有機物含有排水の水処理方法
【課題】ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持し、高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理を可能とする有機物含有排水の水処理方法を提供する。
【解決手段】生物処理２によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理４したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理７し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜８に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。生物処理２によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理４したろ過処理水をオゾン処理７した後、逆浸透膜８に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【解決手段】生物処理２によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理４したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理７し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜８に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。生物処理２によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理４したろ過処理水をオゾン処理７した後、逆浸透膜８に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物含有排水の水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場や液晶工場では、洗浄液、現像液、剥離液などに有機系薬品が用いられており、これらの工場からの排水中には有機物が含まれている。これら有機物を含有した排水（以下、有機物含有排水と称する。）を純水製造装置へ回収再利用する場合、回収装置では有機物の低減が最も重要となる。
従来、低濃度に有機物を含有している有機物含有排水を水処理して回収再利用する場合、該有機物含有排水は、オゾン酸化装置や紫外線酸化装置によるオゾン処理や紫外線酸化処理などの酸化処理、或いは充填材を用いて生物処理された後、精密ろ過膜（ＭＦ膜）処理や逆浸透装置（ＲＯ装置）による逆浸透膜（ＲＯ膜）処理を行った上で、純水製造装置へと回収されている。また、生物処理とオゾン酸化処理と紫外線酸化装置を組み合わせた水処理方法も提案されている。(特許文献１参照)
【０００３】
ところが、高濃度の有機物を含有した有機物含有排水を上記の方法で水処理した場合は、酸化装置のメンテナンスの増大や、ＭＦ膜やＲＯ膜の交換頻度の増大にともなって、ランニングコストが高くなるといった欠点がある。具体的には、有機炭素（ＴＯＣ）濃度が１０ｍｇ／Ｌ以上を示す高濃度の有機物含有排水において、生物処理を行わずにオゾン処理のみで水処理しようとした場合、通常、オゾン添加量がＴＯＣ濃度の１０倍以上、すなわち、オゾン添加量が１００ｍｇ／Ｌ以上必要であり、オゾン発生装置のコスト及びランニングコストが高くなる。
これらのことから、ＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ以上の高濃度の有機物含有排水を回収しようとした場合、コスト的に有効な生物処理を利用することが多い。一般に、高濃度の有機物含有排水は、まず、生物処理され、得られた生物処理水をＭＦ膜または砂ろ過でろ過処理した後に、さらに、ＲＯ膜によって逆浸透膜処理してから、純水製造装置へと回収されている。
【特許文献１】特開平７−３２８６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記有機物含有排水を生物処理した場合、生物処理水中には生物処理由来の生物代謝産物が生じる。これら生物処理由来の生物代謝産物は、高分子状で処理水に存在しているため、孔径が大きなろ過処理では除去されずに後段のＲＯ装置に到達し、ＲＯ膜の閉塞を引き起こし、ＲＯ膜の透過水流束（ｆｌｕｘ）を低下させるという問題があった。また、生物処理の後段にＭＦ膜を設置した場合も、同様な膜閉塞を引き起こし、ＭＦ膜の透過水流束の低下が生じる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持し、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能な有機物含有排水の水処理方法を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
[１] 生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
[２] 生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水をオゾン処理した後、得られたオゾン処理水を還元処理してから逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
[３] 前記ろ過処理が砂ろ過及び／または活性炭ろ過であることを特徴とする[１]または［２］に記載の有機物含有排水の水処理方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の有機物含有排水の水処理方法によると、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持し、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
高濃度に有機物を含有した排水を水処理するにあたって、本発明の有機物含有排水の水処理方法では、まず、有機物含有排水を生物処理し、次いで、得られた生物処理水をろ過処理し、得られたろ過処理水をオゾン処理し、さらに、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水する工程を含む。また、オゾン分解を主目的として、オゾン処理前のアルカリ剤の添加、或いはオゾン処理後の還元処理が行われる。
【０００８】
まず、本発明の形態１であるオゾン処理前のアルカリ剤の添加を行う水処理方法について、図１のフロー図を用いて説明する。まず、有機物含有排水は、原水槽１から生物処理槽２に送水されて生物処理される。生物処理槽２で生物処理することにより得られた生物処理水は、生物処理水貯留槽３に貯留されてから、さらに、ろ過器４へと送水される。ここで生物処理水はろ過処理（除濁処理）され、得られたろ過処理水はろ過処理水貯留槽５に貯留される。次いで、ろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン反応槽７に送水され、ここでオゾン処理が行われる。得られたオゾン処理水はＲＯ装置８へと送水され、ここで逆浸透膜処理されることにより、逆浸透膜処理水（ＲＯ透過水）を得ることができる。なお、ＲＯ透過水は、その後、例えば、回収水として純水製造装置へ送水され、再利用される。
【０００９】
生物処理は、微生物による有機物の分解能力を利用した有機物の処理方法である。水処理方法の初期工程で生物処理を行うことにより、高濃度の有機物含有排水の有機物を効率よく分解し、後段への有機物の流出を最小限に抑えることができる。
なお、生物処理を行う生物処理槽２内には、充填材を充填し、これに微生物を保持させることが好ましい。微生物を充填材に保持させることにより、微生物を安定的に生物処理槽２内に留めておくことができる。これにより、安定した生物処理が可能となり、かつ、後段への微生物の過剰流出による後段への負荷増大を避けることができる。
充填材としては特に限定されるものではなく、公知の充填材を適用することができる。例えば、繊維状活性炭を用いた固定床用生物担体、連続発泡構造の樹脂、或いは多孔質セラミックに微生物吸着剤をコーティングした流動床用担体を用いることができる。
【００１０】
生物処理槽２より送水される生物処理水は、次いで、生物処理水貯留槽３に送水され、さらに、ろ過器４に送水されるが、この生物処理水には、生物処理槽２に生息する微生物が一部混入するため、生物処理水貯留槽３に殺菌剤を添加して、生物処理水を殺菌処理するのが好ましい。
殺菌剤としては公知の殺菌剤を用いることができるが、即効性のある次亜塩素酸ナトリウムが好ましく用いられる。次亜塩素酸ナトリウムの添加量は、生物処理水中の残留塩素濃度が０.５ｍｇ／Ｌ以上になるように添加することが好ましい。残留塩素濃度を０.５ｍｇ／Ｌ以上に維持した生物処理水をろ過することで、ろ過器４における微生物の増殖によるスライム発生を効果的に抑制することができる。
【００１１】
ろ過処理の方法としては特に限定されることはないが、ろ過材に砂を用いた砂ろ過や、活性炭を用いた活性炭ろ過が好ましく用いられる。さらに、これらろ過処理の方法には、逆洗浄機構が備わっていることが好ましい。砂ろ過や活性炭ろ過は、他のろ過方法である限外ろ過膜（ＵＦ膜）やＭＦ膜に比べ、維持コストが安価で、通水させる際の処理水に加える圧力が小さくて済むため、取り扱いが容易である。
【００１２】
ろ過処理水はアルカリ剤の添加が行われた後にオゾン反応槽７に送水される。アルカリ剤の添加は、オゾン処理によって添加されるオゾンを、ＲＯ装置８に到達する前に分解することを主目的として行われる。オゾン処理後に残留したオゾンが、オゾン処理水中に含まれたまま後段のＲＯ装置８に到達すると、ＲＯ膜を傷めて劣化を促進する。そこで、オゾン反応槽７に送水されるろ過処理水に対してアルカリ剤を添加し、予めオゾンが分解され易いアルカリ性にしておくことで、オゾン処理水中の残留オゾンを速やかに分解する。これにより、後段のＲＯ装置８まで残留オゾンが到達することはなく、残留オゾンによるＲＯ膜の劣化を防止することができる。
アルカリ剤の添加によるろ過処理水のｐＨは９．５〜１１が好ましく、この範囲内になるようにアルカリ剤を添加する。ｐＨ９．５を下回る場合、残留オゾンが分解されにくい。ｐＨ１１を超える場合、アルカリ性が強すぎるため、後段のＲＯ装置８のイオン負荷が大きくなり、また、当然のことながらアルカリ剤のコストが高くなる。
なお、添加されるアルカリ剤としては、水酸化ナトリウムなどの公知のアルカリ剤を用いることができる。
【００１３】
アルカリ剤の添加の目的としては、他に、後段のＲＯ装置８におけるＲＯ膜へのスライム発生の防止が挙げられる。
生物処理で分解されなかった難生分解性の有機物がろ過処理水中に存在する場合、この有機物がオゾン処理によって易生分解性の有機物となる。また、オゾン処理水中には、オゾン処理によって殺菌されても、ごく僅かながら微生物が残存していることがある。この残存する微生物がＲＯ装置８にまで到達し、易生分解性の有機物を栄養分として増殖することで、ＲＯ装置８内にスライム発生を引き起こす。これを回避するには、処理水のｐＨを、微生物が増殖しにくい９．５以上に保つのが有効であり、これにより処理水自体に静菌性を付与させることができ、ＲＯ装置８内でのスライム発生を防止できる。
【００１４】
オゾン反応槽７に送水されたろ過処理水は、ろ過処理水中の生物代謝産物を部分分解するためにオゾン処理される。
オゾン反応槽７へのオゾンの添加方法としては特に限定されることはなく、公知の添加方法を適用することができる。例えば、散気管を通じて水中にオゾンガスを吹き込む散気方式、スタティックミキサーを用いてオゾンガスを溶解させる方法、エゼクタを用いてオゾンガスを吸引する方法などが挙げられる。また、オゾン処理方法としては、バッチ処理、連続処理どちらでもよい。
なお、本発明におけるオゾン処理の目的は、生物処理において微生物が放出した高分子状の生物代謝産物を部分分解させることであり、生物処理によって分解されなかった難分解性の有機物を分解することが目的ではない。
【００１５】
ＲＯ膜の閉塞を引き起こす主要因は高分子状の生物代謝産物であるが、これをオゾン処理によって分解することにより、高分子状の生物代謝産物によるＲＯ膜の閉塞を防止できる。以ってＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持でき、高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
なお、高分子状の生物代謝産物は部分分解するだけで、ＲＯ膜を閉塞させることのない物質にまで変換可能であり、炭酸イオンまで完全分解しなくともよい。従って、オゾン添加量は少量で済み、オゾン添加のコストを低く抑えることができる。
【００１６】
今回、本発明者らは、高分子状の生物代謝産物のＴＯＣ量に対して、質量換算で２倍量程度のオゾンを添加することで、ろ過処理水中に含まれる高分子状の生物代謝産物を部分分解できることを見出した。なお、ろ過処理水中における高分子状の生物代謝産物の量の目安としては、生物処理前の有機物含有排水のＴＯＣ濃度の約１０％程度と換算すればよい。例えば、生物処理前の有機物含有排水のＴＯＣ濃度が２００ｍｇ／Ｌ程度の場合は、高分子状の生物代謝産物成分のＴＯＣは１０ｍｇ／Ｌ程度となり、従って、オゾン添加量は２０ｍｇ／Ｌ程度でよい。
【００１７】
オゾン反応槽７でオゾン処理されたオゾン処理水は、次いで、ＲＯ装置８に送水され、ここでＲＯ膜による逆浸透膜処理が行われる。得られたＲＯ透過水は、例えば、回収水として純水製造装置へ送水され回収される。
ＲＯ膜の材質としては特に限定されず、酢酸セルロースや芳香族ポリアミドなどからなる公知のＲＯ膜を用いることができる。また、膜の構造としては特に限定されず、例えば、中空糸膜、スパイラル膜、チューブラー膜など公知の構造を用いることができる。
【００１８】
また、本発明の水処理方法では、形態１の工程の発展形態として、例えば、図２に示す形態２のフロー図のように、ろ過処理水貯留槽５とオゾン反応槽７との間に活性炭塔６を設けてもよい。ろ過処理水中には残留塩素が含まれているが、これを活性炭塔６内の活性炭で還元処理して除去することにより、後段のオゾン処理におけるオゾンと残留塩素との反応によるオゾンの消費を防止できる。これにより、オゾンを生物代謝産物の分解に効率よく作用させることができる。
【００１９】
残留塩素の除去は、活性炭の他にも、例えば、亜硫酸ソーダや重亜硫酸ソーダといった還元剤をろ過処理水に添加することで行ってもよい。なお、図示しないが、還元剤の添加は、図１におけるろ過処理水貯留槽５で行ってもよく、オゾン反応槽７に送水される送水配管の途中で添加してもよい。また、還元剤の添加量は、残留オゾンを除去できる量であればよく、残留塩素濃度によって適宜調整される。
なお、ここで行う還元処理とは、残留塩素の除去を目的として好ましく行われるものであり、後述の形態３におけるオゾン除去を目的とした還元処理とは、還元処理の対象に相違がある。また、形態２である図２のフロー図の各工程について、図１のフロー図と機能的に同様の工程に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２０】
生物処理水中に含まれる生物代謝産物に低分子状のものが含まれる場合には、これらオゾン添加により部分的に分解されて生成した易分解性の有機物が、ＲＯ装置８内にスライムを発生させることがある。従って、このような場合には、オゾンとともにアルカリ剤を添加し、易分解性の有機物を分解することによって、スライムの発生を防止する必要がある。一方、生物処理水中に含まれる生物代謝産物が全て高分子状のものである場合には、本発明のような少量のオゾン添加程度で易分解性の有機物にまで分解されることはないので、オゾン分解とともにアルカリ剤を添加しなくても、ＲＯ装置８内にスライムを発生させることはない。ただし、アルカリ剤を添加せずにオゾン処理を行うと、オゾン処理水はおよそｐＨ６〜８を示すため、オゾン処理水中のオゾンは分解されずに残留してＲＯ膜を劣化させてしまう。これを回避するためには、図３に示した本発明の形態３のように、アルカリ剤添加の代わりに、活性炭の還元処理によって残留オゾンの分解を行う方法が挙げられる。具体的には、オゾン反応槽７とＲＯ装置８との間に活性炭塔６を設けて、ここにオゾン処理水を通水することで、残留オゾンを分解できる。また、還元処理の方法としては活性炭による方法以外にも、例えば、オゾン反応槽７から送水されるオゾン処理水に還元剤の添加（不図示）を添加することによってもよい。なお、還元処理の方法としては、前述した形態２における残留塩素の分解を目的とした還元処理と同様の方法を用いることができる。
【００２１】
本発明の形態３は、原水槽１からろ過処理水貯留槽５までの工程を、図１に示した形態１と同様の工程としているが、ろ過処理水貯留槽５より後段を、次のような工程に変更している。すなわち、ろ過処理水貯留槽５からのろ過処理水は、アルカリ剤を添加せずにオゾン反応槽７に送水され、オゾン処理によってろ過処理水中の高分子状の生物代謝産物を部分分解する。得られたオゾン処理水は、活性炭塔６への通水、或いは還元剤の添加（不図示）によって還元処理され、ろ過処理水中の残留オゾンを分解する。還元処理により得られた還元処理水は、ＲＯ装置８に送水されて逆浸透膜処理される。このようにして得られたＲＯ透過水は、他の形態と同じく、例えば、純水製造装置へ送水されるなどして回収される。
【００２２】
本発明によると、生物処理由来の高分子状の生物代謝産物を少量のオゾンで部分分解することで、ＲＯ膜の閉塞を防止し、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持できる。以って、高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。また、オゾン添加が少量で済むことでオゾン添加のコストを低減することができる。さらに、本発明の有機物含有排水からの水処理方法は、ＲＯ膜の閉塞防止の他にも、例えば、ＭＦ膜の閉塞防止にも適用できる。
【実施例】
【００２３】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。なお、これらの実施例によって、本発明が限定されることはない。実施例における測定方法を次に示す。
（透過水流束の換算）
ＲＯ膜の透過水流束は、ＲＯ透過水の流量[ｍ３／ｄ]をＲＯ膜面積[ｍ２]で割り、さらに、操作圧力〔（共給水圧力＋濃縮水圧力）／２−透過水圧力〕[ＭＰａ]で割った値を下記条件に換算した。
ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃
（実施例１）
【００２４】
本発明の形態２である図２の工程に従って、高濃度の有機物含有排水を処理した。なお、高濃度の有機物含有排水としては、イソプロピルアルコール(ＩＰＡ)とテトラヒドロアンモニウム水溶液(ＴＭＡＨ)を同程度含み、ＴＯＣ量が５０ｍｇ／Ｌ程度の有機物含有排水を用いた。
実施例１の水処理として、まず、原水槽１から高濃度の有機物含有排水を生物処理槽２に送水し、生物処理を行った。なお、生物処理槽２には、繊維状活性炭のフェルト布状成形体を生物担体として充填した。生物処理槽２内における有機物含有排水の滞留時間を０．８ｈになるように通水し、槽上部からオーバーフローで処理水を得た。また、生物処理槽２内では、槽下部から通水速度（ＬＶ）１０ｍ／ｈにて曝気を行った。次いで、得られた生物処理水を生物処理水貯留槽３に貯留し、ここで殺菌剤である次亜塩素酸ナトリウムを２．０ｍｇ／Ｌ添加し、殺菌処理を行った。さらに、殺菌された生物処理水を砂ろ過によるろ過器４に通水してろ過処理（除濁処理）を行った。なお、砂ろ過処理水からは、残留塩素が０．５〜１．０ｍｇ／Ｌ検出された。砂ろ過されたろ過処理水を、次いで、ろ過処理水貯留槽５に貯留した後、さらに、活性炭塔６に送水し、活性炭による残留塩素の除去を行った。なお、活性炭塔６では、空間速度（ＳＶ）１０／ｈにて塔上部から下向流で通水して活性炭処理水を得た。また、ろ過器４から得られたろ過処理水には、残留塩素が０．０５〜０．１ｍｇ／Ｌ検出されたが、活性炭塔６から得られた活性炭処理水では残留塩素が検出されなかった。
【００２５】
次いで、オゾン反応槽７に送水される配水管の途中から水酸化ナトリウムを添加し、ろ過処理水のｐＨ調整を行った。なお、オゾン処理槽７から送水されるオゾン処理水がｐＨ１０．０〜１０．５を示すように、水酸化ナトリウムの添加量を制御した。
次いで、水酸化ナトリウムが添加されたろ過処理水をオゾン反応槽７に送水し、オゾン処理による高分子状の生物代謝産物の部分分解を行った。なお、オゾン処理では、高さ４ｍのオゾン反応槽７に槽上部から下向流で通水し、反応時間６分でオゾン反応槽７の下部からオゾン処理水を得た。なお、オゾン反応槽７へのオゾン添加は、オゾン発生装置（不図示）で発生させたオゾンを、オゾン反応槽７の下部に設置した散気管から供給し、ろ過処理水と混合させることにより行われた。なお、オゾン添加量は１０．０ｍｇ／Ｌとした。
さらに、オゾン処理により得られたオゾン処理水をＲＯ装置８に送水し、逆浸透膜処理を回収率９０％で行い、ＲＯ膜の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。なお、ＲＯ膜には架橋全芳香族ポリアミド低圧ＲＯ膜（型番：ＬＦ１０、日東電工社製）を用いた。
【００２６】
（実施例２）
図３で示す本発明の形態３に従って、高濃度の有機物含有排水の処理を行った。すなわち、ろ過処理水へのアルカリ剤の添加を行わずにオゾン処理を行い、活性炭塔６をオゾン反応槽７の後段に設けて、オゾン処理の後に残存オゾンの除去を行った以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水の水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
【００２７】
（比較例１）
実施例１におけるオゾン反応槽７のオゾン処理を行わず、活性炭塔６からＲＯ装置８に直接送水した以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水の水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
【００２８】
（比較例２）
図４で示す形態に従って、高濃度の有機物含有排水の処理を行った。すなわち、実施例１の生物処理槽２とオゾン反応槽７を入れ替え、アルカリ剤の添加を原水槽１とオゾン反応槽７との間に行い、さらに、オゾン反応槽７の後段にオゾン処理水を貯留するオゾン処理水貯留槽９を設け、オゾン処理水貯留槽９内をｐＨ７．０となるように塩酸を添加した以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水からの水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
なお、比較例２のろ過器４から得られたろ過処理水からは、残留塩素が０．０５〜１．０ｍｇ／Ｌ検出されたが、活性炭塔６から得られた活性炭処理水からは残留塩素が検出されなかった。
また、図４のフロー図の各工程について、図１のフロー図と機能的に同様の工程に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２９】
【表１】
【００３０】
（評価）
オゾン処理を行わない比較例１では、１ヶ月で０．４１ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の３５．８％)まで低下し、３ヵ月後には０．３０ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の２６．２％)まで低下した。
実施例１の生物処理とオゾン処理の順番を逆にした比較例２では、１ヶ月で０．４５ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の３７．５％)まで低下し、３ヵ月後には０．２９ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の２４．２％)まで低下し、比較例１と同程度の透過水流束（ｆｌｕｘ）の低下が生じた。
これに対して、実施例１、２では、３ヶ月通水した時点においても、ＲＯの透過水流束は初期透過水流束の９０％を維持した。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の有機物含有排水の水処理方法を用いれば、生物処理水のろ過処理水に含まれる高分子状の生物代謝産物を、少量のオゾン添加によって部分分解することによって、ＲＯ膜を閉塞させない物質にまで変化させることが可能である。これにより、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持でき、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の形態１である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図２】本発明の形態２である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図３】本発明の形態３である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図４】比較例２の形態である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【符号の説明】
【００３３】
１ 原水槽
２ 生物処理槽
３ 生物処理水貯留槽
４ ろ過器
５ ろ過処理水貯留槽
６ 活性炭塔
７ オゾン反応槽
８ ＲＯ装置
９ オゾン処理水貯留槽
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物含有排水の水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場や液晶工場では、洗浄液、現像液、剥離液などに有機系薬品が用いられており、これらの工場からの排水中には有機物が含まれている。これら有機物を含有した排水（以下、有機物含有排水と称する。）を純水製造装置へ回収再利用する場合、回収装置では有機物の低減が最も重要となる。
従来、低濃度に有機物を含有している有機物含有排水を水処理して回収再利用する場合、該有機物含有排水は、オゾン酸化装置や紫外線酸化装置によるオゾン処理や紫外線酸化処理などの酸化処理、或いは充填材を用いて生物処理された後、精密ろ過膜（ＭＦ膜）処理や逆浸透装置（ＲＯ装置）による逆浸透膜（ＲＯ膜）処理を行った上で、純水製造装置へと回収されている。また、生物処理とオゾン酸化処理と紫外線酸化装置を組み合わせた水処理方法も提案されている。(特許文献１参照)
【０００３】
ところが、高濃度の有機物を含有した有機物含有排水を上記の方法で水処理した場合は、酸化装置のメンテナンスの増大や、ＭＦ膜やＲＯ膜の交換頻度の増大にともなって、ランニングコストが高くなるといった欠点がある。具体的には、有機炭素（ＴＯＣ）濃度が１０ｍｇ／Ｌ以上を示す高濃度の有機物含有排水において、生物処理を行わずにオゾン処理のみで水処理しようとした場合、通常、オゾン添加量がＴＯＣ濃度の１０倍以上、すなわち、オゾン添加量が１００ｍｇ／Ｌ以上必要であり、オゾン発生装置のコスト及びランニングコストが高くなる。
これらのことから、ＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ以上の高濃度の有機物含有排水を回収しようとした場合、コスト的に有効な生物処理を利用することが多い。一般に、高濃度の有機物含有排水は、まず、生物処理され、得られた生物処理水をＭＦ膜または砂ろ過でろ過処理した後に、さらに、ＲＯ膜によって逆浸透膜処理してから、純水製造装置へと回収されている。
【特許文献１】特開平７−３２８６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記有機物含有排水を生物処理した場合、生物処理水中には生物処理由来の生物代謝産物が生じる。これら生物処理由来の生物代謝産物は、高分子状で処理水に存在しているため、孔径が大きなろ過処理では除去されずに後段のＲＯ装置に到達し、ＲＯ膜の閉塞を引き起こし、ＲＯ膜の透過水流束（ｆｌｕｘ）を低下させるという問題があった。また、生物処理の後段にＭＦ膜を設置した場合も、同様な膜閉塞を引き起こし、ＭＦ膜の透過水流束の低下が生じる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持し、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能な有機物含有排水の水処理方法を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
[１] 生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
[２] 生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水をオゾン処理した後、得られたオゾン処理水を還元処理してから逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
[３] 前記ろ過処理が砂ろ過及び／または活性炭ろ過であることを特徴とする[１]または［２］に記載の有機物含有排水の水処理方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の有機物含有排水の水処理方法によると、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持し、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
高濃度に有機物を含有した排水を水処理するにあたって、本発明の有機物含有排水の水処理方法では、まず、有機物含有排水を生物処理し、次いで、得られた生物処理水をろ過処理し、得られたろ過処理水をオゾン処理し、さらに、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水する工程を含む。また、オゾン分解を主目的として、オゾン処理前のアルカリ剤の添加、或いはオゾン処理後の還元処理が行われる。
【０００８】
まず、本発明の形態１であるオゾン処理前のアルカリ剤の添加を行う水処理方法について、図１のフロー図を用いて説明する。まず、有機物含有排水は、原水槽１から生物処理槽２に送水されて生物処理される。生物処理槽２で生物処理することにより得られた生物処理水は、生物処理水貯留槽３に貯留されてから、さらに、ろ過器４へと送水される。ここで生物処理水はろ過処理（除濁処理）され、得られたろ過処理水はろ過処理水貯留槽５に貯留される。次いで、ろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン反応槽７に送水され、ここでオゾン処理が行われる。得られたオゾン処理水はＲＯ装置８へと送水され、ここで逆浸透膜処理されることにより、逆浸透膜処理水（ＲＯ透過水）を得ることができる。なお、ＲＯ透過水は、その後、例えば、回収水として純水製造装置へ送水され、再利用される。
【０００９】
生物処理は、微生物による有機物の分解能力を利用した有機物の処理方法である。水処理方法の初期工程で生物処理を行うことにより、高濃度の有機物含有排水の有機物を効率よく分解し、後段への有機物の流出を最小限に抑えることができる。
なお、生物処理を行う生物処理槽２内には、充填材を充填し、これに微生物を保持させることが好ましい。微生物を充填材に保持させることにより、微生物を安定的に生物処理槽２内に留めておくことができる。これにより、安定した生物処理が可能となり、かつ、後段への微生物の過剰流出による後段への負荷増大を避けることができる。
充填材としては特に限定されるものではなく、公知の充填材を適用することができる。例えば、繊維状活性炭を用いた固定床用生物担体、連続発泡構造の樹脂、或いは多孔質セラミックに微生物吸着剤をコーティングした流動床用担体を用いることができる。
【００１０】
生物処理槽２より送水される生物処理水は、次いで、生物処理水貯留槽３に送水され、さらに、ろ過器４に送水されるが、この生物処理水には、生物処理槽２に生息する微生物が一部混入するため、生物処理水貯留槽３に殺菌剤を添加して、生物処理水を殺菌処理するのが好ましい。
殺菌剤としては公知の殺菌剤を用いることができるが、即効性のある次亜塩素酸ナトリウムが好ましく用いられる。次亜塩素酸ナトリウムの添加量は、生物処理水中の残留塩素濃度が０.５ｍｇ／Ｌ以上になるように添加することが好ましい。残留塩素濃度を０.５ｍｇ／Ｌ以上に維持した生物処理水をろ過することで、ろ過器４における微生物の増殖によるスライム発生を効果的に抑制することができる。
【００１１】
ろ過処理の方法としては特に限定されることはないが、ろ過材に砂を用いた砂ろ過や、活性炭を用いた活性炭ろ過が好ましく用いられる。さらに、これらろ過処理の方法には、逆洗浄機構が備わっていることが好ましい。砂ろ過や活性炭ろ過は、他のろ過方法である限外ろ過膜（ＵＦ膜）やＭＦ膜に比べ、維持コストが安価で、通水させる際の処理水に加える圧力が小さくて済むため、取り扱いが容易である。
【００１２】
ろ過処理水はアルカリ剤の添加が行われた後にオゾン反応槽７に送水される。アルカリ剤の添加は、オゾン処理によって添加されるオゾンを、ＲＯ装置８に到達する前に分解することを主目的として行われる。オゾン処理後に残留したオゾンが、オゾン処理水中に含まれたまま後段のＲＯ装置８に到達すると、ＲＯ膜を傷めて劣化を促進する。そこで、オゾン反応槽７に送水されるろ過処理水に対してアルカリ剤を添加し、予めオゾンが分解され易いアルカリ性にしておくことで、オゾン処理水中の残留オゾンを速やかに分解する。これにより、後段のＲＯ装置８まで残留オゾンが到達することはなく、残留オゾンによるＲＯ膜の劣化を防止することができる。
アルカリ剤の添加によるろ過処理水のｐＨは９．５〜１１が好ましく、この範囲内になるようにアルカリ剤を添加する。ｐＨ９．５を下回る場合、残留オゾンが分解されにくい。ｐＨ１１を超える場合、アルカリ性が強すぎるため、後段のＲＯ装置８のイオン負荷が大きくなり、また、当然のことながらアルカリ剤のコストが高くなる。
なお、添加されるアルカリ剤としては、水酸化ナトリウムなどの公知のアルカリ剤を用いることができる。
【００１３】
アルカリ剤の添加の目的としては、他に、後段のＲＯ装置８におけるＲＯ膜へのスライム発生の防止が挙げられる。
生物処理で分解されなかった難生分解性の有機物がろ過処理水中に存在する場合、この有機物がオゾン処理によって易生分解性の有機物となる。また、オゾン処理水中には、オゾン処理によって殺菌されても、ごく僅かながら微生物が残存していることがある。この残存する微生物がＲＯ装置８にまで到達し、易生分解性の有機物を栄養分として増殖することで、ＲＯ装置８内にスライム発生を引き起こす。これを回避するには、処理水のｐＨを、微生物が増殖しにくい９．５以上に保つのが有効であり、これにより処理水自体に静菌性を付与させることができ、ＲＯ装置８内でのスライム発生を防止できる。
【００１４】
オゾン反応槽７に送水されたろ過処理水は、ろ過処理水中の生物代謝産物を部分分解するためにオゾン処理される。
オゾン反応槽７へのオゾンの添加方法としては特に限定されることはなく、公知の添加方法を適用することができる。例えば、散気管を通じて水中にオゾンガスを吹き込む散気方式、スタティックミキサーを用いてオゾンガスを溶解させる方法、エゼクタを用いてオゾンガスを吸引する方法などが挙げられる。また、オゾン処理方法としては、バッチ処理、連続処理どちらでもよい。
なお、本発明におけるオゾン処理の目的は、生物処理において微生物が放出した高分子状の生物代謝産物を部分分解させることであり、生物処理によって分解されなかった難分解性の有機物を分解することが目的ではない。
【００１５】
ＲＯ膜の閉塞を引き起こす主要因は高分子状の生物代謝産物であるが、これをオゾン処理によって分解することにより、高分子状の生物代謝産物によるＲＯ膜の閉塞を防止できる。以ってＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持でき、高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
なお、高分子状の生物代謝産物は部分分解するだけで、ＲＯ膜を閉塞させることのない物質にまで変換可能であり、炭酸イオンまで完全分解しなくともよい。従って、オゾン添加量は少量で済み、オゾン添加のコストを低く抑えることができる。
【００１６】
今回、本発明者らは、高分子状の生物代謝産物のＴＯＣ量に対して、質量換算で２倍量程度のオゾンを添加することで、ろ過処理水中に含まれる高分子状の生物代謝産物を部分分解できることを見出した。なお、ろ過処理水中における高分子状の生物代謝産物の量の目安としては、生物処理前の有機物含有排水のＴＯＣ濃度の約１０％程度と換算すればよい。例えば、生物処理前の有機物含有排水のＴＯＣ濃度が２００ｍｇ／Ｌ程度の場合は、高分子状の生物代謝産物成分のＴＯＣは１０ｍｇ／Ｌ程度となり、従って、オゾン添加量は２０ｍｇ／Ｌ程度でよい。
【００１７】
オゾン反応槽７でオゾン処理されたオゾン処理水は、次いで、ＲＯ装置８に送水され、ここでＲＯ膜による逆浸透膜処理が行われる。得られたＲＯ透過水は、例えば、回収水として純水製造装置へ送水され回収される。
ＲＯ膜の材質としては特に限定されず、酢酸セルロースや芳香族ポリアミドなどからなる公知のＲＯ膜を用いることができる。また、膜の構造としては特に限定されず、例えば、中空糸膜、スパイラル膜、チューブラー膜など公知の構造を用いることができる。
【００１８】
また、本発明の水処理方法では、形態１の工程の発展形態として、例えば、図２に示す形態２のフロー図のように、ろ過処理水貯留槽５とオゾン反応槽７との間に活性炭塔６を設けてもよい。ろ過処理水中には残留塩素が含まれているが、これを活性炭塔６内の活性炭で還元処理して除去することにより、後段のオゾン処理におけるオゾンと残留塩素との反応によるオゾンの消費を防止できる。これにより、オゾンを生物代謝産物の分解に効率よく作用させることができる。
【００１９】
残留塩素の除去は、活性炭の他にも、例えば、亜硫酸ソーダや重亜硫酸ソーダといった還元剤をろ過処理水に添加することで行ってもよい。なお、図示しないが、還元剤の添加は、図１におけるろ過処理水貯留槽５で行ってもよく、オゾン反応槽７に送水される送水配管の途中で添加してもよい。また、還元剤の添加量は、残留オゾンを除去できる量であればよく、残留塩素濃度によって適宜調整される。
なお、ここで行う還元処理とは、残留塩素の除去を目的として好ましく行われるものであり、後述の形態３におけるオゾン除去を目的とした還元処理とは、還元処理の対象に相違がある。また、形態２である図２のフロー図の各工程について、図１のフロー図と機能的に同様の工程に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２０】
生物処理水中に含まれる生物代謝産物に低分子状のものが含まれる場合には、これらオゾン添加により部分的に分解されて生成した易分解性の有機物が、ＲＯ装置８内にスライムを発生させることがある。従って、このような場合には、オゾンとともにアルカリ剤を添加し、易分解性の有機物を分解することによって、スライムの発生を防止する必要がある。一方、生物処理水中に含まれる生物代謝産物が全て高分子状のものである場合には、本発明のような少量のオゾン添加程度で易分解性の有機物にまで分解されることはないので、オゾン分解とともにアルカリ剤を添加しなくても、ＲＯ装置８内にスライムを発生させることはない。ただし、アルカリ剤を添加せずにオゾン処理を行うと、オゾン処理水はおよそｐＨ６〜８を示すため、オゾン処理水中のオゾンは分解されずに残留してＲＯ膜を劣化させてしまう。これを回避するためには、図３に示した本発明の形態３のように、アルカリ剤添加の代わりに、活性炭の還元処理によって残留オゾンの分解を行う方法が挙げられる。具体的には、オゾン反応槽７とＲＯ装置８との間に活性炭塔６を設けて、ここにオゾン処理水を通水することで、残留オゾンを分解できる。また、還元処理の方法としては活性炭による方法以外にも、例えば、オゾン反応槽７から送水されるオゾン処理水に還元剤の添加（不図示）を添加することによってもよい。なお、還元処理の方法としては、前述した形態２における残留塩素の分解を目的とした還元処理と同様の方法を用いることができる。
【００２１】
本発明の形態３は、原水槽１からろ過処理水貯留槽５までの工程を、図１に示した形態１と同様の工程としているが、ろ過処理水貯留槽５より後段を、次のような工程に変更している。すなわち、ろ過処理水貯留槽５からのろ過処理水は、アルカリ剤を添加せずにオゾン反応槽７に送水され、オゾン処理によってろ過処理水中の高分子状の生物代謝産物を部分分解する。得られたオゾン処理水は、活性炭塔６への通水、或いは還元剤の添加（不図示）によって還元処理され、ろ過処理水中の残留オゾンを分解する。還元処理により得られた還元処理水は、ＲＯ装置８に送水されて逆浸透膜処理される。このようにして得られたＲＯ透過水は、他の形態と同じく、例えば、純水製造装置へ送水されるなどして回収される。
【００２２】
本発明によると、生物処理由来の高分子状の生物代謝産物を少量のオゾンで部分分解することで、ＲＯ膜の閉塞を防止し、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持できる。以って、高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。また、オゾン添加が少量で済むことでオゾン添加のコストを低減することができる。さらに、本発明の有機物含有排水からの水処理方法は、ＲＯ膜の閉塞防止の他にも、例えば、ＭＦ膜の閉塞防止にも適用できる。
【実施例】
【００２３】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。なお、これらの実施例によって、本発明が限定されることはない。実施例における測定方法を次に示す。
（透過水流束の換算）
ＲＯ膜の透過水流束は、ＲＯ透過水の流量[ｍ３／ｄ]をＲＯ膜面積[ｍ２]で割り、さらに、操作圧力〔（共給水圧力＋濃縮水圧力）／２−透過水圧力〕[ＭＰａ]で割った値を下記条件に換算した。
ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃
（実施例１）
【００２４】
本発明の形態２である図２の工程に従って、高濃度の有機物含有排水を処理した。なお、高濃度の有機物含有排水としては、イソプロピルアルコール(ＩＰＡ)とテトラヒドロアンモニウム水溶液(ＴＭＡＨ)を同程度含み、ＴＯＣ量が５０ｍｇ／Ｌ程度の有機物含有排水を用いた。
実施例１の水処理として、まず、原水槽１から高濃度の有機物含有排水を生物処理槽２に送水し、生物処理を行った。なお、生物処理槽２には、繊維状活性炭のフェルト布状成形体を生物担体として充填した。生物処理槽２内における有機物含有排水の滞留時間を０．８ｈになるように通水し、槽上部からオーバーフローで処理水を得た。また、生物処理槽２内では、槽下部から通水速度（ＬＶ）１０ｍ／ｈにて曝気を行った。次いで、得られた生物処理水を生物処理水貯留槽３に貯留し、ここで殺菌剤である次亜塩素酸ナトリウムを２．０ｍｇ／Ｌ添加し、殺菌処理を行った。さらに、殺菌された生物処理水を砂ろ過によるろ過器４に通水してろ過処理（除濁処理）を行った。なお、砂ろ過処理水からは、残留塩素が０．５〜１．０ｍｇ／Ｌ検出された。砂ろ過されたろ過処理水を、次いで、ろ過処理水貯留槽５に貯留した後、さらに、活性炭塔６に送水し、活性炭による残留塩素の除去を行った。なお、活性炭塔６では、空間速度（ＳＶ）１０／ｈにて塔上部から下向流で通水して活性炭処理水を得た。また、ろ過器４から得られたろ過処理水には、残留塩素が０．０５〜０．１ｍｇ／Ｌ検出されたが、活性炭塔６から得られた活性炭処理水では残留塩素が検出されなかった。
【００２５】
次いで、オゾン反応槽７に送水される配水管の途中から水酸化ナトリウムを添加し、ろ過処理水のｐＨ調整を行った。なお、オゾン処理槽７から送水されるオゾン処理水がｐＨ１０．０〜１０．５を示すように、水酸化ナトリウムの添加量を制御した。
次いで、水酸化ナトリウムが添加されたろ過処理水をオゾン反応槽７に送水し、オゾン処理による高分子状の生物代謝産物の部分分解を行った。なお、オゾン処理では、高さ４ｍのオゾン反応槽７に槽上部から下向流で通水し、反応時間６分でオゾン反応槽７の下部からオゾン処理水を得た。なお、オゾン反応槽７へのオゾン添加は、オゾン発生装置（不図示）で発生させたオゾンを、オゾン反応槽７の下部に設置した散気管から供給し、ろ過処理水と混合させることにより行われた。なお、オゾン添加量は１０．０ｍｇ／Ｌとした。
さらに、オゾン処理により得られたオゾン処理水をＲＯ装置８に送水し、逆浸透膜処理を回収率９０％で行い、ＲＯ膜の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。なお、ＲＯ膜には架橋全芳香族ポリアミド低圧ＲＯ膜（型番：ＬＦ１０、日東電工社製）を用いた。
【００２６】
（実施例２）
図３で示す本発明の形態３に従って、高濃度の有機物含有排水の処理を行った。すなわち、ろ過処理水へのアルカリ剤の添加を行わずにオゾン処理を行い、活性炭塔６をオゾン反応槽７の後段に設けて、オゾン処理の後に残存オゾンの除去を行った以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水の水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
【００２７】
（比較例１）
実施例１におけるオゾン反応槽７のオゾン処理を行わず、活性炭塔６からＲＯ装置８に直接送水した以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水の水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
【００２８】
（比較例２）
図４で示す形態に従って、高濃度の有機物含有排水の処理を行った。すなわち、実施例１の生物処理槽２とオゾン反応槽７を入れ替え、アルカリ剤の添加を原水槽１とオゾン反応槽７との間に行い、さらに、オゾン反応槽７の後段にオゾン処理水を貯留するオゾン処理水貯留槽９を設け、オゾン処理水貯留槽９内をｐＨ７．０となるように塩酸を添加した以外は、実施例１と同一条件で有機物含有排水からの水処理を行った。そして、最終工程であるＲＯ装置８によるＲＯ透過水の透過水流束を、運転初期、運転１ヵ月後、及び運転３ヵ月後の時点で測定した。結果を表１に示す。
なお、比較例２のろ過器４から得られたろ過処理水からは、残留塩素が０．０５〜１．０ｍｇ／Ｌ検出されたが、活性炭塔６から得られた活性炭処理水からは残留塩素が検出されなかった。
また、図４のフロー図の各工程について、図１のフロー図と機能的に同様の工程に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２９】
【表１】
【００３０】
（評価）
オゾン処理を行わない比較例１では、１ヶ月で０．４１ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の３５．８％)まで低下し、３ヵ月後には０．３０ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の２６．２％)まで低下した。
実施例１の生物処理とオゾン処理の順番を逆にした比較例２では、１ヶ月で０．４５ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の３７．５％)まで低下し、３ヵ月後には０．２９ ｍ／ｄ ａｔ １４．７ＭＰａ・２５℃(初期透過水流束の２４．２％)まで低下し、比較例１と同程度の透過水流束（ｆｌｕｘ）の低下が生じた。
これに対して、実施例１、２では、３ヶ月通水した時点においても、ＲＯの透過水流束は初期透過水流束の９０％を維持した。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の有機物含有排水の水処理方法を用いれば、生物処理水のろ過処理水に含まれる高分子状の生物代謝産物を、少量のオゾン添加によって部分分解することによって、ＲＯ膜を閉塞させない物質にまで変化させることが可能である。これにより、ＲＯ膜の透過水流束を長期的に維持でき、以って高濃度の有機物含有排水における長期的な水処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の形態１である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図２】本発明の形態２である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図３】本発明の形態３である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【図４】比較例２の形態である有機物含有排水の水処理の工程を示したフロー図。
【符号の説明】
【００３３】
１ 原水槽
２ 生物処理槽
３ 生物処理水貯留槽
４ ろ過器
５ ろ過処理水貯留槽
６ 活性炭塔
７ オゾン反応槽
８ ＲＯ装置
９ オゾン処理水貯留槽
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【請求項２】
生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水をオゾン処理し、得られたオゾン処理水を還元処理してから逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【請求項３】
前記ろ過処理が砂ろ過及び／または活性炭ろ過であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機物含有排水の水処理方法。
【請求項１】
生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水にアルカリ剤を添加してからオゾン処理し、得られたオゾン処理水を逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【請求項２】
生物処理によって有機物含有排水を処理し、得られた生物処理水をろ過処理したろ過処理水をオゾン処理し、得られたオゾン処理水を還元処理してから逆浸透膜に通水することを特徴とする有機物含有排水の水処理方法。
【請求項３】
前記ろ過処理が砂ろ過及び／または活性炭ろ過であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機物含有排水の水処理方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００９−５９０（Ｐ２００９−５９０Ａ）
【公開日】平成２１年１月８日（２００９．１．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１６１３０４（Ｐ２００７−１６１３０４）
【出願日】平成１９年６月１９日（２００７．６．１９）
【出願人】（０００００４４００）オルガノ株式会社 (606)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１月８日（２００９．１．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年６月１９日（２００７．６．１９）
【出願人】（０００００４４００）オルガノ株式会社 (606)
【Ｆターム（参考）】
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