測定用光線の反射部材
【課題】変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置の測定用反射治具に好適に用いられる反射部材を提供する。
【解決手段】レンズ駆動装置のレンズホルダーの変位量と傾角量とを、変位及び傾角測定装置を用いて同時に測定する際に、粗面を成す第１の反射面１２ｙを有する板状の第１の反射部材１２ａの上に、鏡面を成す第２の反射面１２ｚを有する板状の第２の反射部材１２ｂとを積層して成る反射部材１２を備えた測定用反射治具を用いることにより、変位測定用光源から照射された収束光の反射光を第１の反射面１２ｙで乱反射させてその一部を変位センサに合焦させるとともに、傾角測定用光源から照射された平行光を第２の反射面１２ｚで正反射させて傾角センサに合焦させるようにした。
【解決手段】レンズ駆動装置のレンズホルダーの変位量と傾角量とを、変位及び傾角測定装置を用いて同時に測定する際に、粗面を成す第１の反射面１２ｙを有する板状の第１の反射部材１２ａの上に、鏡面を成す第２の反射面１２ｚを有する板状の第２の反射部材１２ｂとを積層して成る反射部材１２を備えた測定用反射治具を用いることにより、変位測定用光源から照射された収束光の反射光を第１の反射面１２ｙで乱反射させてその一部を変位センサに合焦させるとともに、傾角測定用光源から照射された平行光を第２の反射面１２ｚで正反射させて傾角センサに合焦させるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、携帯電話用のカメラモジュール等に用いられる、電磁駆動式のレンズ駆動装置のレンズホルダー等の可動体の変位量や傾角を光学的に測定する際に用いられる反射部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話に搭載されるカメラにおいては、イメージセンサの画素数が増大されて撮影画像の高品質化が進んでいることから、カメラに搭載されるレンズについても、高画素数イメージセンサの分解能に対応する高い分解能が要求されている。
しかしながら、従来の固定焦点型のカメラモジュールでは焦点ボケが生じてしまうため、十分な分解能を得られなかった。そこで、近年は、固定焦点型のカメラモジュールに代えて、可動焦点型のカメラモジュールが採用されるようになってきている。
可動焦点型のカメラモジュールにおけるレンズ駆動方式としては、図５に示すような、ボイスコイルモータ方式のレンズ駆動装置２０が多く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
レンズ駆動装置２０は、軟鉄等の磁性体から成るヨーク２１と、このヨーク２１の内壁側に取付けられる永久磁石２２と、中央部位置にレンズ２３を保持するレンズホルダー２４と、このレンズホルダー２４に装着される駆動用コイル２５と、内周側に上記ヨーク２１を装着するケース２６と、ケース２６とレンズホルダー２４とを連結する上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂとを備えている。
【０００４】
永久磁石２２としては、円筒状の磁石、あるいは、複数の円弧状の磁石をヨーク２１の内壁側に環状に配列したものが用いられている。
駆動用コイル２５は、ヨーク２１と永久磁石２２とにより印加される、コイル周りに放射状に分布する磁界中に設置されているので、駆動用コイル２５に通電すると、駆動用コイル２５には、図５の矢印で示す図示しない被写体の方向へ向いたローレンツ力が発生する。これにより、レンズホルダー２４を、上記ローレンツ力と上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂの復元力とが釣り合う位置まで移動させることができる。
したがって、駆動用コイル２５に通電する電流値を制御することにより、レンズホルダー２４の移動量を調整できるので、レンズ２３を所定の位置に移動させることができる。
【０００５】
ところで、上記レンズ駆動装置２０を製造する際には、製造工程内や最終工程において、レンズ駆動装置２０の特性、すなわち、駆動用コイル２５に通電したときのレンズホルダー２４の移動距離である変位量や、そのときのレンズホルダー２４のレンズ光軸からの傾き角である傾角量を測定して、上記レンズ駆動装置２０の合否判定を行うようにしている。
従来、上記変位量は変位測定装置を用いて測定され、上記傾角量は、傾角測定装置を用いて測定される（例えば、特許文献２，３参照）が、変位量の測定と傾角量の測定とが２つの測定工程に分離されるため、レンズ駆動装置２０の設置など、類似の作業が重複して繰り返されることになり、測定時間が長くなってしまうといった問題点があった。
また、レンズ駆動装置２０を駆動するための駆動用電源等も測定工程毎に別個に準備する必要があることから、装置がコスト高になってしまっていた。
【０００６】
そこで、図６に示すような、変位量の測定と傾角の測定とを同時に行うことができる変位及び傾角測定装置３０が提案されている（特願２００９−２３９８４号）。
この変位及び傾角測定装置３０は、変位・傾角測定部３０Ａと駆動・演算部３０Ｂとを備え、例えば、レンズ駆動装置２０の可動部であるレンズホルダー２４のような被測定物の変位量と傾角量とを測定する。
変位・傾角測定部３０Ａは、変位測定用光源３１と、投光レンズ３２と、偏光ビームスプリッタ３３と、受光レンズ３４と、変位センサ３５と、傾角測定用光源３６と、ハーフミラー３７と、コリメータレンズ３８と、傾角センサ３９とを備えている。
駆動・演算部３０Ｂは、コンピュータ４１と、駆動用電源４２と、カウンタ４３とを備えている。
【０００７】
変位測定用光源３１は、直線偏光された光線、例えば、Ｐ波の光線を照射する。
投光レンズ３２は、変位測定用光源３１から照射されたＰ波を入射し、これを収束光に変換して出射する。
偏光ビームスプリッタ３３は、偏光された入射光線を透過もしくは反射させるもので、ここでは、Ｐ波を透過させＳ波を反射するように透過面及び反射面が設定される。透過したＰ波は進行方向を変えずにそのまま偏光ビームスプリッタ３３から出射される。
一方、反射されたＳ波は、偏光ビームスプリッタ３３の反射面で反射される。このとき、Ｓ波が、例えば、反射面に対して４５°の角度で入射したときには、反射角も４５°になるので、Ｓ波は入射方向とは９０°ずれた方向に出射される。
受光レンズ３４は、被測定物であるレンズホルダー２４から反射された反射光を透過させて変位センサ３５に合焦させる。
変位センサ３５は、入射される反射光の位置を検知して入射位置の変化量からレンズホルダー２４の変位量を検出する。
なお、受光レンズ３４と変位センサ３５とは、レンズホルダー２４の測定面に対して所定角度傾いて配列される。
【０００８】
傾角測定用光源３６は、Ｐ波と直交する方向に直線偏光されたＳ波を照射する。
ハーフミラー３７は、入射された入射光線の約半分を透過させ、他の半分を反射させるもので、ミラーの角度を４５°に設置すると、反射光は進行方向が９０°ずれてハーフミラー３７から出射される。
コリメータレンズ３８は、入射された光線を平行光に変換して出射する。
傾角センサ３９は、被測定物であるレンズホルダー２４で反射されて当該傾角センサ３９に入射する反射光の位置を検知して入射位置の変化量からレンズホルダー２４の傾角量を検出する。
【０００９】
駆動・演算部３０Ｂのコンピュータ４１は、変位測定用光源３１と傾角測定用光源３６とを発光させるための制御信号と、レンズ駆動装置２０を駆動・制御する駆動用電源４２を制御するための制御信号とを出力する。また、カウンタ４３により計数されたレンズホルダー２４の変位量と傾角量のデータとを表示手段４１ａに表示するとともに、記憶手段４１ｂに記憶して集積する。
駆動用電源４２は、レンズ駆動装置２０を駆動するための電源で、この駆動用電源４２からは、駆動用コイル２５に通電するための駆動電流が供給される。
カウンタ４３は、変位センサ３５から送られてくるレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９から送られてくるレンズホルダー２４の傾角量の信号とを計数して、コンピュータ４１に出力する。
【００１０】
変位及び傾角測定装置３０を用いてレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを同時に測定する際には、まず、コンピュータ４１を動作させ、変位測定用光源３１と傾角測定用光源３６とを発光させて、それぞれＰ波とＳ波を照射するとともに、駆動用電源４２を制御してレンズホルダー２４をＰ波の照射光軸方向に移動させる。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波は、投光レンズ３２によって収束され、偏光ビームスプリッタ３３を透過して、レンズホルダー２４に照射される。
照射されたＰ波は、レンズホルダー２４の表面で反射される。この反射光は、受光レンズ３４を透過して変位センサ３５に到達し、合焦する。
同時に、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波は、ハーフミラー３７を透過してコリメータレンズ３８に入射する。コリメータレンズ３８からはＳ波の平行光が出射される。
Ｓ波は、偏光ビームスプリッタ３３の反射面で反射されて、入射方向とは直交する方向に出射され、Ｐ波と同じ方向であるレンズホルダー２４の表面に照射される。
照射されたＳ波は、レンズホルダー２４の表面で反射される。この反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
【００１１】
レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向に移動すると、変位センサ３５に合焦したＰ波の反射光の位置が変化する。変位センサ３５はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の変位量を検出することができる。
また、レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向への移動に伴って傾斜すると、傾角センサ３９に合焦したＳ波の反射光の位置が変化する。傾角センサ３９はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の傾角量を検出することができる。
変位センサ３５で検出したレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９で検出したレンズホルダー２４の傾角量の信号とは、カウンタ４３に送られ計数されて、変位量と傾角量とが求められる。
この変位量のデータと傾角量のデータとはコンピュータ４１に送られ、コンピュータ４１の表示手段４１ａに同時に表示される。また、変位量のデータと傾角量のデータとは記憶手段４１ｂに記憶され集積される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−２８００３１号公報
【特許文献２】特開平１１−２０８４７１号公報
【特許文献３】特開２００１−５９７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、レンズホルダー２４の変位量や傾角量を測定する際には、レンズ２３を保護するとともに、反射光の強度を高めるため、図６に示すように、レンズ２３に代えて、レンズホルダー２４の入射光側に平板状の反射部材（図示せず）が取付けられた測定用反射治具１０Ｒを装着し、この反射部材により、照射される光線（入射光線）を反射させるようにしていた。
しかしながら、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置３０のように、変位センサ３５と傾角センサ３９とが異なる方向に設置されている装置では、変位測定用の反射光を変位センサ３５方向に、傾角測定用の反射光を傾角センサ３９方向に、それぞれ、精度よく反射させる必要があることから、測定用反射治具に好適に用いられる反射部材が求められている。
【００１４】
本発明は、従来の問題点に鑑みてなされたもので、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置の測定用反射治具に好適に用いられる反射部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、被測定物に測定用光線を照射するとともに前記被測定物からの反射光を受光して前記被測定物の移動量を測定する際に、前記被測定物に搭載されて前記測定用光線を反射する測定用光線の反射部材であって、前記測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成されて前記測定用光線をそれぞれ反射する２つの反射面を有し、一方の反射面が粗面を成し、他方の反射面が鏡面を成すことを特徴とする。
これにより、測定用光線の反射光を複数の異なる方向で受光しても、それぞれの箇所で、十分な反射強度を得ることができるので、複数の移動量を、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
なお、被測定物の移動量は、例えば、被測定物をレンズ駆動装置の可動部であるレンズホルダーとした場合、レンズホルダーの移動距離である変位量などの並進運動の移動量だけでなく、レンズホルダーのレンズ光軸からの傾き角である傾角の大きさである傾角量などの回転運動の移動量を含むものとする。
【００１６】
また、本発明は、前記反射部材が、粗面を成す反射面を有する板状の第１の反射部材と、鏡面を成す反射面を有する板状の第２の反射部材とから成り、前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが前記測定用光線の入射方向に積層されていることを特徴とする。
これにより、測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成された、粗面を成す反射面と鏡面を成す反射面とを有する反射部材を容易に作製することができる。
【００１７】
また、本発明は、前記反射部材が、粗面を成す第１の板面とこの第１の板面に平行な鏡面を成す第２の板面とを備えた板状の部材であることを特徴とする。
これにより、測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成された、粗面を成す反射面と鏡面を成す反射面とを有する反射部材を一体で作製することができる。
【００１８】
なお、前記発明の概要は、本発明の必要な全ての特徴を列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となり得る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施の形態１に係る反射部材の構成を示す断面図である。
【図２】本実施の形態１に係る反射部材が取付けられた測定用反射治具を装着したレンズ駆動装置を示す断面図である。
【図３】本実施の形態２に係る反射部材の構成を示す断面図である。
【図４】本発明による反射部材の他の構成を示す断面図である。
【図５】従来のレンズ駆動装置の構成を示す断面図である。
【図６】変位及び傾角測定装置の概要を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、実施の形態を通じて本発明を詳説するが、以下の実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものでなく、また、実施の形態の中で説明される特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る反射部材１２の構成を示す断面図で、図２は、反射部材１２が取付けられた測定用反射治具１０が装着されたレンズ駆動装置２０を示す断面図である。
レンズ駆動装置２０は、ヨーク２１と、永久磁石２２と、レンズ２３を保持するレンズホルダー２４と、駆動用コイル２５と、ケース２６と、上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂとを備えている。
レンズ駆動装置２０の製造工程の最終工程においては、前述した変位及び傾角測定装置３０を用いて、駆動用コイル２５に駆動電流が通電されたときのレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを測定して、当該レンズ駆動装置２０の特性を評価する。このレンズホルダー２４が変位及び傾角測定装置３０の被測定物に相当する。
【００２２】
測定用反射治具１０は、挿入部材１１と反射部材１２とを備える。
挿入部材１１は、レンズホルダー２４の内周側の図示しない被写体側（図２の上側で、以下、被写体側を上側、被写体側とは反対側を下側という）に設けられたネジ部２４ｋに螺入されるネジ部１１ｋが形成された柱状の部材で、ネジ部１１ｋが形成されている部分の径がレンズホルダー２４の内径に等しく、ネジ部１１ｋが形成されていない部分の径はレンズホルダー２４の内径よりも小さく形成されている。
反射部材１２は、挿入部材１１の上面に保持される。
反射部材１２は、図２に示すように、板状の第１の反射部材１２ａとこの第１の反射部材１２ａの上に積層される板状の第２の反射部材１２ｂとを備えている。第１の反射部材１２ａと第２の反射部材１２ｂとは接着剤もしくは粘着剤等により接合されて積層された状態で挿入部材１１上に設置され、第１及び第２の反射部材１２ａ，１２ｂの周囲や第１の反射部材１２ａの底面側において、挿入部材１１に接着剤もしくは粘着剤等により接合される。
【００２３】
第１の反射部材１２ａは板状の紙、プラスチック等より成り、第１の反射部材１２ａの反射面である上側の面、すなわち、第２の反射部材１２ｂ側の面（以下、第１の反射面という）１２ｙは粗面を成している。この第１の反射面１２ｙの色は、白、赤、黄色等の測定用光線の反射率の高い色が選択されている。
一方、第２の反射部材１２ｂは板状のガラス、プラスチック等より成り、第２の反射部材１２ｂの反射面である上側の面、すなわち、第１の反射部材１２ａ側の面とは反対側の面（以下、第２の反射面という）１２ｚも、第１の反射部材１２ａ側の面も、ともに、鏡面を成している。
これにより、第２の反射部材１２ｂに入射した光線の一部は第２の反射面１２ｚで反射され、入射した光線の他部は第２の反射部材１２ｂを透過して、第１の反射部材１２ａに入射する。なお、第２の反射面１２ｚに、必要に応じて、反射量調整用の膜をコーティングして、入射光線の透過量と反射量とを調整してもよい。
【００２４】
次に、本発明による反射部材１２の作用について、図６に示した変位及び傾角測定装置３０を用いて、レンズ駆動装置２０のレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを同時に測定する場合を例にとって説明する。
レンズ駆動装置２０には、図６に記載の測定用反射治具１０Ｒに代えて、本発明による反射部材１２を備えた測定用反射治具１０が装着されているものとする。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光と、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光とは、それぞれ、レンズホルダー２４に装着された測定用反射治具１０の反射部材１２に照射される。
図１の符号Ｄに示す、照射されたＰ波の収束光の一部は、第２の反射部材１２ｂを透過して、第１の反射部材１２ａの第１の反射面１２ｙに到達する。第１の反射面１２ｙは粗面から成り、かつ、反射率の高い色をしているので、第２の反射部材１２ｂを透過したＰ波の大部分は、第１の反射面１２ｙで乱反射される。その結果、第１の反射面１２ｙからは様々な角度の方向に反射光が反射される。
一方、図１の符号Ｔに示す、照射されたＳ波の平行光は、第２の反射部材１２ｂの第２の反射面１２ｚに到達してその一部が正反射される。この正反射されたＳ波の反射光は、入射されたＰ波の収束光の光軸に沿って反射される。
【００２５】
第１の反射面１２ｙで乱反射された反射光の、受光レンズ３４と変位センサ３５とが配列された角度方向に一致する光軸を有する成分は、変位センサ３５に到達し、合焦する。
また、第２の反射面１２ｚで反射されたＳ波の正反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向に移動すると、変位センサ３５に合焦したＰ波の反射光の位置が変化する。変位センサ３５はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の変位量を検出することができる。
また、レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向への移動に伴って傾斜すると、傾角センサ３９に合焦したＳ波の反射光の位置が変化する。傾角センサ３９はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の傾角量を検出することができる。
変位センサ３５で検出したレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９で検出したレンズホルダー２４の傾角量の信号とは、カウンタ４３に送られ計数されて、変位量と傾角量とが求められる。
【００２６】
このように、本実施の形態１によれば、レンズ駆動装置２０のレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、変位及び傾角測定装置３０を用いて同時に測定する際に、レンズ２３に代えてレンズホルダー２４に装着される測定用反射治具１０として、粗面を成す第１の反射面１２ｙを有する板状の第１の反射部材１２ａの上に、鏡面を成す第２の反射面１２ｚを有する板状の第２の反射部材１２ｂとを積層して成る反射部材１２を備えた測定用反射治具１０を用いることにより、変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光の一部を第１の反射部材１２ａの第１の反射面１２ｙで乱反射させるとともに、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光を第２の反射部材１２ｂの第２の反射面１２ｚで正反射させ、前記乱反射された反射光の一部を変位センサ３５に合焦させ、前記正反射光を傾角センサ３９に合焦させるようにしたので、レンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
【００２７】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係る反射部材１３の構成を示す断面図である。
反射部材１３は板状のガラス、プラスチック等より成り、照射光が入射される側とは反対側の板面である下側の板面（以下、第１の反射面という）１３ｙは粗面を成している。一方、照射光が入射される側の板面である上側の板面（以下、第２の反射面という）１３ｚは鏡面を成している。
本例の反射部材１３も、反射部材１２と同様に、挿入部材１１の上面に接着剤もしくは粘着剤等により接合されて、測定用反射治具の反射部材として使用される。
第１の反射面１３ｙは、擦りガラス等のように、ガラス、プラスチック等の表面を、例えば、サンドブラスト等により面荒れを生じさせて形成される。
なお、第２の反射面１３ｚに、必要に応じて、反射量調整用の膜をコーティングして、入射光線の透過量と反射量とを調整してもよい。
【００２８】
次に、本発明による反射部材１３の作用について、図３及び図６を参照して説明する。
なお、レンズ駆動装置２０には、図６に記載の測定用反射治具１０Ｒに代えて、本発明による反射部材１３を備えた測定用反射治具が装着されているものとする。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光と、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光とは、それぞれ、レンズホルダー２４に装着された測定用反射治具の反射部材１３に照射される。
図３の符号Ｄに示す、照射されたＰ波の収束光の一部は、反射部材１３を透過して、第１の反射面１３ｙに到達し乱反射される。その結果、第１の反射面１３ｙからは様々な角度の方向に反射光が反射される。
一方、図３の符号Ｔに示す、照射されたＳ波の平行光は、反射部材１３の第２の反射面１３ｚに到達してその一部が正反射される。この正反射されたＳ波の反射光は、入射されたＰ波の収束光の光軸に沿って反射される。
【００２９】
第１の反射面１３ｙで乱反射された反射光の、受光レンズ３４と変位センサ３５とが配列された角度方向に一致する光軸を有する成分は、変位センサ３５に到達し、合焦する。
また、第２の反射面１３ｚで反射されたＳ波の正反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
このように、本実施の形態２に係る反射部材１３は、変位測定用光源３１から照射されたＰ波の反射光と傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の反射光とを、それぞれ適切に、変位センサ３５及び傾角センサ３９に入射させることができるので、レンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
【００３０】
なお、前記本実施の形態２では、粗面を成す第１の反射面１３ｙと鏡面を成す第２の反射面１３ｚとを備えた反射部材１３について説明したが、図４に示すように、反射部材１３の下面側に、白、赤、黄色等の測定用光線の反射率の高い色の塗料を塗装した塗膜層１４を設けるようにすれば、第１の反射面１３ｙで乱反射される反射光の強度をより強くすることができるので、変位量の測定精度を更に向上させることができる。
なお、この場合には、塗膜層１４の反射部材１３側の面１４ｙと反射部材１３の下側の面１３ｙとが第１の反射面１５ｙを構成する。
【００３１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に記載の範囲には限定されない。前記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者にも明らかである。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上説明したように、本発明によれば、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置の測定用反射治具に好適に用いられる反射部材を得ることができるので、これを、例えば、レンズ駆動装置のレンズホルダーに装着される測定用反射治具などに適用すれば、レンズ駆動装置の特性測定の精度を向上させることができるとともに、測定時間を短縮できるので、製造効率も向上する。
【符号の説明】
【００３３】
１０ 測定用反射治具、１１ 挿入部材、１１ｋ ネジ部、
１２ 反射部材、１２ａ 第１の反射部材、１２ｂ 第２の反射部材、
１２ｙ 第１の反射面、１２ｚ 第２の反射面、
２０ レンズ駆動装置、２１ ヨーク、２２ 永久磁石、２３ レンズ、
２４ レンズホルダー、２５ 駆動用コイル、２６ ケース、
２７Ａ，２７Ｂ バネ部材、
３０ 変位及び傾角測定装置、３１ 変位測定用光源、３２ 投光レンズ、
３３ 偏光ビームスプリッタ、３４ 受光レンズ、３５ 変位センサ、
３６ 傾角測定用光源、３７ ハーフミラー、３８ コリメータレンズ、
３９ 傾角センサ、４１ コンピュータ、４２ 駆動用電源、４３ カウンタ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、携帯電話用のカメラモジュール等に用いられる、電磁駆動式のレンズ駆動装置のレンズホルダー等の可動体の変位量や傾角を光学的に測定する際に用いられる反射部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話に搭載されるカメラにおいては、イメージセンサの画素数が増大されて撮影画像の高品質化が進んでいることから、カメラに搭載されるレンズについても、高画素数イメージセンサの分解能に対応する高い分解能が要求されている。
しかしながら、従来の固定焦点型のカメラモジュールでは焦点ボケが生じてしまうため、十分な分解能を得られなかった。そこで、近年は、固定焦点型のカメラモジュールに代えて、可動焦点型のカメラモジュールが採用されるようになってきている。
可動焦点型のカメラモジュールにおけるレンズ駆動方式としては、図５に示すような、ボイスコイルモータ方式のレンズ駆動装置２０が多く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
レンズ駆動装置２０は、軟鉄等の磁性体から成るヨーク２１と、このヨーク２１の内壁側に取付けられる永久磁石２２と、中央部位置にレンズ２３を保持するレンズホルダー２４と、このレンズホルダー２４に装着される駆動用コイル２５と、内周側に上記ヨーク２１を装着するケース２６と、ケース２６とレンズホルダー２４とを連結する上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂとを備えている。
【０００４】
永久磁石２２としては、円筒状の磁石、あるいは、複数の円弧状の磁石をヨーク２１の内壁側に環状に配列したものが用いられている。
駆動用コイル２５は、ヨーク２１と永久磁石２２とにより印加される、コイル周りに放射状に分布する磁界中に設置されているので、駆動用コイル２５に通電すると、駆動用コイル２５には、図５の矢印で示す図示しない被写体の方向へ向いたローレンツ力が発生する。これにより、レンズホルダー２４を、上記ローレンツ力と上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂの復元力とが釣り合う位置まで移動させることができる。
したがって、駆動用コイル２５に通電する電流値を制御することにより、レンズホルダー２４の移動量を調整できるので、レンズ２３を所定の位置に移動させることができる。
【０００５】
ところで、上記レンズ駆動装置２０を製造する際には、製造工程内や最終工程において、レンズ駆動装置２０の特性、すなわち、駆動用コイル２５に通電したときのレンズホルダー２４の移動距離である変位量や、そのときのレンズホルダー２４のレンズ光軸からの傾き角である傾角量を測定して、上記レンズ駆動装置２０の合否判定を行うようにしている。
従来、上記変位量は変位測定装置を用いて測定され、上記傾角量は、傾角測定装置を用いて測定される（例えば、特許文献２，３参照）が、変位量の測定と傾角量の測定とが２つの測定工程に分離されるため、レンズ駆動装置２０の設置など、類似の作業が重複して繰り返されることになり、測定時間が長くなってしまうといった問題点があった。
また、レンズ駆動装置２０を駆動するための駆動用電源等も測定工程毎に別個に準備する必要があることから、装置がコスト高になってしまっていた。
【０００６】
そこで、図６に示すような、変位量の測定と傾角の測定とを同時に行うことができる変位及び傾角測定装置３０が提案されている（特願２００９−２３９８４号）。
この変位及び傾角測定装置３０は、変位・傾角測定部３０Ａと駆動・演算部３０Ｂとを備え、例えば、レンズ駆動装置２０の可動部であるレンズホルダー２４のような被測定物の変位量と傾角量とを測定する。
変位・傾角測定部３０Ａは、変位測定用光源３１と、投光レンズ３２と、偏光ビームスプリッタ３３と、受光レンズ３４と、変位センサ３５と、傾角測定用光源３６と、ハーフミラー３７と、コリメータレンズ３８と、傾角センサ３９とを備えている。
駆動・演算部３０Ｂは、コンピュータ４１と、駆動用電源４２と、カウンタ４３とを備えている。
【０００７】
変位測定用光源３１は、直線偏光された光線、例えば、Ｐ波の光線を照射する。
投光レンズ３２は、変位測定用光源３１から照射されたＰ波を入射し、これを収束光に変換して出射する。
偏光ビームスプリッタ３３は、偏光された入射光線を透過もしくは反射させるもので、ここでは、Ｐ波を透過させＳ波を反射するように透過面及び反射面が設定される。透過したＰ波は進行方向を変えずにそのまま偏光ビームスプリッタ３３から出射される。
一方、反射されたＳ波は、偏光ビームスプリッタ３３の反射面で反射される。このとき、Ｓ波が、例えば、反射面に対して４５°の角度で入射したときには、反射角も４５°になるので、Ｓ波は入射方向とは９０°ずれた方向に出射される。
受光レンズ３４は、被測定物であるレンズホルダー２４から反射された反射光を透過させて変位センサ３５に合焦させる。
変位センサ３５は、入射される反射光の位置を検知して入射位置の変化量からレンズホルダー２４の変位量を検出する。
なお、受光レンズ３４と変位センサ３５とは、レンズホルダー２４の測定面に対して所定角度傾いて配列される。
【０００８】
傾角測定用光源３６は、Ｐ波と直交する方向に直線偏光されたＳ波を照射する。
ハーフミラー３７は、入射された入射光線の約半分を透過させ、他の半分を反射させるもので、ミラーの角度を４５°に設置すると、反射光は進行方向が９０°ずれてハーフミラー３７から出射される。
コリメータレンズ３８は、入射された光線を平行光に変換して出射する。
傾角センサ３９は、被測定物であるレンズホルダー２４で反射されて当該傾角センサ３９に入射する反射光の位置を検知して入射位置の変化量からレンズホルダー２４の傾角量を検出する。
【０００９】
駆動・演算部３０Ｂのコンピュータ４１は、変位測定用光源３１と傾角測定用光源３６とを発光させるための制御信号と、レンズ駆動装置２０を駆動・制御する駆動用電源４２を制御するための制御信号とを出力する。また、カウンタ４３により計数されたレンズホルダー２４の変位量と傾角量のデータとを表示手段４１ａに表示するとともに、記憶手段４１ｂに記憶して集積する。
駆動用電源４２は、レンズ駆動装置２０を駆動するための電源で、この駆動用電源４２からは、駆動用コイル２５に通電するための駆動電流が供給される。
カウンタ４３は、変位センサ３５から送られてくるレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９から送られてくるレンズホルダー２４の傾角量の信号とを計数して、コンピュータ４１に出力する。
【００１０】
変位及び傾角測定装置３０を用いてレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを同時に測定する際には、まず、コンピュータ４１を動作させ、変位測定用光源３１と傾角測定用光源３６とを発光させて、それぞれＰ波とＳ波を照射するとともに、駆動用電源４２を制御してレンズホルダー２４をＰ波の照射光軸方向に移動させる。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波は、投光レンズ３２によって収束され、偏光ビームスプリッタ３３を透過して、レンズホルダー２４に照射される。
照射されたＰ波は、レンズホルダー２４の表面で反射される。この反射光は、受光レンズ３４を透過して変位センサ３５に到達し、合焦する。
同時に、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波は、ハーフミラー３７を透過してコリメータレンズ３８に入射する。コリメータレンズ３８からはＳ波の平行光が出射される。
Ｓ波は、偏光ビームスプリッタ３３の反射面で反射されて、入射方向とは直交する方向に出射され、Ｐ波と同じ方向であるレンズホルダー２４の表面に照射される。
照射されたＳ波は、レンズホルダー２４の表面で反射される。この反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
【００１１】
レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向に移動すると、変位センサ３５に合焦したＰ波の反射光の位置が変化する。変位センサ３５はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の変位量を検出することができる。
また、レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向への移動に伴って傾斜すると、傾角センサ３９に合焦したＳ波の反射光の位置が変化する。傾角センサ３９はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の傾角量を検出することができる。
変位センサ３５で検出したレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９で検出したレンズホルダー２４の傾角量の信号とは、カウンタ４３に送られ計数されて、変位量と傾角量とが求められる。
この変位量のデータと傾角量のデータとはコンピュータ４１に送られ、コンピュータ４１の表示手段４１ａに同時に表示される。また、変位量のデータと傾角量のデータとは記憶手段４１ｂに記憶され集積される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−２８００３１号公報
【特許文献２】特開平１１−２０８４７１号公報
【特許文献３】特開２００１−５９７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、レンズホルダー２４の変位量や傾角量を測定する際には、レンズ２３を保護するとともに、反射光の強度を高めるため、図６に示すように、レンズ２３に代えて、レンズホルダー２４の入射光側に平板状の反射部材（図示せず）が取付けられた測定用反射治具１０Ｒを装着し、この反射部材により、照射される光線（入射光線）を反射させるようにしていた。
しかしながら、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置３０のように、変位センサ３５と傾角センサ３９とが異なる方向に設置されている装置では、変位測定用の反射光を変位センサ３５方向に、傾角測定用の反射光を傾角センサ３９方向に、それぞれ、精度よく反射させる必要があることから、測定用反射治具に好適に用いられる反射部材が求められている。
【００１４】
本発明は、従来の問題点に鑑みてなされたもので、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置の測定用反射治具に好適に用いられる反射部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、被測定物に測定用光線を照射するとともに前記被測定物からの反射光を受光して前記被測定物の移動量を測定する際に、前記被測定物に搭載されて前記測定用光線を反射する測定用光線の反射部材であって、前記測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成されて前記測定用光線をそれぞれ反射する２つの反射面を有し、一方の反射面が粗面を成し、他方の反射面が鏡面を成すことを特徴とする。
これにより、測定用光線の反射光を複数の異なる方向で受光しても、それぞれの箇所で、十分な反射強度を得ることができるので、複数の移動量を、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
なお、被測定物の移動量は、例えば、被測定物をレンズ駆動装置の可動部であるレンズホルダーとした場合、レンズホルダーの移動距離である変位量などの並進運動の移動量だけでなく、レンズホルダーのレンズ光軸からの傾き角である傾角の大きさである傾角量などの回転運動の移動量を含むものとする。
【００１６】
また、本発明は、前記反射部材が、粗面を成す反射面を有する板状の第１の反射部材と、鏡面を成す反射面を有する板状の第２の反射部材とから成り、前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが前記測定用光線の入射方向に積層されていることを特徴とする。
これにより、測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成された、粗面を成す反射面と鏡面を成す反射面とを有する反射部材を容易に作製することができる。
【００１７】
また、本発明は、前記反射部材が、粗面を成す第１の板面とこの第１の板面に平行な鏡面を成す第２の板面とを備えた板状の部材であることを特徴とする。
これにより、測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成された、粗面を成す反射面と鏡面を成す反射面とを有する反射部材を一体で作製することができる。
【００１８】
なお、前記発明の概要は、本発明の必要な全ての特徴を列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となり得る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施の形態１に係る反射部材の構成を示す断面図である。
【図２】本実施の形態１に係る反射部材が取付けられた測定用反射治具を装着したレンズ駆動装置を示す断面図である。
【図３】本実施の形態２に係る反射部材の構成を示す断面図である。
【図４】本発明による反射部材の他の構成を示す断面図である。
【図５】従来のレンズ駆動装置の構成を示す断面図である。
【図６】変位及び傾角測定装置の概要を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、実施の形態を通じて本発明を詳説するが、以下の実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものでなく、また、実施の形態の中で説明される特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る反射部材１２の構成を示す断面図で、図２は、反射部材１２が取付けられた測定用反射治具１０が装着されたレンズ駆動装置２０を示す断面図である。
レンズ駆動装置２０は、ヨーク２１と、永久磁石２２と、レンズ２３を保持するレンズホルダー２４と、駆動用コイル２５と、ケース２６と、上，下のバネ部材２７Ａ，２７Ｂとを備えている。
レンズ駆動装置２０の製造工程の最終工程においては、前述した変位及び傾角測定装置３０を用いて、駆動用コイル２５に駆動電流が通電されたときのレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを測定して、当該レンズ駆動装置２０の特性を評価する。このレンズホルダー２４が変位及び傾角測定装置３０の被測定物に相当する。
【００２２】
測定用反射治具１０は、挿入部材１１と反射部材１２とを備える。
挿入部材１１は、レンズホルダー２４の内周側の図示しない被写体側（図２の上側で、以下、被写体側を上側、被写体側とは反対側を下側という）に設けられたネジ部２４ｋに螺入されるネジ部１１ｋが形成された柱状の部材で、ネジ部１１ｋが形成されている部分の径がレンズホルダー２４の内径に等しく、ネジ部１１ｋが形成されていない部分の径はレンズホルダー２４の内径よりも小さく形成されている。
反射部材１２は、挿入部材１１の上面に保持される。
反射部材１２は、図２に示すように、板状の第１の反射部材１２ａとこの第１の反射部材１２ａの上に積層される板状の第２の反射部材１２ｂとを備えている。第１の反射部材１２ａと第２の反射部材１２ｂとは接着剤もしくは粘着剤等により接合されて積層された状態で挿入部材１１上に設置され、第１及び第２の反射部材１２ａ，１２ｂの周囲や第１の反射部材１２ａの底面側において、挿入部材１１に接着剤もしくは粘着剤等により接合される。
【００２３】
第１の反射部材１２ａは板状の紙、プラスチック等より成り、第１の反射部材１２ａの反射面である上側の面、すなわち、第２の反射部材１２ｂ側の面（以下、第１の反射面という）１２ｙは粗面を成している。この第１の反射面１２ｙの色は、白、赤、黄色等の測定用光線の反射率の高い色が選択されている。
一方、第２の反射部材１２ｂは板状のガラス、プラスチック等より成り、第２の反射部材１２ｂの反射面である上側の面、すなわち、第１の反射部材１２ａ側の面とは反対側の面（以下、第２の反射面という）１２ｚも、第１の反射部材１２ａ側の面も、ともに、鏡面を成している。
これにより、第２の反射部材１２ｂに入射した光線の一部は第２の反射面１２ｚで反射され、入射した光線の他部は第２の反射部材１２ｂを透過して、第１の反射部材１２ａに入射する。なお、第２の反射面１２ｚに、必要に応じて、反射量調整用の膜をコーティングして、入射光線の透過量と反射量とを調整してもよい。
【００２４】
次に、本発明による反射部材１２の作用について、図６に示した変位及び傾角測定装置３０を用いて、レンズ駆動装置２０のレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを同時に測定する場合を例にとって説明する。
レンズ駆動装置２０には、図６に記載の測定用反射治具１０Ｒに代えて、本発明による反射部材１２を備えた測定用反射治具１０が装着されているものとする。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光と、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光とは、それぞれ、レンズホルダー２４に装着された測定用反射治具１０の反射部材１２に照射される。
図１の符号Ｄに示す、照射されたＰ波の収束光の一部は、第２の反射部材１２ｂを透過して、第１の反射部材１２ａの第１の反射面１２ｙに到達する。第１の反射面１２ｙは粗面から成り、かつ、反射率の高い色をしているので、第２の反射部材１２ｂを透過したＰ波の大部分は、第１の反射面１２ｙで乱反射される。その結果、第１の反射面１２ｙからは様々な角度の方向に反射光が反射される。
一方、図１の符号Ｔに示す、照射されたＳ波の平行光は、第２の反射部材１２ｂの第２の反射面１２ｚに到達してその一部が正反射される。この正反射されたＳ波の反射光は、入射されたＰ波の収束光の光軸に沿って反射される。
【００２５】
第１の反射面１２ｙで乱反射された反射光の、受光レンズ３４と変位センサ３５とが配列された角度方向に一致する光軸を有する成分は、変位センサ３５に到達し、合焦する。
また、第２の反射面１２ｚで反射されたＳ波の正反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向に移動すると、変位センサ３５に合焦したＰ波の反射光の位置が変化する。変位センサ３５はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の変位量を検出することができる。
また、レンズホルダー２４がＰ波の照射光軸方向への移動に伴って傾斜すると、傾角センサ３９に合焦したＳ波の反射光の位置が変化する。傾角センサ３９はこの変化量を検出することによって、レンズホルダー２４の傾角量を検出することができる。
変位センサ３５で検出したレンズホルダー２４の変位量の信号と、傾角センサ３９で検出したレンズホルダー２４の傾角量の信号とは、カウンタ４３に送られ計数されて、変位量と傾角量とが求められる。
【００２６】
このように、本実施の形態１によれば、レンズ駆動装置２０のレンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、変位及び傾角測定装置３０を用いて同時に測定する際に、レンズ２３に代えてレンズホルダー２４に装着される測定用反射治具１０として、粗面を成す第１の反射面１２ｙを有する板状の第１の反射部材１２ａの上に、鏡面を成す第２の反射面１２ｚを有する板状の第２の反射部材１２ｂとを積層して成る反射部材１２を備えた測定用反射治具１０を用いることにより、変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光の一部を第１の反射部材１２ａの第１の反射面１２ｙで乱反射させるとともに、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光を第２の反射部材１２ｂの第２の反射面１２ｚで正反射させ、前記乱反射された反射光の一部を変位センサ３５に合焦させ、前記正反射光を傾角センサ３９に合焦させるようにしたので、レンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
【００２７】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係る反射部材１３の構成を示す断面図である。
反射部材１３は板状のガラス、プラスチック等より成り、照射光が入射される側とは反対側の板面である下側の板面（以下、第１の反射面という）１３ｙは粗面を成している。一方、照射光が入射される側の板面である上側の板面（以下、第２の反射面という）１３ｚは鏡面を成している。
本例の反射部材１３も、反射部材１２と同様に、挿入部材１１の上面に接着剤もしくは粘着剤等により接合されて、測定用反射治具の反射部材として使用される。
第１の反射面１３ｙは、擦りガラス等のように、ガラス、プラスチック等の表面を、例えば、サンドブラスト等により面荒れを生じさせて形成される。
なお、第２の反射面１３ｚに、必要に応じて、反射量調整用の膜をコーティングして、入射光線の透過量と反射量とを調整してもよい。
【００２８】
次に、本発明による反射部材１３の作用について、図３及び図６を参照して説明する。
なお、レンズ駆動装置２０には、図６に記載の測定用反射治具１０Ｒに代えて、本発明による反射部材１３を備えた測定用反射治具が装着されているものとする。
変位測定用光源３１から照射されたＰ波の収束光と、傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の平行光とは、それぞれ、レンズホルダー２４に装着された測定用反射治具の反射部材１３に照射される。
図３の符号Ｄに示す、照射されたＰ波の収束光の一部は、反射部材１３を透過して、第１の反射面１３ｙに到達し乱反射される。その結果、第１の反射面１３ｙからは様々な角度の方向に反射光が反射される。
一方、図３の符号Ｔに示す、照射されたＳ波の平行光は、反射部材１３の第２の反射面１３ｚに到達してその一部が正反射される。この正反射されたＳ波の反射光は、入射されたＰ波の収束光の光軸に沿って反射される。
【００２９】
第１の反射面１３ｙで乱反射された反射光の、受光レンズ３４と変位センサ３５とが配列された角度方向に一致する光軸を有する成分は、変位センサ３５に到達し、合焦する。
また、第２の反射面１３ｚで反射されたＳ波の正反射光は、偏光ビームスプリッタ３３で反射されてコリメータレンズ３８方向に出射した後、ハーフミラー３７で反射されて、傾角センサ３９に到達し、合焦する。
このように、本実施の形態２に係る反射部材１３は、変位測定用光源３１から照射されたＰ波の反射光と傾角測定用光源３６から照射されたＳ波の反射光とを、それぞれ適切に、変位センサ３５及び傾角センサ３９に入射させることができるので、レンズホルダー２４の変位量と傾角量とを、精度よく、かつ、再現性よく測定することができる。
【００３０】
なお、前記本実施の形態２では、粗面を成す第１の反射面１３ｙと鏡面を成す第２の反射面１３ｚとを備えた反射部材１３について説明したが、図４に示すように、反射部材１３の下面側に、白、赤、黄色等の測定用光線の反射率の高い色の塗料を塗装した塗膜層１４を設けるようにすれば、第１の反射面１３ｙで乱反射される反射光の強度をより強くすることができるので、変位量の測定精度を更に向上させることができる。
なお、この場合には、塗膜層１４の反射部材１３側の面１４ｙと反射部材１３の下側の面１３ｙとが第１の反射面１５ｙを構成する。
【００３１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に記載の範囲には限定されない。前記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者にも明らかである。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上説明したように、本発明によれば、変位量と傾角量とを同時に測定する変位及び傾角測定装置の測定用反射治具に好適に用いられる反射部材を得ることができるので、これを、例えば、レンズ駆動装置のレンズホルダーに装着される測定用反射治具などに適用すれば、レンズ駆動装置の特性測定の精度を向上させることができるとともに、測定時間を短縮できるので、製造効率も向上する。
【符号の説明】
【００３３】
１０ 測定用反射治具、１１ 挿入部材、１１ｋ ネジ部、
１２ 反射部材、１２ａ 第１の反射部材、１２ｂ 第２の反射部材、
１２ｙ 第１の反射面、１２ｚ 第２の反射面、
２０ レンズ駆動装置、２１ ヨーク、２２ 永久磁石、２３ レンズ、
２４ レンズホルダー、２５ 駆動用コイル、２６ ケース、
２７Ａ，２７Ｂ バネ部材、
３０ 変位及び傾角測定装置、３１ 変位測定用光源、３２ 投光レンズ、
３３ 偏光ビームスプリッタ、３４ 受光レンズ、３５ 変位センサ、
３６ 傾角測定用光源、３７ ハーフミラー、３８ コリメータレンズ、
３９ 傾角センサ、４１ コンピュータ、４２ 駆動用電源、４３ カウンタ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に測定用光線を照射するとともに前記被測定物からの反射光を受光して前記被測定物の移動量を測定する際に、前記被測定物に搭載されて前記測定用光線を反射する測定用光線の反射部材であって、
前記測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成されて前記測定用光線をそれぞれ反射する２つの反射面を有し、
一方の反射面が粗面を成し、他方の反射面が鏡面を成すことを特徴とする測定用光線の反射部材。
【請求項２】
前記反射部材は、
粗面を成す反射面を有する板状の第１の反射部材と、
鏡面を成す反射面を有する板状の第２の反射部材とを備え、
前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが前記測定用光線の入射方向に積層されていることを特徴とする請求項１に記載の測定用光線の反射部材。
【請求項３】
前記反射部材は、粗面を成す第１の板面とこの第１の板面に平行な鏡面を成す第２の板面とを備えた板状の部材であることを特徴とする請求項１に記載の測定用光線の反射部材。
【請求項１】
被測定物に測定用光線を照射するとともに前記被測定物からの反射光を受光して前記被測定物の移動量を測定する際に、前記被測定物に搭載されて前記測定用光線を反射する測定用光線の反射部材であって、
前記測定用光線の入射方向に所定の距離を隔てて形成されて前記測定用光線をそれぞれ反射する２つの反射面を有し、
一方の反射面が粗面を成し、他方の反射面が鏡面を成すことを特徴とする測定用光線の反射部材。
【請求項２】
前記反射部材は、
粗面を成す反射面を有する板状の第１の反射部材と、
鏡面を成す反射面を有する板状の第２の反射部材とを備え、
前記第１の反射部材と前記第２の反射部材とが前記測定用光線の入射方向に積層されていることを特徴とする請求項１に記載の測定用光線の反射部材。
【請求項３】
前記反射部材は、粗面を成す第１の板面とこの第１の板面に平行な鏡面を成す第２の板面とを備えた板状の部材であることを特徴とする請求項１に記載の測定用光線の反射部材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−３９２６３（Ｐ２０１１−３９２６３Ａ）
【公開日】平成２３年２月２４日（２０１１．２．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１８６２６５（Ｐ２００９−１８６２６５）
【出願日】平成２１年８月１１日（２００９．８．１１）
【出願人】（５０７１８６６０９）マイクロウインテック株式会社 (26)
【出願人】（５０２４２６０６１）大立光電股▲ふん▼有限公司 (34)
【出願人】（５０９２２６８４２）
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月２４日（２０１１．２．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年８月１１日（２００９．８．１１）
【出願人】（５０７１８６６０９）マイクロウインテック株式会社 (26)
【出願人】（５０２４２６０６１）大立光電股▲ふん▼有限公司 (34)
【出願人】（５０９２２６８４２）
【Ｆターム（参考）】
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