説明

粒子のサイズおよび形状を決定する方法および装置

【課題】粒子を計数し、選択したサイズ範囲に分類することによって粒子試料のサイズ分布を測定する機器を提供する。
【解決手段】粒子濃度は、一度に複数の粒子から散乱を測定する確率が許容し得るレベルに下がるレベルに下げる。光ビームは、集束またはコリメートされ、粒子が貫通して流れる試料セルを通る。各粒子がビームを通過するとき、粒子は、粒子サイズに応じて、異なる量の光を散乱させ、吸収し、透過させる。そのため、粒子によって光が取り去られるためにビーム強度が減少し、かつ、粒子によって散乱する光が増大し、それらを利用して粒子サイズを求めて、粒子を分類し、ある種のサイズ範囲内で粒子を計数することができる。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子試料中の複数の粒子サイズを決定する方法であって、
試料チャンバを供給する工程と、
レーザ光ビームを生成するレーザ光源を供給する工程と、
前記試料チャンバに前記粒子試料を通過させる工程と、
前記試料チャンバ中の特定ポイントに前記レーザ光ビームを集束させる工程であって、前記特定ポイントを通過する少なくとも１つの粒子によって前記レーザ光ビームが回折され、それにより前記特定ポイントから回折光が発する工程と、
光を対応する電子信号に変換する少なくとも１つの検出器アレイを供給する工程と、
前記試料チャンバ中の前記特定ポイントに集束する少なくとも１つのレンズを供給する工程であって、前記少なくとも１つのレンズが前記回折光の少なくとも一部を前記少なくとも１つの検出器アレイに向ける工程と、
前記少なくとも１つの検出器アレイによって発生した前記電子信号を解析することによって、前記回折光を発生させる前記少なくとも１つの粒子のサイズを決定する工程と、を有することを特徴とする方法。
【図１】
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【図１Ａ】
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【図２】
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【図２ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図９ｂ】
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【図１０】
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【図１０ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１５ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２７Ｂ】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図４９Ｂ】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８Ａ】
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【図５８Ｂ】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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【図７１】
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【図７２】
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【図７３】
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【図７４】
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【図７５】
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【図７６】
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【図７７】
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【図７８】
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【図７９】
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【図８０】
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【図８１】
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【図８２】
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【図８３】
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【図８４】
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【図８５】
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【図８６】
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【図８７】
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【図８８】
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【図８９】
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【図９０】
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【図９３】
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【図９６】
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【図９７】
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【図１００】
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【図１０１】
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【公開番号】特開２０１２−１０３２５９（Ｐ２０１２−１０３２５９Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１１−２６６２２３（Ｐ２０１１−２６６２２３）
【出願日】平成２３年１２月５日（２０１１．１２．５）
【分割の表示】特願２００７−５０２０７５（Ｐ２００７−５０２０７５）の分割
【原出願日】平成１７年３月７日（２００５．３．７）
【出願人】（５０６３００９３６）
【氏名又は名称原語表記】ＴＲＡＩＮＥＲ，　Ｍｉｃｈａｅｌ
【住所又は居所原語表記】７３６５　Ｐａｔｒｉｃｋ　Ｃｉｒｃｌｅ，　Ｃｏｏｐｅｒｓｂｕｒｇ，　ＰＡ　１８０３６，　Ｕ．　Ｓ．　Ａ．

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