この潰し代ｈおよびｗは、シール用ゴム部材１６に用いられる弾性部材の材質、硬度、形状、そして密閉式クリーンブース１に求められる圧力などの仕様に応じて最適な値に設定することができる。また、Ｏリング１７は、例えば、硬度５０〜９０度程度の弾性材料により形成されたものを用いることができる。シール用ゴム部材１６を潰し代ｈだけ確実に弾性変形させるという観点からは、シール用ゴム部材１６は、Ｏリング１７よりも低い硬度の材料により形成されていることが好ましい。
【００３８】
また、図３および図４に示すように、１本のフレーム部材１１〜１３に、２枚のパネル部材３が支持されているような場合には、１つのシール用ゴム部材１６と接触する２つのＯリング１７との接触位置Ｐ１、Ｐ２間における連結部分が、シール用ゴム部材１６により連続的に封止されている必要がある。このような観点から、コーナー連結部分Ａの封止構造では、大略Ｌ字形状を有するシール用ゴム部材１６が用いられる。
【００３９】
なお、図７Ａおよび図７Ｂの説明では、シール用ゴム部材１６が、凹部１５に対して突出高さｈおよび突出幅ｗを有するような場合を例として説明したが、シール用ゴム部材１６の形状は、このような場合についてのみ限定されるものではない。シール用ゴム部材１６は少なくとも凹部１５の深さ方向について弾性圧縮変形されるような形態であれば良く、シール用ゴム部材１６が凹部１５に対して突出高さｈのみを有するような場合であっても良い。ただし、パネル部材との間およびフレーム部材の連結部分の両方をより確実に封止するという観点からは、シール用ゴム部材１６が突出高さｈおよび突出幅ｗを有することが好ましい。
【００４０】
なお、上述の説明では、ブロック部材１４とそれぞれのフレーム部材１１〜１３との連結部分において、クリーンブース１の外面側を封止するように、３つのシール用ゴム部材１６が、図６等に示すように用いられる場合を例として説明したが、本実施形態は、このような場合についてのみ限定されるものではない。図６に示すような場合に代えて、図８に示すような配置構成を採用しても良い。図８では、ブロック部材１４とそれぞれのフレーム部材１１〜１３との連結部分において、クリーンブース１の内面側を封止するようにＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向の３方向に延在して形成されたシール用ゴム部材２６が配置されている。
【００４１】
図６に示すシール用ゴム部材１６の配置構成を外側シール構造とし、図８に示すシール用ゴム部材２６の配置構成を内側シール構造とした場合、内側シール構造では、シール用ゴム部材２６の端縁が、それぞれのＯリング１７との接触箇所となるため、シール用ゴム部材２６の潰し代ｈの寸法管理が外側シール構造に比して難しくなる。外側シール構造では、凹部１５の深さとシール用ゴム部材１６の幅寸法の精度管理を行うことで、シール用ゴム部材１６の潰し代ｈの寸法管理を行うことができ、その管理を比較的容易にすることができる。さらに、外側シール構造では、クリーンブース１の外側より主な作業を行うことができるため、その作業性が良好となる。
【００４２】
次に、Ｔ字連結部分Ｂの構造について、その分解状態の模式斜視図を図９に示し、組み立て状態の模式斜視図を図１０に示し、Ｔ字連結部分ＢにおけるＥ−Ｅ線矢視図を図１１に示す。基本的には、Ｔ字連結部分Ｂにおける連結封止構造は、コーナー連結部分Ａにおける連結封止構造と実質的に同様な考え方を利用するものである。したがって、以下の説明では、相違する構成を中心に説明する。
【００４３】
図９および図１０に示すように、Ｔ字連結部分Ｂにおけるフレーム構造体２は、Ｙ方向に沿って配置されたフレーム部材３１と、このフレーム部材３１の側面に連結されるＺ方向に沿って配置されるフレーム部材３２と、これら２本のフレーム部材３１および３２を互いに連結する連結用プレート部材３３（連結用フレーム部材の一例である。）とを備えている。
【００４４】
図９に示すように、Ｚ方向のフレーム部材３２の端面には、連結用プレート部材３３が、ボルト連結用孔３３ａを通してボルトを用いて固定されている。連結用プレート部材３３は、その幅寸法がフレーム部材３２の端面よりも大きく形成されており、フレーム部材３２に固定された状態にて、両側よりフランジ部３３ｂが突出している。それぞれのフランジ部３３ｂには、ボルト連結用孔３３ｃが形成されている。このボルト連結用孔３３ｃを通して、Ｙ方向のフレーム部材３１の側面に設けられた溝３１ａに、ボルトにてフランジ部３３ｂが固定されることにより、フレーム部材３２が連結用プレート部材３３を介して、フレーム部材３１の側面に固定されている。
【００４５】
また、図１１等に示すように、連結用プレート部材３３には切り欠き部が設けられており、フレーム部材３１および３２が互いに連結された状態にて、この切り欠き部が凹部３５となる。この凹部３５内には、シール用ゴム部材３６が挿入配置されており、これにより、フレーム部材３１および３２の連結部分が封止される。
【００４６】
また、このシール用ゴム部材３６は、その深さ方向（図１１の上下方向）に弾性圧縮変形されていない状態にて、凹部３５の開口縁部よりも突出するように潰れ代が設定されている。図１０および図１１に示すように、２枚のパネル部材３が配置されることにより、シール用ゴム部材３６が弾性圧縮変形して、フレーム部材３１の表面と、フレーム部材３２の表面と、シール用ゴム部材３６の表面とが連なったパネル封止領域Ｒが形成される。なお、Ｔ字連結部分Ｂにおいては、それぞれのフレーム部材３１、３２の内縁に沿って隣接配置された２つのパネル封止領域Ｒが形成される。
【００４７】
これら２つのパネル封止領域Ｒと２枚のパネル部材３の外縁との間に、Ｏリング３７がそれぞれ配置されることにより、パネル部材３とフレーム部材３１、３２との間の封止が行われる。なお、連結部分において、２つのパネル封止領域Ｒ上に配置される２本のＯリング３７間を封止するように、シール用ゴム部材３６が両Ｏリング３７間に配置されていれば良い。すなわち、図１０および図１１において、一方のＯリング３７とシール用ゴム部材３６との接触位置と、他方のＯリング３７とシール用ゴム部材３６との接触位置との間における連結部分（すなわち、凹部３５の内周面）が、シール用ゴム部材３６により封止されていれば良く、シール用ゴム部材３６が両側のフランジ部３３ｂにまで配置されていなくても良い。
【００４８】
このようにＴ字連結部分Ｂにおいても、コーナー連結部分Ａと実質的に同様な考え方に基づく連結封止構造が採用されていることにより、フレーム部材３１、３２を、連結用プレート部材３３を介して連結しながら、連結部分の間を、シール用ゴム部材３６により確実に封止することができる。それとともに、フレーム部材３１および３２の表面と、シール用ゴム部材３６の表面とが、実質的に同じ高さ位置にて連なった状態とされ、このそれぞれの表面上にＯリング３７が配置されることにより、フレーム部材３１、３２およびシール用ゴム部材３６と、パネル部材３との間を、確実に封止することができる。
【００４９】
本実施形態の密閉式クリーンブース１におけるコーナー連結部分ＡおよびＴ字連結部分Ｂの連結封止構造について説明したが、このような連結封止構造は、その他連結部分（例えば、十字連結部分やＬ字連結部分など）にも適用することができる。
【００５０】
また、上述の説明では、フレーム部材とブロック部材との連結、およびフレーム部材と連結用プレート部材との連結を、ボルトおよびナットを用いて行うような場合を例として説明したが、その他様々な連結手段を適用することができる。フレーム部材等に形成されたボルト連結用孔を用いて、ボルトによる連結を行った場合、必要に応じて、ボルト連結用孔をパッキンなどの封止部材を用いて封止することが好ましい。
【００５１】
上述したようなフレーム構造体２およびパネル部材３の連結封止構造が用いられた密閉式クリーンブース１において、ファン付ＨＥＰＡフィルタユニットなどを設置することにより、クリーンブース１内を清浄環境とすることができる。
【００５２】
また、不活性ガス充填手段を用いて、本実施形態の密閉式クリーンブース１内に不活性ガスを供給して不活性ガス空間を形成することができる。このような不活性ガスとしては、窒素ガスやアルゴンガスなどがある。その他、クリーンブース１内の空間を低酸素環境やドライ環境に保つこともできる。
【００５３】
例えば、本実施形態の密閉式クリーンブース１内に、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置（図示せず）を配置するとともに、クリーンブース１内の環境を、この基板処理に求められる環境に保つための手段、例えば、不活性ガス充填手段を設置して、密閉式クリーンブースを用いた基板処理システムとして構築することもできる。
【００５４】
このような基板処理装置としては、フラットディスプレイパネルの製造工程にて行われる処理装置、例えば、基板（パネル）表面に塗膜を形成する塗布装置（コーター）、検査装置、乾燥装置などがある。特に、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程では、窒素ガスなどの不活性ガスが充填された環境にて基板処理を行う必要がある。そのため、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程にて使用される基板処理装置と、本実施形態の密閉式クリーンブース１とを組み合わせた基板処理システムは、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程において特に有効である。
【００５５】
また、本実施形態の密閉式クリーンブース１では、連結封止構造による密閉性を活用して、その内部空間の設定圧力を、例えば、５ＫＰａ以下の所望の圧力に保つことができる。ただし、５ＫＰａを超える設定圧力であっても、各構成部材の材質や厚さなど好適に設定することにより、同様な構造を用いながら対応することもできる。
【００５６】
本実施形態によれば、互いに連結されるフレーム部材（ブロック部材含む）の連結部分にシール用ゴム部材が配置されていることにより、このフレーム部材間の連結部分をシール用ゴム部材により確実に封止することができる。さらに、互いに連結されかつ封止された状態のフレーム部材およびシール用ゴム部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に、Ｏリングが延在して配置されていることにより、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止することができる。特に、パネル封止領域において、一方のフレーム部材の表面と他方のフレーム部材の表面との間に、シール用ゴム部材の表面が連なるように配置されていることにより、シール用ゴム部材の弾性を利用して、パネル部材との間を確実に封止することができる。したがって、クリーンブースの密閉性を高めることができる。
【００５７】
また、各フレーム部材の連結、およびシール用ゴム部材やＯリングを用いた封止における作業性も良好であるとともに、クリーンルームなどの現場において、溶接やシーリング剤注入などの作業を伴うことがないため、クリーンブースの組み立て性や、保守作業、移動作業を行う際のフレームの脱着、分解が良好となる。
【００５８】
また、フレーム構造体を構成する各フレーム部材としては、一般的に流通しているフレーム部材を用いることができるため、汎用性が高い。
【００５９】
したがって、その組み立て性を良好としながら、フレーム部材の連結部分およびパネル部材との間を確実に封止して、密閉性に優れた密閉式クリーンブースを提供することができる。
【００６０】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明によれば、良好な組み立て性と高い密閉性とを両立することができる密閉式ブースを提供することができる。このような密閉式ブースは、清浄環境に加えて不活性ガス環境等が要求されるような場合に利用することができ、特に、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程において活用できる。
【符号の説明】
【００６２】
１ 密閉式クリーンブース
２ フレーム構造体
３ パネル部材
１１〜１３ フレーム部材
１４ コーナー用ブロック部材
１５ 凹部
１６ シール用ゴム部材
１７ Ｏリング
３１、３２ フレーム部材
３３ プレート部材
３５ 凹部
３６ シール用ゴム部材
３７ Ｏリング
Ａ コーナー連結部分
Ｂ Ｔ字連結部分
ｈ 突出高さ（潰し代）
ｗ 突出高さ（潰し代）
Ｒ パネル封止領域
【技術分野】
【０００１】
本発明は、その内部に密閉された作業空間を形成する密閉式ブースに関するものであり、特に、クリーンルーム内にて使用される装置を囲うことで、装置に要求される密閉環境を形成する密閉式ブース、およびこのような密閉式ブースを利用した基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム内にて使用される装置を囲うクリーンブースは、複数のアルミニウム製のフレーム（骨部材）を、ボルト止めあるいは溶接などの手段を用いて組み立てることによりフレーム構造体を形成した後、ステンレス製、アルミニウム製、あるいは樹脂製などのパネル部材がこのフレーム構造体に貼り付けられた構造が採用されている。さらにこのようなクリーンブースでは、ブースの天井にファン付のＨＥＰＡフィルタユニットを組み付けて、ブース内空間を清浄環境とするシステムが採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような従来のクリーンブースを用いることで、装置に要求される清浄環境（例えば、クラス１００〜１０００など）をクリーンブース内に形成することができ、装置による所定の作業処理を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０８９０３６号公報
【特許文献２】特開２００４−１７４６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、クリーンルーム内にて製造される製品の技術革新が進むに伴って、製品の製造工程にて使用される処理装置に対して要求される環境条件も多様化しつつある。例えば、フラットディスプレイパネルの一種である有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程にて使用される基板処理装置の中には、要求される環境条件として、清浄環境に加えて、より水分量が少ないドライ環境や酸素濃度が低減された低酸素環境などが要求されるものがある。より具体的には、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程において、ガラスパネル等の基板上に塗液を塗布して膜を形成するコーティング処理を行うコータと称される基板処理装置では、その環境条件として、清浄環境に加えて窒素ガス等の不活性ガス環境が要求される。
【０００６】
このような窒素ガス環境の要求に対応するためには、従来のクリーンブースを密閉構造とする必要があり、フレームを溶接接続としてＯリングなどの封止部材を用いてパネル部材等を封止する、あるいは、コーキング剤を用いて隙間を埋める構造にすることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、フレームを溶接接続して、パネル部材の封止にＯリングを用いるような構造では、コータのような基板処理装置をその内側に配置する比較的大型のブースに対応することが困難となる。すなわち、このような装置をその内側に配置するブースは、いわゆるグローブボックス装置（例えば、特許文献２参照）と比して、そのサイズが大型となり、ブースの運搬などの作業性を考えると、現場であるクリーンルーム内にて組み立てることが望ましい。しかしながら、現場での溶接作業を伴うことは、ブース組み立てにおける作業性を低下させるとともに、クリーンルーム内におけるパーティクル発生の問題も生じるおそれがある。
【０００８】
また、コーキング剤を用いて隙間を埋めるような構造についても、やはり現場での作業性が良好とは言えず、また、コーキング剤の劣化によりパーティクル発生の問題も生じる。
【０００９】
さらに、このような従来の構造では、クリーンブースの保守作業やブースの移動作業を行う際に、フレームの着脱、分解を行うことが困難であるという問題も生じる。特に、フレームが溶接接続されている場合は、フレームの着脱や分解を行うことが不可能に近く、また、コーキング剤を用いて封止を行っている場合についても特に分解時のパーティクル処理等、その作業が著しく困難となる。
【００１０】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、その内部に密閉された作業空間を形成するとともに、組み立てにおける作業性を良好としながら、確実に密閉性を実現できる密閉式ブースおよびこのような密閉式ブースを利用した基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１２】
本発明の第１態様によれば、互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースであって、第１フレーム部材と、第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とを備える連結封止構造を有する、密閉式ブースを提供する。
【００１３】
本発明の第２態様によれば、第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が挿入される凹部が形成され、弾性部材は、凹部の縁部よりも突出して形成され、封止部材を介してパネル部材により、弾性部材が凹部の深さ方向に弾性圧縮変形されることにより、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が、実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域が形成される、第１態様に記載の密閉式ブースを提供する。
【００１４】
本発明の第３態様によれば、第１フレーム部材、第２フレーム部材および弾性部材は、少なくとも２枚のパネル部材の縁部を封止する隣接して延在するパネル封止領域を形成し、第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分において、少なくともそれぞれのパネル封止領域に配置される封止部材の間の部分が弾性部材により封止される、第１または第２態様に記載の密閉式ブースを提供する。
【００１５】
本発明の第４態様によれば、第１フレーム部材は、第２フレーム部材と第３フレーム部材とを互いに直交させる方向に配置させた状態にて連結する連結用フレーム部材であり、前記弾性部材として、連結用フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第１弾性部材と、連結用フレーム部材と第３フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第２弾性部材とが備えられ、連結用フレーム部材、第２フレーム部材、第３フレーム部材、第１弾性部材、および第２弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、１枚のパネル部材との間が、１本の封止部材により連続的に封止される、第１から第３態様のいずれか１つに記載の密閉式ブースを提供する。
【００１６】
本発明の第５態様によれば、第１から第４態様のいずれか１つに記載の密閉式ブースと、前記密閉式ブース内の空間を不活性ガスにて満たす不活性ガス充填手段と、不活性ガスにて満たされた密閉式ブース内に配置され、基板に対する処理を行う基板処理装置とを備える、基板処理システムを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が配置されていることにより、このフレーム部材間の連結部分を弾性部材により確実に封止することができる。さらに、互いに連結されかつ封止された状態の第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に、封止部材が延在して配置されていることにより、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止することができる。特に、パネル封止領域において、第１フレーム部材の表面と第２フレーム部材の表面との間に、弾性部材の表面が連なるように配置されていることにより、弾性部材の弾性を効果的に利用して、パネル部材との間を確実に封止することができる。したがって、第１および第２フレーム部材、弾性部材、封止部材、およびパネル部材の組み立て性を良好としながら、フレーム部材の連結部分およびパネル部材との間を確実に封止して、密閉性が確保された密閉式ブースを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一の実施形態にかかる密閉式クリーンブースの外観模式図
【図２】コーナー連結部分の分解状態の模式斜視図
【図３】図２のコーナー連結部分におけるＣ−Ｃ線矢視図
【図４】図２のコーナー連結部分におけるＤ−Ｄ線矢視図
【図５】図１のクリーンブースの内側よりコーナー連結部分を見た模式斜視図
【図６】ブロック部材に対するシール用ゴム部材の配置関係（外側シール構造）を示す図
【図７Ａ】シール用ゴム部材およびＯリングを用いた連結封止構造の模式説明図
【図７Ｂ】シール用ゴム部材およびＯリングを用いた連結封止構造の模式説明図
【図８】ブロック部材に対するシール用ゴム部材の配置関係（内側シール構造）を示す図
【図９】Ｔ字連結部分の分解状態の模式斜視図
【図１０】Ｔ字連結部分の組み立て状態の模式斜視図
【図１１】図１０のＴ字連結部分におけるＥ−Ｅ線矢視図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
本発明の一の実施形態にかかる密閉式ブースの一例である密閉式クリーンブース１の外観の模式図を図１に示す。図１に示すように、本実施形態の密閉式クリーンブース１は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に配置された複数のフレーム部材（骨部材）が互いに連結された箱状枠体形状を有するフレーム構造体２と、このフレーム構造体２の複数の開口を覆うように、フレーム構造体２に固定して支持された複数のパネル部材３とを備えている。さらに、それぞれのフレーム部材の連結部分およびパネル部材３とフレーム構造体２との間は、後述するように封止部材等により封止（シール）されており、クリーンブース１の直方体状の内部空間が、クリーンブース１の外部に対して密閉された状態となっている。なお、図１において、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交する方向である。
【００２１】
フレーム構造体２を構成するそれぞれのフレーム部材としては、清浄環境にて使用することができる剛体材料として、例えば、金属製の部材を用いることができ、コストおよび汎用性を考慮して、アルミニウム製の部材が用いられる。また、パネル部材３としては、ステンレス製、アルミニウム製、または樹脂製などの部材を用いることができ、要求される清浄度レベルやその他の環境条件などに応じた材質を設定することができる。また、クリーンブース１内を外部から視認可能とするために、パネル部材３として透明性を有する材料により形成されたパネル部材を用いても良い。
【００２２】
図１に示すように、フレーム構造体２におけるそれぞれのフレーム部材の連結封止構造の典型的な種類としては、大きく２種類の連結封止構造があり、コーナー連結部分ＡとＴ字連結部分Ｂとがある。以降、コーナー連結部分ＡおよびＴ字連結部分Ｂにおけるフレーム部材の連結構造およびパネル部材３の支持構造ならびに封止構造（すなわち、連結封止構造）について、図面を用いて詳細に説明する。
【００２３】
まず、コーナー連結部分Ａの構造について、その分解状態の模式斜視図を図２に示し、コーナー連結部分ＡにおけるＣ−Ｃ線矢視図を図３に示し、Ｄ−Ｄ線矢視図を図４に示す。また、クリーンブース１の内側よりコーナー連結部分Ａを見た模式斜視図（一部分解状態）を図５に示す。なお、図４および図５においては、図２に比してフレーム部材などの詳細形状をより簡略化して示している。
【００２４】
図２および図５に主に示すように、コーナー連結部分Ａにおけるフレーム構造体２は、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に沿ってそれぞれ配置された３本のフレーム部材１１、１２、１３（第２フレーム部材または第３フレーム部材の一例である。）と、これら３本のフレーム部材１１〜１３を互いに連結するコーナー用ブロック部材１４（第１フレーム部材および連結用フレーム部材の一例である。）とを備えている。
【００２５】
アルミニウム製のフレーム部材１１〜１３は、図２に示すように、中空断面形状を有しており、その外周面にはパネル部材３を取り付けるための複数の溝（例えば、溝１１ａ）が長手方向に沿って連続的に形成されており、さらにその断面部分にはブロック部材１４と連結するための複数のボルト連結用孔（例えば、ボルト連結用孔１１ｂ）が形成されている。
【００２６】
コーナー用ブロック部材１４は、アルミニウム材料により形成された大略立方体形状を有しており、その３つの面において、それぞれのフレーム部材１１〜１３と連結される連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚを有している。それぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、および１４ｚには、フレーム部材１１〜１３のボルト連結用孔（１１ｂ）およびボルトを介して連結するためのボルト連結用孔１４ａが形成されている。
【００２７】
それぞれのフレーム部材１１〜１３の端面が、ブロック部材１４のそれぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚに互いに接した状態にて、ボルト連結用孔１４ａおよび１１ｂ等を通して、図示しないボルトにより互いに連結されることにより、フレーム部材１１〜１３がブロック部材１４を介して連結されたコーナー連結部分Ａのフレーム構造体２が構成される。
【００２８】
図２に示すように、ブロック部材１４におけるそれぞれの連結面１４ｘ、１４ｙ、１４ｚは、連結されるそれぞれのフレーム部材１１〜１３の端面よりも一回り小さく形成されている。そのため、ブロック部材１４とフレーム部材１１〜１３とが連結された状態にて、両者の連結部分における外周面に凹部１５が形成される。この凹部１５内には、弾性部材の一例であるシール用ゴム部材１６が挿入配置される。シール用ゴム部材１６は、大略Ｌ字形状を有しており、フレーム部材１１〜１３とブロック部材１４とのそれぞれの連結部分におけるクリーンブース１の外面側を封止するように、それぞれの凹部１５内に挿入配置される。クリーンブース１の外面側の封止箇所とは、例えば、図２において、Ｘ方向のフレーム部材１１とブロック部材１４との連結部分における図示下辺部分と右辺部分であり、この部分に相当する凹部１５内にＬ字形状のシール用ゴム部材１６が挿入配置されることにより、これらの部分が封止される。なお、シール用ゴム部材１６の配置位置をより理解し易くするために、ブロック部材１４と３つのシール用ゴム部材１６との模式分解図を図６に示す。また、このようなシール用ゴム部材１６としては、弾性材料にて形成されていれば良く、例えば、硬度５０〜９０度程度のゴム材料が用いられ、凹部１５内に隙間無く挿入配置されるように形成されている。
【００２９】
次に、コーナー連結部分Ａにおいて、このような連結封止構造を有するフレーム構造体２に対して、３枚のパネル部材３を固定してパネル部材３とフレーム構造体２との間を確実に封止する構造について説明する。
【００３０】
図４に示すコーナー連結部分ＡにおけるＤ−Ｄ線矢視図において、フレーム構造体２の内縁側の表面上には、Ｘ方向のフレーム部材１１の表面、シール用ゴム部材１６の表面、ブロック部材１４の表面、別のシール用ゴム部材１６の表面、およびＺ方向のフレーム部材１３の表面が、それぞれのフレーム部材１１、１３の長手方向に沿って連続的に連なった図示大略Ｌ字状の領域が形成される（図４において点線にて示す帯状の領域）。このフレーム構造体２上の領域をパネル封止領域Ｒとして、このパネル封止領域Ｒとパネル部材３との間にＯリング１７（封止部材の一例）を配置することで、パネル封止領域Ｒとパネル部材３との間が連続的に封止される。図４においては、一例として、ＸＺ平面に配置されるパネル部材３の封止構造について説明したが、他の平面、例えば、ＹＺ平面（あるいはＸＹ平面）に配置されるパネル部材３の封止構造についても同様である。なお、図４に示すように、コーナー連結部分Ａにおいては、ＸＺ平面、ＹＺ平面、およびＸＹ平面の３平面それぞれにパネル部材３が配置された構造が採用されている。また、図４では、ＸＺ平面に配置されるパネル部材３を透過させた状態にて、フレーム構造体２の構造を図示している。
【００３１】
パネル部材３の縁部には、Ｏリング１７を配置されるための凹部３ａ（図３および図４参照）が、その周縁に沿って連続的に形成、すなわち全周囲に渡って形成されている。また、パネル部材３は、図示しない固定手段と用いて、フレーム部材１１〜１３に解除可能に固定されている。なお、このような固定手段として、ボルトおよびナットが用いられる場合には、フレーム部材１１〜１３の溝１１ａ等がボルト固定用溝として用いられる。また、図４に示す構造では、フレーム部材１１、１３が第１フレーム部材、第３フレーム部材に相当し、シール用ゴム部材１６および別のシール用ゴム部材１６が第１弾性部材、第２弾性部材に相当し、ブロック部材１４が連結用フレーム部材に相当する。
【００３２】
なお、本実施形態では、パネル封止領域とパネル部材との間を封止する封止部材として、Ｏリングが用いられるような場合を例としているが、封止部材としてその他様々な形態の部材を適用することができる。すなわち、封止部材としては、パネル部材３の縁部全周囲に沿って配置される細長い環状形状を有し、かつ、弾性を有する部材を適用することができる。Ｏリングの他に、Ｘリングなどを封止部材として適用しても良い。
【００３３】
ここで、シール用ゴム部材１６およびＯリング１７を用いた連結封止構造について、図７Ａおよび図７Ｂに示す模式説明図を用いて、さらに詳細に説明する。なお、図７Ａおよび図７Ｂでは、本実施形態の連結封止構造の理解を容易にするために、フレーム部材やブロック部材などの各構成部材をさらに模式化して、連結封止構造を概念的に示している。
【００３４】
図７Ａでは、例えば、Ｚ方向のフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分を、Ｘ方向より見た状態を模式的に示している。図７Ａに示すように、互いに連結されるフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分には凹部１５（図示上面）が形成される。この凹部１５内には、シール用ゴム部材１６が挿入配置される。パネル部材３が配置されておらず、かつ、フレーム部材１３とブロック部材１４とが連結されていない状態では、ブロック部材１４の凹部１５に配置されたシール用ゴム部材１６が、パネル部材３側に突出高さｈだけ突出するとともに、フレーム部材１３側に突出幅ｗだけ突出するような寸法形状に、シール用ゴム部材１６は形成されている。すなわち、シール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形されていない状態にて、凹部１５の深さ方向（図示上下方向）および幅方向（図示左右方向）において、シール用ゴム部材１６が凹部１５の開口縁部よりも突出するように、シール用ゴム部材１６は形成されている。
【００３５】
その後、フレーム部材１３とブロック部材１４とが連結されると、突出幅ｗだけブロック部材１４の端面より突出されていた状態のシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形される。さらに、図７Ｂに示すように、パネル封止領域Ｒに相当する領域にＯリング１７を介してパネル部材３が配置されると、突出高さｈだけフレーム部材１３およびブロック部材１４の表面より突出されていた状態のシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形される。この弾性圧縮変形により、シール用ゴム部材１６は、高さｈおよび幅ｗだけ押し縮められて、フレーム部材１３の表面、ブロック部材１４の表面、およびシール用ゴム部材１６の表面が実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域Ｒが形成される。
【００３６】
このようにシール用ゴム部材１６が弾性圧縮変形されて、フレーム部材１３の表面とブロック部材１４の表面とが、実質的に同じ高さ位置にてシール用ゴム部材１６の表面により連なった状態とされることにより、フレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分と、パネル部材３との間を、Ｏリング１７により確実に封止することができる。また、シール用ゴム部材１６は、凹部１５の幅方向においても弾性圧縮変形されることにより、フレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分を確実に封止することができる。特に、この連結部分とパネル部材３との間は、シール用ゴム部材１６とＯリング１７とが互いに接触されかつ弾性変形された状態にて封止が行われるため、その封止効果を高めることができる。さらに、シール用ゴム部材１６が高さ方向および幅方向に弾性圧縮変形されることにより、凹部１５における封止効果、すなわちフレーム部材１３とブロック部材１４との連結部分における封止効果を高めることができる。
【００３７】
このようなシール用ゴム部材１６の突出高さｈおよび突出幅ｗは、弾性圧縮変形による「潰し代」とも言うことができる。この潰し代ｈおよびｗは、シール用ゴム部材１６に用いられる弾性部材の材質、硬度、形状、そして密閉式クリーンブース１に求められる圧力などの仕様に応じて最適な値に設定することができる。また、Ｏリング１７は、例えば、硬度５０〜９０度程度の弾性材料により形成されたものを用いることができる。シール用ゴム部材１６を潰し代ｈだけ確実に弾性変形させるという観点からは、シール用ゴム部材１６は、Ｏリング１７よりも低い硬度の材料により形成されていることが好ましい。
【００３８】
また、図３および図４に示すように、１本のフレーム部材１１〜１３に、２枚のパネル部材３が支持されているような場合には、１つのシール用ゴム部材１６と接触する２つのＯリング１７との接触位置Ｐ１、Ｐ２間における連結部分が、シール用ゴム部材１６により連続的に封止されている必要がある。このような観点から、コーナー連結部分Ａの封止構造では、大略Ｌ字形状を有するシール用ゴム部材１６が用いられる。
【００３９】
なお、図７Ａおよび図７Ｂの説明では、シール用ゴム部材１６が、凹部１５に対して突出高さｈおよび突出幅ｗを有するような場合を例として説明したが、シール用ゴム部材１６の形状は、このような場合についてのみ限定されるものではない。シール用ゴム部材１６は少なくとも凹部１５の深さ方向について弾性圧縮変形されるような形態であれば良く、シール用ゴム部材１６が凹部１５に対して突出高さｈのみを有するような場合であっても良い。ただし、パネル部材との間およびフレーム部材の連結部分の両方をより確実に封止するという観点からは、シール用ゴム部材１６が突出高さｈおよび突出幅ｗを有することが好ましい。
【００４０】
なお、上述の説明では、ブロック部材１４とそれぞれのフレーム部材１１〜１３との連結部分において、クリーンブース１の外面側を封止するように、３つのシール用ゴム部材１６が、図６等に示すように用いられる場合を例として説明したが、本実施形態は、このような場合についてのみ限定されるものではない。図６に示すような場合に代えて、図８に示すような配置構成を採用しても良い。図８では、ブロック部材１４とそれぞれのフレーム部材１１〜１３との連結部分において、クリーンブース１の内面側を封止するようにＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向の３方向に延在して形成されたシール用ゴム部材２６が配置されている。
【００４１】
図６に示すシール用ゴム部材１６の配置構成を外側シール構造とし、図８に示すシール用ゴム部材２６の配置構成を内側シール構造とした場合、内側シール構造では、シール用ゴム部材２６の端縁が、それぞれのＯリング１７との接触箇所となるため、シール用ゴム部材２６の潰し代ｈの寸法管理が外側シール構造に比して難しくなる。外側シール構造では、凹部１５の深さとシール用ゴム部材１６の幅寸法の精度管理を行うことで、シール用ゴム部材１６の潰し代ｈの寸法管理を行うことができ、その管理を比較的容易にすることができる。さらに、外側シール構造では、クリーンブース１の外側より主な作業を行うことができるため、その作業性が良好となる。
【００４２】
次に、Ｔ字連結部分Ｂの構造について、その分解状態の模式斜視図を図９に示し、組み立て状態の模式斜視図を図１０に示し、Ｔ字連結部分ＢにおけるＥ−Ｅ線矢視図を図１１に示す。基本的には、Ｔ字連結部分Ｂにおける連結封止構造は、コーナー連結部分Ａにおける連結封止構造と実質的に同様な考え方を利用するものである。したがって、以下の説明では、相違する構成を中心に説明する。
【００４３】
図９および図１０に示すように、Ｔ字連結部分Ｂにおけるフレーム構造体２は、Ｙ方向に沿って配置されたフレーム部材３１と、このフレーム部材３１の側面に連結されるＺ方向に沿って配置されるフレーム部材３２と、これら２本のフレーム部材３１および３２を互いに連結する連結用プレート部材３３（連結用フレーム部材の一例である。）とを備えている。
【００４４】
図９に示すように、Ｚ方向のフレーム部材３２の端面には、連結用プレート部材３３が、ボルト連結用孔３３ａを通してボルトを用いて固定されている。連結用プレート部材３３は、その幅寸法がフレーム部材３２の端面よりも大きく形成されており、フレーム部材３２に固定された状態にて、両側よりフランジ部３３ｂが突出している。それぞれのフランジ部３３ｂには、ボルト連結用孔３３ｃが形成されている。このボルト連結用孔３３ｃを通して、Ｙ方向のフレーム部材３１の側面に設けられた溝３１ａに、ボルトにてフランジ部３３ｂが固定されることにより、フレーム部材３２が連結用プレート部材３３を介して、フレーム部材３１の側面に固定されている。
【００４５】
また、図１１等に示すように、連結用プレート部材３３には切り欠き部が設けられており、フレーム部材３１および３２が互いに連結された状態にて、この切り欠き部が凹部３５となる。この凹部３５内には、シール用ゴム部材３６が挿入配置されており、これにより、フレーム部材３１および３２の連結部分が封止される。
【００４６】
また、このシール用ゴム部材３６は、その深さ方向（図１１の上下方向）に弾性圧縮変形されていない状態にて、凹部３５の開口縁部よりも突出するように潰れ代が設定されている。図１０および図１１に示すように、２枚のパネル部材３が配置されることにより、シール用ゴム部材３６が弾性圧縮変形して、フレーム部材３１の表面と、フレーム部材３２の表面と、シール用ゴム部材３６の表面とが連なったパネル封止領域Ｒが形成される。なお、Ｔ字連結部分Ｂにおいては、それぞれのフレーム部材３１、３２の内縁に沿って隣接配置された２つのパネル封止領域Ｒが形成される。
【００４７】
これら２つのパネル封止領域Ｒと２枚のパネル部材３の外縁との間に、Ｏリング３７がそれぞれ配置されることにより、パネル部材３とフレーム部材３１、３２との間の封止が行われる。なお、連結部分において、２つのパネル封止領域Ｒ上に配置される２本のＯリング３７間を封止するように、シール用ゴム部材３６が両Ｏリング３７間に配置されていれば良い。すなわち、図１０および図１１において、一方のＯリング３７とシール用ゴム部材３６との接触位置と、他方のＯリング３７とシール用ゴム部材３６との接触位置との間における連結部分（すなわち、凹部３５の内周面）が、シール用ゴム部材３６により封止されていれば良く、シール用ゴム部材３６が両側のフランジ部３３ｂにまで配置されていなくても良い。
【００４８】
このようにＴ字連結部分Ｂにおいても、コーナー連結部分Ａと実質的に同様な考え方に基づく連結封止構造が採用されていることにより、フレーム部材３１、３２を、連結用プレート部材３３を介して連結しながら、連結部分の間を、シール用ゴム部材３６により確実に封止することができる。それとともに、フレーム部材３１および３２の表面と、シール用ゴム部材３６の表面とが、実質的に同じ高さ位置にて連なった状態とされ、このそれぞれの表面上にＯリング３７が配置されることにより、フレーム部材３１、３２およびシール用ゴム部材３６と、パネル部材３との間を、確実に封止することができる。
【００４９】
本実施形態の密閉式クリーンブース１におけるコーナー連結部分ＡおよびＴ字連結部分Ｂの連結封止構造について説明したが、このような連結封止構造は、その他連結部分（例えば、十字連結部分やＬ字連結部分など）にも適用することができる。
【００５０】
また、上述の説明では、フレーム部材とブロック部材との連結、およびフレーム部材と連結用プレート部材との連結を、ボルトおよびナットを用いて行うような場合を例として説明したが、その他様々な連結手段を適用することができる。フレーム部材等に形成されたボルト連結用孔を用いて、ボルトによる連結を行った場合、必要に応じて、ボルト連結用孔をパッキンなどの封止部材を用いて封止することが好ましい。
【００５１】
上述したようなフレーム構造体２およびパネル部材３の連結封止構造が用いられた密閉式クリーンブース１において、ファン付ＨＥＰＡフィルタユニットなどを設置することにより、クリーンブース１内を清浄環境とすることができる。
【００５２】
また、不活性ガス充填手段を用いて、本実施形態の密閉式クリーンブース１内に不活性ガスを供給して不活性ガス空間を形成することができる。このような不活性ガスとしては、窒素ガスやアルゴンガスなどがある。その他、クリーンブース１内の空間を低酸素環境やドライ環境に保つこともできる。
【００５３】
例えば、本実施形態の密閉式クリーンブース１内に、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置（図示せず）を配置するとともに、クリーンブース１内の環境を、この基板処理に求められる環境に保つための手段、例えば、不活性ガス充填手段を設置して、密閉式クリーンブースを用いた基板処理システムとして構築することもできる。
【００５４】
このような基板処理装置としては、フラットディスプレイパネルの製造工程にて行われる処理装置、例えば、基板（パネル）表面に塗膜を形成する塗布装置（コーター）、検査装置、乾燥装置などがある。特に、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程では、窒素ガスなどの不活性ガスが充填された環境にて基板処理を行う必要がある。そのため、有機ＥＬディスプレイパネルや太陽電池等の製造工程にて使用される基板処理装置と、本実施形態の密閉式クリーンブース１とを組み合わせた基板処理システムは、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程において特に有効である。
【００５５】
また、本実施形態の密閉式クリーンブース１では、連結封止構造による密閉性を活用して、その内部空間の設定圧力を、例えば、５ＫＰａ以下の所望の圧力に保つことができる。ただし、５ＫＰａを超える設定圧力であっても、各構成部材の材質や厚さなど好適に設定することにより、同様な構造を用いながら対応することもできる。
【００５６】
本実施形態によれば、互いに連結されるフレーム部材（ブロック部材含む）の連結部分にシール用ゴム部材が配置されていることにより、このフレーム部材間の連結部分をシール用ゴム部材により確実に封止することができる。さらに、互いに連結されかつ封止された状態のフレーム部材およびシール用ゴム部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に、Ｏリングが延在して配置されていることにより、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止することができる。特に、パネル封止領域において、一方のフレーム部材の表面と他方のフレーム部材の表面との間に、シール用ゴム部材の表面が連なるように配置されていることにより、シール用ゴム部材の弾性を利用して、パネル部材との間を確実に封止することができる。したがって、クリーンブースの密閉性を高めることができる。
【００５７】
また、各フレーム部材の連結、およびシール用ゴム部材やＯリングを用いた封止における作業性も良好であるとともに、クリーンルームなどの現場において、溶接やシーリング剤注入などの作業を伴うことがないため、クリーンブースの組み立て性や、保守作業、移動作業を行う際のフレームの脱着、分解が良好となる。
【００５８】
また、フレーム構造体を構成する各フレーム部材としては、一般的に流通しているフレーム部材を用いることができるため、汎用性が高い。
【００５９】
したがって、その組み立て性を良好としながら、フレーム部材の連結部分およびパネル部材との間を確実に封止して、密閉性に優れた密閉式クリーンブースを提供することができる。
【００６０】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明によれば、良好な組み立て性と高い密閉性とを両立することができる密閉式ブースを提供することができる。このような密閉式ブースは、清浄環境に加えて不活性ガス環境等が要求されるような場合に利用することができ、特に、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程において活用できる。
【符号の説明】
【００６２】
１ 密閉式クリーンブース
２ フレーム構造体
３ パネル部材
１１〜１３ フレーム部材
１４ コーナー用ブロック部材
１５ 凹部
１６ シール用ゴム部材
１７ Ｏリング
３１、３２ フレーム部材
３３ プレート部材
３５ 凹部
３６ シール用ゴム部材
３７ Ｏリング
Ａ コーナー連結部分
Ｂ Ｔ字連結部分
ｈ 突出高さ（潰し代）
ｗ 突出高さ（潰し代）
Ｒ パネル封止領域
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースであって、
第１フレーム部材と、
第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、
第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、
第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とを備える連結封止構造を有する、密閉式ブース。
【請求項２】
第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が挿入される凹部が形成され、
弾性部材は、凹部の縁部よりも突出して形成され、
封止部材を介してパネル部材により、弾性部材が凹部の深さ方向に弾性圧縮変形されることにより、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が、実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域が形成される、請求項１に記載の密閉式ブース。
【請求項３】
第１フレーム部材、第２フレーム部材および弾性部材は、少なくとも２枚のパネル部材の縁部を封止する隣接して延在するパネル封止領域を形成し、
第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分において、少なくともそれぞれのパネル封止領域に配置される封止部材の間の部分が弾性部材により封止される、請求項１または２に記載の密閉式ブース。
【請求項４】
第１フレーム部材は、第２フレーム部材と第３フレーム部材とを互いに直交させる方向に配置させた状態にて連結する連結用フレーム部材であり、
前記弾性部材として、連結用フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第１弾性部材と、連結用フレーム部材と第３フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第２弾性部材とが備えられ、
連結用フレーム部材、第２フレーム部材、第３フレーム部材、第１弾性部材、および第２弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、１枚のパネル部材との間が、１本の封止部材により連続的に封止される、請求項１から３のいずれか１つに記載の密閉式ブース。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つに記載の密閉式ブースと、
前記密閉式ブース内の空間を不活性ガスにて満たす不活性ガス充填手段と、
不活性ガスにて満たされた密閉式ブース内に配置され、基板に対する処理を行う基板処理装置とを備える、基板処理システム。
【請求項１】
互いに連結された複数のフレーム部材と、複数のフレーム部材に支持された複数のパネル部材とを備える密閉式ブースであって、
第１フレーム部材と、
第１フレーム部材に連結される第２フレーム部材と、
第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する弾性部材と、
第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、パネル部材との間に配置され、パネル封止領域とパネル部材との間を連続的に封止する封止部材とを備える連結封止構造を有する、密閉式ブース。
【請求項２】
第１フレーム部材と第２フレーム部材との連結部分に弾性部材が挿入される凹部が形成され、
弾性部材は、凹部の縁部よりも突出して形成され、
封止部材を介してパネル部材により、弾性部材が凹部の深さ方向に弾性圧縮変形されることにより、第１フレーム部材、第２フレーム部材、および弾性部材のそれぞれの表面が、実質的に同じ高さにて連続的に連なったパネル封止領域が形成される、請求項１に記載の密閉式ブース。
【請求項３】
第１フレーム部材、第２フレーム部材および弾性部材は、少なくとも２枚のパネル部材の縁部を封止する隣接して延在するパネル封止領域を形成し、
第１フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分において、少なくともそれぞれのパネル封止領域に配置される封止部材の間の部分が弾性部材により封止される、請求項１または２に記載の密閉式ブース。
【請求項４】
第１フレーム部材は、第２フレーム部材と第３フレーム部材とを互いに直交させる方向に配置させた状態にて連結する連結用フレーム部材であり、
前記弾性部材として、連結用フレーム部材と第２フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第１弾性部材と、連結用フレーム部材と第３フレーム部材との間の連結部分に配置され、当該連結部分を封止する第２弾性部材とが備えられ、
連結用フレーム部材、第２フレーム部材、第３フレーム部材、第１弾性部材、および第２弾性部材のそれぞれの表面が連続的に連なって形成されたパネル封止領域と、１枚のパネル部材との間が、１本の封止部材により連続的に封止される、請求項１から３のいずれか１つに記載の密閉式ブース。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つに記載の密閉式ブースと、
前記密閉式ブース内の空間を不活性ガスにて満たす不活性ガス充填手段と、
不活性ガスにて満たされた密閉式ブース内に配置され、基板に対する処理を行う基板処理装置とを備える、基板処理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１１−１２９６３０（Ｐ２０１１−１２９６３０Ａ）
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２８５３１２（Ｐ２００９−２８５３１２）
【出願日】平成２１年１２月１６日（２００９．１２．１６）
【出願人】（０００２１９３１４）東レエンジニアリング株式会社 (505)
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月１６日（２００９．１２．１６）
【出願人】（０００２１９３１４）東レエンジニアリング株式会社 (505)
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