水冷式ＩＣ試験装置
【課題】テストヘッドの冷水システムに異常が発生した場合に安全にテストヘッド側の冷却システムを停止できる水冷式ＩＣ試験装置を提供する。
【解決手段】水冷式ＩＣ試験装置において、メインフレーム４に設けられた冷却水用の給水用配管４１、排水用配管４２、給水用配管４１と排水用配管４２とを連通するバイパス配管４３、給水用配管４１に設けられた電磁弁４４を設け、テストヘッド５側の冷水システムに異常が発生時、電磁弁４４を閉にする冷却システム異常検出手段４５を有する構成にする。
【解決手段】水冷式ＩＣ試験装置において、メインフレーム４に設けられた冷却水用の給水用配管４１、排水用配管４２、給水用配管４１と排水用配管４２とを連通するバイパス配管４３、給水用配管４１に設けられた電磁弁４４を設け、テストヘッド５側の冷水システムに異常が発生時、電磁弁４４を閉にする冷却システム異常検出手段４５を有する構成にする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却方式に水冷を使用するＩＣ試験装置の冷却装置の構成に関するものである。
更に詳述すれば、本発明は、テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することが出来る水冷式ＩＣ試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水冷式ＩＣ試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−００９４７０６号公報
【０００４】
図３は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
従来の水冷式ＩＣ試験装置の冷却装置は、システム全体の電源供給と異常管理機能を有するメインフレーム１と、内部カード冷却用の水冷配管２１を有するテストヘッド２と、テストヘッド２に循環水を供給するチラーユニット３から構成される。
【０００５】
メインフレーム１は、電源ケーブル１１,１２を経由してそれぞれチラーユニット３、テストヘッド２に電力を供給する。
テストヘッド２には水冷配管２１が設けられている。
チラーユニット３は、チラー３１と異常検出手段３２とを有している。
チラー３１は熱交換器３１１とポンプ３１２と温調手段３１３とを有する。
チラーユニット３とテストヘッド２は、循環水配管３３で連結されており、チラーユニット３は熱交換器３１１で一定温度に保たれた循環水をテストヘッド２へ供給・循環させる。
【０００６】
テストヘッド２内部の発熱は、水冷配管２１で循環水に移動し、熱交換器３１１で工場冷却水配管３４によって工場から供給される工場冷却水と熱交換され、工場冷却水配管３４から排熱される。
熱交換器３１１で熱交換された循環水は、再度、テストヘッド２に供給され、循環水配管３３内を循環する。
【０００７】
チラーユニット３の異常検出手段３２は、循環水配管３３とテストヘッド内配管２１と熱交換器３１１との異常を検出する。
異常検出手段３２が異常を検出した場合には、アラームケーブル３５を介して、メインフレーム１に異常報告する。
チラーユニット３からの異常報告を受けたメインフレーム１は、電源ケーブル１１，１２の電源供給を停止し、テストヘッド２、チラーユニット３の動作を停止させる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
チラーユニット３内部に、テストヘッド２側の配管異常検出手段３２を有するため、メインフレーム１に対し、異常検出の報告を行う必要がある。
市販のチラーにおいては、このインターフェースについて統一が取れていないため、水冷式ＩＣ試験装置で使用するチラーユニット３はシステムごとの専用設計となっている。
このため、市販のチラーを使用することが出来ず、システムごとにその都度チラーユニット３の開発を行う必要があり、コストダウンの障害となっている。
【０００９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、工場側冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することが出来る水冷式ＩＣ試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の水冷式ＩＣ試験装置においては、
システム全体に電源を供給するメインフレームから電源と冷却水とが供給されるテストヘッドを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、前記メインフレームに設けられた冷却水の供給用配管と排出用配管と、前記メインフレームに設けられ前記供給用配管と排出用配管とを連通するバイパス配管と前記メインフレームの前記バイパス配管より下流側の前記供給用配管に設けられた電磁弁と、前記メインフレームの前記電磁弁より下流側の前記供給用配管と排出用配管とに設けられ前記テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に前記電磁弁に前記電磁弁を閉にする信号を送る水冷システム異常検出手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項２の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記水冷システム異常検出手段は、前記供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた圧力センサと流量センサと、前記供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサとを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置を具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項４の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項３記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記熱交換装置はチラーが使用されたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項５の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、このヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置とを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
水冷システム異常検出手段は、供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた圧力センサと流量センサと、供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサとが設けられたので、確実に、テストヘッド側の水冷システムの異常を検出できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１７】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置が設けられたので、テストヘッド側の水冷システムを閉鎖された循環水の循環システムにすることが出来るので、循環水が循環するので、水質管理が容易となり、耐久性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１８】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
熱交換装置はチラーが使用されたので、テストヘッド側の水冷システムに適する水温と圧力が容易に得られ、チラーは市場性があり入手容易で、安価であるので、安価な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、ヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置とが設けられたので、テストヘッド側の水冷システムに適する水質と水温とが容易に得られる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００２１】
図１において、本発明の水冷式ＩＣ試験装置の冷却装置は、システム全体の電源供給と異常管理機能を有するメインフレーム４と、内部カード冷却用の水冷配管５１を有するテストヘッド５と、テストヘッド５に循環水を供給するチラー６とから構成される。
【００２２】
冷却水の供給用配管４１と排出用配管４２とが、メインフレーム４に設けられている。
バイパス配管４３は、メインフレーム４に設けられ、供給用配管４１と排出用配管４２とを連通する。
電磁弁４４は、メインフレーム４のバイパス配管４３より下流側の供給用配管４１に設けられている。
【００２３】
水冷システム異常検出手段４５は、メインフレーム１の電磁弁４４より下流側の供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられ、テストヘッド５側の水冷システムに異常が発生した場合に、電磁弁４４に対して、電磁弁４４を閉にする信号を送る。
【００２４】
水冷システム異常検出手段４５は、供給用配管４１に設けられた圧力センサ４５１と、
供給用配管４１と排出用配管４２の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサ４５２と、供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられた温度センサ４５３，４５４を有する。
この場合は、供給用配管４１に圧力センサ４５１と温度センサ４５３とが取付けられ、排出用配管４２に流量センサ４５２と温度センサ４５４とが取付けられている。
【００２５】
メインフレーム４とテストヘッド５は、電源ケーブル４６と、供給用配管４１と排出用配管４２とに接続された循環水配管４７とで連結され、メインフレーム４はテストヘッド５に電源ケーブル４６を介して電力を供給し、チラー６から供給された循環水を循環水配管４７を介してテストヘッド５に中継する。
【００２６】
チラー６は電源ケーブル６１により工場から直接供給され電力で動作し、メインフレーム４に循環水配管６２を介して循環水の供給・循環を行う。
チラー６は、熱交換器６０１とポンプ６０２と温調手段６０３とを有する。
循環水配管６２によりチラー６に戻った循環水は、熱交換器６０１で、工場冷却水配管６３により供給される工場冷却水に熱交換され排熱する。
【００２７】
テストヘッド５内部にて水冷システム異常が発生した場合は、メインフレーム４内部の各センサ４５１，４５２，４５３，４５４により検出され、電磁弁４４を閉じ、テストヘッド５への循環水供給を停止させ、電源ケーブル４６による電力供給も停止させる。
チラー６から供給される循環水は、バイパス配管４３を経由してチラー６へもどるために、チラー６は正常動作を維持する。
【００２８】
チラー６側に異常が発生した場合は、通常、チラー６単体が有する異常検出手段によりチラー６側でチラー６自身の動作をコントロールする。
結果として、メインフレーム４側に供給する循環水の出力異常となり、温度・圧力・流量のいずれかの異常となるため、メインフレーム４内部のセンサ４５１，４５２，４５３，４５４で間接的に異常検出し、同様の動作を行う。
【００２９】
チラー６自身に異常検出機能を有しない場合でも、水冷システムに影響を及ぼす温度・圧力・流量が供給された場合は、メインフレーム４の内部センサ４５１，４５２，４５３，４５４で検出し、メインフレーム４側で保護動作が可能である。
【００３０】
この結果、
テストヘッド５側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド５側の水冷システムを停止することができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３１】
水冷システム異常検出手段４５は、供給用配管４１に設けられた圧力センサ４５１と、供給用配管４１と排出用配管４２の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサ４５２と、供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられた温度センサ４５３，４５４とが設けられたので、確実に、テストヘッド５側の水冷システムの異常を検出できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３２】
供給用配管４１と排出用配管４２とに一方が接続され他方が工場側冷却水配管６３に接続された熱交換装置が設けられたので、テストヘッド５側の水冷システムを閉鎖された循環水の循環システムにすることが出来るので、循環水が循環するので、水質管理が容易となり、耐久性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３３】
熱交換装置はチラー６が使用されたので、テストヘッド５側の水冷システムに適する水温と圧力が容易に得られ、チラー６は市場性があり入手容易で、安価であるので、安価な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３４】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図２において、ヒーター装置７１は、供給用配管４１に一端が接続されている。
水質調整装置７２は、ヒーター装置７１の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管４に接続されている。
【００３５】
この結果、供給用配管４１に一端が接続されたヒーター装置７１と、ヒーター装置７１の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管６４に接続された水質調整装置７２とが設けられたので、テストヘッド５側の水冷システムに適する水質と水温とが容易に得られる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１ メインフレーム
１１ 電源ケーブル
１２ 電源ケーブル
２ テストヘッド
２１ 水冷配管
３ チラーユニット
３１ チラー
３１１ 熱交換器
３１２ ポンプ
３１３ 温調手段
３２ 異常検出手段
３３ 循環水配管
３４ 工場冷却水配管
３５ アラームケーブル
４ メインフレーム
４１ 供給用配管
４２ 排出用配管
４３ バイパス配管
４４ 電磁弁
４５ 水冷システム異常検出手段
４５１ 圧力センサ
４５２ 流量センサ
４５３ 温度センサ
４５４ 温度センサ
４６ 電源ケーブル
４７ 循環水配管
５ テストヘッド
５１ 水冷配管
６ チラー
６０１ 熱交換器
６０２ ポンプ
６０３ 温調手段
６１ 電源ケーブル
６２ 循環水配管
６３ 工場冷却水配管
７１ ヒーター装置
７２ 水質調整装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却方式に水冷を使用するＩＣ試験装置の冷却装置の構成に関するものである。
更に詳述すれば、本発明は、テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することが出来る水冷式ＩＣ試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水冷式ＩＣ試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−００９４７０６号公報
【０００４】
図３は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
従来の水冷式ＩＣ試験装置の冷却装置は、システム全体の電源供給と異常管理機能を有するメインフレーム１と、内部カード冷却用の水冷配管２１を有するテストヘッド２と、テストヘッド２に循環水を供給するチラーユニット３から構成される。
【０００５】
メインフレーム１は、電源ケーブル１１,１２を経由してそれぞれチラーユニット３、テストヘッド２に電力を供給する。
テストヘッド２には水冷配管２１が設けられている。
チラーユニット３は、チラー３１と異常検出手段３２とを有している。
チラー３１は熱交換器３１１とポンプ３１２と温調手段３１３とを有する。
チラーユニット３とテストヘッド２は、循環水配管３３で連結されており、チラーユニット３は熱交換器３１１で一定温度に保たれた循環水をテストヘッド２へ供給・循環させる。
【０００６】
テストヘッド２内部の発熱は、水冷配管２１で循環水に移動し、熱交換器３１１で工場冷却水配管３４によって工場から供給される工場冷却水と熱交換され、工場冷却水配管３４から排熱される。
熱交換器３１１で熱交換された循環水は、再度、テストヘッド２に供給され、循環水配管３３内を循環する。
【０００７】
チラーユニット３の異常検出手段３２は、循環水配管３３とテストヘッド内配管２１と熱交換器３１１との異常を検出する。
異常検出手段３２が異常を検出した場合には、アラームケーブル３５を介して、メインフレーム１に異常報告する。
チラーユニット３からの異常報告を受けたメインフレーム１は、電源ケーブル１１，１２の電源供給を停止し、テストヘッド２、チラーユニット３の動作を停止させる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
チラーユニット３内部に、テストヘッド２側の配管異常検出手段３２を有するため、メインフレーム１に対し、異常検出の報告を行う必要がある。
市販のチラーにおいては、このインターフェースについて統一が取れていないため、水冷式ＩＣ試験装置で使用するチラーユニット３はシステムごとの専用設計となっている。
このため、市販のチラーを使用することが出来ず、システムごとにその都度チラーユニット３の開発を行う必要があり、コストダウンの障害となっている。
【０００９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、工場側冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することが出来る水冷式ＩＣ試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の水冷式ＩＣ試験装置においては、
システム全体に電源を供給するメインフレームから電源と冷却水とが供給されるテストヘッドを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、前記メインフレームに設けられた冷却水の供給用配管と排出用配管と、前記メインフレームに設けられ前記供給用配管と排出用配管とを連通するバイパス配管と前記メインフレームの前記バイパス配管より下流側の前記供給用配管に設けられた電磁弁と、前記メインフレームの前記電磁弁より下流側の前記供給用配管と排出用配管とに設けられ前記テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に前記電磁弁に前記電磁弁を閉にする信号を送る水冷システム異常検出手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項２の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記水冷システム異常検出手段は、前記供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた圧力センサと流量センサと、前記供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサとを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項３の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置を具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項４の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項３記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記熱交換装置はチラーが使用されたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項５の水冷式ＩＣ試験装置においては、請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置において、
前記供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、このヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置とを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド側の水冷システムを停止することができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
水冷システム異常検出手段は、供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた圧力センサと流量センサと、供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサとが設けられたので、確実に、テストヘッド側の水冷システムの異常を検出できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１７】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置が設けられたので、テストヘッド側の水冷システムを閉鎖された循環水の循環システムにすることが出来るので、循環水が循環するので、水質管理が容易となり、耐久性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１８】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
熱交換装置はチラーが使用されたので、テストヘッド側の水冷システムに適する水温と圧力が容易に得られ、チラーは市場性があり入手容易で、安価であるので、安価な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、ヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置とが設けられたので、テストヘッド側の水冷システムに適する水質と水温とが容易に得られる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００２１】
図１において、本発明の水冷式ＩＣ試験装置の冷却装置は、システム全体の電源供給と異常管理機能を有するメインフレーム４と、内部カード冷却用の水冷配管５１を有するテストヘッド５と、テストヘッド５に循環水を供給するチラー６とから構成される。
【００２２】
冷却水の供給用配管４１と排出用配管４２とが、メインフレーム４に設けられている。
バイパス配管４３は、メインフレーム４に設けられ、供給用配管４１と排出用配管４２とを連通する。
電磁弁４４は、メインフレーム４のバイパス配管４３より下流側の供給用配管４１に設けられている。
【００２３】
水冷システム異常検出手段４５は、メインフレーム１の電磁弁４４より下流側の供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられ、テストヘッド５側の水冷システムに異常が発生した場合に、電磁弁４４に対して、電磁弁４４を閉にする信号を送る。
【００２４】
水冷システム異常検出手段４５は、供給用配管４１に設けられた圧力センサ４５１と、
供給用配管４１と排出用配管４２の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサ４５２と、供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられた温度センサ４５３，４５４を有する。
この場合は、供給用配管４１に圧力センサ４５１と温度センサ４５３とが取付けられ、排出用配管４２に流量センサ４５２と温度センサ４５４とが取付けられている。
【００２５】
メインフレーム４とテストヘッド５は、電源ケーブル４６と、供給用配管４１と排出用配管４２とに接続された循環水配管４７とで連結され、メインフレーム４はテストヘッド５に電源ケーブル４６を介して電力を供給し、チラー６から供給された循環水を循環水配管４７を介してテストヘッド５に中継する。
【００２６】
チラー６は電源ケーブル６１により工場から直接供給され電力で動作し、メインフレーム４に循環水配管６２を介して循環水の供給・循環を行う。
チラー６は、熱交換器６０１とポンプ６０２と温調手段６０３とを有する。
循環水配管６２によりチラー６に戻った循環水は、熱交換器６０１で、工場冷却水配管６３により供給される工場冷却水に熱交換され排熱する。
【００２７】
テストヘッド５内部にて水冷システム異常が発生した場合は、メインフレーム４内部の各センサ４５１，４５２，４５３，４５４により検出され、電磁弁４４を閉じ、テストヘッド５への循環水供給を停止させ、電源ケーブル４６による電力供給も停止させる。
チラー６から供給される循環水は、バイパス配管４３を経由してチラー６へもどるために、チラー６は正常動作を維持する。
【００２８】
チラー６側に異常が発生した場合は、通常、チラー６単体が有する異常検出手段によりチラー６側でチラー６自身の動作をコントロールする。
結果として、メインフレーム４側に供給する循環水の出力異常となり、温度・圧力・流量のいずれかの異常となるため、メインフレーム４内部のセンサ４５１，４５２，４５３，４５４で間接的に異常検出し、同様の動作を行う。
【００２９】
チラー６自身に異常検出機能を有しない場合でも、水冷システムに影響を及ぼす温度・圧力・流量が供給された場合は、メインフレーム４の内部センサ４５１，４５２，４５３，４５４で検出し、メインフレーム４側で保護動作が可能である。
【００３０】
この結果、
テストヘッド５側の水冷システムに異常が発生した場合に、冷却水の供給装置に関係なく、安全にテストヘッド５側の水冷システムを停止することができる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３１】
水冷システム異常検出手段４５は、供給用配管４１に設けられた圧力センサ４５１と、供給用配管４１と排出用配管４２の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサ４５２と、供給用配管４１と排出用配管４２とに設けられた温度センサ４５３，４５４とが設けられたので、確実に、テストヘッド５側の水冷システムの異常を検出できる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３２】
供給用配管４１と排出用配管４２とに一方が接続され他方が工場側冷却水配管６３に接続された熱交換装置が設けられたので、テストヘッド５側の水冷システムを閉鎖された循環水の循環システムにすることが出来るので、循環水が循環するので、水質管理が容易となり、耐久性が向上された水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３３】
熱交換装置はチラー６が使用されたので、テストヘッド５側の水冷システムに適する水温と圧力が容易に得られ、チラー６は市場性があり入手容易で、安価であるので、安価な水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３４】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図２において、ヒーター装置７１は、供給用配管４１に一端が接続されている。
水質調整装置７２は、ヒーター装置７１の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管４に接続されている。
【００３５】
この結果、供給用配管４１に一端が接続されたヒーター装置７１と、ヒーター装置７１の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管６４に接続された水質調整装置７２とが設けられたので、テストヘッド５側の水冷システムに適する水質と水温とが容易に得られる水冷式ＩＣ試験装置が得られる。
【００３６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１ メインフレーム
１１ 電源ケーブル
１２ 電源ケーブル
２ テストヘッド
２１ 水冷配管
３ チラーユニット
３１ チラー
３１１ 熱交換器
３１２ ポンプ
３１３ 温調手段
３２ 異常検出手段
３３ 循環水配管
３４ 工場冷却水配管
３５ アラームケーブル
４ メインフレーム
４１ 供給用配管
４２ 排出用配管
４３ バイパス配管
４４ 電磁弁
４５ 水冷システム異常検出手段
４５１ 圧力センサ
４５２ 流量センサ
４５３ 温度センサ
４５４ 温度センサ
４６ 電源ケーブル
４７ 循環水配管
５ テストヘッド
５１ 水冷配管
６ チラー
６０１ 熱交換器
６０２ ポンプ
６０３ 温調手段
６１ 電源ケーブル
６２ 循環水配管
６３ 工場冷却水配管
７１ ヒーター装置
７２ 水質調整装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
システム全体に電源を供給をするメインフレームから電源と冷却水とが供給されるテストヘッドを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、
前記メインフレームに設けられた冷却水の供給用配管と排出用配管と、
前記メインフレームに設けられ前記供給用配管と排出用配管とを連通するバイパス配管と
前記メインフレームの前記バイパス配管より下流側の前記供給用配管に設けられた電磁弁と、
前記メインフレームの前記電磁弁より下流側の前記供給用配管と排出用配管とに設けられ前記テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に前記電磁弁に前記電磁弁を閉にする信号を送る水冷システム異常検出手段と
を具備したことを特徴とする水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項２】
前記水冷システム異常検出手段は、前記供給用配管に設けられた圧力センサと、
前記供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサと、
前記供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサと
を具備したことを特徴とする請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項３】
前記供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項４】
前記熱交換装置はチラーが使用されたこと
を特徴とする請求項３記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項５】
前記供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、
このヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項１】
システム全体に電源を供給をするメインフレームから電源と冷却水とが供給されるテストヘッドを具備する水冷式ＩＣ試験装置において、
前記メインフレームに設けられた冷却水の供給用配管と排出用配管と、
前記メインフレームに設けられ前記供給用配管と排出用配管とを連通するバイパス配管と
前記メインフレームの前記バイパス配管より下流側の前記供給用配管に設けられた電磁弁と、
前記メインフレームの前記電磁弁より下流側の前記供給用配管と排出用配管とに設けられ前記テストヘッド側の水冷システムに異常が発生した場合に前記電磁弁に前記電磁弁を閉にする信号を送る水冷システム異常検出手段と
を具備したことを特徴とする水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項２】
前記水冷システム異常検出手段は、前記供給用配管に設けられた圧力センサと、
前記供給用配管と排出用配管の少なくともいずれか一方に設けられた流量センサと、
前記供給用配管と排出用配管とに設けられた温度センサと
を具備したことを特徴とする請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項３】
前記供給用配管と排出用配管とに一方が接続され他方が工場側冷却水の配管に接続された熱交換装置
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項４】
前記熱交換装置はチラーが使用されたこと
を特徴とする請求項３記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【請求項５】
前記供給用配管に一端が接続されたヒーター装置と、
このヒーター装置の他端に一端が接続され他端が工場側冷却水の配管に接続された水質調整装置と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の水冷式ＩＣ試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００９−２５１５０（Ｐ２００９−２５１５０Ａ）
【公開日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１８８４６１（Ｐ２００７−１８８４６１）
【出願日】平成１９年７月１９日（２００７．７．１９）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年２月５日（２００９．２．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年７月１９日（２００７．７．１９）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
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