磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法
【課題】従来の磁気ディスクまたは磁気ヘッド検査装置は、磁気ディスクまたは磁気ヘッドを検査するための書込みおよび測定リソースを各ヘッドで占有する構成であり、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定数を増やした場合に同磁気ヘッドの数だけ書込み／測定リソースを増やす必要があるため、装置の小形・低コスト化は困難である。
【解決手段】複数ディスク回転部または複数磁気ヘッドを持つ磁気ヘッドまたは磁気特性検査装置において、書込み信号発生部の出力信号を各磁気ヘッドに切替または分配する手段と、各磁気ヘッドから読出した信号を各測定リソースに切替または分配して出力する手段と、各測定リソースがどのディスク回転部に同期した測定をするかを切替える手段を具えることにより、複数のディスク回転部間または複数のヘッド間で書込み信号発生部および測定リソースを共有する。
【解決手段】複数ディスク回転部または複数磁気ヘッドを持つ磁気ヘッドまたは磁気特性検査装置において、書込み信号発生部の出力信号を各磁気ヘッドに切替または分配する手段と、各磁気ヘッドから読出した信号を各測定リソースに切替または分配して出力する手段と、各測定リソースがどのディスク回転部に同期した測定をするかを切替える手段を具えることにより、複数のディスク回転部間または複数のヘッド間で書込み信号発生部および測定リソースを共有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置及びそれを用いた検査方法に係り、特に、書込みおよび読出し可能な磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査を行う磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ディスク装置はワークステーションやサーバに用いる外部記憶装置として用いられてきたが、近年のPCの普及や家庭用デジタル機器への適用に伴い、一層の大容量・低価格化が進んでいる。磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査は、実使用周波数で磁気ディスクまたは磁気ヘッドを用いて試験データの記録・再生を行って評価および検査を行う方式が用いられている。磁気ディスクまたは磁気ヘッドの製造コスト低減のために、磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクあるいは磁気ヘッド用の検査装置（以下、単に磁気特性検査装置と記す）にも、小形・低コスト化が求められている。
【０００３】
このような磁気特性検査装置は、従来から１個のディスク回転部に取付けられる１枚の磁気ディスクに対して、２個の磁気ヘッドを装着できるようになっている。これにより磁気ヘッドの検査時には、同時測定数を増やし、また、磁気ディスクの検査時には磁気ディスクの内／外周の同時測定を行うことで、いずれの場合もテストスループットの向上を図っている。このような２個の磁気ヘッドを装着可能な磁気特性検査装置に関連した技術は、例えば特許文献１に開示されている。
上記の磁気特性検査装置で、磁気ヘッドの特性検査を行う場合、検査装置は、まず、良品または磁気特性が既知である１枚の磁気ディスクの任意トラック上に被検査対象である２個の磁気ヘッドを配置して試験信号の記録／再生を行い、同再生信号の特性を各測定リソースで測定および評価して磁気ヘッドの検査を行う。検査E終了後のディスクを静止させ、磁気ヘッドを未検査品と交換する。交換後、同じ検査を繰り返す。
【０００４】
図１３に、上記の磁気特性検査装置で、４種類の測定リソース（１〜４)を使用して２個の磁気ヘッド（磁気ヘッドａ，ｂ）の検査を行う場合の、タイミングチャートの例を示す。まず、制御部は、t１のタイミングで２つの磁気ヘッドａ，ｂの検査A(測定リソース１を使用)を開始し、ライト信号生成部に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データと出力イネーブル信号を出力する。同信号を受け、ライト信号生成部は任意周波数パターンをライトアンプに出力し、磁気ヘッドａ，ｂは同信号を受け、磁気ディスク上の任意トラック数だけ離れた別のトラックに同信号を記録(書込)する。t２のタイミングでは、磁気ヘッドａ，ｂは磁気ディスクから信号を再生し、測定リソース１a,１b,２a,２b,４a,４bに入力する。同時に制御部は測定リソース１a,１bにイネーブル信号を出力し、測定リソース１a,１bは再生信号の測定または特性評価(測定)を行う。
【０００５】
以下、同様にして、順次、検査B(測定リソース１を使用)、検査C(測定リソース２を使用)、検査D(測定リソース４を使用)、検査E(測定リソース３を使用)を行う。各検査項目は、例えば再生信号の平均波高値、平均パルス幅、オーバーライト特性等であり、各検査において２個の磁気ヘッドが磁気ディスクに記録するパターンの周波数は、各磁気ヘッド直下のトラック上の信号密度が一定になるように変えても良いし、または同一周波数としても良い。
【０００６】
また、検査対象が磁気ディスクの場合には、良品または記録／再生の特性が既知である磁気ヘッドを使用して、磁気ディスクの検査を行う。
【０００７】
一方、特許文献２には、１個のディスク回転部に取付けられる１枚の磁気ディスクに対して、磁気ヘッドの保持部を４個設け、同時に２個の磁気ヘッドの検査を行いながら、他の２個の磁気ヘッドを交換することで、検査を途切れることなく連続して行うことができるようにした磁気特性検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−８３５０１号公報
【特許文献２】特開２００１−５２３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１記載の磁気特性検査装置は、磁気ディスクまたは磁気ヘッドを検査するための記録・測定リソースを各ヘッドで占有している。そのため、検査の効率を向上させるべく、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やすと、検査装置が大型になり、装置のコストも増大する。例えば、図１３で説明した例で、磁気ヘッド(ａ，ｂ)の同時測定数を２倍にするためには、ライト信号生成部や測定リソース(以下、記録・測定リソース)の数も単純に２倍となり、検査装置の体積やコストも２倍となる。
【００１０】
一方、特許文献２に記載の磁気特性検査装置は、ディスク回転部を回転させ検査を行ないながら同時に磁気ヘッドを交換するものであり、検査の効率自体は向上すると考えられる。しかし、ディスクの回転時、磁気ヘッドにはごく僅かの浮上量しか許容されないように設計されている。このような状況下で検査終了した磁気ヘッドの交換を行うと、交換時の振動に伴い発生するノイズが検査中の他の磁気ヘッドの測定に大きな影響を及ぼす。そのため、測定精度の著しい低下を招くと考えられる。
【００１１】
本発明の目的は、従来各磁気ヘッドや各磁気ディスク（あるいは各ディスク回転部）で個別に具えていた記録・測定リソースを、複数の磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査で共有可能とした、小形で低コストの磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、高い測定精度を確保しつつ、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やして検査の効率を向上させた、磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の磁気特性検査装置は、磁気ディスクを回転動作させるための複数個のディスク回転部と、前記各ディスク回転部に保持される磁気ディスク上に各々配置される磁気ヘッドと、書込み信号を生成する書込信号生成部と、読出した信号の波形特性を検査する複数種の測定部と、前記書込信号生成部および前記測定部を切替または分配する切替/分配制御機能と、前記各測定部が前記複数個のディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを具える。これにより、複数のディスク回転部間または複数のヘッド間で、検査するための記録・測定リソースの共有化を実現する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、測定リソースあるいはさらに書込信号生成部を、磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査で共有することが可能となる。これにより、磁気特性検査装置の小形・低コスト化が可能となる。また、高い測定精度を確保しつつ、同時に測定可能な磁気ヘッドや磁気ディスクの数が増すので、検査の効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の磁気特性検査装置の、第１の実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の変形例の動作を示すタイミングチャート図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の変形例の構成を示す概略図である。
【図６】本発明の磁気特性検査装置の、第２の実施形態の構成を示す概略図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図８】図６に示した実施例２の変形例を示す概略図である。
【図９】図６に示した実施例２の他の変形例を示す概略図である。
【図１０】本発明の磁気特性検査装置の、第３の実施形態を示す概略図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図１２】実施例３の変形例を示す概略図である。
【図１３】従来の磁気特性検査装置の動作を示すタイミングチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、実施例により図面を参照して本発明の実施の態様を説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１に、本発明の第１の実施形態を示す磁気特性検査装置の概略図を示し、図２および図３に第１の実施形態になる磁気特性検査装置の動作例を説明するタイミングチャートを示す。この実施例では、以下に述べるように、２つのライト信号生成部と４種類の測定リソース（１〜４)を、一部共用することで、４個の磁気ヘッドの検査を、ほぼ同じタイミングで行う。すなわち、磁気特性検査装置が、それぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの記録・測定リソースと、特定の磁気ヘッドにのみ使用できる限定タイプの記録・測定リソースとを具備している。
【００１８】
図１において、磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査を行う磁気特性検査装置５０は、独立した２つのディスク回転部１、５を備えている。各ディスク回転部は、モータ(図示略)で駆動されるスピンドルの端部に磁気ディスク搭載部を備えており、この搭載部に装着された磁気ディスク２、６上には、各々２組の磁気ヘッド（３、４及び７、８）が内外に配置されている。
【００１９】
磁気特性検査装置５０はさらに、各磁気ヘッドに対応したライトアンプ９、１１、１３、１５とリードアンプ１０、１２、１４、１６を具えている。
【００２０】
ディスク回転部１、５は、制御部４２、４１から回転制御信号を受けて回転する。すなわち、制御部４２、４１は、ホストPC４３から制御バス３００（３００ａ、３００ｂ）やデータバス４００を経て送られた信号やデータを受けて、ディスク回転部１、５に回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号を出力してスピンドルの回転を開始させる。
【００２１】
ディスク回転部１、５のスピンドルが１回転する毎に１個のインデックス信号がそれぞれ出力される。ディスク回転部は、これらのインデックス信号(あるいはセクタ信号等)のディスク回転部自体の回転動作を示すタイミング信号a、bを、制御部４２、４１に出力する。制御部４２、４１は、このタイミング信号をもとに、ライト信号生成部(書込信号生成部)３９、４０、測定部３６、３８および測定部α（３７）中の各測定リソース、および切替／分配制御部(切替/分配制御機能)３３の制御を行う。
【００２２】
図２に、タイミング信号a、b及びこれらに基いて生成され切替／分配制御部３３等を制御する信号の例を示す。タイミング信号は、インデックス信号等に基いて生成されるが、ディスク回転部１、５の開始時期とは必ずしも一致していない信号である。そのため、図２に示すように、タイミング信号a、bの位相に若干ずれが生じることもある。ここでは、タイミング信号aがタイミング信号bよりも遅れた場合について記載している。ただし、タイミング信号a、bの位相が一致していても差支えない。
【００２３】
図１に戻って、ライト信号生成部３９、４０の出力は、切替／分配部１９、２０を介してライトアンプ９、１１、１３、１５に接続されており、切替／分配部１９、２０のSW１をONとすることでライト信号生成部３９、４０の出力がライトアンプ９、１３に入力され、また切替／分配部１９、２０のSW２をONとすることでライト信号生成部３９、４０の出力がライトアンプ１１、１５に入力される。
４種類の測定リソース１a、１b、１c、１d、２a、２b、３a、３b 、４は、制御部４２、４１から制御バス３００a、３００bを介してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONのときに測定動作を行う。
【００２４】
磁気特性検査装置の記録・測定リソースのうち、測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b 、４はそれぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの測定リソースであり、測定リソース１cは特定の磁気ヘッド７、測定リソース１dは磁気ヘッド４にのみ使用できる限定タイプの測定リソースとする。また、ライト信号生成部３９は１組の磁気ヘッド（３、４）に、ライト信号生成部４０は他の１組の磁気ヘッド（７、８）に対応している。
【００２５】
これらの記録・測定リソースを制御するイネーブル信号は、図２に示すように、タイミング信号a（a１〜an）、及びb（b１〜b n）に同期した信号である。
【００２６】
図１に戻って、磁気特性検査装置５０は、各測定部の各測定リソースが２組のディスク回転部１、５のどのディスク回転部からのタイミング信号(aまたはb)に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能（スイッチＳＷ）を具えている。一方、制御バス３００aはタイミング信号a、制御バス３００bはタイミング信号bに、それぞれ対応している。
【００２７】
各測定リソースでは、ディスク回転部選択機能のスイッチＳＷの位置により、制御バス３００a、３００bのどちらからのイネーブル信号により動作するかが切替えられる。このイネーブル信号を選択するディスク回転部選択機能は、測定部３６中の測定リソース１aのみ具体的なスイッチＳＷＴ１として表示している。測定リソース１aは制御部４２から制御バス３００aを介して入力されたイネーブル信号と、制御部４１から制御バス３００bを介して入力されたイネーブル信号を受け、内部のSWを切替えることによりどちらのイネーブル信号をもとに測定動作を行うかを切替できる。他の測定リソースも測定リソース１aと同様の構成のディスク回転部選択機能（スイッチＳＷＴｎ）をしている。
【００２８】
切替／分配制御部３３は、制御部４２、４１からの信号により、切替／分配部１９、２０、２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５のSWおよび、各測定リソース内SWの制御を行う。
【００２９】
切替／分配部２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５は、リードアンプ１０、１２、１４、１６通過後の再生信号を各測定リソースへ切替または分配をして出力するために設けられている。
【００３０】
リードアンプ１０の出力は、切替／分配部２１に接続され、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF２５を介して切替／分配部２９に、SW２の出力は測定リソース３aに接続されており、切替／分配部２９内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２aに、SW３の出力は切替／分配部３４に接続されており、切替／分配部３４内のSW１の出力は測定リソース１ｃに、SW２の出力は測定リソース４に接続されている。
【００３１】
リードアンプ１２の出力は、切替／分配部２３に接続されており、切替／分配部２３内のSW１の出力はLPF２７を介して切替／分配部３１に、SW２の出力は測定リソース３bに接続されており、切替／分配部３１内のSW１の出力は切替／分配部３５に、SW２の出力は測定リソース１bに、SW３の出力は測定リソース２bに接続されており、切替／分配部３５内のSW１の出力は測定リソース１dに、SW２の出力は測定リソース４に接続されている。
【００３２】
リードアンプ１４の出力は、切替／分配部２２に接続されており、切替／分配部２２内のSW１の出力はLPF２６を介して切替／分配部３０に、SW２の出力は測定リソース３aに接続されており、切替／分配部３０内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２aに、SW３の出力は切替／分配部３４に接続されている。
【００３３】
リードアンプ１６の出力は、切替／分配部２４に接続されており、切替／分配部２４内のSW１の出力はLPF２８を介して切替／分配部３２に、SW２の出力は測定リソース３bに接続され、切替／分配部３２内のSW１の出力は切替／分配部３５に、SW２の出力は測定リソース１bに、SW３の出力は測定リソース２bに接続されている。
【００３４】
ここで、切替／分配部２１および２２のSW２出力、切替／分配部２３および２４のSW２出力、切替／分配部２９と３０のSW１出力、SW２出力およびSW３出力、切替／分配部３１と３２のSW１出力、SW２出力およびSW３出力、切替／分配部３４と３５のSW２出力は、結線されており、制御部４２、４１は出力が結線されている二つのSWを同時に選択しないように制御を行う。この制御は、制御部４２、４１間のモニタ信号によりお互いの制御状況を監視し、出力が結線されたSWの片方がONしている間はもう一方のSWの設定を行わずに待機することを行う。
【００３５】
図２に示すように、この実施例では、ディスク回転部１、５の回転動作を示すタイミング信号a及びb（a１〜an、b １〜b n）に同期したイネーブル信号により、ライト信号生成部３９、４０や各測定リソースおよび切替／分配制御部３３が制御され、同時に２組の磁気ヘッド３、４、及び磁気ヘッド７、８の検査がなされる。すなわち、４種類の測定リソースを共用しつつ、２組（４個）の磁気ヘッドの検査を、ほぼ同じタイミングで行う。そして、検査の終了した２組の磁気ヘッドを、検査(書込や測定)の行われていないタイミングにおいて、未検査品に交換し、再び同様な検査を開始させる。
【００３６】
図３は、上述の図１の構成の磁気特性検査装置において、４個の磁気ヘッドの検査を同時に開始する場合の動作例を示すタイミングチャートである。以下、その動作を説明する。
【００３７】
制御部４２、４１は、最初に、a１及びb１のタイミングにより、４個の磁気ヘッドの検査A（測定リソース１ａ、１b、１c、１dを使用）を開始する。
【００３８】
まず、切替／分配制御部３３は制御部４２、４１からの信号を受け、切替／分配部１９、２０のSW１、SW２、切替／分配部２１、２２、２３、２４のSW１、切替／分配部２９のSW１、切替／分配部３０のSW３、切替／分配部３１のSW１、切替／分配部３２のSW２、切替／分配部３４のSW１、切替／分配部３５のSW１をONさせるように制御を行い、また測定リソース１a、１dは制御部４２、測定リソース１b、１cは制御部４１からのイネーブル信号により測定するように各測定リソース内SWを設定する。同時に制御部４２、４１はライト信号生成部３９、４０に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号を出力する。同信号を受け、ライト信号生成部３９、４０は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、２０、ライトアンプ９、１１、１３、１５および磁気ヘッド３、４、７、８を介して磁気ディスク２、６に記録される。
【００３９】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド３、４により磁気ディスク２から信号を再生し、b２のタイミングで磁気ヘッド７、８により磁気ディスク６から信号を再生し、磁気ヘッド３の再生信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９を介して測定部３６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド４の再生信号は測定リソース１dに、磁気ヘッド７の再生信号を測定リソース１cに、磁気ヘッド８の再生信号は測定リソース１bに入力される。同時にa２のタイミングで制御部４２は測定リソース１a及び１dのイネーブル信号をON、b２のタイミングで制御部４１は測定リソース１c及び１bのイネーブル信号をONとし、各測定リソースは各再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し検査Aを終了する。
【００４０】
次に、b３のタイミングにより、制御部４１は磁気ヘッド７、８において検査B(測定リソース１a、１bを使用)を開始しようとするが、制御部４２により測定リソース１aが使用されているため、次のb４のタイミングまで待機する。
【００４１】
その後同様にして、a３のタイミングで磁気ヘッド３、４は検査C(測定リソース２a、２bを使用)を、b４のタイミングで磁気ヘッド７、８は検査Bを行い、以降もタイミング信号a、bのタイミングにより検査を進める。
【００４２】
検査Dは、他の検査と動作が異なるため説明する。a５のタイミングにより、制御部４２は磁気ヘッド３、４の検査Dを開始する。まず切替／分配制御部３３は制御部４２からの信号を受け、切替／分配部１９のSW１、SW２、切替／分配部２１、２３のSW１、切替／分配部２９のSW３、切替／分配部３１のSW１、切替／分配部３４のSW２をONさせ、また測定リソース４が制御部４２のイネーブル信号を受けて測定を行うように測定リソース内SWの設定を行う。同時に制御部４２はライト信号生成部３９に検査Dを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONとする。同信号を受け、ライト信号生成部３９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、ライトアンプ９、１１および磁気ヘッド３、４を介して磁気ディスク２に記録される。記録が終わると、磁気ヘッド３は磁気ディスク２から信号を再生し、同再生信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９および３４を介して測定部α３７中の測定リソース４に入力される。信号の再生開始と同時に制御部４２は測定リソース４のイネーブル信号をONとして同再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC４３に出力し磁気ヘッド３の検査Dが終了する。
【００４３】
制御部４２は、磁気ヘッド３の検査終了後、切替／分配制御部３３に信号を出力して、切替／分配部３４のSW２をOFFとし、続けて切替／分配部３５のSW２をONとする。設定が終わると磁気ヘッド４の信号再生を開始し、同再生信号はリードアンプ１２、切替／分配部２３、LPF２７、切替／分配部３１および３５を介して測定部α３７中の測定リソース４に入力される。同時に制御部４２は測定リソース４のイネーブル信号をONとして再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し、磁気ヘッド４の検査Dが完了する。b８のタイミングから開始する磁気ヘッド７、８の検査Dも同様にして行う。
【００４４】
最後に、全磁気ヘッドについて全検査を終了後のa１０およびb１１のタイミングとなったとき、制御部４２、４１はディスク回転部１、５を停止させ、磁気ヘッド３、４、７、８を未検査品に交換し、再び検査を開始させる。
【００４５】
本実施例では、記録・測定リソースを共用して４個の磁気ヘッドが、ほぼ同じタイミングで連続的に検査され、交換される。すなわち、この実施例では、特定の磁気ヘッド(４、７)にのみ使用できる限定タイプのリソース(１d、１c)があるにもかかわらず、リソースの使用順序の制約を守りながら、汎用タイプのリソース使用のタイミングを適切に制御することで、複数のリソースを効率的に共有出来る。また、４個の磁気ヘッドが、ほぼ同じタイミングで検査され、交換される。
【００４６】
よって、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やして検査の効率を向上させた小形・低コストの磁気特性検査装置を提供することができる。
【００４７】
また、検査の終了した２組の磁気ヘッドを、検査(書込や測定)の行われていないタイミングにおいて、未検査品に交換して次の検査を開始させる。したがって、磁気ヘッドの交換に伴い発生するノイズなどが検査(書込や測定)に影響を与えることもなく、高い測定精度を確保しつつ、検査の効率を向上させた磁気特性検査装置を提供することができる。
【００４８】
［変形例１］
次に、実施例１の変形例について図４で説明する。変形例１は、前述の図１の構成の磁気特性検査装置に比べて測定リソース１c及び測定リソース１dが無い場合の例である。この例では、測定リソースの数や種類が少ないので、磁気ヘッド３、４と７、８の検査開始タイミングをずらして検査を行う。図４にその動作例を示す。
【００４９】
まず、制御部４２はホストPC４３からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部１に出力して回転を開始させる。ディスク回転部１はインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを制御部４２に出力する。
【００５０】
制御部４２は、a１のタイミングにより検査A（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。まず切替／分配制御部３３は制御部４２からの信号を受け、切替／分配部１９のSW１、SW２、切替／分配部２１、２３のSW１、切替／分配部２９のSW１、切替／分配部３１のSW２をONにし、また測定リソース１a、１bが制御部４２からのイネーブル信号により測定を行うように各測定リソース内SWを設定する。同時に制御部４２はライト信号生成部３９に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONとする。同信号を受け、ライト信号生成部３９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、ライトアンプ９、１１および磁気ヘッド３、４を介して磁気ディスク２に記録される。
【００５１】
次に、a２のタイミングによって磁気ヘッド３、４により磁気ディスク２から信号を再生し、磁気ヘッド３で再生した信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９を介して測定部３６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド４が再生した信号は測定リソース１bに入力される。同時にa２のタイミングで制御部４２は測定リソース１a及び１ｂのイネーブル信号をONとし、測定リソース１a、１bは再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し検査Aは終了する。
【００５２】
同様にして次のa３、a４のタイミングにおいて、磁気ヘッド３、４の検査Bを行う。
次に、a５のタイミングにおいて、磁気ヘッド３、４は検査Cを開始し、同時に制御部４２は制御部４１に磁気ヘッド７、８の検査を開始する信号を出力する。制御部４２は同信号を受けて回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部５に出力して回転を開始させる。ディスク回転部５はインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号bを制御部４１に出力する。制御部４１はb１のタイミングにより検査A（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始し、以降のタイミングによって磁気ヘッド７、８の検査を進める。
【００５３】
先に検査を開始した磁気ヘッド３、４が全検査を終了した後、a１０のタイミングにおいて、制御部４２はディスク回転部１を停止させ、磁気ヘッド３、４を未検査品に交換し、再び検査を開始させる。磁気ヘッド３、４を交換している間も磁気ヘッド７、８は検査を続け、同様に磁気ヘッド７、８の全検査を終了した後のタイミングで制御部４１はディスク回転部５を停止させ、磁気ヘッド７、８を未検査品に交換し、その後再び検査を開始させる。
【００５４】
以上の一連の動作により、磁気ヘッド３、４と７、８のヘッド交換のタイミングをずらすことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査がスムーズに行える。すなわち、本変形例では、実施例１と異なり、ヘッド交換のタイミングをずらすことができるので、ヘッド交換に要する時間が、検査(書込や測定)の期間に対して相対的に長い、たとえば検査期間の１／２〜１程度になる場合には、効果的な方法である。
【００５５】
なお、ここでは磁気ヘッド７、８の検査を、開始はa５のタイミングとする例について説明したが、これに限定するものでは無く、例えば使用する測定リソースが重ならない限り、異なるタイミングで検査を開始したり、磁気ヘッド３、４の検査開始時間から一定時間後に磁気ヘッド７、８の検査を開始しても良いことは言うまでも無い。
【００５６】
また、本実施例１や変形例では同一ディスク上の磁気ヘッドで常に同一測定項目の検査を行うため、各種類の測定リソースを同一ディスク上の磁気ヘッド数と同数以上具えることが好ましいが、各測定リソースの数はこれに制限されるものではない。例えば、測定部α３７中の測定リソース１c、１dは、磁気ヘッドのリード／ライトのオフセット測定のように特性評価の最初に行なう項目で使用する測定リソースである場合、複数磁気ヘッドの検査を同時にスタートする場合には同測定リソースを同数具えることでスループット低下を防ぐことが好ましい。
【００５７】
同様に、全テストのテスト時間のうち半分を超えて使用される測定リソースがある場合には、磁気ヘッド数と同数の測定リソースを具えることが好ましい。
また、ある測定リソースを使用する検査時間がタイミング信号間の時間の半分以下と短い場合には、測定部α３７中の測定リソース４のように同一磁気ディスク上の磁気ヘッド間でも共有化を図ることで、更に小形・低コスト化を図ることが可能となる。
【００５８】
また、ここでは全磁気ヘッド数と同数具える測定リソースまたは同一磁気ディスク上の磁気ヘッドで共有する測定リソースは１種類に限るものではなく、１種類以上でも良いし、または無くても良い。例えば、図４に示した変形例によれば、図１中の測定リソース１c、１dは必要ないため、一層の小形・低コスト化を図ることが出来る。
【００５９】
［変形例２］
また、図１の実施例では磁気ヘッド３、４または７、８で記録・測定リソースのライト信号生成部３９または４０を共有する構成としているが、記録リソースを各々独立に設けるよう磁気特性検査装置の構成を変更しても良い。すなわち、図５に示すように図１の変形例として、ライト信号生成部３９aの出力パターンをライトアンプ９を介して磁気ヘッド３に入力し、同様にライト信号生成部３９bの出力パターンを磁気ヘッド４に、ライト信号生成部４０aの出力パターンを磁気ヘッド７に、ライト信号生成部４０bの出力パターンを磁気ヘッド８に入力する構成にしても良い。これにより、書込み、測定のタイミングの制御自由度が増し、検査の内容に応じたきめ細かい制御を行ない効率を向上させることができる。
【実施例２】
【００６０】
図６に、本発明の第２の実施形態の構成図を、図７に第２の実施形態の動作を説明するタイミングチャートの例を示す。この例では、磁気特性検査装置８０の記録・測定リソースのうち、測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３ b、４はそれぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの測定リソースである。また、ライト信号生成部７３は２つの磁気ヘッド（５３、５４、５７、５８）に対応している。制御バス３００やデータバス４００はタイミング信号a、bのいずれか一方に対応している。
【００６１】
図６において、磁気特性検査装置８０は２対のディスク回転部５１、５５および磁気ディスク５２、５６を具えており、同磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド５３、５４、５７、５８および各磁気ヘッドに対応したライトアンプ５９、６１、６３、６５とリードアンプ６０、６２、６４、６６を具える。
【００６２】
ディスク回転部５１、５５は制御部７６から回転制御信号を受けて回転動作を行い、回転動作を示すタイミング信号a、bを信号切替部７４に出力し、同信号切替部はタイミング信号a、bのどちらか一方を選択して制御部７６に出力する。同制御部７６はこのタイミングをもとにライト信号生成部７３、測定部７２、７８中の各測定リソース、および切替／分配制御部７５の制御を行う。
【００６３】
ライト信号生成部７３の出力は切替／分配部６９を介してライトアンプ５９、６１、６３、６５に接続されており、同ライト信号生成部の出力は同切替／分配部のSW１をONとすることでライトアンプ５９に、SW２をONとすることでライトアンプ６１に、SW３をONとすることでライトアンプ６３に、SW４をONとすることでライトアンプ６５に入力される。
【００６４】
各測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b、４a、４cは、制御部７６から制御バス３００を通してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONのとき測定動作を行う。
【００６５】
切替／分配制御部７５は制御部７６からの信号により切替／分配部６９および切替部６７、６８、７４の制御を行う。切替部 ６７はリードアンプ６０またはリードアンプ６４のどちらか一方の出力信号を選択してLPF７０および測定リソース３aに出力し、LPF７０を通過した信号は測定リソース１a、２a、４aに出力される。同様に、切替６８はリードアンプ６２とリードアンプ６６のどちらか一方の出力信号を選択し、LPF７１および測定リソース３bに出力する。LPF７１を通過した信号は測定リソース１b、２b、４bに出力される。
【００６６】
図７のタイミングチャートを用いて、図６の磁気特性検査装置８０の動作を説明する。
まず、制御部７６はホストPC７７からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部５１に出力し、同時に切替／分配制御部７５に信号を送り、同切替／分配制御部は切替部７４がタイミング信号aを、切替部６７がリードアンプ６０の出力信号を、切替部６８がリードアンプ６２の出力信号を通過するように制御し、さらに切替／分配部６９のSW１およびSW２をONさせる。
【００６７】
ディスク回転部５１は、回転を開始すると、インデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを切替部７４を介して制御部７６に出力し、同制御部はa１のタイミングにより検査A’（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。制御部７６は、まずライト信号生成部７３に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONにする。同信号を受け、ライト信号生成部７３は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部６９、ライトアンプ５９、６１および磁気ヘッド５３、５４を介して磁気ディスク５２に記録される。
【００６８】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド５３、５４は磁気ディスク５２から信号を再生し、磁気ヘッド５３が再生した信号はリードアンプ６０、切替部６７、LPF７０を介して測定部７２中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド５４が再生した信号は測定リソース１bにされる。これと同時にa２のタイミングで制御部７６は測定リソース１a及び１bのイネーブル信号をONとし、これにより各測定リソースは再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC７７に出力する。
【００６９】
以降、a３、…、a７のタイミングにより、同様にして検査B’、Ｃ’、Ｄ’が行われる。磁気ヘッド５３、５４が全検査を終了した後のa８のタイミングにより、制御部７６はディスク回転部５１を停止させ、今度は回転制御信号をディスク回転部５５に出力して回転動作を開始させる。同時に切替／分配制御部７５に信号を送り、同切替／分配制御部は、切替部７４がタイミング信号bを、切替部６７がリードアンプ６４の出力信号を、切替部６８がリードアンプ６６の出力信号を通過させるように制御し、さらに切替／分配部６９のSW１、SW２をOFF、SW３、SW４をONとする。
【００７０】
この後、b１のタイミングにより磁気ヘッド５７、５８の検査を開始し、検査の間に磁気ヘッド５３、５４を未検査品に交換する。
このように、磁気ヘッド５３、５４と５７、５８の磁気ヘッドの測定を交互に行うことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査をスムーズに行える。
【００７１】
この実施例では、ライト信号が共用、すなわちディスクの半径方向に離間して配置されている磁気ヘッド５３と５４、あるいは磁気ヘッド５７と５８とがライト信号生成部７３から出力される同じ周波数で制御されるため、磁気ヘッド５３と５４、あるいは磁気ヘッド５７と５８の記録密度には差が生ずる。しかし、ヘッド交換作業に要する時間が長い、たとえば検査期間の１／２〜１程度になる場合には、２組のヘッドの交換を異なる時間帯に行えるので、作業者のヘッド交換作業の効率を向上させることができる利点がある。
【００７２】
［変形例３］
ここで、図６に示した実施例２では、磁気特性検査装置８０が磁気ヘッド５３、５４または５７、５８でライト信号生成部７３を共有する構成としているが、変形例として図８に示すように、同時に検査を行う２つの磁気ヘッドそれぞれに異なる周波数のライト信号生成部を具える構成にしても良い。
図８において、ライト信号生成部７３aの出力信号は切替部６９aによりライトアンプ５９または６３に、ライト信号生成部７３bの出力信号は切替部６９bによりライトアンプ６１または６５に入力される。
【００７３】
この例によれば、ライト信号生成部の数が増えるが、実施例２における記録密度の差という問題は解消される。
【００７４】
［変形例４］
また、図６に示した実施例２では、磁気特性検査装置がディスク回転部５１、５５において、ライト信号生成部７３および測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b、４a、４bを交互に使用する構成としているが、変形例として図９に示すように、各ディスク回転部でライト信号生成部と測定リソースを個別に具えても良い。すなわち、各ディスク回転部５１、５５に対応して、それぞれ記録・測定リソースや制御部を持つ磁気特性検査装置８０a、磁気特性検査装置８０b を設ける。この変形例では、各磁気特性検査装置８０a、磁気特性検査装置８０bでライト信号が共用される。
【００７５】
図９において、ライト信号生成部７３aの出力はライトアンプ切替分配部６９cに入力され、同切替／分配部はSW１がONのときにライトアンプ５９に、SW２がONのときにライトアンプ６１に信号を出力する。この変形例は、ライト信号生成部の数を少なくできる利点がある。
【実施例３】
【００７６】
図１０に本発明の第３の実施形態の磁気特性検査装置を、図１１にこの実施形態の動作のタイミングチャートを示す。この実施例では、磁気特性検査装置１２０の記録・測定リソースのうち、２組の磁気ヘッドのいずれにも使用できる汎用タイプの測定リソースとして、１組の測定リソース１a、１b、２、３、４を備えている。また、２組の磁気ヘッドのそれぞれに対応する２組のライト信号生成部（１０８、１０９）を備え、各組の内外の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数で制御される。
【００７７】
図１０において、磁気特性検査装置１２０は２対のディスク回転部８１、８５および磁気ディスク８２、８６を具えており、同磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド８３、８４、８７、８８および各磁気ヘッドに対応したライトアンプ８９、９１、９３、９５とリードアンプ９０、９２、９４、９６を具える。ディスク回転部８１、８５は制御部１１４から回転制御信号を受けて回転動作を行い、回転動作を示すタイミング信号a、bを切替部１１２に出力し、同切替部はどちらか一方の信号を選択して制御部１１４に出力する。同制御部１１４はこのタイミングをもとにライト信号生成部１０８、１０９、測定部１０６および測定部α１０７中の各測定リソース、および切替／分配制御部１１３の制御を行う。
【００７８】
ライト信号生成部１０８の出力信号は切替部１１０によりライトアンプ８９または９３に、ライト信号生成部１０９の出力信号は切替部１１１によりライトアンプ９１または９５に入力される。
各測定リソース１a、１b、２、３、４は、制御部１１４から制御バス３００を通してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONとなったときに測定動作を行う。
【００７９】
切替／分配制御部１１３は、制御部１１４からの信号により切替部９７、９８、１１０、１１１、１１２および切替／分配部９９、１００、１０３、１０４の制御を行う。切替／分配部 ９７はリードアンプ９０またはリードアンプ９４のどちらか一方の出力信号かを選択して、切替／分配部９９に出力する。同様に、切替／分配部 ９８はリードアンプ９２とリードアンプ９６のどちらか一方の出力信号を選択し切替／分配部１００に出力する。切替／分配部９９、１００、１０３、１０４は、切替部９７、９８の出力信号を各測定リソースへ切替または分配して出力する。切替部９７の出力は切替／分配部９９に接続され、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF１０１を介して切替／分配部１０３に、SW２の出力は測定リソース３に接続されており、切替／分配部１０３内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２に、SW３の出力は測定リソース４に接続されている。同様に、切替部９８の出力は切替／分配部１００に接続されており、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF１０２を介して切替／分配部１０４に、SW２の出力は測定リソース３に接続されており、切替／分配部１０４内のSW１の出力は測定リソース１bに、SW２の出力は測定リソース２に、SW３の出力は測定リソース４に接続されている。
【００８０】
ここで切替／分配部９９と１００のSW２出力、切替／分配部１０３と１０４の各SW２出力およびSW３出力はそれぞれ結線されており、制御部１１４は出力が結線されているSWを同時に選択しないように制御を行う。
【００８１】
図１１のタイミングチャートを用いて図１０の磁気特性検査装置の動作を説明する。
まず、制御部１１４はホストPC１１５からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部８１に出力し、同時に切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替部１１２がタイミング信号aを、切替部９７がリードアンプ９０の出力信号を、切替部９８がリードアンプ９２の出力信号を通過させるように制御し、さらに切替部１１０がライトアンプ８９に信号を出力し、切替部１１１がライトアンプ９１に信号を出力するように制御する。
【００８２】
ディスク回転部８１は回転動作に伴いインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを切替部１１２を介して制御部１１４に出力し、同制御部はa１のタイミングにより検査A’（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。制御部１１４は、まず切替／分配制御部１１３を制御し、同切替／分配制御部は切替／分配部９９、１００のSW１と、切替／分配部１０３、１０４のSW１をONさせ、同時にライト信号生成部１０８、１０９に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて同ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにする。同信号を受けて、ライト信号生成部１０８、１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１０、１１１、ライトアンプ８９、９１および磁気ヘッド８３、８４を介して磁気ディスク８２に記録する。
【００８３】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド８９、９１は磁気ディスク８２から信号の再生を開始し、磁気ヘッド８３が再生した信号はリードアンプ９０、切替部９７、切替／分配部９９、LPF１０１、切替／分配部１０３を介して測定部１０６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド８４が再生した信号は測定リソース１bにされる。これと同時にa２のタイミングで制御部１１４は測定リソース１a及び１bのイネーブル信号をONとし、これにより各測定リソースは再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８４】
次に、a３のタイミングで、磁気ヘッド８３は検査B’を、磁気ヘッド８４は検査C’を開始する。制御部１１４は切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替／分配部９９のSW１、切替／分配部１００のSW２、切替／分配部１０３のSW２をONさせ、同時にライト信号生成部１０８に検査B’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、ライト信号生成部１０９に検査C’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行う。続いて両ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにする。同信号を受けて、ライト信号生成部１０８、１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１０、１１１、ライトアンプ８９、９１および磁気ヘッド８３、８４を介して磁気ディスク８２に記録する。磁気ヘッド８４の検査C’については、記録終了後に続けて測定を開始し、磁気ヘッド８４が再生した信号はリードアンプ９２、切替部９８、切替／分配部１００を介して測定部１０６中の測定リソース３に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース３のイネーブル信号をONとし、測定リソース３は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８５】
次のa４のタイミングで、磁気ヘッド８３は磁気ディスク８２から信号の再生を開始する。磁気ヘッド８３が再生した信号はリードアンプ９０、切替部９７、切替／分配部９９、LPF１０１、切替／分配部１０３を介して測定部１０６中の測定リソース２に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース２のイネーブル信号をONとし、これにより測定リソース２は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８６】
また、同じくa４のタイミングで、磁気ヘッド８４は検査D’を開始し、制御部１１４は切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替／分配部１００のSW１、切替／分配部１０４のSW３をONさせ、同時にライト信号生成部１０９に検査D’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行う。続いて同ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにし、同信号を受けて、ライト信号生成部１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１１、ライトアンプ９１および磁気ヘッド８４を介して磁気ディスク８２に記録する。磁気ヘッド８４の検査D’は、書込み終了後に続けて測定を開始し、磁気ヘッド８４が再生した信号はリードアンプ９２、切替部９８、切替／分配部１００、LPF１０２、切替／分配部１０４を介して測定部１０６中の測定リソース４に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース４のイネーブル信号をONとし、測定リソース４は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８７】
以降のタイミングにより同様にして検査を行い、磁気ヘッド８３、８４が全検査終了した後のa７のタイミングにより、制御部１１４はディスク回転部８１を停止させ、今度は回転制御信号をディスク回転部８５に出力して回転動作を開始させる。同時に切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は、切替部１１４がタイミング信号bを、切替部９７がリードアンプ９４の出力信号を、切替部９８がリードアンプ９６の出力信号を通過するように制御し、さらに切替部１１０がライトアンプ９３に信号を出力し、切替部１１１がライトアンプ９５に信号を出力するように制御を行う。
【００８８】
この後、b１のタイミングにより磁気ヘッド８７、８８の検査が開始され、その間に磁気ヘッド８３、８４は未検査品に交換される。
【００８９】
このように、本実施例では、２組の磁気ヘッドが１組の測定リソースを共用するため、磁気特性検査装置が小形、低コストになる。たとえば、磁気ヘッド８３と磁気ヘッド８３の検査で、検査B’と、検査Cおよび検査D’の書込、測定を並行して行うため、ノイズの影響による測定制度の低下という懸念はあるが、測定リソースの利用効率はいっそう高まる。また、磁気ヘッド８３、８４と８７、８８の磁気ヘッドの測定を交互に行うことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査がスムーズに行える。
【００９０】
［変形例５］
図１０の実施例３では、ディスク回転部８１、８５において、ライト信号生成部１０８と１０９および測定リソース１a、１b、２、３、４を交互に使用する構成としているが、図１２に変形例として示すように、検査装置を２つの磁気特性検査装置１２０aと磁気特性検査装置１２０bに分け、各ディスク回転部８１、８５でライト信号生成部と測定リソースを個別に具えても良い。
【００９１】
図１２において、ライト信号生成部１０８a、１０９aの出力はライトアンプ８９、９１に、リードアンプ９０、９２の出力は切替／分配制御部９９a、１００aに、ディスク回転部のタイミング信号aは制御部１１４aにそれぞれ直接入力される。
【００９２】
以上述べた磁気特性検査装置の各実施例及びそれらの各変形例の説明では、例としてディスク回転部（およびこのディスク回転部に装着される磁気ディスク）の数(N)が２個、各磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド数（Ｍ）も２個、測定リソースの数(T)を４種類とし、ライト信号生成部の数(R)のみ１つまたは２つとしたが、N、M、T、Rはこれに限定しないことは言うまでも無い。磁気ヘッド数(M)や測定リソースの数(T)、ライト信号生成部の数(R)は、１個あるいは１種以上でよい。
【００９３】
ただし、本発明の磁気特性検査装置の大きな特徴の１つは、ディスク回転部の数(N)が複数あることにある。そして、記録・測定リソースが複数のディスク回転部のいずれに同期した測定をするものかを切替える手段を具えることで、検査するための記録・測定リソースの共有化を実現することができる。
【００９４】
また、上記実施例及びそれらの各変形例中の切替／分配部はスイッチで構成しているが、リレーや半導体スイッチに限らず半導体分配バッファのイネーブル等によっても実現できることは言うまでも無い。
【符号の説明】
【００９５】
１、５、５１、５５、８１、８５、２０２…ディスク回転部、
２、６、５２、５６、８２、８６、２０３…磁気ディスク、
３、４、７、８、５３、５４、５７、５８、８３、８４、８７、８８、２０４、２０５…磁気ヘッド、
９、１１、１３、１５、５９、６１、６３、６５、８９、９１、９３、９５、２０６、２０７…ライトアンプ、
１０、１２、１４、１６、６０、６２、６４、６６、９０、９２、９４、９６、２０８、２０９…リードアンプ、
１９、２０、２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５、６９、６９ｃ、９９、９９ａ、１００、１００ａ、１０３、１０４…切替／分配部、６７、６８、７４、６９ａ、６９ｂ、９７、９８、１１０、１１１、１１２…切替部、
２５、２６、２７、２８、７０、７１、１０１、１０２、２１３、２１４…LPF、３３、７５、７５ａ、１１３、２２１…切替／分配制御部、
３６、３８、７２、７８、１０６、２１７、２１８…測定部、
３７、１０７…測定部α、
３９、３９a、３９b、４０、４０a、４０b、７３、７３a、７３b、７３c、１０８、１０８ａ、１０９、１０９ａ、２１９、２２０…ライト信号生成部、
４１、４２、７６、７６ａ、１１４、１１４ａ、２２２…制御部、
４３、７７、１１５、２２３…ホストＰＣ、
５０、８０、８０ａ、８０ｂ、１２０、１２０ａ、１２０ｂ、２０１…磁気特性検査装置、
３００、３００ａ、３００ｂ…制御バス、
４００…データバス、
ＳＴＷ１…測定リソース内ディスク回転部選択機能。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置及びそれを用いた検査方法に係り、特に、書込みおよび読出し可能な磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査を行う磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ディスク装置はワークステーションやサーバに用いる外部記憶装置として用いられてきたが、近年のPCの普及や家庭用デジタル機器への適用に伴い、一層の大容量・低価格化が進んでいる。磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査は、実使用周波数で磁気ディスクまたは磁気ヘッドを用いて試験データの記録・再生を行って評価および検査を行う方式が用いられている。磁気ディスクまたは磁気ヘッドの製造コスト低減のために、磁気ディスク装置に用いる磁気ディスクあるいは磁気ヘッド用の検査装置（以下、単に磁気特性検査装置と記す）にも、小形・低コスト化が求められている。
【０００３】
このような磁気特性検査装置は、従来から１個のディスク回転部に取付けられる１枚の磁気ディスクに対して、２個の磁気ヘッドを装着できるようになっている。これにより磁気ヘッドの検査時には、同時測定数を増やし、また、磁気ディスクの検査時には磁気ディスクの内／外周の同時測定を行うことで、いずれの場合もテストスループットの向上を図っている。このような２個の磁気ヘッドを装着可能な磁気特性検査装置に関連した技術は、例えば特許文献１に開示されている。
上記の磁気特性検査装置で、磁気ヘッドの特性検査を行う場合、検査装置は、まず、良品または磁気特性が既知である１枚の磁気ディスクの任意トラック上に被検査対象である２個の磁気ヘッドを配置して試験信号の記録／再生を行い、同再生信号の特性を各測定リソースで測定および評価して磁気ヘッドの検査を行う。検査E終了後のディスクを静止させ、磁気ヘッドを未検査品と交換する。交換後、同じ検査を繰り返す。
【０００４】
図１３に、上記の磁気特性検査装置で、４種類の測定リソース（１〜４)を使用して２個の磁気ヘッド（磁気ヘッドａ，ｂ）の検査を行う場合の、タイミングチャートの例を示す。まず、制御部は、t１のタイミングで２つの磁気ヘッドａ，ｂの検査A(測定リソース１を使用)を開始し、ライト信号生成部に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データと出力イネーブル信号を出力する。同信号を受け、ライト信号生成部は任意周波数パターンをライトアンプに出力し、磁気ヘッドａ，ｂは同信号を受け、磁気ディスク上の任意トラック数だけ離れた別のトラックに同信号を記録(書込)する。t２のタイミングでは、磁気ヘッドａ，ｂは磁気ディスクから信号を再生し、測定リソース１a,１b,２a,２b,４a,４bに入力する。同時に制御部は測定リソース１a,１bにイネーブル信号を出力し、測定リソース１a,１bは再生信号の測定または特性評価(測定)を行う。
【０００５】
以下、同様にして、順次、検査B(測定リソース１を使用)、検査C(測定リソース２を使用)、検査D(測定リソース４を使用)、検査E(測定リソース３を使用)を行う。各検査項目は、例えば再生信号の平均波高値、平均パルス幅、オーバーライト特性等であり、各検査において２個の磁気ヘッドが磁気ディスクに記録するパターンの周波数は、各磁気ヘッド直下のトラック上の信号密度が一定になるように変えても良いし、または同一周波数としても良い。
【０００６】
また、検査対象が磁気ディスクの場合には、良品または記録／再生の特性が既知である磁気ヘッドを使用して、磁気ディスクの検査を行う。
【０００７】
一方、特許文献２には、１個のディスク回転部に取付けられる１枚の磁気ディスクに対して、磁気ヘッドの保持部を４個設け、同時に２個の磁気ヘッドの検査を行いながら、他の２個の磁気ヘッドを交換することで、検査を途切れることなく連続して行うことができるようにした磁気特性検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−８３５０１号公報
【特許文献２】特開２００１−５２３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１記載の磁気特性検査装置は、磁気ディスクまたは磁気ヘッドを検査するための記録・測定リソースを各ヘッドで占有している。そのため、検査の効率を向上させるべく、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やすと、検査装置が大型になり、装置のコストも増大する。例えば、図１３で説明した例で、磁気ヘッド(ａ，ｂ)の同時測定数を２倍にするためには、ライト信号生成部や測定リソース(以下、記録・測定リソース)の数も単純に２倍となり、検査装置の体積やコストも２倍となる。
【００１０】
一方、特許文献２に記載の磁気特性検査装置は、ディスク回転部を回転させ検査を行ないながら同時に磁気ヘッドを交換するものであり、検査の効率自体は向上すると考えられる。しかし、ディスクの回転時、磁気ヘッドにはごく僅かの浮上量しか許容されないように設計されている。このような状況下で検査終了した磁気ヘッドの交換を行うと、交換時の振動に伴い発生するノイズが検査中の他の磁気ヘッドの測定に大きな影響を及ぼす。そのため、測定精度の著しい低下を招くと考えられる。
【００１１】
本発明の目的は、従来各磁気ヘッドや各磁気ディスク（あるいは各ディスク回転部）で個別に具えていた記録・測定リソースを、複数の磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査で共有可能とした、小形で低コストの磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、高い測定精度を確保しつつ、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やして検査の効率を向上させた、磁気特性検査装置及びそれを用いた検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の磁気特性検査装置は、磁気ディスクを回転動作させるための複数個のディスク回転部と、前記各ディスク回転部に保持される磁気ディスク上に各々配置される磁気ヘッドと、書込み信号を生成する書込信号生成部と、読出した信号の波形特性を検査する複数種の測定部と、前記書込信号生成部および前記測定部を切替または分配する切替/分配制御機能と、前記各測定部が前記複数個のディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを具える。これにより、複数のディスク回転部間または複数のヘッド間で、検査するための記録・測定リソースの共有化を実現する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、測定リソースあるいはさらに書込信号生成部を、磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査で共有することが可能となる。これにより、磁気特性検査装置の小形・低コスト化が可能となる。また、高い測定精度を確保しつつ、同時に測定可能な磁気ヘッドや磁気ディスクの数が増すので、検査の効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の磁気特性検査装置の、第１の実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の変形例の動作を示すタイミングチャート図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の変形例の構成を示す概略図である。
【図６】本発明の磁気特性検査装置の、第２の実施形態の構成を示す概略図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図８】図６に示した実施例２の変形例を示す概略図である。
【図９】図６に示した実施例２の他の変形例を示す概略図である。
【図１０】本発明の磁気特性検査装置の、第３の実施形態を示す概略図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態の動作を示すタイミングチャート図である。
【図１２】実施例３の変形例を示す概略図である。
【図１３】従来の磁気特性検査装置の動作を示すタイミングチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、実施例により図面を参照して本発明の実施の態様を説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１に、本発明の第１の実施形態を示す磁気特性検査装置の概略図を示し、図２および図３に第１の実施形態になる磁気特性検査装置の動作例を説明するタイミングチャートを示す。この実施例では、以下に述べるように、２つのライト信号生成部と４種類の測定リソース（１〜４)を、一部共用することで、４個の磁気ヘッドの検査を、ほぼ同じタイミングで行う。すなわち、磁気特性検査装置が、それぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの記録・測定リソースと、特定の磁気ヘッドにのみ使用できる限定タイプの記録・測定リソースとを具備している。
【００１８】
図１において、磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査を行う磁気特性検査装置５０は、独立した２つのディスク回転部１、５を備えている。各ディスク回転部は、モータ(図示略)で駆動されるスピンドルの端部に磁気ディスク搭載部を備えており、この搭載部に装着された磁気ディスク２、６上には、各々２組の磁気ヘッド（３、４及び７、８）が内外に配置されている。
【００１９】
磁気特性検査装置５０はさらに、各磁気ヘッドに対応したライトアンプ９、１１、１３、１５とリードアンプ１０、１２、１４、１６を具えている。
【００２０】
ディスク回転部１、５は、制御部４２、４１から回転制御信号を受けて回転する。すなわち、制御部４２、４１は、ホストPC４３から制御バス３００（３００ａ、３００ｂ）やデータバス４００を経て送られた信号やデータを受けて、ディスク回転部１、５に回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号を出力してスピンドルの回転を開始させる。
【００２１】
ディスク回転部１、５のスピンドルが１回転する毎に１個のインデックス信号がそれぞれ出力される。ディスク回転部は、これらのインデックス信号(あるいはセクタ信号等)のディスク回転部自体の回転動作を示すタイミング信号a、bを、制御部４２、４１に出力する。制御部４２、４１は、このタイミング信号をもとに、ライト信号生成部(書込信号生成部)３９、４０、測定部３６、３８および測定部α（３７）中の各測定リソース、および切替／分配制御部(切替/分配制御機能)３３の制御を行う。
【００２２】
図２に、タイミング信号a、b及びこれらに基いて生成され切替／分配制御部３３等を制御する信号の例を示す。タイミング信号は、インデックス信号等に基いて生成されるが、ディスク回転部１、５の開始時期とは必ずしも一致していない信号である。そのため、図２に示すように、タイミング信号a、bの位相に若干ずれが生じることもある。ここでは、タイミング信号aがタイミング信号bよりも遅れた場合について記載している。ただし、タイミング信号a、bの位相が一致していても差支えない。
【００２３】
図１に戻って、ライト信号生成部３９、４０の出力は、切替／分配部１９、２０を介してライトアンプ９、１１、１３、１５に接続されており、切替／分配部１９、２０のSW１をONとすることでライト信号生成部３９、４０の出力がライトアンプ９、１３に入力され、また切替／分配部１９、２０のSW２をONとすることでライト信号生成部３９、４０の出力がライトアンプ１１、１５に入力される。
４種類の測定リソース１a、１b、１c、１d、２a、２b、３a、３b 、４は、制御部４２、４１から制御バス３００a、３００bを介してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONのときに測定動作を行う。
【００２４】
磁気特性検査装置の記録・測定リソースのうち、測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b 、４はそれぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの測定リソースであり、測定リソース１cは特定の磁気ヘッド７、測定リソース１dは磁気ヘッド４にのみ使用できる限定タイプの測定リソースとする。また、ライト信号生成部３９は１組の磁気ヘッド（３、４）に、ライト信号生成部４０は他の１組の磁気ヘッド（７、８）に対応している。
【００２５】
これらの記録・測定リソースを制御するイネーブル信号は、図２に示すように、タイミング信号a（a１〜an）、及びb（b１〜b n）に同期した信号である。
【００２６】
図１に戻って、磁気特性検査装置５０は、各測定部の各測定リソースが２組のディスク回転部１、５のどのディスク回転部からのタイミング信号(aまたはb)に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能（スイッチＳＷ）を具えている。一方、制御バス３００aはタイミング信号a、制御バス３００bはタイミング信号bに、それぞれ対応している。
【００２７】
各測定リソースでは、ディスク回転部選択機能のスイッチＳＷの位置により、制御バス３００a、３００bのどちらからのイネーブル信号により動作するかが切替えられる。このイネーブル信号を選択するディスク回転部選択機能は、測定部３６中の測定リソース１aのみ具体的なスイッチＳＷＴ１として表示している。測定リソース１aは制御部４２から制御バス３００aを介して入力されたイネーブル信号と、制御部４１から制御バス３００bを介して入力されたイネーブル信号を受け、内部のSWを切替えることによりどちらのイネーブル信号をもとに測定動作を行うかを切替できる。他の測定リソースも測定リソース１aと同様の構成のディスク回転部選択機能（スイッチＳＷＴｎ）をしている。
【００２８】
切替／分配制御部３３は、制御部４２、４１からの信号により、切替／分配部１９、２０、２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５のSWおよび、各測定リソース内SWの制御を行う。
【００２９】
切替／分配部２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５は、リードアンプ１０、１２、１４、１６通過後の再生信号を各測定リソースへ切替または分配をして出力するために設けられている。
【００３０】
リードアンプ１０の出力は、切替／分配部２１に接続され、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF２５を介して切替／分配部２９に、SW２の出力は測定リソース３aに接続されており、切替／分配部２９内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２aに、SW３の出力は切替／分配部３４に接続されており、切替／分配部３４内のSW１の出力は測定リソース１ｃに、SW２の出力は測定リソース４に接続されている。
【００３１】
リードアンプ１２の出力は、切替／分配部２３に接続されており、切替／分配部２３内のSW１の出力はLPF２７を介して切替／分配部３１に、SW２の出力は測定リソース３bに接続されており、切替／分配部３１内のSW１の出力は切替／分配部３５に、SW２の出力は測定リソース１bに、SW３の出力は測定リソース２bに接続されており、切替／分配部３５内のSW１の出力は測定リソース１dに、SW２の出力は測定リソース４に接続されている。
【００３２】
リードアンプ１４の出力は、切替／分配部２２に接続されており、切替／分配部２２内のSW１の出力はLPF２６を介して切替／分配部３０に、SW２の出力は測定リソース３aに接続されており、切替／分配部３０内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２aに、SW３の出力は切替／分配部３４に接続されている。
【００３３】
リードアンプ１６の出力は、切替／分配部２４に接続されており、切替／分配部２４内のSW１の出力はLPF２８を介して切替／分配部３２に、SW２の出力は測定リソース３bに接続され、切替／分配部３２内のSW１の出力は切替／分配部３５に、SW２の出力は測定リソース１bに、SW３の出力は測定リソース２bに接続されている。
【００３４】
ここで、切替／分配部２１および２２のSW２出力、切替／分配部２３および２４のSW２出力、切替／分配部２９と３０のSW１出力、SW２出力およびSW３出力、切替／分配部３１と３２のSW１出力、SW２出力およびSW３出力、切替／分配部３４と３５のSW２出力は、結線されており、制御部４２、４１は出力が結線されている二つのSWを同時に選択しないように制御を行う。この制御は、制御部４２、４１間のモニタ信号によりお互いの制御状況を監視し、出力が結線されたSWの片方がONしている間はもう一方のSWの設定を行わずに待機することを行う。
【００３５】
図２に示すように、この実施例では、ディスク回転部１、５の回転動作を示すタイミング信号a及びb（a１〜an、b １〜b n）に同期したイネーブル信号により、ライト信号生成部３９、４０や各測定リソースおよび切替／分配制御部３３が制御され、同時に２組の磁気ヘッド３、４、及び磁気ヘッド７、８の検査がなされる。すなわち、４種類の測定リソースを共用しつつ、２組（４個）の磁気ヘッドの検査を、ほぼ同じタイミングで行う。そして、検査の終了した２組の磁気ヘッドを、検査(書込や測定)の行われていないタイミングにおいて、未検査品に交換し、再び同様な検査を開始させる。
【００３６】
図３は、上述の図１の構成の磁気特性検査装置において、４個の磁気ヘッドの検査を同時に開始する場合の動作例を示すタイミングチャートである。以下、その動作を説明する。
【００３７】
制御部４２、４１は、最初に、a１及びb１のタイミングにより、４個の磁気ヘッドの検査A（測定リソース１ａ、１b、１c、１dを使用）を開始する。
【００３８】
まず、切替／分配制御部３３は制御部４２、４１からの信号を受け、切替／分配部１９、２０のSW１、SW２、切替／分配部２１、２２、２３、２４のSW１、切替／分配部２９のSW１、切替／分配部３０のSW３、切替／分配部３１のSW１、切替／分配部３２のSW２、切替／分配部３４のSW１、切替／分配部３５のSW１をONさせるように制御を行い、また測定リソース１a、１dは制御部４２、測定リソース１b、１cは制御部４１からのイネーブル信号により測定するように各測定リソース内SWを設定する。同時に制御部４２、４１はライト信号生成部３９、４０に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号を出力する。同信号を受け、ライト信号生成部３９、４０は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、２０、ライトアンプ９、１１、１３、１５および磁気ヘッド３、４、７、８を介して磁気ディスク２、６に記録される。
【００３９】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド３、４により磁気ディスク２から信号を再生し、b２のタイミングで磁気ヘッド７、８により磁気ディスク６から信号を再生し、磁気ヘッド３の再生信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９を介して測定部３６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド４の再生信号は測定リソース１dに、磁気ヘッド７の再生信号を測定リソース１cに、磁気ヘッド８の再生信号は測定リソース１bに入力される。同時にa２のタイミングで制御部４２は測定リソース１a及び１dのイネーブル信号をON、b２のタイミングで制御部４１は測定リソース１c及び１bのイネーブル信号をONとし、各測定リソースは各再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し検査Aを終了する。
【００４０】
次に、b３のタイミングにより、制御部４１は磁気ヘッド７、８において検査B(測定リソース１a、１bを使用)を開始しようとするが、制御部４２により測定リソース１aが使用されているため、次のb４のタイミングまで待機する。
【００４１】
その後同様にして、a３のタイミングで磁気ヘッド３、４は検査C(測定リソース２a、２bを使用)を、b４のタイミングで磁気ヘッド７、８は検査Bを行い、以降もタイミング信号a、bのタイミングにより検査を進める。
【００４２】
検査Dは、他の検査と動作が異なるため説明する。a５のタイミングにより、制御部４２は磁気ヘッド３、４の検査Dを開始する。まず切替／分配制御部３３は制御部４２からの信号を受け、切替／分配部１９のSW１、SW２、切替／分配部２１、２３のSW１、切替／分配部２９のSW３、切替／分配部３１のSW１、切替／分配部３４のSW２をONさせ、また測定リソース４が制御部４２のイネーブル信号を受けて測定を行うように測定リソース内SWの設定を行う。同時に制御部４２はライト信号生成部３９に検査Dを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONとする。同信号を受け、ライト信号生成部３９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、ライトアンプ９、１１および磁気ヘッド３、４を介して磁気ディスク２に記録される。記録が終わると、磁気ヘッド３は磁気ディスク２から信号を再生し、同再生信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９および３４を介して測定部α３７中の測定リソース４に入力される。信号の再生開始と同時に制御部４２は測定リソース４のイネーブル信号をONとして同再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC４３に出力し磁気ヘッド３の検査Dが終了する。
【００４３】
制御部４２は、磁気ヘッド３の検査終了後、切替／分配制御部３３に信号を出力して、切替／分配部３４のSW２をOFFとし、続けて切替／分配部３５のSW２をONとする。設定が終わると磁気ヘッド４の信号再生を開始し、同再生信号はリードアンプ１２、切替／分配部２３、LPF２７、切替／分配部３１および３５を介して測定部α３７中の測定リソース４に入力される。同時に制御部４２は測定リソース４のイネーブル信号をONとして再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し、磁気ヘッド４の検査Dが完了する。b８のタイミングから開始する磁気ヘッド７、８の検査Dも同様にして行う。
【００４４】
最後に、全磁気ヘッドについて全検査を終了後のa１０およびb１１のタイミングとなったとき、制御部４２、４１はディスク回転部１、５を停止させ、磁気ヘッド３、４、７、８を未検査品に交換し、再び検査を開始させる。
【００４５】
本実施例では、記録・測定リソースを共用して４個の磁気ヘッドが、ほぼ同じタイミングで連続的に検査され、交換される。すなわち、この実施例では、特定の磁気ヘッド(４、７)にのみ使用できる限定タイプのリソース(１d、１c)があるにもかかわらず、リソースの使用順序の制約を守りながら、汎用タイプのリソース使用のタイミングを適切に制御することで、複数のリソースを効率的に共有出来る。また、４個の磁気ヘッドが、ほぼ同じタイミングで検査され、交換される。
【００４６】
よって、磁気ヘッドや磁気ディスクの同時測定可能な数を増やして検査の効率を向上させた小形・低コストの磁気特性検査装置を提供することができる。
【００４７】
また、検査の終了した２組の磁気ヘッドを、検査(書込や測定)の行われていないタイミングにおいて、未検査品に交換して次の検査を開始させる。したがって、磁気ヘッドの交換に伴い発生するノイズなどが検査(書込や測定)に影響を与えることもなく、高い測定精度を確保しつつ、検査の効率を向上させた磁気特性検査装置を提供することができる。
【００４８】
［変形例１］
次に、実施例１の変形例について図４で説明する。変形例１は、前述の図１の構成の磁気特性検査装置に比べて測定リソース１c及び測定リソース１dが無い場合の例である。この例では、測定リソースの数や種類が少ないので、磁気ヘッド３、４と７、８の検査開始タイミングをずらして検査を行う。図４にその動作例を示す。
【００４９】
まず、制御部４２はホストPC４３からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部１に出力して回転を開始させる。ディスク回転部１はインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを制御部４２に出力する。
【００５０】
制御部４２は、a１のタイミングにより検査A（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。まず切替／分配制御部３３は制御部４２からの信号を受け、切替／分配部１９のSW１、SW２、切替／分配部２１、２３のSW１、切替／分配部２９のSW１、切替／分配部３１のSW２をONにし、また測定リソース１a、１bが制御部４２からのイネーブル信号により測定を行うように各測定リソース内SWを設定する。同時に制御部４２はライト信号生成部３９に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONとする。同信号を受け、ライト信号生成部３９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部１９、ライトアンプ９、１１および磁気ヘッド３、４を介して磁気ディスク２に記録される。
【００５１】
次に、a２のタイミングによって磁気ヘッド３、４により磁気ディスク２から信号を再生し、磁気ヘッド３で再生した信号はリードアンプ１０、切替／分配部２１、LPF２５、切替／分配部２９を介して測定部３６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド４が再生した信号は測定リソース１bに入力される。同時にa２のタイミングで制御部４２は測定リソース１a及び１ｂのイネーブル信号をONとし、測定リソース１a、１bは再生信号の特性評価を行って評価データをホストPC４３に出力し検査Aは終了する。
【００５２】
同様にして次のa３、a４のタイミングにおいて、磁気ヘッド３、４の検査Bを行う。
次に、a５のタイミングにおいて、磁気ヘッド３、４は検査Cを開始し、同時に制御部４２は制御部４１に磁気ヘッド７、８の検査を開始する信号を出力する。制御部４２は同信号を受けて回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部５に出力して回転を開始させる。ディスク回転部５はインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号bを制御部４１に出力する。制御部４１はb１のタイミングにより検査A（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始し、以降のタイミングによって磁気ヘッド７、８の検査を進める。
【００５３】
先に検査を開始した磁気ヘッド３、４が全検査を終了した後、a１０のタイミングにおいて、制御部４２はディスク回転部１を停止させ、磁気ヘッド３、４を未検査品に交換し、再び検査を開始させる。磁気ヘッド３、４を交換している間も磁気ヘッド７、８は検査を続け、同様に磁気ヘッド７、８の全検査を終了した後のタイミングで制御部４１はディスク回転部５を停止させ、磁気ヘッド７、８を未検査品に交換し、その後再び検査を開始させる。
【００５４】
以上の一連の動作により、磁気ヘッド３、４と７、８のヘッド交換のタイミングをずらすことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査がスムーズに行える。すなわち、本変形例では、実施例１と異なり、ヘッド交換のタイミングをずらすことができるので、ヘッド交換に要する時間が、検査(書込や測定)の期間に対して相対的に長い、たとえば検査期間の１／２〜１程度になる場合には、効果的な方法である。
【００５５】
なお、ここでは磁気ヘッド７、８の検査を、開始はa５のタイミングとする例について説明したが、これに限定するものでは無く、例えば使用する測定リソースが重ならない限り、異なるタイミングで検査を開始したり、磁気ヘッド３、４の検査開始時間から一定時間後に磁気ヘッド７、８の検査を開始しても良いことは言うまでも無い。
【００５６】
また、本実施例１や変形例では同一ディスク上の磁気ヘッドで常に同一測定項目の検査を行うため、各種類の測定リソースを同一ディスク上の磁気ヘッド数と同数以上具えることが好ましいが、各測定リソースの数はこれに制限されるものではない。例えば、測定部α３７中の測定リソース１c、１dは、磁気ヘッドのリード／ライトのオフセット測定のように特性評価の最初に行なう項目で使用する測定リソースである場合、複数磁気ヘッドの検査を同時にスタートする場合には同測定リソースを同数具えることでスループット低下を防ぐことが好ましい。
【００５７】
同様に、全テストのテスト時間のうち半分を超えて使用される測定リソースがある場合には、磁気ヘッド数と同数の測定リソースを具えることが好ましい。
また、ある測定リソースを使用する検査時間がタイミング信号間の時間の半分以下と短い場合には、測定部α３７中の測定リソース４のように同一磁気ディスク上の磁気ヘッド間でも共有化を図ることで、更に小形・低コスト化を図ることが可能となる。
【００５８】
また、ここでは全磁気ヘッド数と同数具える測定リソースまたは同一磁気ディスク上の磁気ヘッドで共有する測定リソースは１種類に限るものではなく、１種類以上でも良いし、または無くても良い。例えば、図４に示した変形例によれば、図１中の測定リソース１c、１dは必要ないため、一層の小形・低コスト化を図ることが出来る。
【００５９】
［変形例２］
また、図１の実施例では磁気ヘッド３、４または７、８で記録・測定リソースのライト信号生成部３９または４０を共有する構成としているが、記録リソースを各々独立に設けるよう磁気特性検査装置の構成を変更しても良い。すなわち、図５に示すように図１の変形例として、ライト信号生成部３９aの出力パターンをライトアンプ９を介して磁気ヘッド３に入力し、同様にライト信号生成部３９bの出力パターンを磁気ヘッド４に、ライト信号生成部４０aの出力パターンを磁気ヘッド７に、ライト信号生成部４０bの出力パターンを磁気ヘッド８に入力する構成にしても良い。これにより、書込み、測定のタイミングの制御自由度が増し、検査の内容に応じたきめ細かい制御を行ない効率を向上させることができる。
【実施例２】
【００６０】
図６に、本発明の第２の実施形態の構成図を、図７に第２の実施形態の動作を説明するタイミングチャートの例を示す。この例では、磁気特性検査装置８０の記録・測定リソースのうち、測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３ b、４はそれぞれいずれの磁気ヘッドにも使用できる汎用タイプの測定リソースである。また、ライト信号生成部７３は２つの磁気ヘッド（５３、５４、５７、５８）に対応している。制御バス３００やデータバス４００はタイミング信号a、bのいずれか一方に対応している。
【００６１】
図６において、磁気特性検査装置８０は２対のディスク回転部５１、５５および磁気ディスク５２、５６を具えており、同磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド５３、５４、５７、５８および各磁気ヘッドに対応したライトアンプ５９、６１、６３、６５とリードアンプ６０、６２、６４、６６を具える。
【００６２】
ディスク回転部５１、５５は制御部７６から回転制御信号を受けて回転動作を行い、回転動作を示すタイミング信号a、bを信号切替部７４に出力し、同信号切替部はタイミング信号a、bのどちらか一方を選択して制御部７６に出力する。同制御部７６はこのタイミングをもとにライト信号生成部７３、測定部７２、７８中の各測定リソース、および切替／分配制御部７５の制御を行う。
【００６３】
ライト信号生成部７３の出力は切替／分配部６９を介してライトアンプ５９、６１、６３、６５に接続されており、同ライト信号生成部の出力は同切替／分配部のSW１をONとすることでライトアンプ５９に、SW２をONとすることでライトアンプ６１に、SW３をONとすることでライトアンプ６３に、SW４をONとすることでライトアンプ６５に入力される。
【００６４】
各測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b、４a、４cは、制御部７６から制御バス３００を通してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONのとき測定動作を行う。
【００６５】
切替／分配制御部７５は制御部７６からの信号により切替／分配部６９および切替部６７、６８、７４の制御を行う。切替部 ６７はリードアンプ６０またはリードアンプ６４のどちらか一方の出力信号を選択してLPF７０および測定リソース３aに出力し、LPF７０を通過した信号は測定リソース１a、２a、４aに出力される。同様に、切替６８はリードアンプ６２とリードアンプ６６のどちらか一方の出力信号を選択し、LPF７１および測定リソース３bに出力する。LPF７１を通過した信号は測定リソース１b、２b、４bに出力される。
【００６６】
図７のタイミングチャートを用いて、図６の磁気特性検査装置８０の動作を説明する。
まず、制御部７６はホストPC７７からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部５１に出力し、同時に切替／分配制御部７５に信号を送り、同切替／分配制御部は切替部７４がタイミング信号aを、切替部６７がリードアンプ６０の出力信号を、切替部６８がリードアンプ６２の出力信号を通過するように制御し、さらに切替／分配部６９のSW１およびSW２をONさせる。
【００６７】
ディスク回転部５１は、回転を開始すると、インデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを切替部７４を介して制御部７６に出力し、同制御部はa１のタイミングにより検査A’（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。制御部７６は、まずライト信号生成部７３に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて出力イネーブル信号をONにする。同信号を受け、ライト信号生成部７３は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替／分配部６９、ライトアンプ５９、６１および磁気ヘッド５３、５４を介して磁気ディスク５２に記録される。
【００６８】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド５３、５４は磁気ディスク５２から信号を再生し、磁気ヘッド５３が再生した信号はリードアンプ６０、切替部６７、LPF７０を介して測定部７２中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド５４が再生した信号は測定リソース１bにされる。これと同時にa２のタイミングで制御部７６は測定リソース１a及び１bのイネーブル信号をONとし、これにより各測定リソースは再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC７７に出力する。
【００６９】
以降、a３、…、a７のタイミングにより、同様にして検査B’、Ｃ’、Ｄ’が行われる。磁気ヘッド５３、５４が全検査を終了した後のa８のタイミングにより、制御部７６はディスク回転部５１を停止させ、今度は回転制御信号をディスク回転部５５に出力して回転動作を開始させる。同時に切替／分配制御部７５に信号を送り、同切替／分配制御部は、切替部７４がタイミング信号bを、切替部６７がリードアンプ６４の出力信号を、切替部６８がリードアンプ６６の出力信号を通過させるように制御し、さらに切替／分配部６９のSW１、SW２をOFF、SW３、SW４をONとする。
【００７０】
この後、b１のタイミングにより磁気ヘッド５７、５８の検査を開始し、検査の間に磁気ヘッド５３、５４を未検査品に交換する。
このように、磁気ヘッド５３、５４と５７、５８の磁気ヘッドの測定を交互に行うことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査をスムーズに行える。
【００７１】
この実施例では、ライト信号が共用、すなわちディスクの半径方向に離間して配置されている磁気ヘッド５３と５４、あるいは磁気ヘッド５７と５８とがライト信号生成部７３から出力される同じ周波数で制御されるため、磁気ヘッド５３と５４、あるいは磁気ヘッド５７と５８の記録密度には差が生ずる。しかし、ヘッド交換作業に要する時間が長い、たとえば検査期間の１／２〜１程度になる場合には、２組のヘッドの交換を異なる時間帯に行えるので、作業者のヘッド交換作業の効率を向上させることができる利点がある。
【００７２】
［変形例３］
ここで、図６に示した実施例２では、磁気特性検査装置８０が磁気ヘッド５３、５４または５７、５８でライト信号生成部７３を共有する構成としているが、変形例として図８に示すように、同時に検査を行う２つの磁気ヘッドそれぞれに異なる周波数のライト信号生成部を具える構成にしても良い。
図８において、ライト信号生成部７３aの出力信号は切替部６９aによりライトアンプ５９または６３に、ライト信号生成部７３bの出力信号は切替部６９bによりライトアンプ６１または６５に入力される。
【００７３】
この例によれば、ライト信号生成部の数が増えるが、実施例２における記録密度の差という問題は解消される。
【００７４】
［変形例４］
また、図６に示した実施例２では、磁気特性検査装置がディスク回転部５１、５５において、ライト信号生成部７３および測定リソース１a、１b、２a、２b、３a、３b、４a、４bを交互に使用する構成としているが、変形例として図９に示すように、各ディスク回転部でライト信号生成部と測定リソースを個別に具えても良い。すなわち、各ディスク回転部５１、５５に対応して、それぞれ記録・測定リソースや制御部を持つ磁気特性検査装置８０a、磁気特性検査装置８０b を設ける。この変形例では、各磁気特性検査装置８０a、磁気特性検査装置８０bでライト信号が共用される。
【００７５】
図９において、ライト信号生成部７３aの出力はライトアンプ切替分配部６９cに入力され、同切替／分配部はSW１がONのときにライトアンプ５９に、SW２がONのときにライトアンプ６１に信号を出力する。この変形例は、ライト信号生成部の数を少なくできる利点がある。
【実施例３】
【００７６】
図１０に本発明の第３の実施形態の磁気特性検査装置を、図１１にこの実施形態の動作のタイミングチャートを示す。この実施例では、磁気特性検査装置１２０の記録・測定リソースのうち、２組の磁気ヘッドのいずれにも使用できる汎用タイプの測定リソースとして、１組の測定リソース１a、１b、２、３、４を備えている。また、２組の磁気ヘッドのそれぞれに対応する２組のライト信号生成部（１０８、１０９）を備え、各組の内外の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数で制御される。
【００７７】
図１０において、磁気特性検査装置１２０は２対のディスク回転部８１、８５および磁気ディスク８２、８６を具えており、同磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド８３、８４、８７、８８および各磁気ヘッドに対応したライトアンプ８９、９１、９３、９５とリードアンプ９０、９２、９４、９６を具える。ディスク回転部８１、８５は制御部１１４から回転制御信号を受けて回転動作を行い、回転動作を示すタイミング信号a、bを切替部１１２に出力し、同切替部はどちらか一方の信号を選択して制御部１１４に出力する。同制御部１１４はこのタイミングをもとにライト信号生成部１０８、１０９、測定部１０６および測定部α１０７中の各測定リソース、および切替／分配制御部１１３の制御を行う。
【００７８】
ライト信号生成部１０８の出力信号は切替部１１０によりライトアンプ８９または９３に、ライト信号生成部１０９の出力信号は切替部１１１によりライトアンプ９１または９５に入力される。
各測定リソース１a、１b、２、３、４は、制御部１１４から制御バス３００を通してイネーブル信号を受け、イネーブル信号がONとなったときに測定動作を行う。
【００７９】
切替／分配制御部１１３は、制御部１１４からの信号により切替部９７、９８、１１０、１１１、１１２および切替／分配部９９、１００、１０３、１０４の制御を行う。切替／分配部 ９７はリードアンプ９０またはリードアンプ９４のどちらか一方の出力信号かを選択して、切替／分配部９９に出力する。同様に、切替／分配部 ９８はリードアンプ９２とリードアンプ９６のどちらか一方の出力信号を選択し切替／分配部１００に出力する。切替／分配部９９、１００、１０３、１０４は、切替部９７、９８の出力信号を各測定リソースへ切替または分配して出力する。切替部９７の出力は切替／分配部９９に接続され、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF１０１を介して切替／分配部１０３に、SW２の出力は測定リソース３に接続されており、切替／分配部１０３内のSW１の出力は測定リソース１aに、SW２の出力は測定リソース２に、SW３の出力は測定リソース４に接続されている。同様に、切替部９８の出力は切替／分配部１００に接続されており、同切替／分配部内のSW１の出力はLPF１０２を介して切替／分配部１０４に、SW２の出力は測定リソース３に接続されており、切替／分配部１０４内のSW１の出力は測定リソース１bに、SW２の出力は測定リソース２に、SW３の出力は測定リソース４に接続されている。
【００８０】
ここで切替／分配部９９と１００のSW２出力、切替／分配部１０３と１０４の各SW２出力およびSW３出力はそれぞれ結線されており、制御部１１４は出力が結線されているSWを同時に選択しないように制御を行う。
【００８１】
図１１のタイミングチャートを用いて図１０の磁気特性検査装置の動作を説明する。
まず、制御部１１４はホストPC１１５からの信号により回転数および回転のスタート／ストップ制御等を示す回転制御信号をディスク回転部８１に出力し、同時に切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替部１１２がタイミング信号aを、切替部９７がリードアンプ９０の出力信号を、切替部９８がリードアンプ９２の出力信号を通過させるように制御し、さらに切替部１１０がライトアンプ８９に信号を出力し、切替部１１１がライトアンプ９１に信号を出力するように制御する。
【００８２】
ディスク回転部８１は回転動作に伴いインデックス信号やセクタ信号等の回転動作を示すタイミング信号aを切替部１１２を介して制御部１１４に出力し、同制御部はa１のタイミングにより検査A’（測定リソース１ａ、１bを使用）を開始する。制御部１１４は、まず切替／分配制御部１１３を制御し、同切替／分配制御部は切替／分配部９９、１００のSW１と、切替／分配部１０３、１０４のSW１をONさせ、同時にライト信号生成部１０８、１０９に検査Aを行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、続いて同ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにする。同信号を受けて、ライト信号生成部１０８、１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１０、１１１、ライトアンプ８９、９１および磁気ヘッド８３、８４を介して磁気ディスク８２に記録する。
【００８３】
次に、a２のタイミングで磁気ヘッド８９、９１は磁気ディスク８２から信号の再生を開始し、磁気ヘッド８３が再生した信号はリードアンプ９０、切替部９７、切替／分配部９９、LPF１０１、切替／分配部１０３を介して測定部１０６中の測定リソース１aに入力され、同様に磁気ヘッド８４が再生した信号は測定リソース１bにされる。これと同時にa２のタイミングで制御部１１４は測定リソース１a及び１bのイネーブル信号をONとし、これにより各測定リソースは再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８４】
次に、a３のタイミングで、磁気ヘッド８３は検査B’を、磁気ヘッド８４は検査C’を開始する。制御部１１４は切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替／分配部９９のSW１、切替／分配部１００のSW２、切替／分配部１０３のSW２をONさせ、同時にライト信号生成部１０８に検査B’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行い、ライト信号生成部１０９に検査C’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行う。続いて両ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにする。同信号を受けて、ライト信号生成部１０８、１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１０、１１１、ライトアンプ８９、９１および磁気ヘッド８３、８４を介して磁気ディスク８２に記録する。磁気ヘッド８４の検査C’については、記録終了後に続けて測定を開始し、磁気ヘッド８４が再生した信号はリードアンプ９２、切替部９８、切替／分配部１００を介して測定部１０６中の測定リソース３に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース３のイネーブル信号をONとし、測定リソース３は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８５】
次のa４のタイミングで、磁気ヘッド８３は磁気ディスク８２から信号の再生を開始する。磁気ヘッド８３が再生した信号はリードアンプ９０、切替部９７、切替／分配部９９、LPF１０１、切替／分配部１０３を介して測定部１０６中の測定リソース２に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース２のイネーブル信号をONとし、これにより測定リソース２は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８６】
また、同じくa４のタイミングで、磁気ヘッド８４は検査D’を開始し、制御部１１４は切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は切替／分配部１００のSW１、切替／分配部１０４のSW３をONさせ、同時にライト信号生成部１０９に検査D’を行うための任意周波数パターン設定データを出力して設定を行う。続いて同ライト信号生成部の出力イネーブル信号をONにし、同信号を受けて、ライト信号生成部１０９は任意周波数パターンを出力し、同信号は切替部１１１、ライトアンプ９１および磁気ヘッド８４を介して磁気ディスク８２に記録する。磁気ヘッド８４の検査D’は、書込み終了後に続けて測定を開始し、磁気ヘッド８４が再生した信号はリードアンプ９２、切替部９８、切替／分配部１００、LPF１０２、切替／分配部１０４を介して測定部１０６中の測定リソース４に入力される。これと同時に制御部１１４は測定リソース４のイネーブル信号をONとし、測定リソース４は再生信号の特性評価を行い、評価データをホストPC１１５に出力する。
【００８７】
以降のタイミングにより同様にして検査を行い、磁気ヘッド８３、８４が全検査終了した後のa７のタイミングにより、制御部１１４はディスク回転部８１を停止させ、今度は回転制御信号をディスク回転部８５に出力して回転動作を開始させる。同時に切替／分配制御部１１３に信号を送り、同切替／分配制御部は、切替部１１４がタイミング信号bを、切替部９７がリードアンプ９４の出力信号を、切替部９８がリードアンプ９６の出力信号を通過するように制御し、さらに切替部１１０がライトアンプ９３に信号を出力し、切替部１１１がライトアンプ９５に信号を出力するように制御を行う。
【００８８】
この後、b１のタイミングにより磁気ヘッド８７、８８の検査が開始され、その間に磁気ヘッド８３、８４は未検査品に交換される。
【００８９】
このように、本実施例では、２組の磁気ヘッドが１組の測定リソースを共用するため、磁気特性検査装置が小形、低コストになる。たとえば、磁気ヘッド８３と磁気ヘッド８３の検査で、検査B’と、検査Cおよび検査D’の書込、測定を並行して行うため、ノイズの影響による測定制度の低下という懸念はあるが、測定リソースの利用効率はいっそう高まる。また、磁気ヘッド８３、８４と８７、８８の磁気ヘッドの測定を交互に行うことで作業者のヘッド交換作業の効率を向上し、検査がスムーズに行える。
【００９０】
［変形例５］
図１０の実施例３では、ディスク回転部８１、８５において、ライト信号生成部１０８と１０９および測定リソース１a、１b、２、３、４を交互に使用する構成としているが、図１２に変形例として示すように、検査装置を２つの磁気特性検査装置１２０aと磁気特性検査装置１２０bに分け、各ディスク回転部８１、８５でライト信号生成部と測定リソースを個別に具えても良い。
【００９１】
図１２において、ライト信号生成部１０８a、１０９aの出力はライトアンプ８９、９１に、リードアンプ９０、９２の出力は切替／分配制御部９９a、１００aに、ディスク回転部のタイミング信号aは制御部１１４aにそれぞれ直接入力される。
【００９２】
以上述べた磁気特性検査装置の各実施例及びそれらの各変形例の説明では、例としてディスク回転部（およびこのディスク回転部に装着される磁気ディスク）の数(N)が２個、各磁気ディスク上に配置する磁気ヘッド数（Ｍ）も２個、測定リソースの数(T)を４種類とし、ライト信号生成部の数(R)のみ１つまたは２つとしたが、N、M、T、Rはこれに限定しないことは言うまでも無い。磁気ヘッド数(M)や測定リソースの数(T)、ライト信号生成部の数(R)は、１個あるいは１種以上でよい。
【００９３】
ただし、本発明の磁気特性検査装置の大きな特徴の１つは、ディスク回転部の数(N)が複数あることにある。そして、記録・測定リソースが複数のディスク回転部のいずれに同期した測定をするものかを切替える手段を具えることで、検査するための記録・測定リソースの共有化を実現することができる。
【００９４】
また、上記実施例及びそれらの各変形例中の切替／分配部はスイッチで構成しているが、リレーや半導体スイッチに限らず半導体分配バッファのイネーブル等によっても実現できることは言うまでも無い。
【符号の説明】
【００９５】
１、５、５１、５５、８１、８５、２０２…ディスク回転部、
２、６、５２、５６、８２、８６、２０３…磁気ディスク、
３、４、７、８、５３、５４、５７、５８、８３、８４、８７、８８、２０４、２０５…磁気ヘッド、
９、１１、１３、１５、５９、６１、６３、６５、８９、９１、９３、９５、２０６、２０７…ライトアンプ、
１０、１２、１４、１６、６０、６２、６４、６６、９０、９２、９４、９６、２０８、２０９…リードアンプ、
１９、２０、２１、２２、２３、２４、２９、３０、３１、３２、３４、３５、６９、６９ｃ、９９、９９ａ、１００、１００ａ、１０３、１０４…切替／分配部、６７、６８、７４、６９ａ、６９ｂ、９７、９８、１１０、１１１、１１２…切替部、
２５、２６、２７、２８、７０、７１、１０１、１０２、２１３、２１４…LPF、３３、７５、７５ａ、１１３、２２１…切替／分配制御部、
３６、３８、７２、７８、１０６、２１７、２１８…測定部、
３７、１０７…測定部α、
３９、３９a、３９b、４０、４０a、４０b、７３、７３a、７３b、７３c、１０８、１０８ａ、１０９、１０９ａ、２１９、２２０…ライト信号生成部、
４１、４２、７６、７６ａ、１１４、１１４ａ、２２２…制御部、
４３、７７、１１５、２２３…ホストＰＣ、
５０、８０、８０ａ、８０ｂ、１２０、１２０ａ、１２０ｂ、２０１…磁気特性検査装置、
３００、３００ａ、３００ｂ…制御バス、
４００…データバス、
ＳＴＷ１…測定リソース内ディスク回転部選択機能。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを各々回転動作させるための２つのディスク回転部と、
前記２つのディスク回転部により各々保持される各磁気ディスク上に、該各磁気ディスクの半径方向に離間して配置される２個の磁気ヘッドと、
前記２つのディスク回転部の各々に対応し、前記各磁気ディスク上の前記２個の磁気ヘッドのそれぞれに検査用のライト信号を同時に与える２つのライト信号生成部と、
前記各磁気ヘッドから読出した信号の波形特性を各々検査する複数の測定部と、
前記ライト信号生成部および前記測定部の切替または分配を制御する切替／分配制御機能と、
前記各測定部が前記２つのディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを備え、
前記各ライト信号生成部は、前記半径方向内外の２個の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数の前記ライト信号を生成する機能を有し、
前記ディスク回転部選択機能は、前記複数の測定部が前記２つのディスク回転部のいずれに同期したタイミング信号を選択するかを決定する切替えスイッチを備えており、
前記複数の測定部を共用して、前記各磁気ヘッドに関する検査を前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングで行い、前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングでヘッド交換を行うと共に、前記各ディスク回転部の２つの前記磁気ヘッドに関する検査を、ほぼ同じタイミングで行い、ほぼ同じタイミングで該磁気ヘッドの交換を行う、ことを特徴とする磁気特性検査装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記切替／分配制御機能は、前記ディスク回転部選択機能により選択された前記いずれかのディスク回転部から出力されるタイミング信号に基づいて、前記ライト信号生成部および前記測定部を切替または分配する制御を行う、ことを特徴とする磁気特性検査装置。
【請求項３】
磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査を行う機能を備えた磁気特性検査装置により、書込みおよび読出し可能な磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査を行う方法であって、
前記磁気特性検査装置は、
磁気ディスクを各々回転動作させるための２つのディスク回転部と、
前記２つのディスク回転部により各々保持される各磁気ディスク上に、該各磁気ディスクの半径方向に離間して配置される２個の磁気ヘッドと、
前記２つのディスク回転部の各々に対応し、前記各磁気ディスク上の前記２個の磁気ヘッドのそれぞれに検査用のライト信号を同時に与える２つのライト信号生成部と、
前記各磁気ヘッドから読出した信号の波形特性を各々検査する複数の測定部と、
前記ライト信号生成部および前記測定部の切替または分配を制御する切替／分配制御機能と、
前記各測定部が前記２つのディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを備え、
前記各ライト信号生成部は、前記半径方向内外の２個の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数の前記ライト信号を生成する機能を有し、
前記ディスク回転部選択機能は、前記複数の測定部が前記２つのディスク回転部のいずれに同期したタイミング信号を選択するかを決定する切替えスイッチを備えており、
前記２つの前記磁気ヘッドと前記書込信号生成部および前記測定部との接続関係を制御し、
前記複数の測定部の各測定部について、各々前記２個のディスク回転部のいずれかに同期したタイミング信号を選択し、
前記各測定部を使用して、前記選択されたディスク回転部ごとに回転に同期したタイミングで前記検査を行い、前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングでヘッド交換を行うと共に、
前記各ディスク回転部の２つの前記磁気ヘッドに関する検査を、前記２つの独立した周波数のライト信号を用いてほぼ同じタイミングで行い、ほぼ同じタイミングで該磁気ヘッドの交換を行う、ことを特徴とする磁気特性検査方法。
【請求項１】
磁気ディスクを各々回転動作させるための２つのディスク回転部と、
前記２つのディスク回転部により各々保持される各磁気ディスク上に、該各磁気ディスクの半径方向に離間して配置される２個の磁気ヘッドと、
前記２つのディスク回転部の各々に対応し、前記各磁気ディスク上の前記２個の磁気ヘッドのそれぞれに検査用のライト信号を同時に与える２つのライト信号生成部と、
前記各磁気ヘッドから読出した信号の波形特性を各々検査する複数の測定部と、
前記ライト信号生成部および前記測定部の切替または分配を制御する切替／分配制御機能と、
前記各測定部が前記２つのディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを備え、
前記各ライト信号生成部は、前記半径方向内外の２個の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数の前記ライト信号を生成する機能を有し、
前記ディスク回転部選択機能は、前記複数の測定部が前記２つのディスク回転部のいずれに同期したタイミング信号を選択するかを決定する切替えスイッチを備えており、
前記複数の測定部を共用して、前記各磁気ヘッドに関する検査を前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングで行い、前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングでヘッド交換を行うと共に、前記各ディスク回転部の２つの前記磁気ヘッドに関する検査を、ほぼ同じタイミングで行い、ほぼ同じタイミングで該磁気ヘッドの交換を行う、ことを特徴とする磁気特性検査装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記切替／分配制御機能は、前記ディスク回転部選択機能により選択された前記いずれかのディスク回転部から出力されるタイミング信号に基づいて、前記ライト信号生成部および前記測定部を切替または分配する制御を行う、ことを特徴とする磁気特性検査装置。
【請求項３】
磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査を行う機能を備えた磁気特性検査装置により、書込みおよび読出し可能な磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査を行う方法であって、
前記磁気特性検査装置は、
磁気ディスクを各々回転動作させるための２つのディスク回転部と、
前記２つのディスク回転部により各々保持される各磁気ディスク上に、該各磁気ディスクの半径方向に離間して配置される２個の磁気ヘッドと、
前記２つのディスク回転部の各々に対応し、前記各磁気ディスク上の前記２個の磁気ヘッドのそれぞれに検査用のライト信号を同時に与える２つのライト信号生成部と、
前記各磁気ヘッドから読出した信号の波形特性を各々検査する複数の測定部と、
前記ライト信号生成部および前記測定部の切替または分配を制御する切替／分配制御機能と、
前記各測定部が前記２つのディスク回転部のどのディスク回転部に同期して動作するかを選択するディスク回転部選択機能とを備え、
前記各ライト信号生成部は、前記半径方向内外の２個の磁気ヘッドが同じ記録密度になるように、２つの独立した周波数の前記ライト信号を生成する機能を有し、
前記ディスク回転部選択機能は、前記複数の測定部が前記２つのディスク回転部のいずれに同期したタイミング信号を選択するかを決定する切替えスイッチを備えており、
前記２つの前記磁気ヘッドと前記書込信号生成部および前記測定部との接続関係を制御し、
前記複数の測定部の各測定部について、各々前記２個のディスク回転部のいずれかに同期したタイミング信号を選択し、
前記各測定部を使用して、前記選択されたディスク回転部ごとに回転に同期したタイミングで前記検査を行い、前記ディスク回転部ごとに異なるタイミングでヘッド交換を行うと共に、
前記各ディスク回転部の２つの前記磁気ヘッドに関する検査を、前記２つの独立した周波数のライト信号を用いてほぼ同じタイミングで行い、ほぼ同じタイミングで該磁気ヘッドの交換を行う、ことを特徴とする磁気特性検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−２６７３７４（Ｐ２０１０−２６７３７４Ａ）
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１５７４４７（Ｐ２０１０−１５７４４７）
【出願日】平成２２年７月１２日（２０１０．７．１２）
【分割の表示】特願２００４−３７０７８０（Ｐ２００４−３７０７８０）の分割
【原出願日】平成１６年１２月２２日（２００４．１２．２２）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月１２日（２０１０．７．１２）
【分割の表示】特願２００４−３７０７８０（Ｐ２００４−３７０７８０）の分割
【原出願日】平成１６年１２月２２日（２００４．１２．２２）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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