拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

【課題】電子顕微鏡側が回転する拡大観察装置のチャンバ内の様子を、回転位置によらず安定的に観察可能とする。
【解決手段】試料室内の環境を観察する試料室内画像を取得するための試料室内観察手段１３と、試料室内観察手段１３で撮像された試料室内画像を表示するための表示手段とを備えており、胴部２４は、試料室内において、回動手段３０による胴部２４の回動によって移動する回転部分と、回動手段３０により胴部２４が回動されても移動しない固定部分とを有しており、試料室内観察手段１３が、固定部分に固定されている。これにより、胴部２４を回転させても、試料室内観察手段１３は移動しないため、試料室内画像が胴部２４の回転に伴い移動することなく、安定的に試料室の内部を観察でき、例えば電子線撮像手段１１の鏡筒先端が試料に接触しないように監視できる。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、
前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記胴部を回転させるための回動手段と、
観察対象の試料を載置するため前記試料室内に設置される試料台と、
前記試料室内の環境を観察する試料室内画像を取得するための試料室内観察手段と、
前記試料室内観察手段で撮像された試料室内画像を表示するための表示手段と、
を備えており、
前記胴部は、前記試料室内において、
前記回動手段による前記胴部の回動によって移動する回転部分と、
前記回動手段により前記胴部が回動されても移動しない固定部分と
を有しており、
前記試料室内観察手段が、前記固定部分に固定されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、
前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記胴部を回転させるための回動手段と、
観察対象の試料を載置するため前記試料室内に設置される試料台と、
前記試料室内の環境を観察する試料室内画像を取得するための試料室内観察手段と、
前記試料室内観察手段で撮像された試料室内画像を表示するための表示手段と、
を備えており、
前記胴部が前記試料室を円筒状に形成しており、前記胴部の開口端を一対の端面板で閉塞しており、
前記端面板のいずれか一方に前記試料室内観察手段を固定してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項２に記載の拡大観察装置であって、
前記一対の端面板の一方が、前記胴部の開口端を閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な固定板であり、
前記固定板は、前記胴部の回転によらず一定姿勢に固定されており、
前記試料室内観察手段が、前記固定板に固定されてなり、
前記試料室内観察手段で取得された試料室内画像を、左右を反転させた反転画像として前記表示手段上に表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項２に記載の拡大観察装置であって、
前記一対の端面板の一方が、前記胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部であり、
前記試料室内観察手段が、前記蓋部に固定されてなり、
前記試料室内観察手段で取得された試料室内画像を、前記胴部の回転による傾きを相殺するように補正した回転補正画像として前記表示手段上に表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記電子線撮像手段の光軸は、前記試料台の上面と略平行としてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記試料台が水平姿勢に保持されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記胴部を前記回動手段で回動させる間に、前記試料室内画像を前記表示部上に表示させ、
前記胴部の回動操作を終了させると、前記試料室内画像の非表示に切り替えてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項７に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記回動手段による回動操作をロックするための傾斜ストッパを備え、
前記回転ストッパの回動ロック状態を解除している間に、前記電子線撮像手段をＯＦＦして、前記試料室内画像を前記表示部上に表示させてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
試料の光学画像を撮像するための光学系撮像手段
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記固定部分には、試料に電子線が照射されたときに試料から放出される電子を検出する電子検出部が設けられてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記固定部分には、試料室を減圧するための吸引部材が取り付けられてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１２】
複数の観察手段を備える拡大観察装置を操作して試料を観察する拡大観察方法であって、
内部空間を円筒状として減圧可能な試料室を構成する胴部を、回転させる工程と、
前記胴部の円筒状の開口端を、背面側から気密状態に閉塞する固定板に固定された試料室内観察手段で、前記試料室内の環境を撮像すると共に、撮像された試料室内画像を左右反転させて、表示手段上に表示させる工程と、
を含むことを特徴とする拡大観察方法。
【請求項１３】
複数の観察手段を備える拡大観察装置を操作する拡大観察用プログラムであって、
内部空間を円筒状として減圧可能な試料室を構成する胴部を、回転させる機能と、
前記胴部の円筒状の開口端を、背面側から気密状態に閉塞する固定板に固定された試料室内観察手段で、前記試料室内の環境を撮像すると共に、撮像された試料室内画像を左右反転させて、表示手段上に表示させる機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする拡大観察用プログラム。
【請求項１４】
請求項１３に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。

【図２Ａ】