放電ランプ
【課題】放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置を提供する。
【解決手段】放電用の電極を収納したガラス管（２５）と、ガラス管（２５）に連結された口金部（２８）とを有する放電ランプと、連結ケーブル（７２）とを備え、連結ケーブル（７２）のリング状部材（７４Ａ）が放電ランプの口金部（２８）に取り付けられるとともに、リング状部材（７４Ａ）に冷風用の送風路（７４Ａｃ）が形成され、連結ケーブル（７２）の電力ケーブル（３３Ｄ）及びリング状部材（７４Ａ）を介して電源（３２）から口金部（２８）に電力を供給し、連結ケーブル（７２）の送風用配管（３５Ｄ）及びリング状部材（７４Ａ）を介して送風装置（３４）から口金部（２８）に冷風を供給する。
【解決手段】放電用の電極を収納したガラス管（２５）と、ガラス管（２５）に連結された口金部（２８）とを有する放電ランプと、連結ケーブル（７２）とを備え、連結ケーブル（７２）のリング状部材（７４Ａ）が放電ランプの口金部（２８）に取り付けられるとともに、リング状部材（７４Ａ）に冷風用の送風路（７４Ａｃ）が形成され、連結ケーブル（７２）の電力ケーブル（３３Ｄ）及びリング状部材（７４Ａ）を介して電源（３２）から口金部（２８）に電力を供給し、連結ケーブル（７２）の送風用配管（３５Ｄ）及びリング状部材（７４Ａ）を介して送風装置（３４）から口金部（２８）に冷風を供給する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電ランプ、放電ランプと電源とを接続する際に使用される接続用ケーブル、放電ランプを備えた光源装置、及びこの光源装置を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種デバイス（マイクロデバイス、電子デバイス等）を製造するためのリソグラフィ工程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されたパターンをレジストが塗布されたウエハ（又はガラスプレート等）上に転写するために、ステッパー等の一括露光型（静止露光型）の投影露光装置、及びスキャニング・ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置では、水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせてなる露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。
【０００３】
従来の放電ランプを有する光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプがある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である（例えば、特許文献１参照）。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−２１３１２９号公報
【特許文献２】特開平１１−２８３８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けていたため、口金に対する冷却作用が小さいという問題があった。
また、放電ランプには、固定側の口金と自由端側の口金とがあり、従来の冷却機構を用いて自由端側の口金を冷却する場合には、口金の周囲にも送風用の配管等を設置する必要があり、放電ランプからの光が多く遮光されるという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑み、放電ランプの口金に対する冷却作用が大きいとともに、自由端側の口金を冷却する際に放電ランプから発生する光に対する遮光量が少ない光源装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ及び接続用ケーブル、並びにそのような光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による放電ランプは、ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、そのガラス部材に連結された口金部材と、その口金部材に取り付けられ、導電性材料で形成される中継部材と、その中継部材に固定され、その中継部材を介してその口金部材に放電用の電力を供給可能な第１のケーブルと、その中継部材に設けられ、その口金部材に冷却用媒体を供給するための流路と、その中継部材に固定され、その流路を介してその口金部材に冷却用媒体を供給可能な第２のケーブルとを備えるものである。
【０００７】
また、本発明による接続用ケーブルは、冷却用媒体及び電力を用いる装置とその冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、導電性材料より形成され、その冷却用媒体及び電力を用いる装置に着脱可能な中継部材と、その中継部材に一
端が固定され、かつ可撓性材料より形成されて、その冷却用媒体の流路を有する管状部材と、その管状部材とは別に設けられ、その中継部材に一端が固定され、かつ導電性を持つ可撓性材料より形成された導電部材とを備えたものである。
【０００８】
また、本発明による光源装置は、電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって放電用の電極を収納したガラス部材と、そのガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、本発明の接続用ケーブルとを備え、その接続用ケーブルの中継部材がその放電ランプの口金部材に取り付けられるとともに、その中継部材中にその冷却用媒体の流路が形成され、その接続用ケーブルの導電部材及びその中継部材を介してその電源からその口金部材に電力を供給し、その接続用ケーブルの管状部材及びその中継部材を介してその供給源からその口金部材にその冷却用媒体を供給するものである。
【０００９】
また、本発明による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置を用いるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の放電ランプによれば、放電用の電力は、連結部材の導電性部材、中継部材、及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、冷却用媒体は、連結部材及び中継部材に設けられた流路を介して口金部材に供給される。
本発明の接続用ケーブルによれば、電源からの電力は、可撓性を持つ導電部材、及び中継部材を介して装置側に供給され、供給源からの冷却用媒体は、可撓性を持つ管状部材及び中継部材を介して装置側に供給される。
【００１１】
本発明の光源装置及び露光装置によれば、電源からの電力は、接続用ケーブル及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、供給源からの冷却用媒体は、接続用ケーブルの管状部材及び中継部材内の流路を通して口金部材に供給される。従って、その口金部材に対する冷却作用が大きい。また、冷却用媒体は、口金部材の近傍では中継部材に設けられた流路を通過する。従って、その口金部材が自由端側にある場合に、冷却用媒体供給用の配管等による放電ランプから発生する光の遮光量が少なくなり、光の利用効率が高いと共に、光源装置の温度上昇も少ない。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図１〜図５を参照して説明する。
図１は、本例の露光光源３０を備えた投影露光装置（露光装置）を示し、この図１において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ１が、取り付け部材３１を介して絶縁物よりなる固定板２９に固定されている。また、放電ランプ１内の陽極側及び陰極側の電極には、それぞれ電源３２から可撓性を持つ電力ケーブル３３Ｄ及び３３Ｂを介して電力が供給されている。また、放電ランプ１の２つの口金には可撓性を持つ送風用配管３５Ｄ及び３５Ｂを介して送風装置３４から、防塵フィルタを通して冷却された空気（以下、冷風と言う。）が供給されている。送風装置３４としては、外気を取り込んで除塵及び冷却を行って得られた空気（又は窒素ボンベから取り込んだ窒素ガス等でもよい）を所定の風量で供給する機構が使用できる。送風装置３４としては、それ以外に、工場内でエアーシリンダ等のために圧縮空気を供給する圧縮空気供給部を使用してもよい。その冷風は、室温程度でもよく、必ずしも室温以下にまで冷却されていなくともよい。
【００１３】
また、放電ランプ１のバルブ部を囲むように楕円鏡２（集光ミラー）が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ１のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡２の第１焦点Ｐ１の近傍に配置されている。放電ランプ１、楕円鏡２、取り付け部材３１、電力ケーブル３３Ｄ，３３Ｂ、送風用配管３５Ｄ，３５Ｂ、電源３２、及び送風装置３４を含んで露光光源３０が構成されている（詳細後述）。
【００１４】
放電ランプ１から射出された光束は、楕円鏡２によって第２焦点Ｐ２付近に収束された後、開状態のシャッタ３の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー４に入射する。シャッタ３の開閉はシャッタ駆動装置３ａによって行われ、一例として後述のステージ制御系１５が、装置全体の動作を統括制御する主制御系１４の指令のもとでシャッタ駆動装置３ａを制御する。
【００１５】
ミラー４で反射された光束は干渉フィルタ５に入射し、干渉フィルタ５により所定の輝線（例えば波長３６５ｎｍのｉ線）の露光光ＩＬのみが選択される。なお、露光光ＩＬとしては、ｉ線の他に、ｇ線、ｈ線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光ＩＬは、フライアイレンズ６（オプティカル・インテグレータ）に入射し、フライアイレンズ６の射出面に配置された可変開口絞り７上に多数の２次光源が形成される。可変開口絞り７を通過した露光光ＩＬは、第１リレーレンズ８を経てレチクルブラインド（可変視野絞り）９に入射する。レチクルブラインド９の配置面はレチクルＲのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９の開口形状を設定することで、レチクルＲ上での照明領域が規定される。また、ウエハＷのステッピング時等に不要な露光光がウエハＷ上に照射されないように、ステージ制御系１５が駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９を開閉できるようにも構成されている。
【００１６】
レチクルブラインド９を通過した露光光ＩＬは、第２リレーレンズ１０、露光光ＩＬを反射するダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を介してレチクルＲのパターン面のパターン領域を落射照明する。シャッタ３、ミラー４、干渉フィルタ５、フライアイレンズ６、可変開口絞り７、リレーレンズ８，１０、レチクルブラインド９、ダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を含んで照明光学系１３が構成されている。露光光源３０からの光束は、照明光学系１３を経て露光光ＩＬとしてレチクルＲ（マスク）を照明し、レチクルＲのパターン領域内のパターンが投影光学系ＰＬを介して、フォトレジストが塗布されたウエハＷ（感光基板）の一つのショット領域上に投影倍率β（βは例えば１／４，１／５等）で露光される。以下、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内で図１の紙面に平行にＸ軸を、図１の紙面に垂直にＹ軸を取って説明する。
【００１７】
このとき、レチクルＲは、レチクルベース（不図示）上でＸ方向、Ｙ方向、及びＺ軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージＲＳＴ上に保持されている。レチクルステージＲＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｒに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｒによって高精度に計測され、この計測値がステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５がリニアモータ等を含む駆動系１９Ｒを介してレチクルステージＲＳＴの位置を制御する。
【００１８】
一方、ウエハＷは不図示のウエハホルダを介してウエハステージＷＳＴ上に保持され、ウエハステージＷＳＴはウエハベース（不図示）上にＸ方向及びＹ方向に移動自在に載置されている。ウエハステージＷＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｗに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｗにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５はリニアモータ等を含む駆動系１９Ｗを介してウエハステージＷＳＴ（ウエハＷ）の位置を制御する。
【００１９】
ウエハＷの露光時には、ウエハステージＷＳＴによりウエハＷの各ショット領域を投影
光学系ＰＬの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源３０からの光束を照明光学系１３を介してレチクルＲに照射して、レチクルＲのパターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルＲのパターンの像がウエハＷ上の各ショット領域に転写される。
【００２０】
なお、この露光に際して予めアライメントを行うために、レチクルＲの上方には、レチクルＲに形成されたアライメントマークの位置を検出するためのレチクルアライメント系２０が設置され、投影光学系ＰＬの側面には、ウエハＷ上の各ショット領域に付設されたアライメントマークの位置を検出するためのアライメントセンサ２１が設置されている。また、ウエハステージＷＳＴ上のウエハＷの近傍にはアライメントセンサ２１等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材２２が設けられている。レチクルアライメント系２０及びアライメントセンサ２１の検出信号はアライメント信号処理系１６に供給され、アライメント信号処理系１６は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系１４に供給する。主制御系１４は、その配列座標の情報に基づいてレチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行う。
【００２１】
次に、本例の投影露光装置の放電ランプ１を含む露光光源３０の基本的な構成につき説明する。
図２（Ａ）は、図１の露光光源３０中の放電ランプ１及びその取り付け機構を示す一部を切り欠いた図であり、この図２（Ａ）において、放電ランプ１は、バルブ部２５ａ及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の２つの棒状部２５ｂ，２５ｃからなるガラス管２５と、一方の固定側の棒状部２５ｂの端部に連結された陰極側の口金部２６と、他方の外側に向けて階段状に直径が小さくなる自由端側の棒状部２５ｃの端部に連結された陽極側の口金部２８とを備えている。そのバルブ部２５ａ内に発光部を形成するための陽極ＥＬ１及び陰極ＥＬ２が対向して固定され、陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１はそれぞれ口金部２６及び２８に接続され、口金部２６及び２８は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部２６、ガラス管２５、及び口金部２８は、ガラス管２５の棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ１の長手方向Ｌである。
【００２２】
口金部２６及び２８は、基本的に陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１に電源３２から電力ケーブル３３Ｂ及び３３Ｄ（図１参照）を介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部２６は、ガラス管２５（放電ランプ１）を保持するための被保持部としても使用され、口金部２６及び２８はともにガラス管２５から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す機構を備えている。
【００２３】
即ち、陰極ＥＬ２に接続された口金部２６には、棒状部２５ｂから外側に順に、フランジ部２６ａと、円柱状の軸部２６ｂと、円柱状の凹部２６ｆと、軸部２６ｂより僅かに小さい外径の円柱状の固定部２６ｈとが形成され、凹部２６ｆと固定部２６ｈとの境界部に長手方向Ｌにほぼ垂直な面よりなる被押圧面２６ｇが形成されている。
放電ランプ１を固定する際には、放電ランプ１の軸部２６ｂを２点鎖線で示す取り付け部材３１の開口部３１ｂに嵌合させて、フランジ部２６ａを取り付け部材３１の上面３１ａに載置する。図２（Ｂ）に示すように、フランジ部２６ａには円形の開口２７Ａ，２７Ｂが形成されており、これらの開口２７Ａ，２７Ｂに図２（Ａ）の上面３１ａに固定されている円柱状の突部（不図示）を挿通することで、放電ランプ１の回転方向の位置決めが行われる。
【００２４】
また、軸部２６ｂの外面に、長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２６ｄが形成されている。溝部２６ｄには、送風装置３４から可撓性を持つ送風用配管３５Ｂ、及び取
り付け部材３１に形成された送風路３１ｃを介して冷風が供給されている。また、導電性の良好な金属製の取り付け部材３１に端子３８がボルト３９によって固定され、端子３８が電力ケーブル３３Ｂによって電源３２に接続されている。この構成により、電源３２から、電力ケーブル３３Ｂ、端子３８、取り付け部材３１、及び口金部２６のフランジ部２６ａを介して放電ランプ１の陰極ＥＬ２に電力が供給される。
【００２５】
また、取り付け部材３１の下方の３箇所に回転自在に、かつ引っ張りコイルばね３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃによって下方に付勢されるように付勢部材３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃが固定されている。付勢部材３６Ａ〜３６Ｃの先端部で口金部２６の被押圧面２６ｇを下方に付勢することによって、口金部２６（ひいては放電ランプ１）が取り付け部材３１に安定に保持される。さらに、不図示のレバー機構によって付勢部材３６Ａ〜３６Ｃを上方に引き上げることによって、放電ランプ１を容易に取り付け部材３１から取り外すことができる。
【００２６】
次に、図２（Ａ）において、放電ランプ１の陽極側（本例では自由端側でもある）の口金部２８の概略構造は、ほぼ円柱状の軸部２８ａの表面に長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２８ｂを形成したものである。さらに、口金部２８を外側から覆うように導電性の良好な金属（例えば銅、しんちゅう、アルミニウム等。以下同様）製のほぼ円筒状のカバー部材５０が固定されている。カバー部材５０上に導電性の良好な金属製の流路折り曲げ部材７１が固定されている。
【００２７】
図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の放電ランプ１の陽極側の口金部２８付近の構成を示す拡大断面図であり、図３（Ａ）は図３（Ｂ）の平面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。図３（Ｂ）において、口金部２８の溝部２８ｂが形成された軸部２８ａの上端には、リング状の切り欠き部２８ｄを隔てて円板状のマウント部２８ｃが形成され、マウント部２８ｃの中心部から外側に向けて通気用の溝部２８ｅが形成されている。
【００２８】
また、カバー部材５０は、マウント部２８ｃの上面に載置される輪帯状の平板部５０ａと、口金部２８の側面を覆う円筒部５０ｃとを有し、円筒部５０ｃの先端部５０ｃａは、口金部２８からさらにガラス管２５の棒状部２５ｃ側に伸びている。なお、図３（Ｂ）では、軸部２８ａと円筒部５０ｃとの間には隙間があるように描かれているが、その隙間は実際には極めて小さくしてもよい。
【００２９】
カバー部材５０上に固定された流路折り曲げ部材７１の平板部７１ａの底面には、カバー部材５０の平板部５０ａの中央の開口５０ｂに突き出るように円筒状の突部７１ｄが形成され、平板部７１ａの上面には円柱状の嵌合部７１ｂが形成されている。そして、流路折り曲げ部材７１の突部７１ｄの中央部から嵌合部７１ｂのほぼ中間の高さの位置に向かい、そこで嵌合部７１ｂの側面の開口７１ｅ（図３（Ｃ）参照）に連通するように折れ曲がる送風路７１ｃが形成され、開口７１ｅから送風路７１ｃに口金部２８を冷却するための冷風が供給される。図３（Ａ）に示すように、流路折り曲げ部材７１の上面の４箇所に座ぐり部７１ｆが形成され、座ぐり部７１ｆ内のボルト５３によって、図３（Ｂ）に示すように、流路折り曲げ部材７１及びカバー部材５０（ボルト５３用の開口が設けられている）が口金部２８に一体的に固定されている。
【００３０】
図３（Ｂ）において、図１の電力ケーブル３３Ｄを介して流路折り曲げ部材７１に供給される電力は、カバー部材５０、及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。また、図１の送風用配管３５Ｄを介して流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅに供給される冷風は、送風路７１ｃ、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、及び切り欠き部２８ｄを通して口金部２８の溝部２８ｂに供給され、溝部２８ｂを流れた空気は、棒状部２５ｃとカバー部材５０の先端部５０ｃａとの間から図２（Ａ）のガラス管２５のバル
ブ部２５ａ側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。
【００３１】
次に、図４（Ａ）は、図１の電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを含む本例の連結ケーブル７２を示す一部を切り欠いた図であり、連結ケーブル７２は、第１連結機構７３Ａと、電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄと、第２連結機構７３Ｂとを連結して構成されている。また、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中の第１連結機構７３Ａを示す側面図である。
【００３２】
図４（Ａ）において、第１連結機構７３Ａは、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに緩く嵌合する貫通孔７４Ａａが形成されたリング状部材７４Ａと、先端にねじ部が形成されたレバー７５Ａと、止めねじ７９Ａとを備えている。リング状部材７４Ａは、導電性の良好な金属製である。貫通孔７４Ａａの中心軸を含む平面に沿って貫通孔７４Ａａを横切るように、すり割り部７４Ａｂが形成され、すり割り部７４Ａｂを横切るように貫通孔及びねじ部７４Ａｅ（図４（Ｂ）参照）が形成されている。レバー７５Ａは、その貫通孔を通してその先端のねじ部がねじ部７４Ａｅに螺合するように、リング状部材７４Ａに装着されている。この構成によって、図４（Ｂ）に示すように、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂを嵌合させた状態で、レバー７５Ａによってすり割り部７４Ａｂを締め付けることによって、迅速に、かつ容易にリング状部材７４Ａを流路折り曲げ部材７１に安定に固定することができる。
【００３３】
リング状部材７４Ａの上面及び底面（流路折り曲げ部材７１の平板部７１ａに載置される面）は平面に加工されており、その上面のすり割り部７４Ａｂの近傍に、図４（Ｂ）に示すようにねじ部７４Ａｇが形成されている。さらに、リング状部材７４Ａのほぼ中間の高さの位置に、貫通孔７４Ａａに連通する第１の開放端を持つＴ字型の送風路７４Ａｃが形成され、送風路７４Ａｃの第２の開放端にはねじ部７４Ａｄが形成され、送風路７４Ａｃの第３の開放端は止めねじ７９Ａによって塞がれている。リング状部材７４Ａ内で必要な送風路は、内側の貫通孔７４Ａａ及び側面の１箇所を連通する送風路であるが、２つの開放端のみを持つ送風路は加工が困難であるため、加工が容易なＴ字型の送風路７４Ａｃを形成した後、不要な第３の開放端を止めねじ７９Ａで塞いでいる。これによって、連結機構７３Ａの製造が容易になる。
【００３４】
また、図４（Ｂ）に示すように、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに連通する送風路７４Ａｃの第１の開放端の底面からの高さは、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに設けられている開口７１ｅ（図３（Ｂ）の送風路７１ｃに連通している）の平板部７１ａからの高さと同じである。本例では、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂを嵌合させた状態で、送風路７４Ａｃの第１開放端が流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅに対向するように、リング状部材７４Ａの流路折り曲げ部材７１に対する相対的な回転角を調整する。これによって、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃのねじ部７４Ａｄ側から供給される冷風を、流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃを介して図３（Ｂ）の口金部２８側に供給することができる。
【００３５】
また、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆに形成されたねじ部７４Ａｇと、送風路７４Ａｃに連通するねじ部７４Ａｄとは、図４（Ａ）に示すように、すり割り部７４Ａｂを挟むような配置で形成されている。この構成によって、リング状部材７４Ａに対して側面方向にほぼ平行に電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを接続できる。
さらに、第２連結機構７３Ｂは、第１連結機構７３Ａと同じく、貫通孔７４Ｂａを有する導電性の良好な金属製のリング状部材７４Ｂと、これに連結されてすり割り部７４Ｂｂを締め付けるレバー７５Ｂと、リング状部材７４Ｂ内のＴ字型の送風路７４Ｂｃの第３開放端を塞ぐための止めねじ７９Ｂとを備えている。
【００３６】
また、本例の電力ケーブル３３Ｄは細長い多数の導線を円筒の網目状に編んだ可撓性を持つ部材である。電力ケーブル３３Ｄの両端には、それぞれ開口が形成された平板部を持つ導電性の第１及び第２端子７７Ａ，７７Ｂが固定されている。さらに、送風用配管３５Ｄは、軟性の合成樹脂（例えば軟質ポリ塩化ビニル、低密度ポリエチレン等。以下同様）又は合成ゴム等よりなり、可撓性を持つ細長い円筒状の部材であり、その内部を冷風が送風される。送風用配管３５Ｄの両端には、それぞれ円筒状で内部に送風路７６Ａａ等が形成された第１及び第２送風用端子７６Ａ，７６Ｂが気密状態で固定されている。第１送風用端子７６Ａの先端部には、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄに螺合するねじ部７６Ａｂが形成され、第２送風用端子７６Ｂの先端部にもリング状部材７４Ｂの送風路７４Ｂｃの開放端のねじ部に螺合するねじ部が形成されている。
【００３７】
そして、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの上面７４Ａｆに第１端子７７Ａの平板部を載置した状態で、ボルト７８Ａをその平板部の開口を通してねじ部７４Ａｇに螺合することによって、リング状部材７４Ａに第１端子７７Ａが固定されている。同様に、ボルト７８Ｂによってリング状部材７４Ｂに第２端子７７Ｂを固定することによって、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａと第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂとは、電力ケーブル３３Ｄを介して電気的に導通する状態で連結されている。
【００３８】
また、第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂがリング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄに螺合するように連結され、第２送風用端子７６Ｂのねじ部がリング状部材７４Ｂの不図示のねじ部に螺合するように連結されている。この結果、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａと、第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂの貫通孔７４Ｂａとは、送風用配管３５Ｄを介して連通している。
【００３９】
図４（Ａ）の連結ケーブル７２において、図１の電源３２から第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂに供給される電力は、電力ケーブル３３Ｄ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを介して、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１に供給される。また、図１の送風装置３４から図４（Ａ）の第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ内の送風路７４Ｂｃに供給される冷風は、送風用配管３５Ｄ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃ内に送風される。
【００４０】
なお、図４（Ａ）では、連結機構７３Ａ，７３Ｂを連結ケーブル７２の一部であるとみなしているが、連結機構７３Ａを図３（Ａ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に装着することによって、連結機構７３Ａを放電ランプ１の一つの構成部材とみなすことも可能である。
さらに、図４（Ａ）の連結ケーブル７２から第２連結機構７３Ｂを省略してもよい。この場合には、電力ケーブル３３Ｄの第２端子７７Ｂを図１の電源３２の端子等に直接接続し、送風用配管３５Ｄの第２送風用端子７６Ｂを図１の送風装置３４の送風用の配管に直接接続してもよい。
【００４１】
次に、図５は、図３（Ｂ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１と図１の電源３２及び送風装置３４とを図４（Ａ）の連結ケーブル７２で連結（接続）した状態を示し、この図５において、導電性の良好な金属製の取り付け部材４０に、ボルト４４によって固定された端子及び電力ケーブル４６を介して電源３２が接続されている。また、取り付け部材４０に、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１とほぼ同じ構造の、導電性の良好な金属製の流路折り曲げ部材４７がボルト（不図示）によって固定されている。
【００４２】
流路折り曲げ部材４７は、取り付け部材４０に固定された平板部４７ａと、平板部４７
ａから外側に突き出た円柱状の嵌合部４７ｂとを有し、平板部４７ａの底面から嵌合部４７ｂの中間程度の高さの位置まで伸びてから嵌合部４７ｂの側面の開口に連通するように送風路４７ｃが形成されている。送風路４７ｃには、取り付け部材４０の凹部４０ａ及び送風路に配置された配管４５を介して送風装置３４から冷風が供給される。
【００４３】
図５において、放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に連結ケーブル７２を接続するためには、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａを嵌合させて、図４（Ａ）の送風路７４Ａｃの第１開放端と図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅとを対向させた状態で、図４（Ａ）のレバー７５Ａを締め付ける。
【００４４】
同様に、図５の電源側の流路折り曲げ部材４７に連結ケーブル７２を接続するためには、流路折り曲げ部材４７の嵌合部４７ｂに第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂの貫通孔７４Ｂａを嵌合させて、図４（Ａ）の送風路７４Ｂｃの第１開放端と図５の流路折り曲げ部材４７の送風路４７ｃに連通する開口とを対向させた状態で、図４（Ａ）のレバー７５Ｂを締め付ける。このように連結ケーブル７２を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを接続できる。
【００４５】
図５において、電源３２から電力ケーブル４６、取り付け部材４０を介して流路折り曲げ部材４７に供給された電力は、連結ケーブル７２の第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ、第２端子７７Ｂ、電力ケーブル３３Ｄ、第１端子７７Ａ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを介して放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に供給される。流路折り曲げ部材７１に供給された電力は、カバー部材５０及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。
【００４６】
一方、図５の送風装置３４から配管４５を介して流路折り曲げ部材４７内の送風路４７ｃに供給された冷風は、矢印Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４で示すように、第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ内の送風路７４Ｂｃ、第２送風用端子７６Ｂ、送風用配管３５Ｄ、第１送風用端子７６Ａ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して流路折り曲げ部材７１内の送風路７１ｃに送風される。そして、送風路７１ｃに供給された冷風は、矢印Ａ５，Ａ６，Ａ７で示すように、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、切り欠き部２８ｄ、口金部２８の溝部２８ｂ、及び棒状部２５ｃとカバー部材５０の円筒部５０ｃの先端部との間の空間を通ってガラス管２５のバルブ部２５ａ（図２（Ａ）参照）側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。
【００４７】
また、図５において、例えば放電ランプ１のメンテナンスを行うために、放電ランプ１から連結ケーブル７２を分離する場合には、図４（Ａ）のレバー７５Ａを緩めて、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂから第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを取り外せばよい。同様に、図５の電源３２及び送風装置３４から連結ケーブル７２を分離するためには、図４（Ａ）のレバー７５Ｂを緩めて流路折り曲げ部材４７の嵌合部４７ｂから第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂを取り外せばよい。このように連結ケーブル７２を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを分離できる。
【００４８】
本実施形態の露光光源３０及び露光装置の作用効果は以下の通りである。
（１）図３（Ｂ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に図４（Ａ）の第１連結機構７３Ａ（リング状部材７４Ａ）を連結した状態のランプは、ガラス管２５に連結された口金部２８と、この口金部２８に（流路折り曲げ部材７１を介して）取り付けられ、導電性材料で形成されるリング状部材７４Ａと、リング状部材７４Ａに固定され、リング状部材
７４Ａを介して口金部２８に放電用の電力を供給可能な電力ケーブル３３Ｄと、リング状部材７４Ａに設けられ、口金部２８に冷風を供給するための送風路７４Ａｃと、リング状部材７４Ａに固定され、送風路７４Ａｃを介して口金部２８に冷風を供給可能な送風用配管３５Ｄとを備えている。
【００４９】
従って、放電用の電力は、電力ケーブル３３Ｄ、リング状部材７４Ａ、及び口金部２８を介して放電用の電極に供給され、冷風は、送風用配管３５Ｄ、及びリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して口金部２８に供給される。これによって、口金部２８が効率的に冷却される。
（２）また、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａは、電力ケーブル３３Ｄが接続される上面７４Ａｆ（第１の端子部）と、送風用配管３５Ｄが接続されるとともに、送風路７４Ａｃと連通する開口が形成されたねじ部７４Ａｄ（第２の端子部）とを有する。従って、電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを容易に接続できる。
【００５０】
（３）また、図５に示すように、口金部２８は、ガラス管２５の長手方向Ｌ側に連結され、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄ（図４（Ｂ）参照）は、リング状部材７４Ａに対して長手方向Ｌと直交する方向（交差する方向でもよい）に向けて取り付けられている。従って、そのリング状部材７４Ａ（第１連結機構７３Ａ）に対してその長手方向Ｌと直交する方向に図４（Ａ）の送風用配管３５Ｄを連結できるため、送風用配管３５Ｄを図１の楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から離して配置できる。従って、送風用配管３５Ｄ（連結ケーブル７２）による放電ランプ１からの光の遮光量を少なくできるため、光の利用効率が高いとともに、露光光源３０の発熱量が少なくなる。
【００５１】
さらに、本例では、電力ケーブル３３Ｄは送風用配管３５Ｄとほぼ平行にリング状部材７４Ａに連結されるため、電力ケーブル３３Ｄも楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から離して配置できる。従って、放電ランプ１からの光の遮光量をさらに少なくできる。
（４）また、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄは、送風用配管３５Ｄの第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂに係合する。従って、リング状部材７４Ａに送風用配管３５Ｄをねじの螺合によって迅速に、かつ安定に連結できる。
【００５２】
（５）また、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆは、電力ケーブル３３Ｄの第１端子７７Ａをねじ止めするためのねじ部７４Ａｇが形成された平坦部である。従って、リング状部材７４Ａに電力ケーブル３３Ｄを迅速に、かつ安定に連結できる。
（６）また、本例では、図３（Ａ）の口金部２８上にカバー部材５０を介して嵌合部７１ｂを持つ流路折り曲げ部材７１が設けられ、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａは、嵌合部７１ｂに嵌合（係合）する貫通孔７４Ａａとこの貫通孔７４Ａａを横切るように設けられたすり割り部７４Ａｂとを有し、嵌合部７１ｂに貫通孔７４Ａａを嵌合させた状態で、すり割り部７４Ａｂを締め付けるレバー７５Ａを備えている。従って、レバー７５Ａを締め付け又は緩めるだけで、流路折り曲げ部材７１に対するリング状部材７４Ａの着脱を容易に、かつ短時間に行うことができる。
【００５３】
（７）また、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃは、カバー部材５０と口金部２８との間に連通している。従って、口金部２８を効率的に冷却できる。
（８）また、本例では、図３（Ｂ）のカバー部材５０と口金部２８との間を介してガラス管２５側に冷風を供給している。このように口金部２８を冷却した空気をガラス管２５側に供給することによって、ガラス管２５をも冷却できる。これに関して、カバー部材５０の円筒部５０ｃの先端部５０ｃａを口金部２８よりも延ばすことによって、ガラス管２５に対する冷却効果を高めることが可能である。ただし、例えば送風量が多いような場合には、先端部５０ｃａを必ずしも口金部２８よりも延ばす必要はない。
【００５４】
なお、冷風（又は他の気体）の代わりに、冷却された液体（純水、フッ素系不活性液体等）を使用してもよい。この場合には、口金部２８の表面を流れた液体を回収して再び冷却して送風用配管３５Ｄ（この場合には、液体供給用の配管）に供給するための回収路を設けてもよい。
（９）また、図３（Ｂ）のカバー部材５０と口金部２８との間の、口金部２８の軸部２８ａの表面には送風路としての溝部２８ｂが螺旋状に形成されている。このように口金部２８の表面に螺旋状に送風することによって、口金部２８の冷却効率を向上できる。
【００５５】
なお、このように口金部２８の軸部２８ａ側に溝部２８ｂを設ける代わりに、カバー部材５０の円筒部５０ｃの軸部２８ａに対向する領域に、螺旋状の溝部を形成してもよい。この構成によっても、口金部２８を冷却効率を向上できる。
（１０）また、図３（Ｂ）の口金部２８の上端にマウント部２８ｃが設けられ、螺旋状の溝部２８ｂは、マウント部２８ｃの側面に設けられた溝部２８ｅに連通している。従って、そのマウント部２８ｃ上にカバー部材５０及び流路折り曲げ部材７１、リング状部材７４Ａ等を設置できるとともに、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃ、及び流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃからの冷風をカバー部材５０の開口５０ｂ及びその溝部２８ｅを介して口金部２８の側面の溝部２８ｂに導くことができる。
【００５６】
（１１）また、図４（Ａ）の連結ケーブル７２は、冷風及び電力を用いる放電ランプ１と送風装置３４及び電源３２とを連結するための接続用ケーブルであって、導電性材料より形成され、放電ランプ１（流路折り曲げ部材７１）に着脱可能なリング状部材７４Ａと、リング状部材７４Ａに一端が固定され、かつ可撓性材料より形成されて、その冷風の送風路を有する送風用配管３５Ｄと、送風用配管３５Ｄとは別に設けられ、リング状部材７４Ａに一端が固定され、かつ導電性を持つ可撓性材料より形成された電力ケーブル３３Ｄとを備えている。
【００５７】
この連結ケーブル７２によれば、電源３２からの電力は、電力ケーブル３３Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して放電ランプ１側に供給され、送風装置３４からの冷風は、送風用配管３５Ｄ及びリング状部材７４Ａ（送風路７４Ａｃ）を介して放電ランプ１に供給される。従って、一つのリング状部材７４Ａを介して電力と冷風とを容易に放電ランプ１に供給できる。
【００５８】
（１２）また、電力ケーブル３３Ｄは、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。
なお、電力ケーブル３３Ｄの外側を可撓性を持つ絶縁材料で被覆してもよい。さらに、電力ケーブル３３Ｄとしては、通常の絶縁材料で被覆されたリード線等を使用してもよい。
【００５９】
（１３）また、リング状部材７４Ａは、電力ケーブル３３Ｄが接続される上面７４Ａｆと、送風用配管３５Ｄが接続されるとともに、内部に冷風の送風路７４Ａｃが形成されたねじ部７４Ａｄとを有する。従って、リング状部材７４Ａに容易に電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを接続できる。
（１４）また、リング状部材７４Ａは、中央部に貫通孔７４Ａａが形成された円板状部材であり、その円板状部材の側面に送風用配管３５Ｄが連結されるねじ部７４Ａｄが形成されている。従って、リング状部材７４Ａを放電ランプ１に装着した場合に、放電ランプ１の長手方向Ｌ（図２（Ａ）参照）に直交する方向、即ち図１の楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から遠ざかる方向に送風用配管３５Ｄを連結できるため、送風用配管３５Ｄによる放電ランプ１からの光の遮光量を少なくできる。
【００６０】
（１５）また、送風用配管３５Ｄの一端に、ねじ部７６Ａｂが形成された中空の第１送
風用端子７６Ａが固定され、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄは第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂに螺合する。従って、リング状部材７４Ａに第１送風用端子７６Ａを介して送風用配管３５Ｄを容易に連結できる。
（１６）また、電力ケーブル３３Ｄの一端に、開口が形成された平板部を含む第１端子７７Ａが固定され、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆは、その第１端子７７Ａの平板部をねじ止めするためのねじ部７４Ａｇが形成された平坦部である。従って、その上面７４Ａｆに、その平板部を介して電力ケーブル３３Ｄを容易に、かつ安定期に固定できる。
【００６１】
（１７）また、本例の露光光源３０は、図５の電源３２と送風装置３４とに接続される装置であって、図５に示すように、放電用の電極を収納したガラス管２５と、ガラス管２５に連結された口金部２８とを有する放電ランプ１と、連結ケーブル７２とを備え、連結ケーブル７２のリング状部材７４Ａが放電ランプ１の口金部２８に取り付けられるとともに、リング状部材７４Ａに冷風用の送風路７４Ａｃが形成され、連結ケーブル７２の電力ケーブル３３Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して電源３２から口金部２８に電力を供給し、連結ケーブル７２の送風用配管３５Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して送風装置３４から口金部２８に冷風を供給している。
【００６２】
従って、電源３２からの電力は、その口金部２８からガラス管２５内の放電用の電極に供給され、送風装置３４からの冷風は口金部２８に供給される。従って、口金部２８に対する冷却作用が大きい。また、冷風は、口金部２８の近傍ではリング状部材７４Ａに設けられた送風路７４Ａｃを通過する。従って、本例のように口金部２８が自由端側にある場合に、冷風供給用の配管等による放電ランプ１から発生する光の遮光量が少なくなり、光の利用効率が高いと共に、露光光源３０の温度上昇も少ない。
【００６３】
（１８）また、本例の露光装置は、放電ランプ１から発生した露光光によってウエハＷ（感光基板）にレチクルＲのパターンを露光する露光装置であって、露光光源として本例の露光光源３０を用いている。従って、放電ランプ１からの光の遮光量が少なくなり、露光光の照度を高めて露光工程のスループットを高めることができる。さらに、放電ランプ１を効率的に冷却でき、熱変形が低減するため、結像特性等を向上できる。
【００６４】
また、上記の実施形態では、図３（Ｂ）に示すように、口金部２８とカバー部材５０との間に螺旋状の溝部２８ｂが形成されている。しかしながら、図６に示すように、円筒状の軸部２８ａに溝部等が形成されていない口金部２８Ａを用いることも可能である。図６の構成では、流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃ内の空気は、口金部２８Ａのマウント部２８ｃの一部に設けられた溝部２８ｅを介して軸部２８ａとカバー部材５０の円筒部５０ｃとの間に空間に供給され、そのまま軸部２８ａの表面を棒状部２５ｃ側に流れる。
【００６５】
また、上記の実施の形態の投影露光装置（露光装置）は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより製造することができる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【００６６】
また、半導体デバイス等のマイクロデバイスは、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ、デバイスの基材である基板を製造するステップ、前述した実施形態の投影露光装置によりレチクルのパターンを基板（ウエハ等）に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）、並び
に検査ステップ等を経て製造される。
【００６７】
なお、本発明の光源装置は、上述のステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパー等）の他に、ステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の投影露光装置（スキャニング・ステッパー等）の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第９９／４９５０４号パンフレット、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。
【００６８】
なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル（マスク）を用いたが、このレチクルに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子（ＣＣＤなど）、有機ＥＬ、マイクロマシーン、ＭＥＭＳ(Microelectromechanical Systems)、及びＤＮＡチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びＥＵＶ露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。
【００６９】
また、上記の実施形態の図４（Ａ）の連結ケーブル７２は、露光装置以外の電力及び冷風を使用する機器と、図５の電力３２及び送風装置３４とを連結する場合にも使用できる。
このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、請求の範囲、図面、及び要約を含む２００７年４月１２日付け提出の米国仮出願第６０／９０７，６５４号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図２（Ａ）は図１中の放電ランプ１を示す一部を切り欠いた図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢＢ線に沿う断面図である。
【図３】図３（Ａ）は図２（Ａ）の口金部２８側の流路折り曲げ部材７１を示す平面図、図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の口金部２８近傍の構成を示す断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。
【図４】図４（Ａ）は実施形態の一例の連結ケーブル７２を示す一部を切り欠いた図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中の連結機構７３Ａを示す側面図である。
【図５】図３（Ｂ）の放電ランプ１に図４の連結ケーブル７２を介して電源３２及び送風装置３４を連結した状態を示す一部を切り欠いた図である。
【図６】実施形態の変形例の口金部近傍の構成を示す一部を切り欠いた図である。
【符号の説明】
【００７１】
１…放電ランプ、２…楕円鏡、２５…ガラス管、２５ａ…バルブ部、２５ｃ…棒状部、２６…口金部、２８…口金部、２８ｂ…溝部、３０…露光光源、３１…取り付け部材、３２…電源、３３Ｄ…電力ケーブル、３４…送風装置、３５Ｄ…送風用配管、５０…カバー部材、７１…流路折り曲げ部材、７１ｃ…送風路、７２…連結ケーブル、７３Ａ，７３Ｂ…連結機構、７４Ａ，７４Ｂ…リング状部材、７５Ａ，７５Ｂ…レバー、７６Ａ，７６Ｂ…送風用端子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電ランプ、放電ランプと電源とを接続する際に使用される接続用ケーブル、放電ランプを備えた光源装置、及びこの光源装置を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種デバイス（マイクロデバイス、電子デバイス等）を製造するためのリソグラフィ工程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されたパターンをレジストが塗布されたウエハ（又はガラスプレート等）上に転写するために、ステッパー等の一括露光型（静止露光型）の投影露光装置、及びスキャニング・ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置では、水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせてなる露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。
【０００３】
従来の放電ランプを有する光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプがある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である（例えば、特許文献１参照）。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−２１３１２９号公報
【特許文献２】特開平１１−２８３８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けていたため、口金に対する冷却作用が小さいという問題があった。
また、放電ランプには、固定側の口金と自由端側の口金とがあり、従来の冷却機構を用いて自由端側の口金を冷却する場合には、口金の周囲にも送風用の配管等を設置する必要があり、放電ランプからの光が多く遮光されるという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑み、放電ランプの口金に対する冷却作用が大きいとともに、自由端側の口金を冷却する際に放電ランプから発生する光に対する遮光量が少ない光源装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ及び接続用ケーブル、並びにそのような光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による放電ランプは、ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、そのガラス部材に連結された口金部材と、その口金部材に取り付けられ、導電性材料で形成される中継部材と、その中継部材に固定され、その中継部材を介してその口金部材に放電用の電力を供給可能な第１のケーブルと、その中継部材に設けられ、その口金部材に冷却用媒体を供給するための流路と、その中継部材に固定され、その流路を介してその口金部材に冷却用媒体を供給可能な第２のケーブルとを備えるものである。
【０００７】
また、本発明による接続用ケーブルは、冷却用媒体及び電力を用いる装置とその冷却用媒体の供給源及び電源とを連結するための接続用ケーブルであって、導電性材料より形成され、その冷却用媒体及び電力を用いる装置に着脱可能な中継部材と、その中継部材に一
端が固定され、かつ可撓性材料より形成されて、その冷却用媒体の流路を有する管状部材と、その管状部材とは別に設けられ、その中継部材に一端が固定され、かつ導電性を持つ可撓性材料より形成された導電部材とを備えたものである。
【０００８】
また、本発明による光源装置は、電源と冷却用媒体の供給源とに接続される光源装置であって放電用の電極を収納したガラス部材と、そのガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、本発明の接続用ケーブルとを備え、その接続用ケーブルの中継部材がその放電ランプの口金部材に取り付けられるとともに、その中継部材中にその冷却用媒体の流路が形成され、その接続用ケーブルの導電部材及びその中継部材を介してその電源からその口金部材に電力を供給し、その接続用ケーブルの管状部材及びその中継部材を介してその供給源からその口金部材にその冷却用媒体を供給するものである。
【０００９】
また、本発明による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置を用いるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の放電ランプによれば、放電用の電力は、連結部材の導電性部材、中継部材、及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、冷却用媒体は、連結部材及び中継部材に設けられた流路を介して口金部材に供給される。
本発明の接続用ケーブルによれば、電源からの電力は、可撓性を持つ導電部材、及び中継部材を介して装置側に供給され、供給源からの冷却用媒体は、可撓性を持つ管状部材及び中継部材を介して装置側に供給される。
【００１１】
本発明の光源装置及び露光装置によれば、電源からの電力は、接続用ケーブル及び口金部材を介して放電用の電極に供給される。さらに、供給源からの冷却用媒体は、接続用ケーブルの管状部材及び中継部材内の流路を通して口金部材に供給される。従って、その口金部材に対する冷却作用が大きい。また、冷却用媒体は、口金部材の近傍では中継部材に設けられた流路を通過する。従って、その口金部材が自由端側にある場合に、冷却用媒体供給用の配管等による放電ランプから発生する光の遮光量が少なくなり、光の利用効率が高いと共に、光源装置の温度上昇も少ない。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図１〜図５を参照して説明する。
図１は、本例の露光光源３０を備えた投影露光装置（露光装置）を示し、この図１において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ１が、取り付け部材３１を介して絶縁物よりなる固定板２９に固定されている。また、放電ランプ１内の陽極側及び陰極側の電極には、それぞれ電源３２から可撓性を持つ電力ケーブル３３Ｄ及び３３Ｂを介して電力が供給されている。また、放電ランプ１の２つの口金には可撓性を持つ送風用配管３５Ｄ及び３５Ｂを介して送風装置３４から、防塵フィルタを通して冷却された空気（以下、冷風と言う。）が供給されている。送風装置３４としては、外気を取り込んで除塵及び冷却を行って得られた空気（又は窒素ボンベから取り込んだ窒素ガス等でもよい）を所定の風量で供給する機構が使用できる。送風装置３４としては、それ以外に、工場内でエアーシリンダ等のために圧縮空気を供給する圧縮空気供給部を使用してもよい。その冷風は、室温程度でもよく、必ずしも室温以下にまで冷却されていなくともよい。
【００１３】
また、放電ランプ１のバルブ部を囲むように楕円鏡２（集光ミラー）が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ１のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡２の第１焦点Ｐ１の近傍に配置されている。放電ランプ１、楕円鏡２、取り付け部材３１、電力ケーブル３３Ｄ，３３Ｂ、送風用配管３５Ｄ，３５Ｂ、電源３２、及び送風装置３４を含んで露光光源３０が構成されている（詳細後述）。
【００１４】
放電ランプ１から射出された光束は、楕円鏡２によって第２焦点Ｐ２付近に収束された後、開状態のシャッタ３の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー４に入射する。シャッタ３の開閉はシャッタ駆動装置３ａによって行われ、一例として後述のステージ制御系１５が、装置全体の動作を統括制御する主制御系１４の指令のもとでシャッタ駆動装置３ａを制御する。
【００１５】
ミラー４で反射された光束は干渉フィルタ５に入射し、干渉フィルタ５により所定の輝線（例えば波長３６５ｎｍのｉ線）の露光光ＩＬのみが選択される。なお、露光光ＩＬとしては、ｉ線の他に、ｇ線、ｈ線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光ＩＬは、フライアイレンズ６（オプティカル・インテグレータ）に入射し、フライアイレンズ６の射出面に配置された可変開口絞り７上に多数の２次光源が形成される。可変開口絞り７を通過した露光光ＩＬは、第１リレーレンズ８を経てレチクルブラインド（可変視野絞り）９に入射する。レチクルブラインド９の配置面はレチクルＲのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９の開口形状を設定することで、レチクルＲ上での照明領域が規定される。また、ウエハＷのステッピング時等に不要な露光光がウエハＷ上に照射されないように、ステージ制御系１５が駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９を開閉できるようにも構成されている。
【００１６】
レチクルブラインド９を通過した露光光ＩＬは、第２リレーレンズ１０、露光光ＩＬを反射するダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を介してレチクルＲのパターン面のパターン領域を落射照明する。シャッタ３、ミラー４、干渉フィルタ５、フライアイレンズ６、可変開口絞り７、リレーレンズ８，１０、レチクルブラインド９、ダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を含んで照明光学系１３が構成されている。露光光源３０からの光束は、照明光学系１３を経て露光光ＩＬとしてレチクルＲ（マスク）を照明し、レチクルＲのパターン領域内のパターンが投影光学系ＰＬを介して、フォトレジストが塗布されたウエハＷ（感光基板）の一つのショット領域上に投影倍率β（βは例えば１／４，１／５等）で露光される。以下、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内で図１の紙面に平行にＸ軸を、図１の紙面に垂直にＹ軸を取って説明する。
【００１７】
このとき、レチクルＲは、レチクルベース（不図示）上でＸ方向、Ｙ方向、及びＺ軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージＲＳＴ上に保持されている。レチクルステージＲＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｒに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｒによって高精度に計測され、この計測値がステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５がリニアモータ等を含む駆動系１９Ｒを介してレチクルステージＲＳＴの位置を制御する。
【００１８】
一方、ウエハＷは不図示のウエハホルダを介してウエハステージＷＳＴ上に保持され、ウエハステージＷＳＴはウエハベース（不図示）上にＸ方向及びＹ方向に移動自在に載置されている。ウエハステージＷＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｗに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｗにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５はリニアモータ等を含む駆動系１９Ｗを介してウエハステージＷＳＴ（ウエハＷ）の位置を制御する。
【００１９】
ウエハＷの露光時には、ウエハステージＷＳＴによりウエハＷの各ショット領域を投影
光学系ＰＬの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源３０からの光束を照明光学系１３を介してレチクルＲに照射して、レチクルＲのパターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルＲのパターンの像がウエハＷ上の各ショット領域に転写される。
【００２０】
なお、この露光に際して予めアライメントを行うために、レチクルＲの上方には、レチクルＲに形成されたアライメントマークの位置を検出するためのレチクルアライメント系２０が設置され、投影光学系ＰＬの側面には、ウエハＷ上の各ショット領域に付設されたアライメントマークの位置を検出するためのアライメントセンサ２１が設置されている。また、ウエハステージＷＳＴ上のウエハＷの近傍にはアライメントセンサ２１等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材２２が設けられている。レチクルアライメント系２０及びアライメントセンサ２１の検出信号はアライメント信号処理系１６に供給され、アライメント信号処理系１６は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系１４に供給する。主制御系１４は、その配列座標の情報に基づいてレチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行う。
【００２１】
次に、本例の投影露光装置の放電ランプ１を含む露光光源３０の基本的な構成につき説明する。
図２（Ａ）は、図１の露光光源３０中の放電ランプ１及びその取り付け機構を示す一部を切り欠いた図であり、この図２（Ａ）において、放電ランプ１は、バルブ部２５ａ及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の２つの棒状部２５ｂ，２５ｃからなるガラス管２５と、一方の固定側の棒状部２５ｂの端部に連結された陰極側の口金部２６と、他方の外側に向けて階段状に直径が小さくなる自由端側の棒状部２５ｃの端部に連結された陽極側の口金部２８とを備えている。そのバルブ部２５ａ内に発光部を形成するための陽極ＥＬ１及び陰極ＥＬ２が対向して固定され、陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１はそれぞれ口金部２６及び２８に接続され、口金部２６及び２８は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部２６、ガラス管２５、及び口金部２８は、ガラス管２５の棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ１の長手方向Ｌである。
【００２２】
口金部２６及び２８は、基本的に陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１に電源３２から電力ケーブル３３Ｂ及び３３Ｄ（図１参照）を介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部２６は、ガラス管２５（放電ランプ１）を保持するための被保持部としても使用され、口金部２６及び２８はともにガラス管２５から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す機構を備えている。
【００２３】
即ち、陰極ＥＬ２に接続された口金部２６には、棒状部２５ｂから外側に順に、フランジ部２６ａと、円柱状の軸部２６ｂと、円柱状の凹部２６ｆと、軸部２６ｂより僅かに小さい外径の円柱状の固定部２６ｈとが形成され、凹部２６ｆと固定部２６ｈとの境界部に長手方向Ｌにほぼ垂直な面よりなる被押圧面２６ｇが形成されている。
放電ランプ１を固定する際には、放電ランプ１の軸部２６ｂを２点鎖線で示す取り付け部材３１の開口部３１ｂに嵌合させて、フランジ部２６ａを取り付け部材３１の上面３１ａに載置する。図２（Ｂ）に示すように、フランジ部２６ａには円形の開口２７Ａ，２７Ｂが形成されており、これらの開口２７Ａ，２７Ｂに図２（Ａ）の上面３１ａに固定されている円柱状の突部（不図示）を挿通することで、放電ランプ１の回転方向の位置決めが行われる。
【００２４】
また、軸部２６ｂの外面に、長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２６ｄが形成されている。溝部２６ｄには、送風装置３４から可撓性を持つ送風用配管３５Ｂ、及び取
り付け部材３１に形成された送風路３１ｃを介して冷風が供給されている。また、導電性の良好な金属製の取り付け部材３１に端子３８がボルト３９によって固定され、端子３８が電力ケーブル３３Ｂによって電源３２に接続されている。この構成により、電源３２から、電力ケーブル３３Ｂ、端子３８、取り付け部材３１、及び口金部２６のフランジ部２６ａを介して放電ランプ１の陰極ＥＬ２に電力が供給される。
【００２５】
また、取り付け部材３１の下方の３箇所に回転自在に、かつ引っ張りコイルばね３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃによって下方に付勢されるように付勢部材３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃが固定されている。付勢部材３６Ａ〜３６Ｃの先端部で口金部２６の被押圧面２６ｇを下方に付勢することによって、口金部２６（ひいては放電ランプ１）が取り付け部材３１に安定に保持される。さらに、不図示のレバー機構によって付勢部材３６Ａ〜３６Ｃを上方に引き上げることによって、放電ランプ１を容易に取り付け部材３１から取り外すことができる。
【００２６】
次に、図２（Ａ）において、放電ランプ１の陽極側（本例では自由端側でもある）の口金部２８の概略構造は、ほぼ円柱状の軸部２８ａの表面に長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２８ｂを形成したものである。さらに、口金部２８を外側から覆うように導電性の良好な金属（例えば銅、しんちゅう、アルミニウム等。以下同様）製のほぼ円筒状のカバー部材５０が固定されている。カバー部材５０上に導電性の良好な金属製の流路折り曲げ部材７１が固定されている。
【００２７】
図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の放電ランプ１の陽極側の口金部２８付近の構成を示す拡大断面図であり、図３（Ａ）は図３（Ｂ）の平面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。図３（Ｂ）において、口金部２８の溝部２８ｂが形成された軸部２８ａの上端には、リング状の切り欠き部２８ｄを隔てて円板状のマウント部２８ｃが形成され、マウント部２８ｃの中心部から外側に向けて通気用の溝部２８ｅが形成されている。
【００２８】
また、カバー部材５０は、マウント部２８ｃの上面に載置される輪帯状の平板部５０ａと、口金部２８の側面を覆う円筒部５０ｃとを有し、円筒部５０ｃの先端部５０ｃａは、口金部２８からさらにガラス管２５の棒状部２５ｃ側に伸びている。なお、図３（Ｂ）では、軸部２８ａと円筒部５０ｃとの間には隙間があるように描かれているが、その隙間は実際には極めて小さくしてもよい。
【００２９】
カバー部材５０上に固定された流路折り曲げ部材７１の平板部７１ａの底面には、カバー部材５０の平板部５０ａの中央の開口５０ｂに突き出るように円筒状の突部７１ｄが形成され、平板部７１ａの上面には円柱状の嵌合部７１ｂが形成されている。そして、流路折り曲げ部材７１の突部７１ｄの中央部から嵌合部７１ｂのほぼ中間の高さの位置に向かい、そこで嵌合部７１ｂの側面の開口７１ｅ（図３（Ｃ）参照）に連通するように折れ曲がる送風路７１ｃが形成され、開口７１ｅから送風路７１ｃに口金部２８を冷却するための冷風が供給される。図３（Ａ）に示すように、流路折り曲げ部材７１の上面の４箇所に座ぐり部７１ｆが形成され、座ぐり部７１ｆ内のボルト５３によって、図３（Ｂ）に示すように、流路折り曲げ部材７１及びカバー部材５０（ボルト５３用の開口が設けられている）が口金部２８に一体的に固定されている。
【００３０】
図３（Ｂ）において、図１の電力ケーブル３３Ｄを介して流路折り曲げ部材７１に供給される電力は、カバー部材５０、及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。また、図１の送風用配管３５Ｄを介して流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅに供給される冷風は、送風路７１ｃ、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、及び切り欠き部２８ｄを通して口金部２８の溝部２８ｂに供給され、溝部２８ｂを流れた空気は、棒状部２５ｃとカバー部材５０の先端部５０ｃａとの間から図２（Ａ）のガラス管２５のバル
ブ部２５ａ側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。
【００３１】
次に、図４（Ａ）は、図１の電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを含む本例の連結ケーブル７２を示す一部を切り欠いた図であり、連結ケーブル７２は、第１連結機構７３Ａと、電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄと、第２連結機構７３Ｂとを連結して構成されている。また、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中の第１連結機構７３Ａを示す側面図である。
【００３２】
図４（Ａ）において、第１連結機構７３Ａは、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに緩く嵌合する貫通孔７４Ａａが形成されたリング状部材７４Ａと、先端にねじ部が形成されたレバー７５Ａと、止めねじ７９Ａとを備えている。リング状部材７４Ａは、導電性の良好な金属製である。貫通孔７４Ａａの中心軸を含む平面に沿って貫通孔７４Ａａを横切るように、すり割り部７４Ａｂが形成され、すり割り部７４Ａｂを横切るように貫通孔及びねじ部７４Ａｅ（図４（Ｂ）参照）が形成されている。レバー７５Ａは、その貫通孔を通してその先端のねじ部がねじ部７４Ａｅに螺合するように、リング状部材７４Ａに装着されている。この構成によって、図４（Ｂ）に示すように、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂを嵌合させた状態で、レバー７５Ａによってすり割り部７４Ａｂを締め付けることによって、迅速に、かつ容易にリング状部材７４Ａを流路折り曲げ部材７１に安定に固定することができる。
【００３３】
リング状部材７４Ａの上面及び底面（流路折り曲げ部材７１の平板部７１ａに載置される面）は平面に加工されており、その上面のすり割り部７４Ａｂの近傍に、図４（Ｂ）に示すようにねじ部７４Ａｇが形成されている。さらに、リング状部材７４Ａのほぼ中間の高さの位置に、貫通孔７４Ａａに連通する第１の開放端を持つＴ字型の送風路７４Ａｃが形成され、送風路７４Ａｃの第２の開放端にはねじ部７４Ａｄが形成され、送風路７４Ａｃの第３の開放端は止めねじ７９Ａによって塞がれている。リング状部材７４Ａ内で必要な送風路は、内側の貫通孔７４Ａａ及び側面の１箇所を連通する送風路であるが、２つの開放端のみを持つ送風路は加工が困難であるため、加工が容易なＴ字型の送風路７４Ａｃを形成した後、不要な第３の開放端を止めねじ７９Ａで塞いでいる。これによって、連結機構７３Ａの製造が容易になる。
【００３４】
また、図４（Ｂ）に示すように、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに連通する送風路７４Ａｃの第１の開放端の底面からの高さは、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに設けられている開口７１ｅ（図３（Ｂ）の送風路７１ｃに連通している）の平板部７１ａからの高さと同じである。本例では、リング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａに流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂを嵌合させた状態で、送風路７４Ａｃの第１開放端が流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅに対向するように、リング状部材７４Ａの流路折り曲げ部材７１に対する相対的な回転角を調整する。これによって、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃのねじ部７４Ａｄ側から供給される冷風を、流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃを介して図３（Ｂ）の口金部２８側に供給することができる。
【００３５】
また、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆに形成されたねじ部７４Ａｇと、送風路７４Ａｃに連通するねじ部７４Ａｄとは、図４（Ａ）に示すように、すり割り部７４Ａｂを挟むような配置で形成されている。この構成によって、リング状部材７４Ａに対して側面方向にほぼ平行に電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを接続できる。
さらに、第２連結機構７３Ｂは、第１連結機構７３Ａと同じく、貫通孔７４Ｂａを有する導電性の良好な金属製のリング状部材７４Ｂと、これに連結されてすり割り部７４Ｂｂを締め付けるレバー７５Ｂと、リング状部材７４Ｂ内のＴ字型の送風路７４Ｂｃの第３開放端を塞ぐための止めねじ７９Ｂとを備えている。
【００３６】
また、本例の電力ケーブル３３Ｄは細長い多数の導線を円筒の網目状に編んだ可撓性を持つ部材である。電力ケーブル３３Ｄの両端には、それぞれ開口が形成された平板部を持つ導電性の第１及び第２端子７７Ａ，７７Ｂが固定されている。さらに、送風用配管３５Ｄは、軟性の合成樹脂（例えば軟質ポリ塩化ビニル、低密度ポリエチレン等。以下同様）又は合成ゴム等よりなり、可撓性を持つ細長い円筒状の部材であり、その内部を冷風が送風される。送風用配管３５Ｄの両端には、それぞれ円筒状で内部に送風路７６Ａａ等が形成された第１及び第２送風用端子７６Ａ，７６Ｂが気密状態で固定されている。第１送風用端子７６Ａの先端部には、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄに螺合するねじ部７６Ａｂが形成され、第２送風用端子７６Ｂの先端部にもリング状部材７４Ｂの送風路７４Ｂｃの開放端のねじ部に螺合するねじ部が形成されている。
【００３７】
そして、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの上面７４Ａｆに第１端子７７Ａの平板部を載置した状態で、ボルト７８Ａをその平板部の開口を通してねじ部７４Ａｇに螺合することによって、リング状部材７４Ａに第１端子７７Ａが固定されている。同様に、ボルト７８Ｂによってリング状部材７４Ｂに第２端子７７Ｂを固定することによって、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａと第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂとは、電力ケーブル３３Ｄを介して電気的に導通する状態で連結されている。
【００３８】
また、第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂがリング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄに螺合するように連結され、第２送風用端子７６Ｂのねじ部がリング状部材７４Ｂの不図示のねじ部に螺合するように連結されている。この結果、第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａと、第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂの貫通孔７４Ｂａとは、送風用配管３５Ｄを介して連通している。
【００３９】
図４（Ａ）の連結ケーブル７２において、図１の電源３２から第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂに供給される電力は、電力ケーブル３３Ｄ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを介して、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１に供給される。また、図１の送風装置３４から図４（Ａ）の第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ内の送風路７４Ｂｃに供給される冷風は、送風用配管３５Ｄ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃ内に送風される。
【００４０】
なお、図４（Ａ）では、連結機構７３Ａ，７３Ｂを連結ケーブル７２の一部であるとみなしているが、連結機構７３Ａを図３（Ａ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に装着することによって、連結機構７３Ａを放電ランプ１の一つの構成部材とみなすことも可能である。
さらに、図４（Ａ）の連結ケーブル７２から第２連結機構７３Ｂを省略してもよい。この場合には、電力ケーブル３３Ｄの第２端子７７Ｂを図１の電源３２の端子等に直接接続し、送風用配管３５Ｄの第２送風用端子７６Ｂを図１の送風装置３４の送風用の配管に直接接続してもよい。
【００４１】
次に、図５は、図３（Ｂ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１と図１の電源３２及び送風装置３４とを図４（Ａ）の連結ケーブル７２で連結（接続）した状態を示し、この図５において、導電性の良好な金属製の取り付け部材４０に、ボルト４４によって固定された端子及び電力ケーブル４６を介して電源３２が接続されている。また、取り付け部材４０に、図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１とほぼ同じ構造の、導電性の良好な金属製の流路折り曲げ部材４７がボルト（不図示）によって固定されている。
【００４２】
流路折り曲げ部材４７は、取り付け部材４０に固定された平板部４７ａと、平板部４７
ａから外側に突き出た円柱状の嵌合部４７ｂとを有し、平板部４７ａの底面から嵌合部４７ｂの中間程度の高さの位置まで伸びてから嵌合部４７ｂの側面の開口に連通するように送風路４７ｃが形成されている。送風路４７ｃには、取り付け部材４０の凹部４０ａ及び送風路に配置された配管４５を介して送風装置３４から冷風が供給される。
【００４３】
図５において、放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に連結ケーブル７２を接続するためには、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂに第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａの貫通孔７４Ａａを嵌合させて、図４（Ａ）の送風路７４Ａｃの第１開放端と図３（Ｂ）の流路折り曲げ部材７１の開口７１ｅとを対向させた状態で、図４（Ａ）のレバー７５Ａを締め付ける。
【００４４】
同様に、図５の電源側の流路折り曲げ部材４７に連結ケーブル７２を接続するためには、流路折り曲げ部材４７の嵌合部４７ｂに第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂの貫通孔７４Ｂａを嵌合させて、図４（Ａ）の送風路７４Ｂｃの第１開放端と図５の流路折り曲げ部材４７の送風路４７ｃに連通する開口とを対向させた状態で、図４（Ａ）のレバー７５Ｂを締め付ける。このように連結ケーブル７２を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを接続できる。
【００４５】
図５において、電源３２から電力ケーブル４６、取り付け部材４０を介して流路折り曲げ部材４７に供給された電力は、連結ケーブル７２の第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ、第２端子７７Ｂ、電力ケーブル３３Ｄ、第１端子７７Ａ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを介して放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に供給される。流路折り曲げ部材７１に供給された電力は、カバー部材５０及び口金部２８を介してガラス管２５内の陽極に供給される。
【００４６】
一方、図５の送風装置３４から配管４５を介して流路折り曲げ部材４７内の送風路４７ｃに供給された冷風は、矢印Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４で示すように、第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂ内の送風路７４Ｂｃ、第２送風用端子７６Ｂ、送風用配管３５Ｄ、第１送風用端子７６Ａ、及び第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して流路折り曲げ部材７１内の送風路７１ｃに送風される。そして、送風路７１ｃに供給された冷風は、矢印Ａ５，Ａ６，Ａ７で示すように、カバー部材５０の開口５０ｂ、溝部２８ｅ、切り欠き部２８ｄ、口金部２８の溝部２８ｂ、及び棒状部２５ｃとカバー部材５０の円筒部５０ｃの先端部との間の空間を通ってガラス管２５のバルブ部２５ａ（図２（Ａ）参照）側に送風される。これによって、口金部２８及びガラス管２５が効率的に冷却される。
【００４７】
また、図５において、例えば放電ランプ１のメンテナンスを行うために、放電ランプ１から連結ケーブル７２を分離する場合には、図４（Ａ）のレバー７５Ａを緩めて、流路折り曲げ部材７１の嵌合部７１ｂから第１連結機構７３Ａのリング状部材７４Ａを取り外せばよい。同様に、図５の電源３２及び送風装置３４から連結ケーブル７２を分離するためには、図４（Ａ）のレバー７５Ｂを緩めて流路折り曲げ部材４７の嵌合部４７ｂから第２連結機構７３Ｂのリング状部材７４Ｂを取り外せばよい。このように連結ケーブル７２を用いることによって、極めて容易に、かつ迅速に電源３２及び送風装置３４と放電ランプ１とを分離できる。
【００４８】
本実施形態の露光光源３０及び露光装置の作用効果は以下の通りである。
（１）図３（Ｂ）の放電ランプ１の流路折り曲げ部材７１に図４（Ａ）の第１連結機構７３Ａ（リング状部材７４Ａ）を連結した状態のランプは、ガラス管２５に連結された口金部２８と、この口金部２８に（流路折り曲げ部材７１を介して）取り付けられ、導電性材料で形成されるリング状部材７４Ａと、リング状部材７４Ａに固定され、リング状部材
７４Ａを介して口金部２８に放電用の電力を供給可能な電力ケーブル３３Ｄと、リング状部材７４Ａに設けられ、口金部２８に冷風を供給するための送風路７４Ａｃと、リング状部材７４Ａに固定され、送風路７４Ａｃを介して口金部２８に冷風を供給可能な送風用配管３５Ｄとを備えている。
【００４９】
従って、放電用の電力は、電力ケーブル３３Ｄ、リング状部材７４Ａ、及び口金部２８を介して放電用の電極に供給され、冷風は、送風用配管３５Ｄ、及びリング状部材７４Ａ内の送風路７４Ａｃを介して口金部２８に供給される。これによって、口金部２８が効率的に冷却される。
（２）また、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａは、電力ケーブル３３Ｄが接続される上面７４Ａｆ（第１の端子部）と、送風用配管３５Ｄが接続されるとともに、送風路７４Ａｃと連通する開口が形成されたねじ部７４Ａｄ（第２の端子部）とを有する。従って、電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを容易に接続できる。
【００５０】
（３）また、図５に示すように、口金部２８は、ガラス管２５の長手方向Ｌ側に連結され、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄ（図４（Ｂ）参照）は、リング状部材７４Ａに対して長手方向Ｌと直交する方向（交差する方向でもよい）に向けて取り付けられている。従って、そのリング状部材７４Ａ（第１連結機構７３Ａ）に対してその長手方向Ｌと直交する方向に図４（Ａ）の送風用配管３５Ｄを連結できるため、送風用配管３５Ｄを図１の楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から離して配置できる。従って、送風用配管３５Ｄ（連結ケーブル７２）による放電ランプ１からの光の遮光量を少なくできるため、光の利用効率が高いとともに、露光光源３０の発熱量が少なくなる。
【００５１】
さらに、本例では、電力ケーブル３３Ｄは送風用配管３５Ｄとほぼ平行にリング状部材７４Ａに連結されるため、電力ケーブル３３Ｄも楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から離して配置できる。従って、放電ランプ１からの光の遮光量をさらに少なくできる。
（４）また、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄは、送風用配管３５Ｄの第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂに係合する。従って、リング状部材７４Ａに送風用配管３５Ｄをねじの螺合によって迅速に、かつ安定に連結できる。
【００５２】
（５）また、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆは、電力ケーブル３３Ｄの第１端子７７Ａをねじ止めするためのねじ部７４Ａｇが形成された平坦部である。従って、リング状部材７４Ａに電力ケーブル３３Ｄを迅速に、かつ安定に連結できる。
（６）また、本例では、図３（Ａ）の口金部２８上にカバー部材５０を介して嵌合部７１ｂを持つ流路折り曲げ部材７１が設けられ、図４（Ａ）のリング状部材７４Ａは、嵌合部７１ｂに嵌合（係合）する貫通孔７４Ａａとこの貫通孔７４Ａａを横切るように設けられたすり割り部７４Ａｂとを有し、嵌合部７１ｂに貫通孔７４Ａａを嵌合させた状態で、すり割り部７４Ａｂを締め付けるレバー７５Ａを備えている。従って、レバー７５Ａを締め付け又は緩めるだけで、流路折り曲げ部材７１に対するリング状部材７４Ａの着脱を容易に、かつ短時間に行うことができる。
【００５３】
（７）また、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃは、カバー部材５０と口金部２８との間に連通している。従って、口金部２８を効率的に冷却できる。
（８）また、本例では、図３（Ｂ）のカバー部材５０と口金部２８との間を介してガラス管２５側に冷風を供給している。このように口金部２８を冷却した空気をガラス管２５側に供給することによって、ガラス管２５をも冷却できる。これに関して、カバー部材５０の円筒部５０ｃの先端部５０ｃａを口金部２８よりも延ばすことによって、ガラス管２５に対する冷却効果を高めることが可能である。ただし、例えば送風量が多いような場合には、先端部５０ｃａを必ずしも口金部２８よりも延ばす必要はない。
【００５４】
なお、冷風（又は他の気体）の代わりに、冷却された液体（純水、フッ素系不活性液体等）を使用してもよい。この場合には、口金部２８の表面を流れた液体を回収して再び冷却して送風用配管３５Ｄ（この場合には、液体供給用の配管）に供給するための回収路を設けてもよい。
（９）また、図３（Ｂ）のカバー部材５０と口金部２８との間の、口金部２８の軸部２８ａの表面には送風路としての溝部２８ｂが螺旋状に形成されている。このように口金部２８の表面に螺旋状に送風することによって、口金部２８の冷却効率を向上できる。
【００５５】
なお、このように口金部２８の軸部２８ａ側に溝部２８ｂを設ける代わりに、カバー部材５０の円筒部５０ｃの軸部２８ａに対向する領域に、螺旋状の溝部を形成してもよい。この構成によっても、口金部２８を冷却効率を向上できる。
（１０）また、図３（Ｂ）の口金部２８の上端にマウント部２８ｃが設けられ、螺旋状の溝部２８ｂは、マウント部２８ｃの側面に設けられた溝部２８ｅに連通している。従って、そのマウント部２８ｃ上にカバー部材５０及び流路折り曲げ部材７１、リング状部材７４Ａ等を設置できるとともに、リング状部材７４Ａの送風路７４Ａｃ、及び流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃからの冷風をカバー部材５０の開口５０ｂ及びその溝部２８ｅを介して口金部２８の側面の溝部２８ｂに導くことができる。
【００５６】
（１１）また、図４（Ａ）の連結ケーブル７２は、冷風及び電力を用いる放電ランプ１と送風装置３４及び電源３２とを連結するための接続用ケーブルであって、導電性材料より形成され、放電ランプ１（流路折り曲げ部材７１）に着脱可能なリング状部材７４Ａと、リング状部材７４Ａに一端が固定され、かつ可撓性材料より形成されて、その冷風の送風路を有する送風用配管３５Ｄと、送風用配管３５Ｄとは別に設けられ、リング状部材７４Ａに一端が固定され、かつ導電性を持つ可撓性材料より形成された電力ケーブル３３Ｄとを備えている。
【００５７】
この連結ケーブル７２によれば、電源３２からの電力は、電力ケーブル３３Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して放電ランプ１側に供給され、送風装置３４からの冷風は、送風用配管３５Ｄ及びリング状部材７４Ａ（送風路７４Ａｃ）を介して放電ランプ１に供給される。従って、一つのリング状部材７４Ａを介して電力と冷風とを容易に放電ランプ１に供給できる。
【００５８】
（１２）また、電力ケーブル３３Ｄは、多数の導線を網目状に編んだ部材であるため、容易に可撓性と導電性とを両立できる。
なお、電力ケーブル３３Ｄの外側を可撓性を持つ絶縁材料で被覆してもよい。さらに、電力ケーブル３３Ｄとしては、通常の絶縁材料で被覆されたリード線等を使用してもよい。
【００５９】
（１３）また、リング状部材７４Ａは、電力ケーブル３３Ｄが接続される上面７４Ａｆと、送風用配管３５Ｄが接続されるとともに、内部に冷風の送風路７４Ａｃが形成されたねじ部７４Ａｄとを有する。従って、リング状部材７４Ａに容易に電力ケーブル３３Ｄ及び送風用配管３５Ｄを接続できる。
（１４）また、リング状部材７４Ａは、中央部に貫通孔７４Ａａが形成された円板状部材であり、その円板状部材の側面に送風用配管３５Ｄが連結されるねじ部７４Ａｄが形成されている。従って、リング状部材７４Ａを放電ランプ１に装着した場合に、放電ランプ１の長手方向Ｌ（図２（Ａ）参照）に直交する方向、即ち図１の楕円鏡２の第２焦点Ｐ２から遠ざかる方向に送風用配管３５Ｄを連結できるため、送風用配管３５Ｄによる放電ランプ１からの光の遮光量を少なくできる。
【００６０】
（１５）また、送風用配管３５Ｄの一端に、ねじ部７６Ａｂが形成された中空の第１送
風用端子７６Ａが固定され、リング状部材７４Ａのねじ部７４Ａｄは第１送風用端子７６Ａのねじ部７６Ａｂに螺合する。従って、リング状部材７４Ａに第１送風用端子７６Ａを介して送風用配管３５Ｄを容易に連結できる。
（１６）また、電力ケーブル３３Ｄの一端に、開口が形成された平板部を含む第１端子７７Ａが固定され、リング状部材７４Ａの上面７４Ａｆは、その第１端子７７Ａの平板部をねじ止めするためのねじ部７４Ａｇが形成された平坦部である。従って、その上面７４Ａｆに、その平板部を介して電力ケーブル３３Ｄを容易に、かつ安定期に固定できる。
【００６１】
（１７）また、本例の露光光源３０は、図５の電源３２と送風装置３４とに接続される装置であって、図５に示すように、放電用の電極を収納したガラス管２５と、ガラス管２５に連結された口金部２８とを有する放電ランプ１と、連結ケーブル７２とを備え、連結ケーブル７２のリング状部材７４Ａが放電ランプ１の口金部２８に取り付けられるとともに、リング状部材７４Ａに冷風用の送風路７４Ａｃが形成され、連結ケーブル７２の電力ケーブル３３Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して電源３２から口金部２８に電力を供給し、連結ケーブル７２の送風用配管３５Ｄ及びリング状部材７４Ａを介して送風装置３４から口金部２８に冷風を供給している。
【００６２】
従って、電源３２からの電力は、その口金部２８からガラス管２５内の放電用の電極に供給され、送風装置３４からの冷風は口金部２８に供給される。従って、口金部２８に対する冷却作用が大きい。また、冷風は、口金部２８の近傍ではリング状部材７４Ａに設けられた送風路７４Ａｃを通過する。従って、本例のように口金部２８が自由端側にある場合に、冷風供給用の配管等による放電ランプ１から発生する光の遮光量が少なくなり、光の利用効率が高いと共に、露光光源３０の温度上昇も少ない。
【００６３】
（１８）また、本例の露光装置は、放電ランプ１から発生した露光光によってウエハＷ（感光基板）にレチクルＲのパターンを露光する露光装置であって、露光光源として本例の露光光源３０を用いている。従って、放電ランプ１からの光の遮光量が少なくなり、露光光の照度を高めて露光工程のスループットを高めることができる。さらに、放電ランプ１を効率的に冷却でき、熱変形が低減するため、結像特性等を向上できる。
【００６４】
また、上記の実施形態では、図３（Ｂ）に示すように、口金部２８とカバー部材５０との間に螺旋状の溝部２８ｂが形成されている。しかしながら、図６に示すように、円筒状の軸部２８ａに溝部等が形成されていない口金部２８Ａを用いることも可能である。図６の構成では、流路折り曲げ部材７１の送風路７１ｃ内の空気は、口金部２８Ａのマウント部２８ｃの一部に設けられた溝部２８ｅを介して軸部２８ａとカバー部材５０の円筒部５０ｃとの間に空間に供給され、そのまま軸部２８ａの表面を棒状部２５ｃ側に流れる。
【００６５】
また、上記の実施の形態の投影露光装置（露光装置）は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより製造することができる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【００６６】
また、半導体デバイス等のマイクロデバイスは、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ、デバイスの基材である基板を製造するステップ、前述した実施形態の投影露光装置によりレチクルのパターンを基板（ウエハ等）に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）、並び
に検査ステップ等を経て製造される。
【００６７】
なお、本発明の光源装置は、上述のステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパー等）の他に、ステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の投影露光装置（スキャニング・ステッパー等）の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第９９／４９５０４号パンフレット、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。
【００６８】
なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル（マスク）を用いたが、このレチクルに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子（ＣＣＤなど）、有機ＥＬ、マイクロマシーン、ＭＥＭＳ(Microelectromechanical Systems)、及びＤＮＡチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びＥＵＶ露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。
【００６９】
また、上記の実施形態の図４（Ａ）の連結ケーブル７２は、露光装置以外の電力及び冷風を使用する機器と、図５の電力３２及び送風装置３４とを連結する場合にも使用できる。
このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、請求の範囲、図面、及び要約を含む２００７年４月１２日付け提出の米国仮出願第６０／９０７，６５４号の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図２（Ａ）は図１中の放電ランプ１を示す一部を切り欠いた図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢＢ線に沿う断面図である。
【図３】図３（Ａ）は図２（Ａ）の口金部２８側の流路折り曲げ部材７１を示す平面図、図３（Ｂ）は、図２（Ａ）の口金部２８近傍の構成を示す断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）の要部の側面図である。
【図４】図４（Ａ）は実施形態の一例の連結ケーブル７２を示す一部を切り欠いた図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中の連結機構７３Ａを示す側面図である。
【図５】図３（Ｂ）の放電ランプ１に図４の連結ケーブル７２を介して電源３２及び送風装置３４を連結した状態を示す一部を切り欠いた図である。
【図６】実施形態の変形例の口金部近傍の構成を示す一部を切り欠いた図である。
【符号の説明】
【００７１】
１…放電ランプ、２…楕円鏡、２５…ガラス管、２５ａ…バルブ部、２５ｃ…棒状部、２６…口金部、２８…口金部、２８ｂ…溝部、３０…露光光源、３１…取り付け部材、３２…電源、３３Ｄ…電力ケーブル、３４…送風装置、３５Ｄ…送風用配管、５０…カバー部材、７１…流路折り曲げ部材、７１ｃ…送風路、７２…連結ケーブル、７３Ａ，７３Ｂ…連結機構、７４Ａ，７４Ｂ…リング状部材、７５Ａ，７５Ｂ…レバー、７６Ａ，７６Ｂ…送風用端子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、
前記ガラス部材に連結された口金部材と、
前記口金部材に取り付けられ、導電性材料で形成される中継部材と、
前記中継部材に固定され、前記中継部材を介して前記口金部材に放電用の電力を供給可能な第１のケーブルと、
前記中継部材に設けられ、前記口金部材に冷却用媒体を供給するための流路と、
前記中継部材に固定され、前記流路を介して前記口金部材に冷却用媒体を供給可能な第２のケーブルとを備えることを特徴とする放電ランプ。
【請求項１】
ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、
前記ガラス部材に連結された口金部材と、
前記口金部材に取り付けられ、導電性材料で形成される中継部材と、
前記中継部材に固定され、前記中継部材を介して前記口金部材に放電用の電力を供給可能な第１のケーブルと、
前記中継部材に設けられ、前記口金部材に冷却用媒体を供給するための流路と、
前記中継部材に固定され、前記流路を介して前記口金部材に冷却用媒体を供給可能な第２のケーブルとを備えることを特徴とする放電ランプ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１２−２５３０４１（Ｐ２０１２−２５３０４１Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１９９２２６（Ｐ２０１２−１９９２２６）
【出願日】平成２４年９月１１日（２０１２．９．１１）
【分割の表示】特願２００８−９７６０６（Ｐ２００８−９７６０６）の分割
【原出願日】平成２０年４月３日（２００８．４．３）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年９月１１日（２０１２．９．１１）
【分割の表示】特願２００８−９７６０６（Ｐ２００８−９７６０６）の分割
【原出願日】平成２０年４月３日（２００８．４．３）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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