温度チャンバ及び温度制御システムならびに自動閉鎖ケーブル貫通モジュール
収容された装置を検査する温度チャンバが、チャンバの温度を制御するための温度制御された空気の供給源に接続される。温度チャンバは、チャンバの側面に形成された断熱材を有する。温度制御された空気を検査される装置に直接導くために汎用マニホールド・アダプタがチャンバに接続される。温度チャンバは、排出システムも有する。自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、チャンバの外側面に接続される。貫通モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
[関連出願]
本願は、2006年3月20日に出願された米国仮特許出願番号60/784,044及び2006年3月22日に出願された米国仮特許出願番号60/784,745の利益を請求し、それぞれの出願の内容は、引用によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【0002】
本発明は、一般に、空気などの温度制御された流体の供給源に接続するための温度制御された筐体、及びその筐体と供給源を含むシステムに関する。本発明は、詳細には、断熱材を有する温度制御されたチャンバ、検査される装置に空気を導く手段、排出システム、及び自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに関する。
【背景技術】
【0003】
標準温度チャンバの製造業者は多数ある。一般に、そのようなチャンバ内では、加熱コイル及び/又は冷却コイル上に空気を導くファン又はブロワを含む閉ループで空気が循環されて、空気が検査領域に入る前に空気の温度が調整される。次に、空気は検査領域から出て、再び加熱コイル及び/又は冷却コイル上に導かれて、再び検査領域に入る前に空気の温度が調整される。これらのステップが繰り返される。標準温度チャンバは、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。更に、標準温度チャンバは、チャンバ内で金属(又は他の材料)のライナを使用する。金属ライナは、熱負荷として働き、設定温度間で遷移する時間を大幅に長くする。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明によれば、温度制御された流体の供給源が、温度チャンバ内の温度を制御するために開ループ温度源として使用される。この供給源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管(すなわち、柔軟な伸縮装置)がある。温度制御された空気は、温度チャンバから排出される。温度源として標準温度源を使用することによって、温度制御された空気の供給源をいくつかの異なる温度チャンバ構成に(1回に1つ)接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときの経済的解決が提供される。更に、供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【0005】
本発明は、供給源(すなわち、開ループ温度源)と共に使用するための一群の温度チャンバを有する。
【0006】
本発明の特徴は、熱損失を最小にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能を全体的に改善するきわめて効率的な断熱設計を有する温度制御された筐体を提供することである。
【0007】
本発明の別の特徴は、特定の検査用途の温度応答を改善するために、きわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法を備えた温度制御された筐体を提供することである。
【0008】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に、温度均一性を最適化するための空気排出システムを提供することである。
【0009】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを提供することである。
【0010】
上記特徴のうちの1つ又は複数は、本発明の温度チャンバの実施形態のそれぞれに含まれる。
【0011】
本発明の別の特徴は、上記の特徴の1つ又は複数を有する温度制御システムを提供することである。
【0012】
本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、チャンバの側面に形成された断熱材とを有する。
【0013】
一実施形態では、温度制御システムは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。別の実施形態では、交換式マニホールドは、装置に流体を導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0014】
一実施形態では、温度制御システムは、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出の位置は、ユーザによって選択可能である。
【0015】
一実施形態では、チャンバはフード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0016】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査する装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0017】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それによりチャンバに装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0018】
一実施形態では、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールが、チャンバの外側面に接続される。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0019】
一実施形態では、流体は空気である。
【0020】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。
【0021】
一実施形態では、交換式マニホールドは、流体を装置に導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体の均一な分配を提供するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0022】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出位置は、ユーザによって選択可能である。
【0023】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にはシリコーン薄層が接着される。
【0024】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0025】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、そのチャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0026】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通ってモジュールの第1の位置でチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0027】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0028】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通って第1の位置でモジュールに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0029】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザによって選択可能である。
【0030】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0031】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0032】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0033】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0034】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有し、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0035】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの側面に形成された断熱材を有する。
【0036】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。一実施形態では、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0037】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザにより選択可能である。
【0038】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0039】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0040】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それにより装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0041】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通ってモジュールの第1の位置でチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0042】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0043】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する。
【0044】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を介して第1の位置でチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0045】
本発明の以上及びその他の目的、特徴及び利点は、様々な図全体を通して類似の参照文字が同じ部分を指す添付図面に示されているような、より具体的な本発明の好ましい態様の説明から明らかになるであろう。図面は必ずしも一律の縮尺とは限らず、それどころか本発明の原理を示す強調がなされている。
【0046】
本発明によれば、空気などの温度制御された流体の供給源(例えば、Temptronic Corporation of Sharon Massachusettsによって製造販売されているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310)は、温度チャンバ内の温度を制御するための開ループ温度源として使用される。その温度源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管(即ち、自在な伸縮装置)を有する。温度チャンバからは温度制御された空気が出る。本発明によれば、温度制御された空気の供給源を(1度に1台)いくつかの異なる温度チャンバ構成に接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときに経済的解決が提供される。温度チャンバ内で検査される装置は、プリント回路基板、機械式若しくは電子式モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。更に、この供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【0047】
本発明は、供給源(すなわち、開ループ温度源)と共に使用される一群の交換可能な温度チャンバを含む。チャンバの特徴には、熱損失を最小限にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能の全般的改善を実現するきわめて効率的な断熱設計と、特定の検査用途の熱応答を改善するきわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法と、温度均一性を最適化する独特な排出システムと、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとがある。
【0048】
本発明の第1の実施形態では、チャンバは、フード構成である。図1は、空気などの温度制御された流体の供給源10に接続された本発明の実施形態によるフード・チャンバ12の概略斜視図である。供給源10は、例えば、Temptronic Corporation of Sharon, Massachusettsが製造販売しているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310や他の類似の装置でよい。供給源10は、フード・チャンバ12内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。供給源10のヘッド14が、3本の刻み付きねじでフード・チャンバ12の上面に直接に取り付けられる。ヘッド14をヘッドフード・チャンバ12に取り付けるには工具は不要である。ヘッド14は、旋回アーム15によって供給源10に取り付けられる。
【0049】
図2Aから図2Eは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を備えた図1のフード・チャンバ12の概略図である。フード・チャンバ12は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20は、温度検査を最適化するために交換式マニホールドを使用することを可能にする。図2Aから図2Eは、交換式マニホールドを示す。熱的性能を最適化するために、供給源10によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。フード・チャンバ12内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【0050】
汎用マニホールド・アダプタ20を使用すると、同じフード・チャンバ12内で検査要件に変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。図2Aは、マニホールドが取り付けられていない状態の汎用マニホールド・アダプタ20を備えたフード12の概略図である。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部(穴)を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の水平管22でよい。マニホールドは、2本以上の水平管22でよい。図2Bは、空気排出用の複数の小さな穴を有し、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた2本の水平管22を備えたフード・チャンバ12の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導くために1本の柔軟な管でもよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための任意の他のマニホールドでもよい。図2Cは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24を備えたフード・チャンバ12の概略図である。図2Dは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24と、フード・チャンバ12の側面部にある排気口26とを有するフード・チャンバ12の概略図である。図2Eは、シャワーヘッド・マニホールド24と、空気排出用の複数の小さな穴を有し汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた4本の水平管22とを有するフード・チャンバ12の概略図である。
【0051】
図3は、本発明の実施形態による図1のフード・チャンバ12の概略斜視図である。図3に示したようなフード・チャンバ12に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フード・チャンバ12は、断熱材16の表面に接着されたシリコーン薄層18を有する断熱材層16を有する。接着層18は、断熱材16の破損を防ぐのに必要な保護を提供する。接着層18は、熱負荷として働き設定温度間で遷移する時間を大幅に長くするフード・チャンバ12内側の金属(又は、他の材料)のライナを不要にする。フード・チャンバ12は、取手23を有する。
【0052】
図4は、本発明の実施形態による図1のフード・チャンバ12の概略斜視図である。図4では、フード・チャンバ12は、空気供給源10から分離されている。供給源10に接続するために空気吸入接続25が使用される。
【0053】
フード・チャンバ12は、また、検査領域内の温度均一性を最適化するために独特な排出システムを内臓する。すべてのフード・チャンバ構成は、検査領域全体にわたる均一な空気分配を保証するために検査領域内に複数の排気領域を提供する。排気領域は、一般に、フード・チャンバ12の側面部分に配置されるが、均一性を最適化するために必要に応じて他の位置にあってもよい。図2Dと図3に示したように、フードチャンバ12の側面部分に排気口26が配置される。図2Dと図3に示したように、排気口26はすべてフード・チャンバ12内部で繋がり、特定の構成ではフード・チャンバ12から出る1つの排出口28だけが使用される。内部経路27は、フード・チャンバ12内の排気経路である。排気位置は、検査オペレータに便利なようにユーザ選択可能である(第1と第2の出口28が90度離される)。フード・チャンバ12は、取っ手23を備える。
【0054】
代替の実施形態では、チャンバは、クラムシェル構成のものである。図5Aと図5Bは、本発明の実施形態による供給源10に接続されたクラムシェル・チャンバ30の概略斜視図である。クラムシェル・チャンバ30は、検査される装置が上側からチャンバ内に装填されるようにトップローディングされる。図5Aと図5Bでは、供給源10は、クラムシェル・チャンバ30内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図5Aでは、供給源10のヘッド14は、温度制御された空気を供給源10からクラムシェル・チャンバ30に移す柔軟な伸縮装置32を介してクラムシェル・チャンバ30の側面に接続される。図5Aでは、ヘッド14は、旋回アーム15に接続される。図5Bでは、供給源10の出力は、温度制御された空気を供給源10からクラムシェル・チャンバ30に柔軟な伸縮装置32を介してクラムシェル・チャンバ30の側面に接続される。柔軟な伸縮装置32のクラムシェル・チャンバ30への取り付けは、3本の刻み付きねじで行なわれる。柔軟な伸縮装置32をクラムシェル・チャンバ30に取り付けるのに工具は不要である。取り付けは、都合に応じてクラムシェル・チャンバのどちら側に行われてもよい。
【0055】
図6Aから図6Eは、本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバ30の概略図である。具体的には、図6Aは、クラムシェル・チャンバ30の概略平面図である。図6Bは、クラムシェル・チャンバ30の概略後面図である。図6Cは、クラムシェル・チャンバ30の概略正面図である。図6Dは、開位置のクラムシェル・チャンバ30の概略図である。図6Eは、本発明の実施形態による、図6Aの断面E−Eに沿ったクラムシェル・チャンバ30の概略断面図である。
【0056】
クラムシェル・チャンバ30は、ヒンジ35によって下側部分36に接続された上側部分34を有する。クラムシェル・チャンバ30が閉じられているとき、上側部分34と下側部分36は、ラッチ33によって掛止される。クラムシェル30は、クラムシェル・チャンバ30の両側に、ケーブルをクラムシェル・チャンバ30の内部に接続するための4つのケーブル貫通口41を有する。
【0057】
クラムシェル・チャンバ30に使用され、図6Eとして示されたような断熱設計は、既存の手法よりも温度変化が早く生じることを可能にする。クラムシェル・チャンバ30は、断熱材43を使用し、すなわち、クラムシェル・チャンバ30の外側シェル37とクラムシェル・チャンバ30の内側ライナ39を使用する。内側ライナ39は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材43を保護する。内側ライナ39は、熱損失を最小限にし、且つ熱的性能(すなわち、温度応答と温度均一性)を最適化するために、外側シェル37から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ39は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼で作成されるが、他の適切な材料でもよい。
【0058】
図7Aから図7Cは、本発明の一実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を備えた図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバ30の概略図である。クラムシェル・チャンバ30は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するために汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源10によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、単に、検査される装置に空気を導くことなく空気を循環させる。クラムシェル・チャンバ30内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【0059】
同一クラムシェル・チャンバ内で検査要件の変化に対応しなければならない場合は、汎用マニホールド・アダプタ20を使用して、空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分(穴)を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の水平管22でよい。マニホールドは、2本以上の水平管22でよい。図7Aは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する2本の水平管22を備えたクラムシェル・チャンバ30の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良好に導く1本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための他のマニホールドでもよい。図7Bは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24を有するクラムシェル・チャンバ30の概略図である。図7Cは、シャワーヘッド形マニホールド24と、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する4本の水平管22とを備えたクラムシェル・チャンバ30の概略図である。
【0060】
クラムシェル・チャンバ30は、また、検査領域内の温度均一性を最適化する独特な排出システムを有する。クラムシェル・チャンバ30は、図6Eに示したように、熱的に検査される装置をユーザが配置する取り付け台38を有する。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は温度検査を必要とする他の装置でよい。取り付け台38は、排出口40の上に配置され、排出口40は、クラムシェル・チャンバ30の底の中心に配置され、従って、空気吸入口45からクラムシェル・チャンバ30に入った温度制御された空気はすべて、クラムシェル・チャンバ30を出る前に検査される装置の上を流れる。この構成は、クラムシェル・チャンバ30内の温度均一性及び温度応答を最適化し、すなわち、設定点温度の変化が早くなる。図6Bと図6Eに示したように、排気は、後部排出口42までクラムシェル・チャンバ内部を後方に送られる。
【0061】
図8A、図8B、図9A、図9B、図10A及び図10Bでは、供給源10は、本発明の別の実施形態により、フロントローダ・チャンバ44内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図8Aと図8Bは、本発明により供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図8Aと図8Bでは、供給源10のヘッド14は、直接、又は温度制御された空気を供給源ヘッド14からフロントローダ・チャンバ44に移す柔軟な伸縮装置32を介して、フロントローダ・チャンバ44の後部に取り付けられる。図8Aと図8Bでは、ヘッド14は、旋回アーム15によって供給源10に取り付けられる。図9Aと図9Bは、本発明の別の実施形態により、供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図9Aと図9Bでは、供給源10の出力は、温度制御された空気を供給源10からフロントローダ・チャンバ44に移す柔軟な伸縮装置32を介してフロントローダー・チャンバ44の後部に取り付けられる。図10Aと図10Bは、本発明の別の実施形態による供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図10Aと図10Bでは、フロントローダ・チャンバ44は、供給源10の上部に直接合体される。
【0062】
図8A、図8B、図9A、図9B、図10A及び図10Bを参照すると、フロントローダ・チャンバ44は、ヒンジ47によって後部48に接続された前部46を有する。フロントローダ・チャンバ44が閉位置にあるとき、ラッチ49は、前部46と後部48を掛止する。フロントローダ・チャンバ44は、フロントローダ・チャンバ44の内部にケーブルを接続するためのケーブル貫通部51を有する。
【0063】
図11は、本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバ44の分解斜視図である。図11に示したように、フロントローダ・チャンバ44に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フロントローダ・チャンバ44は、フロントローダ・チャンバ44の外側シェル56とフロントローダ・チャンバ44の内側ライナ52の間に断熱材54を使用する。内側ライナ52は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材54を保護する。しかしながら、内側ライナ52は、熱損失を最小にし且つ熱的性能(すなわち、温度応答と温度均一性)を最適化するために外側シェル56から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ52は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼からなるが、他の適切な材料でもよい。
【0064】
図12Aと図12Bは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を有するフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図12Aと図12Bでは、フロントローダ・チャンバ44は、検査の完了の時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源10から供給される温度制御された空気を検査される装置に導くことが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、検査される装置に空気を導くことなにし単に空気を循環させる。フロントローダ・チャンバ44内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、検査される装置に温度制御された空気を直接導くことができる。
【0065】
汎用マニホールド・アダプタ20により、同じフロントローダ・チャンバ44内の検査要件の変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変化させることができる。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分(穴)を備える。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の管22でよい。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する2本以上の管22でよい。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導く1本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形マニホールドでよい。図12Aは、シャワーヘッド形マニホールド24と、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられ空気排出用の複数の小さな穴を有する4本の水平管22とを備えたフロントローダ・チャンバ44の概略図である。マニホールドは、図12Bに示したような、プレートが広い面積にわたって温度制御された空気を均一に分配するバッフル・システム58でもよく、温度制御された空気を分配する任意の他のマニホールドでもよい。
【0066】
フロントローダ・チャンバ44は、また、検査領域内で温度均一性を最適化するために独特の排出システムを有する。図13Aから図13Eは、本発明の実施形態によるフロントローダ・チャンバ44の概略図を示す。具体的には、図13Aは、閉位置のフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図13Bは、開位置のフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図13Cは、フロントローダ・チャンバ44の概略平面図である。図13Dは、フロントローダ・チャンバ44の概略後面図である。図13Eは、フロントローダ・チャンバ44の概略側面図である。フロントローダ・チャンバ44は、熱的に検査される装置をユーザが配置する様々なタイプの棚を備えてもよい。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。好ましい実施形態では、図12A、図12B及び図13Bに示したように、棚50は、一般に、水平面に配置され、温度制御された空気がフロントローダ・チャンバ44から出る前に検査される装置の上に流れることを可能にする。棚50は、取り付け装置53によってフロントローダ・チャンバ44に取り付けられる。取り付け装置53は、複数の切欠きを有し、それにより、棚50を複数の位置で取り付け装置に挿入することもでき、複数の棚50を備えることができる。図13Dに示したように、空気は、空気吸入口61からフロントローダ・チャンバ44の後部に入り、フロントローダ・チャンバ44内の温度応答と温度均一性を最適化するように配置された4つ以上の排出口領域60に向かって前方に流れる。排出口領域60は、図13Bでは、前方の4つの隅に示されているが、熱的性能を最適化するために他の位置にあってもよい。排気は、後側排出口62からフロントローダ・チャンバ44の後部まで内部で送られる。
【0067】
図14Aから図14Hは、本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64の概略図である。本発明の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、図14Fに示したようにフロントローダ・チャンバ44と関連して使用されてもよく、図14Gに示したようにフード・チャンバ12と関連して使用されてもよく、図14Hに示したようにクラムシェル・チャンバ30と関連して使用されてもよく、他の標準温度チャンバや更に他の未定義のチャンバ構成と関連して使用されてもよい。
【0068】
図14Aは、例としてフロントローダ・チャンバ44と共に使用されるケーブル貫通モジュール64を示す図14Fの部分Aの詳細な概略図である。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバの外部からチャンバの内部にケーブル66を通すための便利な方法を提供する。ここで言及するケーブル66は、任意の目的のために、チャンバ内で検査される温度である装置の要件を満たすものでよい。ケーブル66は、チャンバ内で検査される装置を、チャンバ内で検査される装置との間でデータを送信し且つ/又は受信するために使用される検査システムに接続する。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、ケーブル66の取り付けのためにチャンバから取外し可能である。ケーブル66は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64の第1の半体68と第2の半体70に通される。次に、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバ壁内に組み込まれ、組み込まれたとき、第1の半体68と第2の半体70は密着し、図14A、図14D及び図14Eに示したように、ケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0069】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、図14Aと図14Eに示したようなクランプ74によって、又は他の適切な手段によって、適所に固定される。乾燥空気供給源76は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64に乾燥空気を提供して、低温処理中の水分/霜の形成がないようにする。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバの外側面に接続される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が、図14Bと図14Cに示したような開位置にあるとき、第1の半体68と第2の半体は、第2の半体70を第1の半体に対して接続部72のまわりに回転させることによって分離される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が開位置にあるとき、ケーブル66は、第1の半体68と第2の半体70を介してチャンバ内に送り込まれる。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が閉位置にあるときは、図14A、図14D及び図14Eに示したように、第1の部分と第2の部分は閉じられ、ケーブル66のまわりに漏れ止めシールを形成する。図14A、図14B、及び図14Dから図14Hに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、取っ手78を有する。図14Eは、図14Dの断面B−Bに沿った断面図である。図14Dに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は断熱材80を有する。
【0070】
本発明を詳細に示しその例示的な実施形態に関して説明してきたが、当業者は、添付の特許請求の範囲よって定義されたような本発明の精神と範囲から逸脱することなく形態と詳細の様々な変更を行うことができることを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
【0071】
【図1】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフード・チャンバの概略斜視図である。
【図2A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2C】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2D】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2E】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図3】本発明の実施形態による図1のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図4】本発明の実施形態による図1のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図5A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図5B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図6A】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6B】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6C】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6D】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6E】本発明の実施形態によるクラムシェル・チャンバの概略断面図である。
【図7A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図7B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図7C】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図8A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図8B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図9A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図9B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図10A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図10B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図11】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの分解斜視図である。
【図12A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図12B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13A】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13B】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13C】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13D】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13E】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図14A】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14B】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14C】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14D】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14E】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14F】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14G】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14H】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【技術分野】
【0001】
[関連出願]
本願は、2006年3月20日に出願された米国仮特許出願番号60/784,044及び2006年3月22日に出願された米国仮特許出願番号60/784,745の利益を請求し、それぞれの出願の内容は、引用によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【0002】
本発明は、一般に、空気などの温度制御された流体の供給源に接続するための温度制御された筐体、及びその筐体と供給源を含むシステムに関する。本発明は、詳細には、断熱材を有する温度制御されたチャンバ、検査される装置に空気を導く手段、排出システム、及び自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに関する。
【背景技術】
【0003】
標準温度チャンバの製造業者は多数ある。一般に、そのようなチャンバ内では、加熱コイル及び/又は冷却コイル上に空気を導くファン又はブロワを含む閉ループで空気が循環されて、空気が検査領域に入る前に空気の温度が調整される。次に、空気は検査領域から出て、再び加熱コイル及び/又は冷却コイル上に導かれて、再び検査領域に入る前に空気の温度が調整される。これらのステップが繰り返される。標準温度チャンバは、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。更に、標準温度チャンバは、チャンバ内で金属(又は他の材料)のライナを使用する。金属ライナは、熱負荷として働き、設定温度間で遷移する時間を大幅に長くする。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明によれば、温度制御された流体の供給源が、温度チャンバ内の温度を制御するために開ループ温度源として使用される。この供給源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管(すなわち、柔軟な伸縮装置)がある。温度制御された空気は、温度チャンバから排出される。温度源として標準温度源を使用することによって、温度制御された空気の供給源をいくつかの異なる温度チャンバ構成に(1回に1つ)接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときの経済的解決が提供される。更に、供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【0005】
本発明は、供給源(すなわち、開ループ温度源)と共に使用するための一群の温度チャンバを有する。
【0006】
本発明の特徴は、熱損失を最小にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能を全体的に改善するきわめて効率的な断熱設計を有する温度制御された筐体を提供することである。
【0007】
本発明の別の特徴は、特定の検査用途の温度応答を改善するために、きわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法を備えた温度制御された筐体を提供することである。
【0008】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に、温度均一性を最適化するための空気排出システムを提供することである。
【0009】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを提供することである。
【0010】
上記特徴のうちの1つ又は複数は、本発明の温度チャンバの実施形態のそれぞれに含まれる。
【0011】
本発明の別の特徴は、上記の特徴の1つ又は複数を有する温度制御システムを提供することである。
【0012】
本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、チャンバの側面に形成された断熱材とを有する。
【0013】
一実施形態では、温度制御システムは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。別の実施形態では、交換式マニホールドは、装置に流体を導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0014】
一実施形態では、温度制御システムは、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出の位置は、ユーザによって選択可能である。
【0015】
一実施形態では、チャンバはフード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0016】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査する装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0017】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それによりチャンバに装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0018】
一実施形態では、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールが、チャンバの外側面に接続される。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0019】
一実施形態では、流体は空気である。
【0020】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。
【0021】
一実施形態では、交換式マニホールドは、流体を装置に導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体の均一な分配を提供するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0022】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出位置は、ユーザによって選択可能である。
【0023】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にはシリコーン薄層が接着される。
【0024】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0025】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、そのチャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0026】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通ってモジュールの第1の位置でチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0027】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0028】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通って第1の位置でモジュールに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0029】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザによって選択可能である。
【0030】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0031】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0032】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0033】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0034】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有し、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0035】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの側面に形成された断熱材を有する。
【0036】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。一実施形態では、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【0037】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザにより選択可能である。
【0038】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【0039】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0040】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それにより装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【0041】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を通ってモジュールの第1の位置でチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0042】
一実施形態では、流体は、空気である。
【0043】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する。
【0044】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する。モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、第1と第2の部分を介して第1の位置でチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0045】
本発明の以上及びその他の目的、特徴及び利点は、様々な図全体を通して類似の参照文字が同じ部分を指す添付図面に示されているような、より具体的な本発明の好ましい態様の説明から明らかになるであろう。図面は必ずしも一律の縮尺とは限らず、それどころか本発明の原理を示す強調がなされている。
【0046】
本発明によれば、空気などの温度制御された流体の供給源(例えば、Temptronic Corporation of Sharon Massachusettsによって製造販売されているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310)は、温度チャンバ内の温度を制御するための開ループ温度源として使用される。その温度源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管(即ち、自在な伸縮装置)を有する。温度チャンバからは温度制御された空気が出る。本発明によれば、温度制御された空気の供給源を(1度に1台)いくつかの異なる温度チャンバ構成に接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときに経済的解決が提供される。温度チャンバ内で検査される装置は、プリント回路基板、機械式若しくは電子式モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。更に、この供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【0047】
本発明は、供給源(すなわち、開ループ温度源)と共に使用される一群の交換可能な温度チャンバを含む。チャンバの特徴には、熱損失を最小限にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能の全般的改善を実現するきわめて効率的な断熱設計と、特定の検査用途の熱応答を改善するきわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法と、温度均一性を最適化する独特な排出システムと、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとがある。
【0048】
本発明の第1の実施形態では、チャンバは、フード構成である。図1は、空気などの温度制御された流体の供給源10に接続された本発明の実施形態によるフード・チャンバ12の概略斜視図である。供給源10は、例えば、Temptronic Corporation of Sharon, Massachusettsが製造販売しているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310や他の類似の装置でよい。供給源10は、フード・チャンバ12内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。供給源10のヘッド14が、3本の刻み付きねじでフード・チャンバ12の上面に直接に取り付けられる。ヘッド14をヘッドフード・チャンバ12に取り付けるには工具は不要である。ヘッド14は、旋回アーム15によって供給源10に取り付けられる。
【0049】
図2Aから図2Eは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を備えた図1のフード・チャンバ12の概略図である。フード・チャンバ12は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20は、温度検査を最適化するために交換式マニホールドを使用することを可能にする。図2Aから図2Eは、交換式マニホールドを示す。熱的性能を最適化するために、供給源10によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。フード・チャンバ12内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【0050】
汎用マニホールド・アダプタ20を使用すると、同じフード・チャンバ12内で検査要件に変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。図2Aは、マニホールドが取り付けられていない状態の汎用マニホールド・アダプタ20を備えたフード12の概略図である。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部(穴)を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の水平管22でよい。マニホールドは、2本以上の水平管22でよい。図2Bは、空気排出用の複数の小さな穴を有し、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた2本の水平管22を備えたフード・チャンバ12の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導くために1本の柔軟な管でもよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための任意の他のマニホールドでもよい。図2Cは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24を備えたフード・チャンバ12の概略図である。図2Dは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24と、フード・チャンバ12の側面部にある排気口26とを有するフード・チャンバ12の概略図である。図2Eは、シャワーヘッド・マニホールド24と、空気排出用の複数の小さな穴を有し汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた4本の水平管22とを有するフード・チャンバ12の概略図である。
【0051】
図3は、本発明の実施形態による図1のフード・チャンバ12の概略斜視図である。図3に示したようなフード・チャンバ12に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フード・チャンバ12は、断熱材16の表面に接着されたシリコーン薄層18を有する断熱材層16を有する。接着層18は、断熱材16の破損を防ぐのに必要な保護を提供する。接着層18は、熱負荷として働き設定温度間で遷移する時間を大幅に長くするフード・チャンバ12内側の金属(又は、他の材料)のライナを不要にする。フード・チャンバ12は、取手23を有する。
【0052】
図4は、本発明の実施形態による図1のフード・チャンバ12の概略斜視図である。図4では、フード・チャンバ12は、空気供給源10から分離されている。供給源10に接続するために空気吸入接続25が使用される。
【0053】
フード・チャンバ12は、また、検査領域内の温度均一性を最適化するために独特な排出システムを内臓する。すべてのフード・チャンバ構成は、検査領域全体にわたる均一な空気分配を保証するために検査領域内に複数の排気領域を提供する。排気領域は、一般に、フード・チャンバ12の側面部分に配置されるが、均一性を最適化するために必要に応じて他の位置にあってもよい。図2Dと図3に示したように、フードチャンバ12の側面部分に排気口26が配置される。図2Dと図3に示したように、排気口26はすべてフード・チャンバ12内部で繋がり、特定の構成ではフード・チャンバ12から出る1つの排出口28だけが使用される。内部経路27は、フード・チャンバ12内の排気経路である。排気位置は、検査オペレータに便利なようにユーザ選択可能である(第1と第2の出口28が90度離される)。フード・チャンバ12は、取っ手23を備える。
【0054】
代替の実施形態では、チャンバは、クラムシェル構成のものである。図5Aと図5Bは、本発明の実施形態による供給源10に接続されたクラムシェル・チャンバ30の概略斜視図である。クラムシェル・チャンバ30は、検査される装置が上側からチャンバ内に装填されるようにトップローディングされる。図5Aと図5Bでは、供給源10は、クラムシェル・チャンバ30内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図5Aでは、供給源10のヘッド14は、温度制御された空気を供給源10からクラムシェル・チャンバ30に移す柔軟な伸縮装置32を介してクラムシェル・チャンバ30の側面に接続される。図5Aでは、ヘッド14は、旋回アーム15に接続される。図5Bでは、供給源10の出力は、温度制御された空気を供給源10からクラムシェル・チャンバ30に柔軟な伸縮装置32を介してクラムシェル・チャンバ30の側面に接続される。柔軟な伸縮装置32のクラムシェル・チャンバ30への取り付けは、3本の刻み付きねじで行なわれる。柔軟な伸縮装置32をクラムシェル・チャンバ30に取り付けるのに工具は不要である。取り付けは、都合に応じてクラムシェル・チャンバのどちら側に行われてもよい。
【0055】
図6Aから図6Eは、本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバ30の概略図である。具体的には、図6Aは、クラムシェル・チャンバ30の概略平面図である。図6Bは、クラムシェル・チャンバ30の概略後面図である。図6Cは、クラムシェル・チャンバ30の概略正面図である。図6Dは、開位置のクラムシェル・チャンバ30の概略図である。図6Eは、本発明の実施形態による、図6Aの断面E−Eに沿ったクラムシェル・チャンバ30の概略断面図である。
【0056】
クラムシェル・チャンバ30は、ヒンジ35によって下側部分36に接続された上側部分34を有する。クラムシェル・チャンバ30が閉じられているとき、上側部分34と下側部分36は、ラッチ33によって掛止される。クラムシェル30は、クラムシェル・チャンバ30の両側に、ケーブルをクラムシェル・チャンバ30の内部に接続するための4つのケーブル貫通口41を有する。
【0057】
クラムシェル・チャンバ30に使用され、図6Eとして示されたような断熱設計は、既存の手法よりも温度変化が早く生じることを可能にする。クラムシェル・チャンバ30は、断熱材43を使用し、すなわち、クラムシェル・チャンバ30の外側シェル37とクラムシェル・チャンバ30の内側ライナ39を使用する。内側ライナ39は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材43を保護する。内側ライナ39は、熱損失を最小限にし、且つ熱的性能(すなわち、温度応答と温度均一性)を最適化するために、外側シェル37から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ39は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼で作成されるが、他の適切な材料でもよい。
【0058】
図7Aから図7Cは、本発明の一実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を備えた図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバ30の概略図である。クラムシェル・チャンバ30は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するために汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源10によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、単に、検査される装置に空気を導くことなく空気を循環させる。クラムシェル・チャンバ30内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【0059】
同一クラムシェル・チャンバ内で検査要件の変化に対応しなければならない場合は、汎用マニホールド・アダプタ20を使用して、空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分(穴)を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の水平管22でよい。マニホールドは、2本以上の水平管22でよい。図7Aは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する2本の水平管22を備えたクラムシェル・チャンバ30の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良好に導く1本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための他のマニホールドでもよい。図7Bは、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド24を有するクラムシェル・チャンバ30の概略図である。図7Cは、シャワーヘッド形マニホールド24と、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する4本の水平管22とを備えたクラムシェル・チャンバ30の概略図である。
【0060】
クラムシェル・チャンバ30は、また、検査領域内の温度均一性を最適化する独特な排出システムを有する。クラムシェル・チャンバ30は、図6Eに示したように、熱的に検査される装置をユーザが配置する取り付け台38を有する。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は温度検査を必要とする他の装置でよい。取り付け台38は、排出口40の上に配置され、排出口40は、クラムシェル・チャンバ30の底の中心に配置され、従って、空気吸入口45からクラムシェル・チャンバ30に入った温度制御された空気はすべて、クラムシェル・チャンバ30を出る前に検査される装置の上を流れる。この構成は、クラムシェル・チャンバ30内の温度均一性及び温度応答を最適化し、すなわち、設定点温度の変化が早くなる。図6Bと図6Eに示したように、排気は、後部排出口42までクラムシェル・チャンバ内部を後方に送られる。
【0061】
図8A、図8B、図9A、図9B、図10A及び図10Bでは、供給源10は、本発明の別の実施形態により、フロントローダ・チャンバ44内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図8Aと図8Bは、本発明により供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図8Aと図8Bでは、供給源10のヘッド14は、直接、又は温度制御された空気を供給源ヘッド14からフロントローダ・チャンバ44に移す柔軟な伸縮装置32を介して、フロントローダ・チャンバ44の後部に取り付けられる。図8Aと図8Bでは、ヘッド14は、旋回アーム15によって供給源10に取り付けられる。図9Aと図9Bは、本発明の別の実施形態により、供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図9Aと図9Bでは、供給源10の出力は、温度制御された空気を供給源10からフロントローダ・チャンバ44に移す柔軟な伸縮装置32を介してフロントローダー・チャンバ44の後部に取り付けられる。図10Aと図10Bは、本発明の別の実施形態による供給源10に接続されたフロントローダ・チャンバ44の概略斜視図である。図10Aと図10Bでは、フロントローダ・チャンバ44は、供給源10の上部に直接合体される。
【0062】
図8A、図8B、図9A、図9B、図10A及び図10Bを参照すると、フロントローダ・チャンバ44は、ヒンジ47によって後部48に接続された前部46を有する。フロントローダ・チャンバ44が閉位置にあるとき、ラッチ49は、前部46と後部48を掛止する。フロントローダ・チャンバ44は、フロントローダ・チャンバ44の内部にケーブルを接続するためのケーブル貫通部51を有する。
【0063】
図11は、本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバ44の分解斜視図である。図11に示したように、フロントローダ・チャンバ44に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フロントローダ・チャンバ44は、フロントローダ・チャンバ44の外側シェル56とフロントローダ・チャンバ44の内側ライナ52の間に断熱材54を使用する。内側ライナ52は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材54を保護する。しかしながら、内側ライナ52は、熱損失を最小にし且つ熱的性能(すなわち、温度応答と温度均一性)を最適化するために外側シェル56から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ52は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼からなるが、他の適切な材料でもよい。
【0064】
図12Aと図12Bは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ20を有するフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図12Aと図12Bでは、フロントローダ・チャンバ44は、検査の完了の時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ20を備える。汎用マニホールド・アダプタ20により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源10から供給される温度制御された空気を検査される装置に導くことが望ましい。従来の温度筐体(チャンバ)は、検査される装置に空気を導くことなにし単に空気を循環させる。フロントローダ・チャンバ44内の汎用マニホールド・アダプタ20により、マニホールドを追加して、検査される装置に温度制御された空気を直接導くことができる。
【0065】
汎用マニホールド・アダプタ20により、同じフロントローダ・チャンバ44内の検査要件の変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変化させることができる。汎用マニホールド・アダプタ20は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分(穴)を備える。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する1本の管22でよい。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する2本以上の管22でよい。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導く1本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形マニホールドでよい。図12Aは、シャワーヘッド形マニホールド24と、汎用マニホールド・アダプタ20に取り付けられ空気排出用の複数の小さな穴を有する4本の水平管22とを備えたフロントローダ・チャンバ44の概略図である。マニホールドは、図12Bに示したような、プレートが広い面積にわたって温度制御された空気を均一に分配するバッフル・システム58でもよく、温度制御された空気を分配する任意の他のマニホールドでもよい。
【0066】
フロントローダ・チャンバ44は、また、検査領域内で温度均一性を最適化するために独特の排出システムを有する。図13Aから図13Eは、本発明の実施形態によるフロントローダ・チャンバ44の概略図を示す。具体的には、図13Aは、閉位置のフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図13Bは、開位置のフロントローダ・チャンバ44の概略図である。図13Cは、フロントローダ・チャンバ44の概略平面図である。図13Dは、フロントローダ・チャンバ44の概略後面図である。図13Eは、フロントローダ・チャンバ44の概略側面図である。フロントローダ・チャンバ44は、熱的に検査される装置をユーザが配置する様々なタイプの棚を備えてもよい。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。好ましい実施形態では、図12A、図12B及び図13Bに示したように、棚50は、一般に、水平面に配置され、温度制御された空気がフロントローダ・チャンバ44から出る前に検査される装置の上に流れることを可能にする。棚50は、取り付け装置53によってフロントローダ・チャンバ44に取り付けられる。取り付け装置53は、複数の切欠きを有し、それにより、棚50を複数の位置で取り付け装置に挿入することもでき、複数の棚50を備えることができる。図13Dに示したように、空気は、空気吸入口61からフロントローダ・チャンバ44の後部に入り、フロントローダ・チャンバ44内の温度応答と温度均一性を最適化するように配置された4つ以上の排出口領域60に向かって前方に流れる。排出口領域60は、図13Bでは、前方の4つの隅に示されているが、熱的性能を最適化するために他の位置にあってもよい。排気は、後側排出口62からフロントローダ・チャンバ44の後部まで内部で送られる。
【0067】
図14Aから図14Hは、本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64の概略図である。本発明の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、図14Fに示したようにフロントローダ・チャンバ44と関連して使用されてもよく、図14Gに示したようにフード・チャンバ12と関連して使用されてもよく、図14Hに示したようにクラムシェル・チャンバ30と関連して使用されてもよく、他の標準温度チャンバや更に他の未定義のチャンバ構成と関連して使用されてもよい。
【0068】
図14Aは、例としてフロントローダ・チャンバ44と共に使用されるケーブル貫通モジュール64を示す図14Fの部分Aの詳細な概略図である。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバの外部からチャンバの内部にケーブル66を通すための便利な方法を提供する。ここで言及するケーブル66は、任意の目的のために、チャンバ内で検査される温度である装置の要件を満たすものでよい。ケーブル66は、チャンバ内で検査される装置を、チャンバ内で検査される装置との間でデータを送信し且つ/又は受信するために使用される検査システムに接続する。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、ケーブル66の取り付けのためにチャンバから取外し可能である。ケーブル66は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64の第1の半体68と第2の半体70に通される。次に、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバ壁内に組み込まれ、組み込まれたとき、第1の半体68と第2の半体70は密着し、図14A、図14D及び図14Eに示したように、ケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【0069】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、図14Aと図14Eに示したようなクランプ74によって、又は他の適切な手段によって、適所に固定される。乾燥空気供給源76は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64に乾燥空気を提供して、低温処理中の水分/霜の形成がないようにする。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、チャンバの外側面に接続される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が、図14Bと図14Cに示したような開位置にあるとき、第1の半体68と第2の半体は、第2の半体70を第1の半体に対して接続部72のまわりに回転させることによって分離される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が開位置にあるとき、ケーブル66は、第1の半体68と第2の半体70を介してチャンバ内に送り込まれる。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64が閉位置にあるときは、図14A、図14D及び図14Eに示したように、第1の部分と第2の部分は閉じられ、ケーブル66のまわりに漏れ止めシールを形成する。図14A、図14B、及び図14Dから図14Hに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は、取っ手78を有する。図14Eは、図14Dの断面B−Bに沿った断面図である。図14Dに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール64は断熱材80を有する。
【0070】
本発明を詳細に示しその例示的な実施形態に関して説明してきたが、当業者は、添付の特許請求の範囲よって定義されたような本発明の精神と範囲から逸脱することなく形態と詳細の様々な変更を行うことができることを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
【0071】
【図1】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフード・チャンバの概略斜視図である。
【図2A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2C】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2D】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図2E】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図1のフード・チャンバの概略図である。
【図3】本発明の実施形態による図1のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図4】本発明の実施形態による図1のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図5A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図5B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図6A】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6B】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6C】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6D】本発明の実施形態による図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図6E】本発明の実施形態によるクラムシェル・チャンバの概略断面図である。
【図7A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図7B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図7C】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図5Aと図5Bのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図8A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図8B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図9A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図9B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図10A】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図10B】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図11】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの分解斜視図である。
【図12A】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図12B】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13A】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13B】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13C】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13D】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図13E】本発明の実施形態による図8Aと図8Bのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図14A】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14B】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14C】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14D】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14E】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14F】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14G】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図14H】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度制御システム。
【請求項2】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項3】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項2の温度制御システム。
【請求項4】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項5】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項6】
マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項7】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項8】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項9】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項10】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項11】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項12】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項8の温度制御システム。
【請求項13】
チャンバは、フード構成を有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項14】
断熱材の表面にシリコーンの薄層が接着された、請求項13の温度制御システム。
【請求項15】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項1の温度制御システム。
【請求項16】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置された、請求項15の温度制御システム。
【請求項17】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項1の温度制御システム。
【請求項18】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項17の温度制御システム。
【請求項19】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分が、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項1の温度制御システム。
【請求項20】
流体は、空気である、請求項1の温度制御システム。
【請求項21】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度チャンバ。
【請求項22】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項21の温度チャンバ。
【請求項23】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項24】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項25】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項26】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項27】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項28】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項29】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の排出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項30】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項31】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項27の温度チャンバ。
【請求項32】
チャンバは、フード構成を有する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項33】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項32の温度チャンバ。
【請求項34】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項21の温度チャンバ。
【請求項35】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項34の温度チャンバ。
【請求項36】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項21の温度チャンバ。
【請求項37】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項36の温度チャンバ。
【請求項38】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項39】
流体は、空気である、請求項21の温度チャンバ。
【請求項40】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御する温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの外側面に接続され、第1の部分と第2の部分を有する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、ケーブルが、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する温度チャンバ。
【請求項41】
チャンバから流体を排出する排出システムを更に有する、請求項40の温度チャンバ。
【請求項42】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項43】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項44】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項45】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項41の温度チャンバ。
【請求項46】
チャンバは、フード構成を有する、請求項40の温度チャンバ。
【請求項47】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項46の温度チャンバ。
【請求項48】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項40の温度チャンバ。
【請求項49】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項48の温度チャンバ。
【請求項50】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項40の温度チャンバ。
【請求項51】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項50の温度チャンバ。
【請求項52】
流体は、空気である、請求項40の温度チャンバ。
【請求項53】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有し、流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項40の温度チャンバ。
【請求項54】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項55】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項56】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項57】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項58】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度チャンバ。
【請求項59】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項60】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項59の温度チャンバ。
【請求項61】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項62】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項63】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項64】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項65】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項66】
排出システムは、チャンバ内で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項67】
排出システムは、チャンバ内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項68】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項69】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項65の温度チャンバ。
【請求項70】
チャンバは、フード構成を有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項71】
断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項70の温度チャンバ。
【請求項72】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項58の温度チャンバ。
【請求項73】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項72の温度チャンバ。
【請求項74】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項58の温度チャンバ。
【請求項75】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項74の温度チャンバ。
【請求項76】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルが、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項77】
流体は、空気である、請求項58の温度チャンバ。
【請求項78】
装置の温度を制御する温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度制御システム。
【請求項79】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する温度制御システム。
【請求項1】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度制御システム。
【請求項2】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項3】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項2の温度制御システム。
【請求項4】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項5】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項6】
マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項7】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項3の温度制御システム。
【請求項8】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項9】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項10】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項11】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項8の温度制御システム。
【請求項12】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項8の温度制御システム。
【請求項13】
チャンバは、フード構成を有する、請求項1の温度制御システム。
【請求項14】
断熱材の表面にシリコーンの薄層が接着された、請求項13の温度制御システム。
【請求項15】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項1の温度制御システム。
【請求項16】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置された、請求項15の温度制御システム。
【請求項17】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項1の温度制御システム。
【請求項18】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項17の温度制御システム。
【請求項19】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分が、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項1の温度制御システム。
【請求項20】
流体は、空気である、請求項1の温度制御システム。
【請求項21】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度チャンバ。
【請求項22】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項21の温度チャンバ。
【請求項23】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項24】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項25】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項26】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項22の温度チャンバ。
【請求項27】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項28】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項29】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の排出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項30】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項27の温度チャンバ。
【請求項31】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項27の温度チャンバ。
【請求項32】
チャンバは、フード構成を有する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項33】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項32の温度チャンバ。
【請求項34】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項21の温度チャンバ。
【請求項35】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項34の温度チャンバ。
【請求項36】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項21の温度チャンバ。
【請求項37】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項36の温度チャンバ。
【請求項38】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項21の温度チャンバ。
【請求項39】
流体は、空気である、請求項21の温度チャンバ。
【請求項40】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御する温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの外側面に接続され、第1の部分と第2の部分を有する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、ケーブルが、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する温度チャンバ。
【請求項41】
チャンバから流体を排出する排出システムを更に有する、請求項40の温度チャンバ。
【請求項42】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項43】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項44】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項41の温度チャンバ。
【請求項45】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項41の温度チャンバ。
【請求項46】
チャンバは、フード構成を有する、請求項40の温度チャンバ。
【請求項47】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項46の温度チャンバ。
【請求項48】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項40の温度チャンバ。
【請求項49】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項48の温度チャンバ。
【請求項50】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項40の温度チャンバ。
【請求項51】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項50の温度チャンバ。
【請求項52】
流体は、空気である、請求項40の温度チャンバ。
【請求項53】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有し、流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項40の温度チャンバ。
【請求項54】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項55】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項56】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項57】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項53の温度チャンバ。
【請求項58】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度チャンバ。
【請求項59】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項60】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項59の温度チャンバ。
【請求項61】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する1本の水平管を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項62】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項63】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項64】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項59の温度チャンバ。
【請求項65】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項66】
排出システムは、チャンバ内で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項67】
排出システムは、チャンバ内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項68】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項65の温度チャンバ。
【請求項69】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項65の温度チャンバ。
【請求項70】
チャンバは、フード構成を有する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項71】
断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項70の温度チャンバ。
【請求項72】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項58の温度チャンバ。
【請求項73】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項72の温度チャンバ。
【請求項74】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項58の温度チャンバ。
【請求項75】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項74の温度チャンバ。
【請求項76】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルが、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項58の温度チャンバ。
【請求項77】
流体は、空気である、請求項58の温度チャンバ。
【請求項78】
装置の温度を制御する温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度制御システム。
【請求項79】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、モジュールは、第1の部分と第2の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第1の位置で第1と第2の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第1と第2の部分は、モジュールの第2の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する温度制御システム。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図6D】
【図6E】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8A】
【図8B】
【図9A】
【図9B】
【図10A】
【図10B】
【図11】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図13C】
【図13D】
【図13E】
【図14A】
【図14B】
【図14C】
【図14D】
【図14E】
【図14F】
【図14G】
【図14H】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図6D】
【図6E】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8A】
【図8B】
【図9A】
【図9B】
【図10A】
【図10B】
【図11】
【図12A】
【図12B】
【図13A】
【図13B】
【図13C】
【図13D】
【図13E】
【図14A】
【図14B】
【図14C】
【図14D】
【図14E】
【図14F】
【図14G】
【図14H】
【公表番号】特表2009−530588(P2009−530588A)
【公表日】平成21年8月27日(2009.8.27)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−501454(P2009−501454)
【出願日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【国際出願番号】PCT/US2007/006344
【国際公開番号】WO2007/109027
【国際公開日】平成19年9月27日(2007.9.27)
【出願人】(500310971)テンプトロニック コーポレイション (3)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成21年8月27日(2009.8.27)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【国際出願番号】PCT/US2007/006344
【国際公開番号】WO2007/109027
【国際公開日】平成19年9月27日(2007.9.27)
【出願人】(500310971)テンプトロニック コーポレイション (3)
【Fターム(参考)】
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