樹脂封止装置
【課題】エアシリンダを用いることなく、安定した搬送動作を行うことが可能な樹脂封止装置の提供。
【解決手段】供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０と、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しするフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しするアンローダ部２２と、フレーム＆タブレット搬送共通部２１が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第１のスライダ２５ａと、アンローダ部２２が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第２のスライダ２５ｂと、軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁２６と、第１および第２のスライダ２５ａ，２５ｂにそれぞれ搭載されるとともに界磁２６と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂとを備える。
【解決手段】供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０と、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しするフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しするアンローダ部２２と、フレーム＆タブレット搬送共通部２１が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第１のスライダ２５ａと、アンローダ部２２が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第２のスライダ２５ｂと、軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁２６と、第１および第２のスライダ２５ａ，２５ｂにそれぞれ搭載されるとともに界磁２６と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂとを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームや基板等の被成型品を樹脂封止する樹脂封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）などの電子部品は、塵芥が隣接する回路との短絡あるいは欠損を引き起こす原因となるため、クリーンルームにおいて製造され、その本体部であるリードフレームは、全体がカバーで覆われた樹脂封止装置によって全自動で樹脂封止される。
【０００３】
従来の樹脂封止装置として、例えば特許文献１には、インサート物ストック部であるリードフレームストック部と、樹脂材料ストック部であるタブレットストック部と、２台のトランスファー成形機と、製品ストック部と、インサート物搬送機構であるリードフレーム搬送機構と、樹脂材料搬送機構であるタブレット搬送機構と、製品搬送機構と、ゲートブレーク機構とが、カバーにより覆われた樹脂封止装置が開示されている。
【０００４】
また、この樹脂封止装置においては、製品ストック部とリードフレーム搬送機構と製品搬送機構とが１つの共用搬送機構を共用している。この共用搬送機構は、ＸＹ移動機構と、このＸＹ移動機構により横方向および前後方向に移動する左右１対のハンド機構とを備えている。また、ＸＹ移動機構は、それぞれエアシリンダにより駆動される横スライドおよび縦スライドを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２４１８７４号公報（段落００２１、００３５、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に記載のように、従来の樹脂封止装置の共通搬送装置の駆動源は、エアシリンダが主流である。エアシリンダは、圧縮空気をホースによって供給すれば良いため、構造が簡単であり、電磁バルブのオン／オフによって制御可能だからである。ところが、エアシリンダはシリンダとピストンとの間にゴムパッキンが使用されているため、このゴムパッキンの劣化状態によって動作が変化する。また、エアシリンダに圧縮空気を供給するホースの曲がり具合によって圧力変動が起きた場合も動作が変化するため、動作が不安定となる。
【０００７】
そこで、本発明においては、エアシリンダを用いることなく、安定した搬送動作を行うことが可能な樹脂封止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の樹脂封止装置は、被成型品を供給する供給部と、被成型品の樹脂封止を行う成型部と、樹脂封止後の成型品を排出する排出部とを有する樹脂封止装置において、供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置であり、供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、供給部と成型部との間で被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、成型部と排出部との間で成型品を受け渡しする成型品搬送部と、被成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子とを備えた共通搬送装置を含むものである。
【０００９】
本発明によれば、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子をそれぞれ励磁することによって、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載された被成型品搬送部および成型品搬送部を軌道レールに沿って推進し、所定の位置に停止させることができ、それぞれ供給部と成型部との間での被成型品の受け渡しおよび成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行うことが可能となる。
【００１０】
ここで、被成型品搬送部および成型品搬送部は、軌道レールの下方に吊り下げられたものであることが望ましい。供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置は、樹脂封止装置内の大部分を移動範囲としてカバーする必要があるため、本発明に係る直線状に配置された軌道レールの配置空間を確保することは困難であるが、被成型品搬送部および成型品搬送部をこの軌道レールの下方に吊り下げられたものとすることによって、軌道レールを樹脂封止装置内の上方に配置することが可能となる。
【００１１】
また、本発明の樹脂封止装置は、被成型品搬送部の供給部および成型部との間での被成型品の受け渡し、および、成型品搬送部の成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有することが望ましい。これにより、被成型品搬送部および成型品搬送部の移動と、被成型品および成型品の受け渡しをすべて電力により行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
（１）供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、供給部と成型部との間で被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、成型部と排出部との間で成型品を受け渡しする成型品搬送部と、被成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子とを備えたことにより、第１および第２の電機子の励磁をそれぞれ励磁することで、被成型品搬送部および成型品搬送部を軌道レールに沿って推進し、所定の位置に確実に停止することができるので、安定した搬送動作を行うことが可能となる。
【００１３】
（２）被成型品搬送部および成型品搬送部が、軌道レールの下方に吊り下げられたものであることにより、軌道レールの配置空間を樹脂封止装置内の上方に容易に確保することが可能となる。また、被成型品搬送部および成型品搬送部の下方に軌道レールがないため、供給部、成型部および排出部との間での被成型品および成型品の受け渡しを容易に行うことが可能となり、供給部、成型部および排出部の配置の自由度が増す。
【００１４】
（３）被成型品搬送部の供給部および成型部との間での被成型品の受け渡し、および、成型品搬送部の成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有することにより、被成型品搬送部および成型品搬送部の移動と、被成型品および成型品の受け渡しをすべて電力により行うことが可能となり、従来実現できなかったエアレスの樹脂封止装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態における樹脂封止装置を示す概略平面透視図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の概略正面透視図である。
【図３】図１の樹脂封止装置の概略背面透視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は本発明の実施の形態における樹脂封止装置を示す概略平面透視図、図２は図１の樹脂封止装置の概略正面透視図、図３は図１の樹脂封止装置の概略背面透視図である。
【００１７】
図１〜図３において、本発明の実施の形態における樹脂封止装置１は、装置全体を覆うカバー２内に、大きく分けて被成型品としてのリードフレーム（図示せず。）を供給する供給部３と、２つの金型４ａ，４ｂによりリードフレームの樹脂封止を行う成型部４と、樹脂封止後のリードフレーム（以下、「製品」と称す。）を排出する排出部５と、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を搬送する共通搬送装置６とを有する。
【００１８】
供給部３は、複数枚のリードフレームを保持するインマガジン１０をセットして、リードフレームをマガジン単位で供給するインマガジン部１１と、インマガジン１０から１枚ずつリードフレームを押し出すフレームプッシャ部１２と、回転軸１３ａを対称に２枚のリードフレームを保持するリードフレーム保持部１３ｂ，１３ｃを備えたインプットターンテーブル部１３と、フレームプッシャ部１２により押し出されたリードフレームをインプットターンテーブル部１３へ引き込むリードフレーム引込部１４とを有する。
【００１９】
インプットターンテーブル部１３は、リードフレーム引込部１４により各リードフレーム保持部１３ｂ，１３ｃへリードフレームを引き込むために、回転軸１３ａを中心に回転する。また、供給部３は、封止樹脂を供給するタブレット供給部１５と、タブレット供給部１５により供給された封止樹脂を分配するタブレット分配部１６と、タブレット分配部１６により分配された封止樹脂を後述の被成型品搬送部としてのフレーム＆タブレット搬送共通部２１へ受け渡すタブレット受渡部１７とを有する。
【００２０】
排出部５は、成型部４から受け渡される製品を受け取って保持し、余分な部分を外し取り、アウトプットレール部３１へと受け渡す下ゲートブレイク部３０と、下ゲートブレイク部３０から受け渡される製品を後述する製品収納部３２まで搬送するアウトプットレール部３１、アウトプットレール部３１により搬送される製品を収納する製品収納部３２とを有する。
【００２１】
共通搬送装置６は、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０と、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しする被成型品搬送部としてのフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しする成型品搬送部としてのアンローダ部２２と、成型部４の金型４ａ，４ｂのクリーニングを行うクリーナ部２３とを有する。
【００２２】
フレーム＆タブレット搬送共通部２１は、タブレット受渡部１７から封止樹脂を受け取り、インプットターンテーブル部１３に保持されたリードフレーム上にセットするとともに、この封止樹脂がセットされたリードフレームをインプットターンテーブル部１３から成型部４の金型４ａ，４ｂへ搬送するものである。アンローダ部２２は、成型部４の金型４ａ，４ｂから製品を受け取って排出部５の下ゲートブレイク部３０へ搬送するものである。
【００２３】
また、共通搬送装置６は、フレーム＆タブレット搬送共通部２１が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第１のスライダ２４ａと、アンローダ部２２およびクリーナ部２３が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第２のスライダ２４ｂと、軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁２６と、第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂに搭載されるとともに界磁２６と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂとを有する。
【００２４】
軌道レール２０はチャンネル（凹溝）状であり、凹溝の開口側が下向きとなるように樹脂封止装置１内の上方に固定されている。第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂは、この軌道レール２０の凹溝内を軌道レール２０の長手方向（図１および図２の左右方向）に往復動可能となっている。第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂは、第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂをそれぞれ個別に励磁することにより、それぞれ独立して軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と相まってリニアモータの原理により軌道レール２０に沿って推進し、所定の位置に停止させることができる。
【００２５】
そして、フレーム＆タブレット搬送共通部２１は、第１のスライダ２４ａの下方に吊り下げられるように固定されているので、電機子２５ａの励磁により供給部３と成型部４との間で往復動し、供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡しを行うことができる。また、アンローダ部２２およびクリーナ部２３は第２のスライダ２４ｂの下方に吊り下げられるように固定されているので、電機子２５ｂの励磁により成型部４と排出部５との間で往復動し、成型部４と排出部５との間で製品の受け渡しを行うことができる。なお、図示しないが、フレーム＆タブレット搬送共通部２１の供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡し、および、アンローダ部２２の成型部４と排出部５との間での製品の受け渡しを行う駆動源には、サーボモータが使用されている。
【００２６】
次に、上記構成の樹脂封止装置１の動作について説明する。
まず、インマガジン部１１にセットされたマガジン１０をリードフレームの分配位置（図１に示すマガジン１０の位置）へ移動し、フレームプッシャ部１２によりマガジン１０からリードフレームがリードフレーム引込部１４に向かって押し出される。そして、リードフレームは、リードフレーム引込部１４によってインプットターンテーブル部１３の一方のリードフレーム保持部１３ｂへ運ばれる。また、インプットターンテーブル部１３は回転軸１３ａを中心に矢印Ａの方向へ１８０°回転して、同様の手順により他方のリードフレーム保持部１３ｃへリードフレームを保持する。
【００２７】
一方、タブレット供給部１５に供給された封止樹脂は、タブレット分配部１６に供給される。タブレット分配部１６に供給された封止樹脂は、タブレット受渡部１７へ向かって流れ、整列された後、タブレット受渡部１７へセットされる。そして、第１の電機子２５ａが励磁されてフレーム＆タブレット搬送共通部２１がスライダ２４ａとともに供給部３側へ移動し、タブレット受渡部１７にセットされた封止樹脂を受け取り、インプットターンテーブル部１３に保持されたリードフレーム上にセットする。
【００２８】
次に、第１の電機子２５ａに逆方向の電流が与えられて励磁され、フレーム＆タブレット搬送共通部２１がスライダ２４ａとともに供給部３から成型部４の所定の位置まで移動し、インプットターンテーブル部１３上の封止樹脂がセットされたリードフレームを成型部４の一方の金型４ａまたは金型４ｂへ搬送する。そして、リードフレームは、金型４ａまたは金型４ｂにより成型（樹脂封止）が行われる。なお、本実施形態における樹脂封止装置１は、２つの金型４ａ，４ｂを並列に備えており、これらの金型４ａ，４ｂを交互に使用して樹脂封止を行うことが可能である。
【００２９】
成型完了後、製品はアンローダ部によって金型４ａまたは金型４ｂから取り出され、アンローダ部２２により排出部５の下ゲートブレイク部３０へ受け渡される。また、製品が取り出された後の金型４ａまたは金型４ｂは、クリーナ部２３によりクリーニングが行われる。このとき、アンローダ部２２およびクリーナ部２３は、第２の電機子２５ｂが励磁されることにより、スライダ２４ｂとともに成型部４と排出部５との間で往復移動する。
【００３０】
そして、製品が受け渡された下ゲートブレイク部３０は、余分な部分が外し取られ、下ゲートブレイク部３０からアウトプットレール部３１によって運ばれ、製品収納部３２へ収納される。
【００３１】
以上のように、本実施形態における樹脂封止装置１では、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しするフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しするアンローダ部２２とを、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０に沿ってリニアモータにより推進し、所定の位置に確実に停止することができるので、安定した搬送動作を行うことが可能である。
【００３２】
また、この樹脂封止装置１では、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２が、軌道レール２０の下方に吊り下げられているので、軌道レール２０の配置空間を樹脂封止装置１内の上方に容易に確保することが可能となっている。また、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２の下方に軌道レール２０がないため、供給部３、成型部４および排出部５との間でのリードフレームおよび製品の受け渡しを容易に行うことが可能であり、供給部３、成型部４および排出部５の配置の自由度が増している。
【００３３】
また、この樹脂封止装置１は、フレーム＆タブレット搬送共通部２１の供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡し、および、アンローダ部２２の成型部４と排出部５との間での製品の受け渡しを行う駆動源としてサーボモータを使用しており、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２の移動と、リードフレームおよび製品の受け渡しをすべて電力により行うものであり、エアレスの樹脂封止装置１を実現している。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の樹脂封止装置は、リードフレームや基板等の被成型品を樹脂封止して半導体装置等の製品を製造する装置として有用である。
【符号の説明】
【００３５】
１ 樹脂封止装置
２ カバー
３ 供給部
４ 成型部
４ａ，４ｂ 金型
５ 排出部
１０ インマガジン
１１ インマガジン部
１２ フレームプッシャ部
１３ インプットターンテーブル部
１４ リードフレーム引込部
１５ タブレット供給部
１６ タブレット分配部
１７ タブレット受渡部
２０ 軌道レール
２１ フレーム＆タブレット搬送共通部
２２ アンローダ部
２３ クリーナ部
２４ａ，２４ｂ スライダ
２５ａ，２５ｂ 電機子
２６ 界磁
３０ 下ゲートブレイク部
３１ アウトプットレール部
３２ 製品収納部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームや基板等の被成型品を樹脂封止する樹脂封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）などの電子部品は、塵芥が隣接する回路との短絡あるいは欠損を引き起こす原因となるため、クリーンルームにおいて製造され、その本体部であるリードフレームは、全体がカバーで覆われた樹脂封止装置によって全自動で樹脂封止される。
【０００３】
従来の樹脂封止装置として、例えば特許文献１には、インサート物ストック部であるリードフレームストック部と、樹脂材料ストック部であるタブレットストック部と、２台のトランスファー成形機と、製品ストック部と、インサート物搬送機構であるリードフレーム搬送機構と、樹脂材料搬送機構であるタブレット搬送機構と、製品搬送機構と、ゲートブレーク機構とが、カバーにより覆われた樹脂封止装置が開示されている。
【０００４】
また、この樹脂封止装置においては、製品ストック部とリードフレーム搬送機構と製品搬送機構とが１つの共用搬送機構を共用している。この共用搬送機構は、ＸＹ移動機構と、このＸＹ移動機構により横方向および前後方向に移動する左右１対のハンド機構とを備えている。また、ＸＹ移動機構は、それぞれエアシリンダにより駆動される横スライドおよび縦スライドを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２４１８７４号公報（段落００２１、００３５、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に記載のように、従来の樹脂封止装置の共通搬送装置の駆動源は、エアシリンダが主流である。エアシリンダは、圧縮空気をホースによって供給すれば良いため、構造が簡単であり、電磁バルブのオン／オフによって制御可能だからである。ところが、エアシリンダはシリンダとピストンとの間にゴムパッキンが使用されているため、このゴムパッキンの劣化状態によって動作が変化する。また、エアシリンダに圧縮空気を供給するホースの曲がり具合によって圧力変動が起きた場合も動作が変化するため、動作が不安定となる。
【０００７】
そこで、本発明においては、エアシリンダを用いることなく、安定した搬送動作を行うことが可能な樹脂封止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の樹脂封止装置は、被成型品を供給する供給部と、被成型品の樹脂封止を行う成型部と、樹脂封止後の成型品を排出する排出部とを有する樹脂封止装置において、供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置であり、供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、供給部と成型部との間で被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、成型部と排出部との間で成型品を受け渡しする成型品搬送部と、被成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子とを備えた共通搬送装置を含むものである。
【０００９】
本発明によれば、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子をそれぞれ励磁することによって、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載された被成型品搬送部および成型品搬送部を軌道レールに沿って推進し、所定の位置に停止させることができ、それぞれ供給部と成型部との間での被成型品の受け渡しおよび成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行うことが可能となる。
【００１０】
ここで、被成型品搬送部および成型品搬送部は、軌道レールの下方に吊り下げられたものであることが望ましい。供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置は、樹脂封止装置内の大部分を移動範囲としてカバーする必要があるため、本発明に係る直線状に配置された軌道レールの配置空間を確保することは困難であるが、被成型品搬送部および成型品搬送部をこの軌道レールの下方に吊り下げられたものとすることによって、軌道レールを樹脂封止装置内の上方に配置することが可能となる。
【００１１】
また、本発明の樹脂封止装置は、被成型品搬送部の供給部および成型部との間での被成型品の受け渡し、および、成型品搬送部の成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有することが望ましい。これにより、被成型品搬送部および成型品搬送部の移動と、被成型品および成型品の受け渡しをすべて電力により行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
（１）供給部と成型部と排出部との間で被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、供給部と成型部との間で被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、成型部と排出部との間で成型品を受け渡しする成型品搬送部と、被成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、成型品搬送部が搭載され、軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子とを備えたことにより、第１および第２の電機子の励磁をそれぞれ励磁することで、被成型品搬送部および成型品搬送部を軌道レールに沿って推進し、所定の位置に確実に停止することができるので、安定した搬送動作を行うことが可能となる。
【００１３】
（２）被成型品搬送部および成型品搬送部が、軌道レールの下方に吊り下げられたものであることにより、軌道レールの配置空間を樹脂封止装置内の上方に容易に確保することが可能となる。また、被成型品搬送部および成型品搬送部の下方に軌道レールがないため、供給部、成型部および排出部との間での被成型品および成型品の受け渡しを容易に行うことが可能となり、供給部、成型部および排出部の配置の自由度が増す。
【００１４】
（３）被成型品搬送部の供給部および成型部との間での被成型品の受け渡し、および、成型品搬送部の成型部と排出部との間での成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有することにより、被成型品搬送部および成型品搬送部の移動と、被成型品および成型品の受け渡しをすべて電力により行うことが可能となり、従来実現できなかったエアレスの樹脂封止装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態における樹脂封止装置を示す概略平面透視図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の概略正面透視図である。
【図３】図１の樹脂封止装置の概略背面透視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は本発明の実施の形態における樹脂封止装置を示す概略平面透視図、図２は図１の樹脂封止装置の概略正面透視図、図３は図１の樹脂封止装置の概略背面透視図である。
【００１７】
図１〜図３において、本発明の実施の形態における樹脂封止装置１は、装置全体を覆うカバー２内に、大きく分けて被成型品としてのリードフレーム（図示せず。）を供給する供給部３と、２つの金型４ａ，４ｂによりリードフレームの樹脂封止を行う成型部４と、樹脂封止後のリードフレーム（以下、「製品」と称す。）を排出する排出部５と、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を搬送する共通搬送装置６とを有する。
【００１８】
供給部３は、複数枚のリードフレームを保持するインマガジン１０をセットして、リードフレームをマガジン単位で供給するインマガジン部１１と、インマガジン１０から１枚ずつリードフレームを押し出すフレームプッシャ部１２と、回転軸１３ａを対称に２枚のリードフレームを保持するリードフレーム保持部１３ｂ，１３ｃを備えたインプットターンテーブル部１３と、フレームプッシャ部１２により押し出されたリードフレームをインプットターンテーブル部１３へ引き込むリードフレーム引込部１４とを有する。
【００１９】
インプットターンテーブル部１３は、リードフレーム引込部１４により各リードフレーム保持部１３ｂ，１３ｃへリードフレームを引き込むために、回転軸１３ａを中心に回転する。また、供給部３は、封止樹脂を供給するタブレット供給部１５と、タブレット供給部１５により供給された封止樹脂を分配するタブレット分配部１６と、タブレット分配部１６により分配された封止樹脂を後述の被成型品搬送部としてのフレーム＆タブレット搬送共通部２１へ受け渡すタブレット受渡部１７とを有する。
【００２０】
排出部５は、成型部４から受け渡される製品を受け取って保持し、余分な部分を外し取り、アウトプットレール部３１へと受け渡す下ゲートブレイク部３０と、下ゲートブレイク部３０から受け渡される製品を後述する製品収納部３２まで搬送するアウトプットレール部３１、アウトプットレール部３１により搬送される製品を収納する製品収納部３２とを有する。
【００２１】
共通搬送装置６は、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０と、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しする被成型品搬送部としてのフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しする成型品搬送部としてのアンローダ部２２と、成型部４の金型４ａ，４ｂのクリーニングを行うクリーナ部２３とを有する。
【００２２】
フレーム＆タブレット搬送共通部２１は、タブレット受渡部１７から封止樹脂を受け取り、インプットターンテーブル部１３に保持されたリードフレーム上にセットするとともに、この封止樹脂がセットされたリードフレームをインプットターンテーブル部１３から成型部４の金型４ａ，４ｂへ搬送するものである。アンローダ部２２は、成型部４の金型４ａ，４ｂから製品を受け取って排出部５の下ゲートブレイク部３０へ搬送するものである。
【００２３】
また、共通搬送装置６は、フレーム＆タブレット搬送共通部２１が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第１のスライダ２４ａと、アンローダ部２２およびクリーナ部２３が搭載され、軌道レール２０に沿って移動自在な第２のスライダ２４ｂと、軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁２６と、第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂに搭載されるとともに界磁２６と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂとを有する。
【００２４】
軌道レール２０はチャンネル（凹溝）状であり、凹溝の開口側が下向きとなるように樹脂封止装置１内の上方に固定されている。第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂは、この軌道レール２０の凹溝内を軌道レール２０の長手方向（図１および図２の左右方向）に往復動可能となっている。第１および第２のスライダ２４ａ，２４ｂは、第１および第２の電機子２５ａ，２５ｂをそれぞれ個別に励磁することにより、それぞれ独立して軌道レール２０の長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と相まってリニアモータの原理により軌道レール２０に沿って推進し、所定の位置に停止させることができる。
【００２５】
そして、フレーム＆タブレット搬送共通部２１は、第１のスライダ２４ａの下方に吊り下げられるように固定されているので、電機子２５ａの励磁により供給部３と成型部４との間で往復動し、供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡しを行うことができる。また、アンローダ部２２およびクリーナ部２３は第２のスライダ２４ｂの下方に吊り下げられるように固定されているので、電機子２５ｂの励磁により成型部４と排出部５との間で往復動し、成型部４と排出部５との間で製品の受け渡しを行うことができる。なお、図示しないが、フレーム＆タブレット搬送共通部２１の供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡し、および、アンローダ部２２の成型部４と排出部５との間での製品の受け渡しを行う駆動源には、サーボモータが使用されている。
【００２６】
次に、上記構成の樹脂封止装置１の動作について説明する。
まず、インマガジン部１１にセットされたマガジン１０をリードフレームの分配位置（図１に示すマガジン１０の位置）へ移動し、フレームプッシャ部１２によりマガジン１０からリードフレームがリードフレーム引込部１４に向かって押し出される。そして、リードフレームは、リードフレーム引込部１４によってインプットターンテーブル部１３の一方のリードフレーム保持部１３ｂへ運ばれる。また、インプットターンテーブル部１３は回転軸１３ａを中心に矢印Ａの方向へ１８０°回転して、同様の手順により他方のリードフレーム保持部１３ｃへリードフレームを保持する。
【００２７】
一方、タブレット供給部１５に供給された封止樹脂は、タブレット分配部１６に供給される。タブレット分配部１６に供給された封止樹脂は、タブレット受渡部１７へ向かって流れ、整列された後、タブレット受渡部１７へセットされる。そして、第１の電機子２５ａが励磁されてフレーム＆タブレット搬送共通部２１がスライダ２４ａとともに供給部３側へ移動し、タブレット受渡部１７にセットされた封止樹脂を受け取り、インプットターンテーブル部１３に保持されたリードフレーム上にセットする。
【００２８】
次に、第１の電機子２５ａに逆方向の電流が与えられて励磁され、フレーム＆タブレット搬送共通部２１がスライダ２４ａとともに供給部３から成型部４の所定の位置まで移動し、インプットターンテーブル部１３上の封止樹脂がセットされたリードフレームを成型部４の一方の金型４ａまたは金型４ｂへ搬送する。そして、リードフレームは、金型４ａまたは金型４ｂにより成型（樹脂封止）が行われる。なお、本実施形態における樹脂封止装置１は、２つの金型４ａ，４ｂを並列に備えており、これらの金型４ａ，４ｂを交互に使用して樹脂封止を行うことが可能である。
【００２９】
成型完了後、製品はアンローダ部によって金型４ａまたは金型４ｂから取り出され、アンローダ部２２により排出部５の下ゲートブレイク部３０へ受け渡される。また、製品が取り出された後の金型４ａまたは金型４ｂは、クリーナ部２３によりクリーニングが行われる。このとき、アンローダ部２２およびクリーナ部２３は、第２の電機子２５ｂが励磁されることにより、スライダ２４ｂとともに成型部４と排出部５との間で往復移動する。
【００３０】
そして、製品が受け渡された下ゲートブレイク部３０は、余分な部分が外し取られ、下ゲートブレイク部３０からアウトプットレール部３１によって運ばれ、製品収納部３２へ収納される。
【００３１】
以上のように、本実施形態における樹脂封止装置１では、供給部３と成型部４との間でリードフレームを受け渡しするフレーム＆タブレット搬送共通部２１と、成型部４と排出部５との間で製品を受け渡しするアンローダ部２２とを、供給部３と成型部４と排出部５との間でリードフレームおよび製品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レール２０に沿ってリニアモータにより推進し、所定の位置に確実に停止することができるので、安定した搬送動作を行うことが可能である。
【００３２】
また、この樹脂封止装置１では、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２が、軌道レール２０の下方に吊り下げられているので、軌道レール２０の配置空間を樹脂封止装置１内の上方に容易に確保することが可能となっている。また、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２の下方に軌道レール２０がないため、供給部３、成型部４および排出部５との間でのリードフレームおよび製品の受け渡しを容易に行うことが可能であり、供給部３、成型部４および排出部５の配置の自由度が増している。
【００３３】
また、この樹脂封止装置１は、フレーム＆タブレット搬送共通部２１の供給部３および成型部４との間でのリードフレームの受け渡し、および、アンローダ部２２の成型部４と排出部５との間での製品の受け渡しを行う駆動源としてサーボモータを使用しており、フレーム＆タブレット搬送共通部２１およびアンローダ部２２の移動と、リードフレームおよび製品の受け渡しをすべて電力により行うものであり、エアレスの樹脂封止装置１を実現している。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の樹脂封止装置は、リードフレームや基板等の被成型品を樹脂封止して半導体装置等の製品を製造する装置として有用である。
【符号の説明】
【００３５】
１ 樹脂封止装置
２ カバー
３ 供給部
４ 成型部
４ａ，４ｂ 金型
５ 排出部
１０ インマガジン
１１ インマガジン部
１２ フレームプッシャ部
１３ インプットターンテーブル部
１４ リードフレーム引込部
１５ タブレット供給部
１６ タブレット分配部
１７ タブレット受渡部
２０ 軌道レール
２１ フレーム＆タブレット搬送共通部
２２ アンローダ部
２３ クリーナ部
２４ａ，２４ｂ スライダ
２５ａ，２５ｂ 電機子
２６ 界磁
３０ 下ゲートブレイク部
３１ アウトプットレール部
３２ 製品収納部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成型品を供給する供給部と、前記被成型品の樹脂封止を行う成型部と、前記樹脂封止後の成型品を排出する排出部とを有する樹脂封止装置において、
前記供給部と成型部と排出部との間で前記被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置であり、
前記供給部と成型部と排出部との間で前記被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、
前記供給部と成型部との間で前記被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、
前記成型部と排出部との間で前記成型品を受け渡しする成型品搬送部と、
前記被成型品搬送部が搭載され、前記軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、
前記成型品搬送部が搭載され、前記軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、
軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、
前記第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに前記界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子と
を備えた共通搬送装置を含む樹脂封止装置。
【請求項２】
前記被成型品搬送部および成型品搬送部は、前記軌道レールの下方に吊り下げられたものである請求項１記載の樹脂封止装置。
【請求項３】
前記被成型品搬送部の前記供給部および成型部との間での前記被成型品の受け渡し、および、前記成型品搬送部の前記成型部と排出部との間での前記成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有する請求項１または２に記載の樹脂封止装置。
【請求項１】
被成型品を供給する供給部と、前記被成型品の樹脂封止を行う成型部と、前記樹脂封止後の成型品を排出する排出部とを有する樹脂封止装置において、
前記供給部と成型部と排出部との間で前記被成型品および成型品を搬送する共通搬送装置であり、
前記供給部と成型部と排出部との間で前記被成型品および成型品を受け渡し可能な位置に直線状に配置された軌道レールと、
前記供給部と成型部との間で前記被成型品を受け渡しする被成型品搬送部と、
前記成型部と排出部との間で前記成型品を受け渡しする成型品搬送部と、
前記被成型品搬送部が搭載され、前記軌道レールに沿って移動自在な第１のスライダと、
前記成型品搬送部が搭載され、前記軌道レールに沿って移動自在な第２のスライダと、
軌道レールの長手方向に沿ってＮ極およびＳ極が交互に配列された界磁と、
前記第１および第２のスライダにそれぞれ搭載されるとともに前記界磁と相まってリニアモータを構成する第１および第２の電機子と
を備えた共通搬送装置を含む樹脂封止装置。
【請求項２】
前記被成型品搬送部および成型品搬送部は、前記軌道レールの下方に吊り下げられたものである請求項１記載の樹脂封止装置。
【請求項３】
前記被成型品搬送部の前記供給部および成型部との間での前記被成型品の受け渡し、および、前記成型品搬送部の前記成型部と排出部との間での前記成型品の受け渡しを行う駆動源として、サーボモータを有する請求項１または２に記載の樹脂封止装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−１０３４０６（Ｐ２０１１−１０３４０６Ａ）
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２５８３５８（Ｐ２００９−２５８３５８）
【出願日】平成２１年１１月１１日（２００９．１１．１１）
【出願人】（３０５００９８０９）株式会社エヌ．エフ．テイ (3)
【公開日】平成２３年５月２６日（２０１１．５．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月１１日（２００９．１１．１１）
【出願人】（３０５００９８０９）株式会社エヌ．エフ．テイ (3)
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