液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
【課題】簡単な構造で内部の換気を的確に行うことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力発生室１１の一部を区画する振動部材１５と、振動部材１５を介して圧力発生室１１に圧力変動を与える圧電素子３５と、圧電素子３５に電気信号を供給するため異方性導電性接着剤で圧電素子３５に接続されるフレキシブルプリント基板５０と、圧電素子３５及びフレキシブルプリント基板５０を内部に収納するケース４０とを具備するヘッド本体１００の圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０との接続部位において圧力発生室１１の並設方向に沿って、ケース４０に設けた流入口から排出口６２に向かう気流が形成されるように構成した。
【解決手段】圧力発生室１１の一部を区画する振動部材１５と、振動部材１５を介して圧力発生室１１に圧力変動を与える圧電素子３５と、圧電素子３５に電気信号を供給するため異方性導電性接着剤で圧電素子３５に接続されるフレキシブルプリント基板５０と、圧電素子３５及びフレキシブルプリント基板５０を内部に収納するケース４０とを具備するヘッド本体１００の圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０との接続部位において圧力発生室１１の並設方向に沿って、ケース４０に設けた流入口から排出口６２に向かう気流が形成されるように構成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電圧を印加することで変形する圧電素子で液体に圧力を付与することにより
ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例として、ノズルか
らインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、特許文献１に開示されたも
のが知られている。特許文献１に開示されたものは、ノズルが複数穿設されたノズルプレ
ートが一方面に接合され各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力発生室を備えている。
【０００４】
また、各圧力発生室の共通のインク室であるマニホールド（インク貯留室）が形成され
たマニホールド形成基板（流路基板）を備えている。そして、圧力発生室内の圧力を変化
させてノズルにインク吐出力を付与する圧電振動子（圧電素子）を備えている。更に、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムとステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる金属薄
膜との複合板で構成されマニホールド形成基板の他方面に接合された振動板を備えている
。
【０００５】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子に配線部材（フレキシブル回路
基板）が接続され、駆動回路からの電気信号が圧電素子に供給されている。圧電素子と配
線部材は導電性の接着剤（ＡＣＦ）で接合され、コストをかけることなく作業性良く接合
される。また、基板等の部材の接合にはウレタン系の接着剤が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１４８５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで上記特許文献１のインクジェット式記録ヘッドでは、振動部や薄肉部を構成す
るポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）が有機溶剤の揮発ガスを透過させる性質を有し
ている。このため、有機溶剤を含む溶剤系インクを吐出すると、揮発ガスが振動部を透過
して空間部内に流入する。かかる揮発ガスは、振動部の変形などに伴い一部が外部空間に
排出されるが、空気より比重が大きいため、その大半が空間部内に残留する。
【０００８】
このような有機溶剤の揮発ガスは、圧電素子と配線部材を接着する導電性の接着剤（Ａ
ＣＦ）を膨潤させて接着不良を生じさせる虞があった。接着不良は電気的な接続不良につ
ながり、製品の信頼性に影響を及ぼすことになる。
【０００９】
また、有機溶剤の揮発ガスは、基板等の部材の接合にも影響を及ぼすため、製品寿命の
短縮や、振動部の変位特性の劣化等による良好なインク吐出特性の低下につながることに
なる。このように有機溶剤の揮発ガスは、インクジェット式記録ヘッドに対して様々な悪
影響を及ぼすことが考えられる。
【００１０】
このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけでなく、インク以外の有機溶剤を
含む液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１１】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、簡単な構造で内部の換気を的確に行うこと
ができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドは、液滴を吐出させるノズルが形成
されたノズルプレートと、ノズルに連通しマニホールドから液体が供給される複数の圧力
発生室と、前記圧力発生室の一部を区画する封止板と、前記封止板を介して前記圧力発生
室に圧力変動を与える圧電素子と、前記圧電素子に電気信号を供給するため異方性導電性
接着剤で前記圧電素子に接続される配線部材と、前記圧電素子及び配線部材を内部に収納
するケースとを具備するヘッド本体と、少なくとも前記圧電素子により前記圧力発生室に
前記圧力変動が付与される間は、前記圧電素子の前記配線部材が接続されている部位で前
記ケースの内部に気流を発生させる気流発生手段を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッ
ドにある。
本態様によれば、少なくとも圧電素子により圧力発生室に圧力変動が付与される間、す
なわちノズルから液体が吐出され、圧電素子の配線部材が接続されている部位に吐出され
た液体のミストが漂っている可能性が高い間は前記部位に気流発生手段により気流が形成
されているので、ミスト状液体が前記部位等に付着するのを可及的に防止し得る。この結
果、液体が有機溶剤を含む溶剤系の液体であっても、また圧電素子の配線部材を異方性導
電性接着剤で接続している場合でも、当該接続部位や基板等の部材を接合する接着剤によ
る接合部位が有機溶剤系の液体により腐食されるのを未然に防止し得る。
【００１３】
ここで、前記ケースは前記気流発生手段から気体を流入させる流入口又は前記気流発生
手段へ気体を排出する排出口の少なくとも何れか一方が形成されており、前記気流発生手
段は気体の供給手段または排出手段の少なくとも何れか一方を備えていることが望ましい
。この場合には、気体の圧送又は吸引によりケース内に良好に所定の気流を発生させるこ
とができる。また、前記気流発生手段は、前記電気信号による前記圧電素子の駆動に基づ
き駆動が開始され、前記電気信号による前記圧電素子の駆動の停止に基づき駆動が停止さ
れるように構成することができる。この場合には、ノズルから液体が吐出される期間は気
流発生手段によりケース内に気流が発生させられているので、液体の吐出によりミスト状
となってケースの内部に浸入した液体を確実に気流に乗せて配線基板の接続部位等への付
着を防止し得る。
【００１４】
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置にあ
る。
本態様によれば、ヘッド本体が液体を吐出している時に、気流発生手段で圧電素子と配
線部材が接続されている部位等に気流を発生させることで、ケース内に浸入したミスト状
の液体が前記部位等に付着するのを有効に防止することができる。この結果、有機溶剤系
の液体を吐出させる場合でも機器の長寿命化が実現でき、長期に亘り安定した所定の動作
が保証される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド本体の断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド本体（以下、単に「記録
ヘッド本体」という）１００は、圧力発生室１１を有する流路形成基板１０と、各圧力発
生室１１に連通する複数のノズル２１が穿設されたノズルプレート２０と、流路形成基板
１０のノズルプレート２０とは反対側の面に接合された振動部材１５とを具備する。また
本実施形態の記録ヘッド本体１００は、振動部材１５上の各圧力発生室１１に対応する領
域に設けられる圧電素子３５を複数有する圧電素子ユニット３０と、振動部材１５を介し
て流路形成基板１０の一方面に接合されたケース４０とを具備する。また、本実施形態で
は、流路形成基板１０に各圧力発生室１１の共通液室となるマニホールド１３が形成され
ており、流路形成基板１０がマニホールド形成基板にもなっている。
【００１７】
図１を参照すれば明らかな通り、本実施形態に係る記録ヘッド本体１００は、上述の如
き圧力発生室１１、ノズル２１、圧電素子ユニット３０等を二列有している。すなわち、
左右対称になるように圧力発生室１１やノズル２１等が二列形成されている。これは勿論
一列でも構わない。
【００１８】
流路形成基板１０には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区
画されてその幅方向で複数並設されている。なお、本実施形態では並設された複数の圧力
発生室１１からなる列が２列形成されている。また各圧力発生室１１の列の外側には、ケ
ース４０の液体導入路であるインク導入路４１を介してインクが供給されるマニホールド
１３が、流路形成基板１０を厚さ方向に貫通してそれぞれ１つずつ設けられている。
【００１９】
また、マニホールド１３と各圧力発生室１１とは、インク供給路１２を介して連通され
ており、各圧力発生室１１には、インク導入路４１、マニホールド１３及びインク供給路
１２を介してインクが供給される。インク供給路１２は、本実施形態では、圧力発生室１
１よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１３から圧力発生室１１に流入するイン
クの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。
【００２０】
さらに、圧力発生室１１のマニホールド１３とは反対の端部側には、流路形成基板１０
を貫通するノズル連通孔１４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基
板１０に液体流路として、マニホールド１３、インク供給路１２、圧力発生室１１、及び
ノズル連通孔１４が設けられている。このような流路形成基板１０は、本実施形態では、
シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１０に設けられる上記圧力発生室１１やマニ
ホールド１３等は、流路形成基板１０をエッチングすることによって形成されている。
【００２１】
この流路形成基板１０の一方面にはインクを吐出するノズル２１が複数穿設されたノズ
ルプレート２０が接合され、各ノズル２１は、流路形成基板１０に設けられたノズル連通
孔１４を介して各圧力発生室１１と連通している。
【００２２】
また、流路形成基板１０の他方面、すなわち圧力発生室１１の開口面には、振動部材１
５がウレタン系の接着剤からなる接着層１７で接合されており、各圧力発生室１１はこの
振動部材１５によって封止されている。なお、振動部材１５は、図示するように流路形成
基板１０の他方面の面積と同程度の面積を備えており、流路形成基板１０の他方面全体を
覆うように接合されている。
【００２３】
この振動部材１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜１５ａと、こ
の弾性膜１５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板１５ｂとの複合板で形成
されており、弾性膜１５ａ側が流路形成基板１０に接合されている。本実施形態では、弾
性膜１５ａは、厚さが数μｍ程度のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムから
なり、支持板１５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【００２４】
また、この振動部材１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域は、支持板１５ｂ
が除去されて実質的に弾性膜１５ａのみで構成された薄肉部１５ｄとなっている。この薄
肉部１５ｄは、圧力発生室１１の一方面を画成している。また、この薄肉部１５ｄの内側
には、各圧電素子３５の先端が当接する支持板１５ｂの一部からなる島部１５ｃがそれぞ
れ設けられている。また、振動部材１５のマニホールド１３に対向する領域は、支持板１
５ｂが除去されて弾性膜１５ａのみで構成される振動部１６となっている。この振動部１
６は、マニホールド１３内の圧力変化が生じた時に、変形することによって圧力変化を吸
収し、マニホールド１３内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。そして、かかる振
動部材１５上に、ケース４０がウレタン系の接着剤からなる接着層１８で接合されている
。つまり、本実施形態のケース４０は、振動部材１５を介して流路形成基板１０に接合さ
れている。
【００２５】
ケース４０には、図１に示すように、振動部１６に対向する位置に、凹部からなる空間
部４２が設けられている。ここで、空間部４２は、振動部１６の変形を阻害しない程度の
高さを備えている。また、ケース４０には、薄肉部１５ｄに対向する位置に、かかるケー
ス４０を貫通する貫通部からなる圧電素子収容部４３が設けられている。また、圧電素子
収容部４３のインク導入路４１側には、段差部４５が設けられており、後述する圧電素子
ユニット３０の固定基板３６がこの段差部４５に接合される。
【００２６】
また、ケース４０の流路形成基板１０側とは反対側の面には、後述するフレキシブルプ
リント基板５０の各配線層５１がそれぞれ接続される複数の導電パッド７１が設けられた
配線基板７０が固定されている。配線基板７０には、ケース４０の圧電素子収容部４３に
対向する領域にスリット状の開口部７２が形成されており、圧電素子収容部４３は、かか
る開口部７２により外部空間に連通されている。そして、かかる圧電素子収容部４３内に
、圧電素子３５を備える圧電素子ユニット３０が収容されている。
【００２７】
圧電素子ユニット３０は、各圧力発生室１１に対向して設けられ、圧力発生室１１とマ
ニホールド１３とを含む液体流路内の圧力を変動させる複数の圧電素子３５と、かかる圧
電素子３５をケース４０に取り付ける固定基板３６とで構成されている。
【００２８】
各圧電素子３５は、本実施形態では一つの圧電素子ユニット３０において一体的に形成
されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイ
ッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各
圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子３５が形成されて
いる。つまり、本実施形態では、複数の圧電素子３５が一体的に形成されている。そして
圧電素子３５は、先端部が振動部材１５の島部１５ｃに接着剤で接合されるとともに、振
動に寄与しない不活性領域となっている基端部側で固定基板３６に固着されている。この
ように圧電素子３５が固着された固定基板３６は、圧電素子収容部４３の段差部４５でケ
ース４０に接合されている。これにより圧電素子ユニット３０は、ケース４０の圧電素子
収容部４３に収容されて固定されている。
【００２９】
なお、固定基板３６は、上述のように圧電素子３５と一体的に設けられることで、圧電
素子ユニット３０を構成し、圧電素子ユニット３０はケース４０に位置決め固定される。
このとき、圧電素子３５の振動部材１５（島部１５ｃ）に対する位置合わせは、固定基板
３６の外周面とケース４０の圧電素子収容部４３の内面とによって行われる。これにより
、脆性材料である圧電素子３５を直接把持して位置合わせするのに比べて容易に且つ高精
度に位置合わせを行うことができる。
【００３０】
固定基板３６を構成する材料は特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム
、銅、鉄及びステンレス鋼などで好適に構成することができる。そして、かかる圧電素子
ユニット３０の圧電素子３５の基端部近傍には、固定基板３６とは反対側の面に、各圧電
素子３５を駆動するための信号を供給する配線層５１を有するフレキシブルプリント基板
５０が接続されている。
【００３１】
フレキシブルプリント基板５０は、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）
や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリン
ト基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパタ
ーンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子３５と接続される端子部などの他の配
線と接続される領域以外の領域をレジスト等の絶縁材料で覆ったものである。
【００３２】
このような、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１は、本実施形態においては、
その基端部側で異方性導電材等によって圧電素子３５を構成する電極形成材料３２，３３
に接続されている。
【００３３】
一方、先端部側では、各配線層５１はケース４０上に設けられた配線基板７０の導電パ
ッド７１と電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板５０はこの配線基板７０
の開口部７２から圧電素子収容部４３の外側に引き出されて、引き出された領域が屈曲さ
れて導電パッド７１と接続されている。
【００３４】
図２は本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」とい
う）を示す概略斜視図である。同図に示すように、本実施形態の記録ヘッド３００は、記
録ヘッド本体１００と気流発生手段２００とを組み合わせたものである。同図を参照すれ
ば明らかな通り、記録ヘッド本体１００のケース４０には、空気の流入口６１及び排出口
６２がケース４０の内部の空間である圧電素子収容部４３（図１参照）に臨んで形成され
ている。ここで、流入口６１及び排出口６２は、流入口６１から排出口６２に向かう方向
が、圧力発生室１１（図１参照）の並設方向（図２に矢印で示す方向）に沿うように構成
されている。気流発生手段２００はケース８０の内部を仕切板８１で仕切った二つの領域
である空気供給部８２と、空気排出部８３とを有している。空気供給部８２はチューブ９
１を介してケース４０の流入口６１に接続されており、また空気排出部８３はチューブ９
２を介してケース４０の排出口６２に接続されている。一方、ケース８０には空気供給部
８２に対応する部位に外部に開口する空気取入口８４が、また空気排出部８３に対応する
部位に外部に開口する空気排出口８５がそれぞれ形成されている。かくして空気供給部８
２からは、空気取入口８４を介して取込んだ空気がチューブ９１を介してケース４０内に
供給される。一方、空気排出部８３には、ケース４０内を流通した空気がチューブ９２を
介して供給される。かくしてケース４０内を流通した空気は空気排出部８３を介して空気
排出口８５から外部に排出される。
【００３５】
なお、図２に図示はしないが、空気供給部８２及び空気排出部８３には気流発生器がそ
れぞれ配設されている。空気供給部８２の気流発生器は、例えば空気取入口８４を介して
空気を取入れ、ケース４０に向けて圧送するファンで好適に形成することができる。また
、空気排出部８３の気流発生器は、例えば空気排出部８３にケース４０内の空気を取入れ
、空気排出口８５に向けて圧送するファンで好適に形成することができる。
【００３６】
ここで、気流発生器は空気供給部８２、空気排出部８３の少なくとも何れか一方に配設
されていれば良い。何れか一方にあれば、ケース４０の内部に流入口６１から排出口６２
に向かう気流を発生させることができるからである。
【００３７】
気流発生手段２００は少なくとも圧電素子３５により圧力発生室１１に圧力変動が付与
される間、すなわちノズル２１を介してインク滴が吐出されている間は駆動されてケース
４０内に所定の気流を発生させる。要するに、インク滴が吐出されケース４０の内部にイ
ンク滴の吐出に伴うインク成分がミスト状となって浸入する可能性が高い期間はケース４
０内に気流が形成されるように構成してある。本実施形態では、電気信号による圧電素子
３５の駆動に基づき駆動が開始され、前記電気信号による圧電素子３５の駆動の停止に基
づき駆動が停止されるように構成してある。具体的には、当該記録ヘッド３００を搭載す
る記録装置のスイッチのＯＮ状態に同期させて駆動を開始し、ＯＦＦ状態に同期させて駆
動を停止させれば良い。
【００３８】
かかる記録ヘッド３００においては、圧電素子３５及び振動部材１５の変形によって各
圧力発生室１１の容積を変化させることで、各ノズル２１からインク滴を吐出させている
。具体的には、図示しない液体貯留手段から液体導入路であるインク導入路４１を介して
マニホールド１３にインクが供給されると、インク供給路１２を介して各圧力発生室１１
にインクが分配される。そして、図示しない駆動回路からの駆動信号によって所定の圧電
素子３５に電圧を印加及び解除することによって、圧電素子３５を収縮及び伸張させて圧
力発生室１１に圧力変化を生じさせ、ノズル２１からインク滴を吐出させる。
【００３９】
一方、当該記録ヘッド３００を搭載する記録装置のスイッチのＯＮ状態に同期させて気
流発生手段２００が駆動を開始されているので、インク滴の吐出時にはケース４０内に流
入口６１から排出口６２に向かう気流が形成されている。すなわち、圧電素子収容部４３
に圧力発生室１１の並設方向に流れる気流が形成されている。この結果、インク滴の吐出
に伴うミスト状のインクが圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０との接続部位等
に付着するのを可及的に防止し得る。この結果、インクが有機溶剤を含む溶剤系のもので
あっても、また圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０とを異方性導電性接着剤で
接続している場合でも、当該接続部位や基板等の部材を接合する接着層１８等の接合部位
が有機溶剤系のインクにより腐食されるのを未然に防止し得る。
【００４０】
図３は本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。同図に示す
ように、本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉ（以下、単に「記録装置」という
）は、インクカートリッジ２が搭載されるキャリッジ３やキャリッジ３に取り付けられた
記録ヘッド本体１００を搭載している。キャリッジ３はタイミングベルト６を介してステ
ッピングモーター７に接続され、ガイドバー８に案内されて記録紙９の紙幅方向（主走査
方向）に往復移動する。キャリッジ３は上部に開放する箱型をなし、記録紙９と対面する
面（下面）に記録ヘッド本体１００のノズル面が露呈するよう取り付けられるとともに、
インクカートリッジ２が収容される。
【００４１】
制御装置４はキャリッジ３の往復動に追従して移動するフレキシブル配線５を介して所
定の電気信号を送出することにより、当該記録装置Ｉの動作の全体を制御する。気流発生
手段２００は制御装置４のケース上に配設されており、チューブ９１，９２を介して記録
ヘッド本体１００に接続されている。
【００４２】
かくして、記録ヘッド本体１００は、インクカートリッジ２から液体としてのインクが
供給され、印刷を行う際のホーム位置（基準位置）からキャリッジ３とともに移動しなが
ら記録紙９の上面にインク滴を吐出させて記録紙９に画像や文字をドットマトリックスに
より印刷する。
【００４３】
図３中の符号で、１０は印刷休止中に記録ヘッド本体１００のノズルを封止することに
よりインクの乾燥を防止するとともに記録ヘッド本体１００のノズル面に負圧を作用させ
てクリーニング動作をするキャップである。１１は記録ヘッド本体１００のノズル面をワ
イピングするワイパーブレードであり、１２はクリーニング動作で吸引した廃インクを貯
留する廃インク貯留部である。
【００４４】
なお、図示の記録ヘッド本体１００には、インクカートリッジ２からインクを供給する
ための流路が形成された流路形成部材が備えられているが、インクカートリッジがキャリ
ッジ３とは別の場所に収容され、配管を介してインクが記録ヘッド本体１００の流路形成
部材に圧送される構成のインクジェット式記録装置であっても勿論、本発明を適用するこ
とが可能である。
【００４５】
本実施形態に係る記録装置Ｉでは記録ヘッド本体１００によるインクの吐出時には、チ
ューブ９１を介して記録ヘッド本体１００のケース４０の内部に空気が供給されるととも
に、チューブ９２を介してケース４０内の空気を吸引することでケース４０内に気流が形
成されるので、インクの吐出により発生するミスト状のインクのケース４０内への滞留を
有効に防止し得る。この結果、インクが有機溶剤を含む場合でも長期に亘り安定した所定
の動作を継続することができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定される
ものではない。例えば、上記実施の形態における記録ヘッド本体１００は圧電素子３５の
縦振動によりインクを吐出させる方式のものを説明したが、これに限るものではない。薄
膜型の圧電素子の屈曲振動を利用したもの等、電気的な接続部や部材同士の接着層がイン
ク滴のミストに晒される可能性があるものであれば、制限なく適用できる。
【００４７】
また、気流発生手段は、圧電素子３５の接続部位でケース４０の内部に気流を発生させ
ることができれば良いので、ケース４０に流入口６１、排出口６２の二つを形成する必要
は必ずしもない。例えば開口部７２を流入路又は流出路として利用することもできる。
【００４８】
さらに、記録装置Ｉは記録ヘッド本体１００がキャリッジとともに移動するシリアル式
のものとして説明したが、記録ヘッド本体は固定しておき記録媒体が移動するライン式の
ものにも勿論適用し得る。
【００４９】
上述した実施形態では、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置としてインクジェット式記録
ヘッド及びインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド
及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘ
ッド及びそれを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射
ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、
液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬデ
ィスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘ
ッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５０】
Ｉ インクジェット式記録装置、 １０ 流路形成基板、 １１ 圧力発生室、 １２
インク供給路、 １４ ノズル連通孔、 １５ 振動部材、 １６ 振動部、 １７，
１８ 接着層、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル、 ３０ 圧電素子ユニット、
３４ 圧電素子形成部材、 ３５ 圧電素子、 ３６ 固定基板、 ４０ ケース、
４１ インク導入路、 ４３ 圧電素子収容部、 ５０ フレキシブルプリント基板、
６１ 流入口、 ６２ 排出口、 ７０ 配線基板、 ７２ 開口部、 ８０ ケース、
８２ 空気供給部、 ８３ 空気排出部、 ８４ 空気取入口、 ８５ 空気排出口、
９１，９２ チューブ、 １００ インクジェット式記録ヘッド本体（記録ヘッド本
体）、 ２００ 気流発生手段、 ３００ インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電圧を印加することで変形する圧電素子で液体に圧力を付与することにより
ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例として、ノズルか
らインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、特許文献１に開示されたも
のが知られている。特許文献１に開示されたものは、ノズルが複数穿設されたノズルプレ
ートが一方面に接合され各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力発生室を備えている。
【０００４】
また、各圧力発生室の共通のインク室であるマニホールド（インク貯留室）が形成され
たマニホールド形成基板（流路基板）を備えている。そして、圧力発生室内の圧力を変化
させてノズルにインク吐出力を付与する圧電振動子（圧電素子）を備えている。更に、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムとステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる金属薄
膜との複合板で構成されマニホールド形成基板の他方面に接合された振動板を備えている
。
【０００５】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子に配線部材（フレキシブル回路
基板）が接続され、駆動回路からの電気信号が圧電素子に供給されている。圧電素子と配
線部材は導電性の接着剤（ＡＣＦ）で接合され、コストをかけることなく作業性良く接合
される。また、基板等の部材の接合にはウレタン系の接着剤が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１４８５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで上記特許文献１のインクジェット式記録ヘッドでは、振動部や薄肉部を構成す
るポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）が有機溶剤の揮発ガスを透過させる性質を有し
ている。このため、有機溶剤を含む溶剤系インクを吐出すると、揮発ガスが振動部を透過
して空間部内に流入する。かかる揮発ガスは、振動部の変形などに伴い一部が外部空間に
排出されるが、空気より比重が大きいため、その大半が空間部内に残留する。
【０００８】
このような有機溶剤の揮発ガスは、圧電素子と配線部材を接着する導電性の接着剤（Ａ
ＣＦ）を膨潤させて接着不良を生じさせる虞があった。接着不良は電気的な接続不良につ
ながり、製品の信頼性に影響を及ぼすことになる。
【０００９】
また、有機溶剤の揮発ガスは、基板等の部材の接合にも影響を及ぼすため、製品寿命の
短縮や、振動部の変位特性の劣化等による良好なインク吐出特性の低下につながることに
なる。このように有機溶剤の揮発ガスは、インクジェット式記録ヘッドに対して様々な悪
影響を及ぼすことが考えられる。
【００１０】
このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけでなく、インク以外の有機溶剤を
含む液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１１】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、簡単な構造で内部の換気を的確に行うこと
ができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドは、液滴を吐出させるノズルが形成
されたノズルプレートと、ノズルに連通しマニホールドから液体が供給される複数の圧力
発生室と、前記圧力発生室の一部を区画する封止板と、前記封止板を介して前記圧力発生
室に圧力変動を与える圧電素子と、前記圧電素子に電気信号を供給するため異方性導電性
接着剤で前記圧電素子に接続される配線部材と、前記圧電素子及び配線部材を内部に収納
するケースとを具備するヘッド本体と、少なくとも前記圧電素子により前記圧力発生室に
前記圧力変動が付与される間は、前記圧電素子の前記配線部材が接続されている部位で前
記ケースの内部に気流を発生させる気流発生手段を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッ
ドにある。
本態様によれば、少なくとも圧電素子により圧力発生室に圧力変動が付与される間、す
なわちノズルから液体が吐出され、圧電素子の配線部材が接続されている部位に吐出され
た液体のミストが漂っている可能性が高い間は前記部位に気流発生手段により気流が形成
されているので、ミスト状液体が前記部位等に付着するのを可及的に防止し得る。この結
果、液体が有機溶剤を含む溶剤系の液体であっても、また圧電素子の配線部材を異方性導
電性接着剤で接続している場合でも、当該接続部位や基板等の部材を接合する接着剤によ
る接合部位が有機溶剤系の液体により腐食されるのを未然に防止し得る。
【００１３】
ここで、前記ケースは前記気流発生手段から気体を流入させる流入口又は前記気流発生
手段へ気体を排出する排出口の少なくとも何れか一方が形成されており、前記気流発生手
段は気体の供給手段または排出手段の少なくとも何れか一方を備えていることが望ましい
。この場合には、気体の圧送又は吸引によりケース内に良好に所定の気流を発生させるこ
とができる。また、前記気流発生手段は、前記電気信号による前記圧電素子の駆動に基づ
き駆動が開始され、前記電気信号による前記圧電素子の駆動の停止に基づき駆動が停止さ
れるように構成することができる。この場合には、ノズルから液体が吐出される期間は気
流発生手段によりケース内に気流が発生させられているので、液体の吐出によりミスト状
となってケースの内部に浸入した液体を確実に気流に乗せて配線基板の接続部位等への付
着を防止し得る。
【００１４】
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置にあ
る。
本態様によれば、ヘッド本体が液体を吐出している時に、気流発生手段で圧電素子と配
線部材が接続されている部位等に気流を発生させることで、ケース内に浸入したミスト状
の液体が前記部位等に付着するのを有効に防止することができる。この結果、有機溶剤系
の液体を吐出させる場合でも機器の長寿命化が実現でき、長期に亘り安定した所定の動作
が保証される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド本体の断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド本体（以下、単に「記録
ヘッド本体」という）１００は、圧力発生室１１を有する流路形成基板１０と、各圧力発
生室１１に連通する複数のノズル２１が穿設されたノズルプレート２０と、流路形成基板
１０のノズルプレート２０とは反対側の面に接合された振動部材１５とを具備する。また
本実施形態の記録ヘッド本体１００は、振動部材１５上の各圧力発生室１１に対応する領
域に設けられる圧電素子３５を複数有する圧電素子ユニット３０と、振動部材１５を介し
て流路形成基板１０の一方面に接合されたケース４０とを具備する。また、本実施形態で
は、流路形成基板１０に各圧力発生室１１の共通液室となるマニホールド１３が形成され
ており、流路形成基板１０がマニホールド形成基板にもなっている。
【００１７】
図１を参照すれば明らかな通り、本実施形態に係る記録ヘッド本体１００は、上述の如
き圧力発生室１１、ノズル２１、圧電素子ユニット３０等を二列有している。すなわち、
左右対称になるように圧力発生室１１やノズル２１等が二列形成されている。これは勿論
一列でも構わない。
【００１８】
流路形成基板１０には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区
画されてその幅方向で複数並設されている。なお、本実施形態では並設された複数の圧力
発生室１１からなる列が２列形成されている。また各圧力発生室１１の列の外側には、ケ
ース４０の液体導入路であるインク導入路４１を介してインクが供給されるマニホールド
１３が、流路形成基板１０を厚さ方向に貫通してそれぞれ１つずつ設けられている。
【００１９】
また、マニホールド１３と各圧力発生室１１とは、インク供給路１２を介して連通され
ており、各圧力発生室１１には、インク導入路４１、マニホールド１３及びインク供給路
１２を介してインクが供給される。インク供給路１２は、本実施形態では、圧力発生室１
１よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１３から圧力発生室１１に流入するイン
クの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。
【００２０】
さらに、圧力発生室１１のマニホールド１３とは反対の端部側には、流路形成基板１０
を貫通するノズル連通孔１４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基
板１０に液体流路として、マニホールド１３、インク供給路１２、圧力発生室１１、及び
ノズル連通孔１４が設けられている。このような流路形成基板１０は、本実施形態では、
シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１０に設けられる上記圧力発生室１１やマニ
ホールド１３等は、流路形成基板１０をエッチングすることによって形成されている。
【００２１】
この流路形成基板１０の一方面にはインクを吐出するノズル２１が複数穿設されたノズ
ルプレート２０が接合され、各ノズル２１は、流路形成基板１０に設けられたノズル連通
孔１４を介して各圧力発生室１１と連通している。
【００２２】
また、流路形成基板１０の他方面、すなわち圧力発生室１１の開口面には、振動部材１
５がウレタン系の接着剤からなる接着層１７で接合されており、各圧力発生室１１はこの
振動部材１５によって封止されている。なお、振動部材１５は、図示するように流路形成
基板１０の他方面の面積と同程度の面積を備えており、流路形成基板１０の他方面全体を
覆うように接合されている。
【００２３】
この振動部材１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜１５ａと、こ
の弾性膜１５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板１５ｂとの複合板で形成
されており、弾性膜１５ａ側が流路形成基板１０に接合されている。本実施形態では、弾
性膜１５ａは、厚さが数μｍ程度のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムから
なり、支持板１５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【００２４】
また、この振動部材１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域は、支持板１５ｂ
が除去されて実質的に弾性膜１５ａのみで構成された薄肉部１５ｄとなっている。この薄
肉部１５ｄは、圧力発生室１１の一方面を画成している。また、この薄肉部１５ｄの内側
には、各圧電素子３５の先端が当接する支持板１５ｂの一部からなる島部１５ｃがそれぞ
れ設けられている。また、振動部材１５のマニホールド１３に対向する領域は、支持板１
５ｂが除去されて弾性膜１５ａのみで構成される振動部１６となっている。この振動部１
６は、マニホールド１３内の圧力変化が生じた時に、変形することによって圧力変化を吸
収し、マニホールド１３内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。そして、かかる振
動部材１５上に、ケース４０がウレタン系の接着剤からなる接着層１８で接合されている
。つまり、本実施形態のケース４０は、振動部材１５を介して流路形成基板１０に接合さ
れている。
【００２５】
ケース４０には、図１に示すように、振動部１６に対向する位置に、凹部からなる空間
部４２が設けられている。ここで、空間部４２は、振動部１６の変形を阻害しない程度の
高さを備えている。また、ケース４０には、薄肉部１５ｄに対向する位置に、かかるケー
ス４０を貫通する貫通部からなる圧電素子収容部４３が設けられている。また、圧電素子
収容部４３のインク導入路４１側には、段差部４５が設けられており、後述する圧電素子
ユニット３０の固定基板３６がこの段差部４５に接合される。
【００２６】
また、ケース４０の流路形成基板１０側とは反対側の面には、後述するフレキシブルプ
リント基板５０の各配線層５１がそれぞれ接続される複数の導電パッド７１が設けられた
配線基板７０が固定されている。配線基板７０には、ケース４０の圧電素子収容部４３に
対向する領域にスリット状の開口部７２が形成されており、圧電素子収容部４３は、かか
る開口部７２により外部空間に連通されている。そして、かかる圧電素子収容部４３内に
、圧電素子３５を備える圧電素子ユニット３０が収容されている。
【００２７】
圧電素子ユニット３０は、各圧力発生室１１に対向して設けられ、圧力発生室１１とマ
ニホールド１３とを含む液体流路内の圧力を変動させる複数の圧電素子３５と、かかる圧
電素子３５をケース４０に取り付ける固定基板３６とで構成されている。
【００２８】
各圧電素子３５は、本実施形態では一つの圧電素子ユニット３０において一体的に形成
されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイ
ッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各
圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子３５が形成されて
いる。つまり、本実施形態では、複数の圧電素子３５が一体的に形成されている。そして
圧電素子３５は、先端部が振動部材１５の島部１５ｃに接着剤で接合されるとともに、振
動に寄与しない不活性領域となっている基端部側で固定基板３６に固着されている。この
ように圧電素子３５が固着された固定基板３６は、圧電素子収容部４３の段差部４５でケ
ース４０に接合されている。これにより圧電素子ユニット３０は、ケース４０の圧電素子
収容部４３に収容されて固定されている。
【００２９】
なお、固定基板３６は、上述のように圧電素子３５と一体的に設けられることで、圧電
素子ユニット３０を構成し、圧電素子ユニット３０はケース４０に位置決め固定される。
このとき、圧電素子３５の振動部材１５（島部１５ｃ）に対する位置合わせは、固定基板
３６の外周面とケース４０の圧電素子収容部４３の内面とによって行われる。これにより
、脆性材料である圧電素子３５を直接把持して位置合わせするのに比べて容易に且つ高精
度に位置合わせを行うことができる。
【００３０】
固定基板３６を構成する材料は特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム
、銅、鉄及びステンレス鋼などで好適に構成することができる。そして、かかる圧電素子
ユニット３０の圧電素子３５の基端部近傍には、固定基板３６とは反対側の面に、各圧電
素子３５を駆動するための信号を供給する配線層５１を有するフレキシブルプリント基板
５０が接続されている。
【００３１】
フレキシブルプリント基板５０は、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）
や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、フレキシブルプリン
ト基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパタ
ーンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子３５と接続される端子部などの他の配
線と接続される領域以外の領域をレジスト等の絶縁材料で覆ったものである。
【００３２】
このような、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１は、本実施形態においては、
その基端部側で異方性導電材等によって圧電素子３５を構成する電極形成材料３２，３３
に接続されている。
【００３３】
一方、先端部側では、各配線層５１はケース４０上に設けられた配線基板７０の導電パ
ッド７１と電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板５０はこの配線基板７０
の開口部７２から圧電素子収容部４３の外側に引き出されて、引き出された領域が屈曲さ
れて導電パッド７１と接続されている。
【００３４】
図２は本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」とい
う）を示す概略斜視図である。同図に示すように、本実施形態の記録ヘッド３００は、記
録ヘッド本体１００と気流発生手段２００とを組み合わせたものである。同図を参照すれ
ば明らかな通り、記録ヘッド本体１００のケース４０には、空気の流入口６１及び排出口
６２がケース４０の内部の空間である圧電素子収容部４３（図１参照）に臨んで形成され
ている。ここで、流入口６１及び排出口６２は、流入口６１から排出口６２に向かう方向
が、圧力発生室１１（図１参照）の並設方向（図２に矢印で示す方向）に沿うように構成
されている。気流発生手段２００はケース８０の内部を仕切板８１で仕切った二つの領域
である空気供給部８２と、空気排出部８３とを有している。空気供給部８２はチューブ９
１を介してケース４０の流入口６１に接続されており、また空気排出部８３はチューブ９
２を介してケース４０の排出口６２に接続されている。一方、ケース８０には空気供給部
８２に対応する部位に外部に開口する空気取入口８４が、また空気排出部８３に対応する
部位に外部に開口する空気排出口８５がそれぞれ形成されている。かくして空気供給部８
２からは、空気取入口８４を介して取込んだ空気がチューブ９１を介してケース４０内に
供給される。一方、空気排出部８３には、ケース４０内を流通した空気がチューブ９２を
介して供給される。かくしてケース４０内を流通した空気は空気排出部８３を介して空気
排出口８５から外部に排出される。
【００３５】
なお、図２に図示はしないが、空気供給部８２及び空気排出部８３には気流発生器がそ
れぞれ配設されている。空気供給部８２の気流発生器は、例えば空気取入口８４を介して
空気を取入れ、ケース４０に向けて圧送するファンで好適に形成することができる。また
、空気排出部８３の気流発生器は、例えば空気排出部８３にケース４０内の空気を取入れ
、空気排出口８５に向けて圧送するファンで好適に形成することができる。
【００３６】
ここで、気流発生器は空気供給部８２、空気排出部８３の少なくとも何れか一方に配設
されていれば良い。何れか一方にあれば、ケース４０の内部に流入口６１から排出口６２
に向かう気流を発生させることができるからである。
【００３７】
気流発生手段２００は少なくとも圧電素子３５により圧力発生室１１に圧力変動が付与
される間、すなわちノズル２１を介してインク滴が吐出されている間は駆動されてケース
４０内に所定の気流を発生させる。要するに、インク滴が吐出されケース４０の内部にイ
ンク滴の吐出に伴うインク成分がミスト状となって浸入する可能性が高い期間はケース４
０内に気流が形成されるように構成してある。本実施形態では、電気信号による圧電素子
３５の駆動に基づき駆動が開始され、前記電気信号による圧電素子３５の駆動の停止に基
づき駆動が停止されるように構成してある。具体的には、当該記録ヘッド３００を搭載す
る記録装置のスイッチのＯＮ状態に同期させて駆動を開始し、ＯＦＦ状態に同期させて駆
動を停止させれば良い。
【００３８】
かかる記録ヘッド３００においては、圧電素子３５及び振動部材１５の変形によって各
圧力発生室１１の容積を変化させることで、各ノズル２１からインク滴を吐出させている
。具体的には、図示しない液体貯留手段から液体導入路であるインク導入路４１を介して
マニホールド１３にインクが供給されると、インク供給路１２を介して各圧力発生室１１
にインクが分配される。そして、図示しない駆動回路からの駆動信号によって所定の圧電
素子３５に電圧を印加及び解除することによって、圧電素子３５を収縮及び伸張させて圧
力発生室１１に圧力変化を生じさせ、ノズル２１からインク滴を吐出させる。
【００３９】
一方、当該記録ヘッド３００を搭載する記録装置のスイッチのＯＮ状態に同期させて気
流発生手段２００が駆動を開始されているので、インク滴の吐出時にはケース４０内に流
入口６１から排出口６２に向かう気流が形成されている。すなわち、圧電素子収容部４３
に圧力発生室１１の並設方向に流れる気流が形成されている。この結果、インク滴の吐出
に伴うミスト状のインクが圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０との接続部位等
に付着するのを可及的に防止し得る。この結果、インクが有機溶剤を含む溶剤系のもので
あっても、また圧電素子３５とフレキシブルプリント基板５０とを異方性導電性接着剤で
接続している場合でも、当該接続部位や基板等の部材を接合する接着層１８等の接合部位
が有機溶剤系のインクにより腐食されるのを未然に防止し得る。
【００４０】
図３は本発明の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。同図に示す
ように、本実施形態に係るインクジェット式記録装置Ｉ（以下、単に「記録装置」という
）は、インクカートリッジ２が搭載されるキャリッジ３やキャリッジ３に取り付けられた
記録ヘッド本体１００を搭載している。キャリッジ３はタイミングベルト６を介してステ
ッピングモーター７に接続され、ガイドバー８に案内されて記録紙９の紙幅方向（主走査
方向）に往復移動する。キャリッジ３は上部に開放する箱型をなし、記録紙９と対面する
面（下面）に記録ヘッド本体１００のノズル面が露呈するよう取り付けられるとともに、
インクカートリッジ２が収容される。
【００４１】
制御装置４はキャリッジ３の往復動に追従して移動するフレキシブル配線５を介して所
定の電気信号を送出することにより、当該記録装置Ｉの動作の全体を制御する。気流発生
手段２００は制御装置４のケース上に配設されており、チューブ９１，９２を介して記録
ヘッド本体１００に接続されている。
【００４２】
かくして、記録ヘッド本体１００は、インクカートリッジ２から液体としてのインクが
供給され、印刷を行う際のホーム位置（基準位置）からキャリッジ３とともに移動しなが
ら記録紙９の上面にインク滴を吐出させて記録紙９に画像や文字をドットマトリックスに
より印刷する。
【００４３】
図３中の符号で、１０は印刷休止中に記録ヘッド本体１００のノズルを封止することに
よりインクの乾燥を防止するとともに記録ヘッド本体１００のノズル面に負圧を作用させ
てクリーニング動作をするキャップである。１１は記録ヘッド本体１００のノズル面をワ
イピングするワイパーブレードであり、１２はクリーニング動作で吸引した廃インクを貯
留する廃インク貯留部である。
【００４４】
なお、図示の記録ヘッド本体１００には、インクカートリッジ２からインクを供給する
ための流路が形成された流路形成部材が備えられているが、インクカートリッジがキャリ
ッジ３とは別の場所に収容され、配管を介してインクが記録ヘッド本体１００の流路形成
部材に圧送される構成のインクジェット式記録装置であっても勿論、本発明を適用するこ
とが可能である。
【００４５】
本実施形態に係る記録装置Ｉでは記録ヘッド本体１００によるインクの吐出時には、チ
ューブ９１を介して記録ヘッド本体１００のケース４０の内部に空気が供給されるととも
に、チューブ９２を介してケース４０内の空気を吸引することでケース４０内に気流が形
成されるので、インクの吐出により発生するミスト状のインクのケース４０内への滞留を
有効に防止し得る。この結果、インクが有機溶剤を含む場合でも長期に亘り安定した所定
の動作を継続することができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定される
ものではない。例えば、上記実施の形態における記録ヘッド本体１００は圧電素子３５の
縦振動によりインクを吐出させる方式のものを説明したが、これに限るものではない。薄
膜型の圧電素子の屈曲振動を利用したもの等、電気的な接続部や部材同士の接着層がイン
ク滴のミストに晒される可能性があるものであれば、制限なく適用できる。
【００４７】
また、気流発生手段は、圧電素子３５の接続部位でケース４０の内部に気流を発生させ
ることができれば良いので、ケース４０に流入口６１、排出口６２の二つを形成する必要
は必ずしもない。例えば開口部７２を流入路又は流出路として利用することもできる。
【００４８】
さらに、記録装置Ｉは記録ヘッド本体１００がキャリッジとともに移動するシリアル式
のものとして説明したが、記録ヘッド本体は固定しておき記録媒体が移動するライン式の
ものにも勿論適用し得る。
【００４９】
上述した実施形態では、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置としてインクジェット式記録
ヘッド及びインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド
及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘ
ッド及びそれを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射
ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、
液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬデ
ィスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘ
ッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５０】
Ｉ インクジェット式記録装置、 １０ 流路形成基板、 １１ 圧力発生室、 １２
インク供給路、 １４ ノズル連通孔、 １５ 振動部材、 １６ 振動部、 １７，
１８ 接着層、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル、 ３０ 圧電素子ユニット、
３４ 圧電素子形成部材、 ３５ 圧電素子、 ３６ 固定基板、 ４０ ケース、
４１ インク導入路、 ４３ 圧電素子収容部、 ５０ フレキシブルプリント基板、
６１ 流入口、 ６２ 排出口、 ７０ 配線基板、 ７２ 開口部、 ８０ ケース、
８２ 空気供給部、 ８３ 空気排出部、 ８４ 空気取入口、 ８５ 空気排出口、
９１，９２ チューブ、 １００ インクジェット式記録ヘッド本体（記録ヘッド本
体）、 ２００ 気流発生手段、 ３００ インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出させるノズルが形成されたノズルプレートと、
ノズルに連通しマニホールドから液体が供給される複数の圧力発生室と、
前記圧力発生室の一部を区画する封止板と、
前記封止板を介して前記圧力発生室に圧力変動を与える圧電素子と、
前記圧電素子に電気信号を供給するため異方性導電性接着剤で前記圧電素子に接続され
る配線部材と、
前記圧電素子及び配線部材を内部に収納するケースとを具備するヘッド本体と、
少なくとも前記圧電素子により前記圧力発生室に前記圧力変動が付与される間は、前記
圧電素子の前記配線部材が接続されている部位で前記ケースの内部に気流を発生させる気
流発生手段を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記ケースは前記気流発生手段から気体を流入させる流入口又は前記気流発生手段へ気
体を排出する排出口の少なくとも何れか一方が形成されており、前記気流発生手段は気体
の供給手段または排出手段の少なくとも何れか一方を備えていることを特徴とする液体噴
射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記気流発生手段は、前記電気信号による前記圧電素子の駆動に基づき駆動が開始され
、前記電気信号による前記圧電素子の駆動の停止に基づき駆動が停止されるように構成し
たことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを有することを特徴とする
液体噴射装置。
【請求項１】
液滴を吐出させるノズルが形成されたノズルプレートと、
ノズルに連通しマニホールドから液体が供給される複数の圧力発生室と、
前記圧力発生室の一部を区画する封止板と、
前記封止板を介して前記圧力発生室に圧力変動を与える圧電素子と、
前記圧電素子に電気信号を供給するため異方性導電性接着剤で前記圧電素子に接続され
る配線部材と、
前記圧電素子及び配線部材を内部に収納するケースとを具備するヘッド本体と、
少なくとも前記圧電素子により前記圧力発生室に前記圧力変動が付与される間は、前記
圧電素子の前記配線部材が接続されている部位で前記ケースの内部に気流を発生させる気
流発生手段を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記ケースは前記気流発生手段から気体を流入させる流入口又は前記気流発生手段へ気
体を排出する排出口の少なくとも何れか一方が形成されており、前記気流発生手段は気体
の供給手段または排出手段の少なくとも何れか一方を備えていることを特徴とする液体噴
射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記気流発生手段は、前記電気信号による前記圧電素子の駆動に基づき駆動が開始され
、前記電気信号による前記圧電素子の駆動の停止に基づき駆動が停止されるように構成し
たことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを有することを特徴とする
液体噴射装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−２１３９７４（Ｐ２０１２−２１３９７４Ａ）
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８１７０５（Ｐ２０１１−８１７０５）
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月８日（２０１２．１１．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月１日（２０１１．４．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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