【課題】画面上で画像の表示領域を移動させながら検査を行う際に、検査抜けの防止と効率的な検査の両立を可能とし、ユーザーの利便性を向上させる。
【解決手段】表示領域の自由な移動を認める第１の動作モードと、表示領域の移動に制限を付ける第２の動作モードとを設ける。現在の動作モードが第２の動作モードである場合は、ユーザーにより入力された表示領域の移動指示が予め設定された非制限範囲内での移動を指示するものか否かを判定する。そして、移動指示が非制限範囲内での移動を指示するものでない場合には、表示領域の移動を制限する。 （もっと読む）

【課題】オペレータのスキルによらず、荷電粒子線装置で取得された画像の回転を自動的に補正する。
【解決手段】測長対象であるパターン形状の特徴やパターン配列上の特徴に着目して試料の回転量を検出し、当該検出量に基づいて作業画面上で表示される取得画像の回転角を画像処理により自動的に補正する。または、測長対象であるパターン形状の特徴やパターン配列上の特徴に着目して試料の回転量を検出し、当該検出量に基づいて試料回転機構の回転角を自動的に補正し、その後、測長対象のパターンを再取得する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡本体に付属するコンピュータなどを直接ネットワークに接続することなく、電子顕微鏡の画像を遠隔地に表示可能な電子顕微鏡遠隔表示装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡１２の画像表示部１６ａに表示される画像データをキャプチャ可能なキャプチャ手段１８を備えたキャプチャ部２０と、キャプチャ部２０にネットワーク２６を介して接続され、キャプチャ手段１８によってキャプチャされた画像データを表示可能な遠隔画像表示手段２２ａを備えた遠隔表示部２２とを備えた電子顕微鏡遠隔表示装置１０である。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡によるつなぎ写真の作成スループットを向上させる。
【解決手段】試料ステージの移動と同期して試料を動画像撮影し、その後、撮像された動画像を連続視野の静止画像に変換し、それらをつなぎ合わせてつなぎ写真を作成する。 （もっと読む）

【課題】スキャン歪や荷電粒子線のランディング角度のばらつきに起因する測長値器差を低減し、荷電粒子線の絶対的な傾斜角度を高精度に測定する。
【解決手段】試料面上に形成されたピラミッドパターン９０のＳＥＭ画像の撮像する際に、スキャン方向及び／又は試料５の搭載向きを、正および逆向きに変えた像を取得し、それぞれの結果を画像間で平均化することにより荷電粒子線の傾斜角度を高精度に測定する。これによりスキャン歪の影響や荷電粒子線のランディング角度のばらつきに起因する測長値器差を低減する。 （もっと読む）

【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム走査によって得られる検出信号を積算して画像を形成する装置において、取得画像のＳ／Ｎの向上と、シュリンクの低減の両立の実現を目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するために本発明によれば、画像データを積算して、画像を形成する荷電粒子線装置において、設定される走査線方向の大きさごとに、走査線方向とは垂直な方向に、異なる大きさであって、異なる走査線数を持つ複数の走査パターンによる走査が可能な偏向器と、１フレーム内にて、前記走査線方向とは垂直な方向の大きさに比例する数の走査線位置への走査によって得られる検出信号を１の走査位置の検出信号として、積算する演算装置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】任意の放出角度の反射電子を検出することのできる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料からの電子を検出することによって像を得る走査電子顕微鏡において、試料１９からの二次電子と反射電子とを弁別する制御電極１８と、反射電子の衝突によって二次電子を発生させる二次電子変換電極１３とその二次電子を引き上げる電極１２と、引き上げられた二次電子と試料１９からの反射電子を弁別するエネルギーフィルタ１１と、二次電子変換電極１３と引き上げ電極１２とエネルギーフィルタ１１への印加電圧の組み合わせを選択する制御演算手段３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】フレーム周期よりはるかに早い周波数の機械振動や電磁場変動などの外乱ノイズの障害を簡易な方法により抑制する。
【解決手段】２つの走査パターンについて、回転、シフト、或いは重み付け因子を用いて走査位置の調整により、各々がある角度をなすように交差し、複数の交差点群を構成するようにした上で、上記交差点群について、メモリを用いて画像データを重畳積算する。解像度を満たすために交差点以外の座標については内挿／外挿されたデータで埋めることも出来る。前記2つの走査パターンのうちの一の走査パターンに係る線は、前記2つの走査パターンのうちの他の走査パターンに係る線と垂直であることが好ましい。それにより一の走査パターンの1本の線上での複数の走査点の時間的コヒーレンスを利用して、他の走査パターンのラインの位置合わせ及びその逆が可能となる。 （もっと読む）