蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置
【課題】外側容器に対する内側容器の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができ、さらに蒸着材料の温度の測定精度を高めることができる。
【解決手段】それぞれセラミックス系材料からなる外側容器１０と、この外側容器１０の内側に配置される内側容器２０とを備え、外側容器１０の内周底面１０ａに内側容器２０の外周底面２０ｂが密着するとともに、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に間隙Ｓが形成された構成の蒸着用容器１Ａと、この蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ１を提供する。
【解決手段】それぞれセラミックス系材料からなる外側容器１０と、この外側容器１０の内側に配置される内側容器２０とを備え、外側容器１０の内周底面１０ａに内側容器２０の外周底面２０ｂが密着するとともに、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に間隙Ｓが形成された構成の蒸着用容器１Ａと、この蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ１を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着材料を溶融させるために好適な蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、坩堝を用いてアルミニウム（Ａｌ）等の蒸着材料の蒸気を放出させる蒸着装置が知られている。このような蒸着装置では、坩堝に入れて真空蒸発させる場合、急冷却、急加熱を行うと坩堝とアルミニウムの熱膨張率の違いにより割れが生じることから、坩堝を二重にする対策を行う場合がある。
【０００３】
また、坩堝を金属製の材料にすることで割れを防止し、熱伝導性が良くなるが、蒸着材料のアルミニウムと反応しやすく、坩堝に穴が開いてしまうおそれがある。そのため、外坩堝を金属製の材料とするとともに、内坩堝をセラミック系の材料とすることでアルミニウムによる反応を防止し、熱伝導性を高める目的で外坩堝と内坩堝の側面どうしを密着させたものもある（例えば、特許文献１参照）。
さらに、外坩堝と内坩堝との底面どうしの間に隙間を設けているものもある（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
図７は、特許文献２で開示されている坩堝の構造を示す一例である。図７の坩堝は、外坩堝３０の内周側面３０ａと内坩堝３１の外周側面３１ａとが密着し、外坩堝３０の内周底面３０ｂと内坩堝３１の外周底面３１ｂとの間に隙間ｓを設けた状態で外坩堝３０内に内坩堝３１を配置させた構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３８１７０５４号公報
【特許文献２】特許第３８４１６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の坩堝においては、以下のような問題があった。
すなわち、外坩堝と内坩堝の側面どうしを密着させた状態で配置させると、加熱や冷却を繰り返すことにより外坩堝に内坩堝が嵌り込み、取り外しが難しくなる。とくに外坩堝と内坩堝とが異なる材料からなる場合には、それぞれの部材で伸びや縮みが異なるので、さらに密着性が大きくなってより取り外し難くなり、メンテナンス性が低下するといった問題があった。
また、内坩堝の内部の蒸着材料の温度は、外坩堝の底面に熱伝対の測定端を取り付けて測定するのが一般的であるが、図７に示すように外坩堝３０と内坩堝３１との底面３０ｂ、３１ｂどうしの間に隙間ｓがあると、蒸着材料の正確な温度を図ることができないという問題もあった。
【０００７】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、蒸着材料の温度の測定精度を高めることができる蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る蒸着用容器では、それぞれセラミックス系材料からなる外側容器と、外側容器の内側に配置される内側容器とを備え、外側容器の内周底面に内側容器の外周底面が密着するとともに、外側容器の内周側面と内側容器の外周側面との間に間隙が形成されていることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明に係る蒸着装置では、上述した蒸着用容器を備えた蒸着装置であって、外側容器の外周側面の周囲を取り囲む加熱手段が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
本発明では、外側容器と内側容器とがセラミックス系の材料からなり、金属製の部材を用いていないので、加熱手段により容器を加熱してもアルミニウム等の蒸着材料との反応による劣化が無く、これにより容器に穴が開いてしまうといった不具合がなくなり、良好な蒸着が行える。
また、外側容器の内周側面と内側容器の外周側面との間に隙間を設けたことで、それぞれの容器に伸びが生じても両容器どうしが密着した状態で嵌り合うことがなく、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易となり、メンテナンス性を向上させることができる。
一方、外側容器の底面に熱電対の測定端を取り付けて内側容器内の蒸着材料の温度を測定する場合であっても、外側容器の内周底面と内側容器の外周底面とが密着しているので、より正確な温度を測定することができる。
【００１１】
また、本発明に係る蒸着用容器では、外側容器と内側容器とを同軸に配置する位置決め手段が設けられていることが好ましい。
本発明では、位置決め手段を設けることで、外側容器に対する内側容器の位置の再現性が得られ、位置決め手段によって内側容器を外側容器に一致させて両容器どうしを同軸に配置させることを簡単に行なうことができる。これにより、内側容器の外側容器に対する隙間が周方向全周にわたって一定となり、位置決め作業を行う必要がなくなる。そのうえ、配置後の内側容器の位置ずれをなくすことができる利点がある。
【００１２】
また、本発明に係る蒸着用容器では、外側容器の上端が内側容器の上端よりも高い位置に配置されていることがより好ましい。
この場合には、内側容器を外側容器内に配置させた状態で、内側容器の開口縁が外側容器の開口縁の下側に位置するので、内側容器の開口縁から蒸着材料が溢れ出しても、内側容器と外側容器との間の隙間に流入し、外側容器から外方へ蒸着材料が溢れ出すのを防止することができる。そのため、蒸着用容器の外側に配置されるヒータ等の加熱手段に溢れ出た材料が付着するといった不具合を防止することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る蒸着用容器では、内側容器と外側容器との側壁面の傾斜角度が同一であることが好ましい。
これにより、内側容器と外側容器との間の隙間が全周にわたって一定となるので、外側容器から内側容器へ伝達される加熱温度も側壁面全面で均一となり、蒸着材料に対して安定した加熱を行うことができる。
【００１４】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、外側容器の上端部分が加熱手段の上端から突出していることが好ましい。
この場合、外側容器及び内側容器の上端部分が加熱手段によって加熱されることがなく、上端部分がそれより下方の加熱領域よりも低温となる。そのため、内側容器内で加熱された蒸着材料が開口縁側へ向けて這い上がろうとしても上端部分の非加熱領域で温度が低下することとなり、その這い上がりが抑制されるので、蒸着材料の溢れ出しを防止することができる。
【００１５】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、加熱手段は、外側容器の底面側にも配置されていることが好ましい。
本発明では、蒸着用容器の側面と同様に低面側も加熱手段によって加熱することができ、底面側からの放熱を抑えることができるので、蒸着材料に対して均一な温度で加熱させることができる。
【００１６】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、外周側の加熱手段と蒸着用容器との間に隔壁が設けられていてもよい。
本発明では、加熱手段が隔壁によって覆われているので、蒸着用容器より蒸着材料が溢れ出した場合であっても、加熱手段に蒸着材料が付着することがなく、加熱手段の断線やショートを防止することができ、蒸着装置の復旧を早めることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置によれば、外側容器と内側容器との側壁面間に隙間が設けられているので、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる。
また、外側容器と内側容器の底面どうしが密着しているので、底面により蒸着材料の温度を測定する場合の測定精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ１を示す側断面図である。
【図２】第２の実施の形態による蒸着用容器１Ｂを示す側断面図である。
【図３】第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃを示す側断面図である。
【図４】第４の実施の形態による蒸着用容器１Ｄを示す側断面図である。
【図５】第５の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ２を示す側断面図である。
【図６】第６の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ３を示す側断面図である。
【図７】従来の蒸着用容器の一例を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置について、図面に基づいて説明する。
【００２０】
（第１の実施の形態）
図１に示すように、本第１の実施の形態による蒸着装置Ｔ１は、アルミニウム（Ａｌ）等の蒸着材料を溶融させるための蒸着用容器１Ａと、この蒸着用容器１Ａを加熱するためのヒータ２（加熱手段）とを真空槽内に配置させた構成となっている。
【００２１】
蒸着用容器１Ａは、二重坩堝であって、それぞれＰＢＮ、窒化アルミ等のセラミックス系材料の同材料からなる外側容器１０と、この外側容器１０の内側に配置される内側容器２０とを備えている。
ここで、上述した蒸着用容器１Ａの外側容器１０と内側容器２０は、それぞれの中心軸線が共通軸上に位置された状態で配設されている。本実施の形態では、この共通軸を容器軸Ｏといい、容器軸Ｏに沿った内側容器２０側を上側、外側容器１０側を下側という。また、容器軸Ｏに直交する方向を径方向といい、容器軸Ｏ回りに周回する方向を周方向という。
【００２２】
蒸着用容器１Ａは、内面にヒータ２（加熱手段）を備えた円筒状の遮蔽壁３と、その遮蔽壁３の下端開口を塞ぐ輻射板４とによって囲まれる空間内に配置されている。そして、遮蔽壁３の外周側には、冷却配管５が設けられている。つまり、蒸着用容器１Ａは、外側容器１０が径方向外方のヒータ２によって周囲が取り囲まれた状態で配置されている。なお、ヒータ２は、容器軸Ｏを中心にして周方向に巻き回したものが用いられているが、縦巻きのものを採用しても良い。
そして、外側容器１０の外周底面１０ｃには、熱電対６の測定端６ａが接触され、外側容器１０の温度が測定されるようになっている。外側容器１０と内側容器２０とは、詳しくは後述するが、それぞれの底面１０ｂ、１０ｃどうしが密着しているので、熱電対６の測定値を内側容器２０内の蒸着材料温度と略同一とすることができる。
【００２３】
さらに、蒸着用容器１は、外側容器１０の内周底面１０ａに内側容器２０の外周底面２０ｂが密着するとともに、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に間隙Ｓが形成されている。
【００２４】
外側容器１０は、有底筒状をなし、容器軸Ｏ方向で底面側に向けて外径寸法が小さくなる筒部１１と、筒部１１の開口縁１１ａに沿って径方向外方に張り出す環状鍔部１２とからなる。筒部１１は、全面にわたって同じ厚さ寸法をなしている。そして、環状鍔部１２が嵩上ブロック７を介して遮蔽壁３上に載置されており、外側容器１０の上端がヒータ２（遮蔽壁３）の上端３ａから所定の高さだけ突出している。ここで、嵩上ブロック７は、周方向全周にわたる環状に設けられていても良いし、部分的に設けられていても良い。要は、高さが周方向に一定であって、環状鍔部１２が載置される外側容器１０が水平に配置されれば良いのである。
【００２５】
内側容器２０は、有底筒状をなし、容器軸Ｏ方向で底面側に向けて外径寸法が小さくなるとともに、その外周側面２０ａが外側容器１０の内周側面１０ｄと同じテーパ面、すなわち外側容器１０に対して同軸に配置された状態で外側容器１０の内周側面１０ｄに対して一定の前記間隙Ｓが形成され、内側容器２０と外側容器１０との側壁面の傾斜角度が同一となっている。そして、内側容器２０の上端は、外側容器１０の上端（開口縁１１ａ）より上方へ突出している。
【００２６】
次に、上述したように構成された蒸着用容器１Ａの作用について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、本蒸着用容器１Ａでは、外側容器１０と内側容器２０とがセラミックス系の材料からなり、金属製の部材を用いていないので、ヒータ２により容器を加熱してもアルミニウム等の蒸着材料との反応による劣化が無く、これにより容器に穴が開いてしまうといった不具合がなくなり、良好な蒸着が行える。
【００２７】
また、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に隙間Ｓを設けたことで、それぞれの容器１０、２０に伸びが生じても両容器１０、２０どうしが密着した状態で嵌り合うことがなく、外側容器１０に対する内側容器２０の取り外しが容易となり、メンテナンス性を向上させることができる。
一方、外側容器１０の外周底面１０ｂに熱電対６の測定端を取り付けて内側容器２０内の蒸着材料の温度を測定する際に、外側容器１０の内周底面１０ａと内側容器２０の外周底面２０ｂとが密着しているので、より正確な温度を測定することができる。
【００２８】
また、内側容器２０と外側容器１０との側壁面の傾斜角度が同一であり、内側容器２０と外側容器１０との間の隙間Ｓが全周にわたって一定となるので、外側容器１０から内側容器２０へ伝達される加熱温度も側壁面全面で均一となり、蒸着材料に対して安定した加熱を行うことができる。
【００２９】
さらに、外側容器１０は嵩上ブロック７によって嵩上げされており、外側容器１０の上端部分がヒータ２を備えた遮蔽壁３の上端３ａから上方に突出しているので、外側容器１０及び内側容器２０のそれぞれの上端部分がヒータ２によって加熱されることがなく、上端部分がそれより下方の加熱領域よりも低温となる。そのため、内側容器２０内で加熱された蒸着材料が開口縁２０ｃ側へ向けて這い上がろうとしても上端部分の非加熱領域で温度が低下することとなり、その這い上がりが抑制されるので、蒸着材料の溢れ出しを防止することができる。
【００３０】
上述した本第１の実施の形態による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置では、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に隙間Ｓが設けられているので、外側容器１０に対する内側容器２０の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる。
また、外側容器１０と内側容器２０の底面どうしが密着しているので、その底面により蒸着材料の温度を測定する場合の測定精度を高めることができる。
【００３１】
次に、本発明の蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置による他の実施の形態について、添付図面に基づいて説明するが、上述の第１の実施の形態と同一又は同様な部材、部分には同一の符号を用いて説明を省略し、第１の実施の形態と異なる構成について説明する。
【００３２】
（第２の実施の形態）
図２に示す第２の実施の形態による蒸着用容器１Ｂは、外側容器１０と内側容器２０とを同軸に配置する位置決め手段として、外側容器１０と内側容器２０との底部にそれぞれ凸状部１３、凹状部２１を設けたものである。つまり、外側容器１０には、その内周底面１０ａの中心を上方へ向けて突出させた円錐状の凸状部１３が形成されている。内側容器２０は、外周底面２０ｂの中心を上方へ向けて突出させるとともに、前記凸状部１３に一致する凹状部２１が形成された構成となっている。なお、図２では、蒸着用容器１Ｂの周囲に設けられるヒータや遮蔽壁、嵩上ブロック等が省略されている。
【００３３】
本蒸着用容器１Ｂでは、内側容器２０の凹状部２１を外側容器１０の凸状部１３に一致させることで、両容器１０、２０どうしを容易に同軸に配置させることができ、これにより内側容器２０の外側容器１０に対する隙間Ｓが周方向全周にわたって一定となり、位置決め作業を行う必要がなくなるうえ、配置後の内側容器２０の位置ずれを無くすことができる利点がある。
しかも、外側容器１０に凸状部１３を設けることで、その外周底面１０ｃには上方へ向けて凹む窪みが形成されることになり、この窪みの頂点部に熱電対６の測定端６ａを配置することができることから、外側容器１０に対する形態係数が大きくなり、より正確な温度計測が可能となる。
【００３４】
（第３の実施の形態）
次に、図３に示す第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃは、外側容器１０と内側容器２０とを同軸に配置する位置決め手段として、外側容器１０と内側容器２０との間に周方向に沿うリング状のスペーサ８を介在させたものである。この状態において、外側容器１０の内周底面１０ａと内側容器２０の外周底面２０ｂとが密着している。
このスペーサ８として、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間の隙間Ｓに配置される第１スペーサ８Ａと、外側容器１０の開口縁１１ａと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に配置される第２スペーサ８Ｂとを用いている。第１スペーサ８Ａは、蒸着用容器１Ｃの上下方向で所定高さに配置される径寸法を有し、テーパ面に沿った形状をなしている。第２スペーサ８Ｂは、断面視で略Ｌ字型に形成されており、その一辺が外側容器１０の環状鍔部１２上に係止している。
【００３５】
本第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃでは、外側容器１０に対して第１スペーサ６Ａ及び第２スペーサ６Ｂを介在させて内側容器２０を配置させることで、内側容器２０の外側容器１０に対する隙間Ｓが周方向全周にわたって一定となり、上述した第２の実施の形態と同様に両容器１０、２０どうしを容易に同軸に配置させることができ、位置決め作業を行う必要がなくなるうえ、配置後の内側容器２０の位置ずれを無くすことができるという効果を奏する。
【００３６】
（第４の実施の形態）
次に、図４に示す第４の実施の形態による蒸着用容器１Ｄは、外側容器１０の高さ寸法を内側容器２０よりも高くしたものである。すなわち、外側容器１０の上端位置（開口縁１１ａ）が内側容器２０の開口縁２０ｃの位置よりも高い位置となっている。
この場合、内側容器２０を外側容器１０内に配置させた状態で、内側容器２０の開口縁２０ｃが外側容器１０の開口縁１１ａの下側に位置するので、内側容器２０の開口端２０ｃから蒸着材料が溢れ出しても、内側容器２０と外側容器１０との間の隙間Ｓに流入し、外側容器１０から外方へ材料が溢れ出すのを防止することができる。そのため、蒸着用容器の外側に配置されるヒータ２（図１参照）に溢れ出た材料が付着するといった不具合を防止することができる。
【００３７】
（第５の実施の形態）
次に、図５に示すように、第５の実施の形態による蒸着装置Ｔ２は、上述した第１の実施の形態の蒸着用容器１Ａが用いられ、下方に位置する輻射板４の上面にもヒータ２Ｂ（２）を配置させた構成となっている。
この蒸着装置Ｔ２では、蒸着用容器１Ａの側壁面と同様に低面側もヒータ２（２Ａ，２Ｂ）によって加熱することができ、底面側からの放熱を抑えることができるので、蒸着材料に対して均一な温度で加熱させることができる。
【００３８】
（第６の実施の形態）
図６に示すように、第６の実施の形態による蒸着装置Ｔ３は、上述した第１の実施の形態の蒸着用容器１Ａが用いられ、外周側のヒータ２と蒸着用容器１Ａとの間にセラミック系の材料からなるカバー部材９（隔壁）を設けている。カバー部材９は、ヒータ２を覆うようにして、遮蔽壁３の全周にわたって配置されている。
この場合、カバー部材９がセラミック系の材料であるので、そのカバー部材９を介してヒータ２の熱が蒸着用容器１Ａに加熱による熱効率を低下させることなく加熱することができる。そして、ヒータ２がカバー部材９によって覆われているので、蒸着用容器１Ａより蒸着材料が溢れ出した場合であっても、ヒータ２に蒸着材料が付着することがなく、そのヒータ２の断線やショートを防止することができ、蒸着装置Ｔ３の復旧を早めることができる。
【００３９】
以上、本発明による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施の形態では外側容器１０の上端部分をヒータ２を備えた遮蔽壁３の上端３ａから上方へ突出させた構成としているが、この突出長は任意に設定することができ、また外側容器１０を上端部分を突出させず遮蔽壁３の上端３ａと同じ高さで配置する構成とするこも可能である。さらに、本実施の形態では外側容器１０の嵩上げ方法として、嵩上ブロック７を用いているが、これに限定されることはなく、他の嵩上げ手段を採用してもよい。
【００４０】
また、ヒータ２、遮蔽壁３、輻射板４、冷却配管５などの構成は、上述した実施の形態に限定されることはなく、適宜な形状とすることができる。
さらに、外側容器２０に対する内側容器１０の位置決め手段として、第２の実施の形態においてそれぞれの容器の底面に円錐状の凹凸を設ける手段とし、第３の実施の形態においてスペーサ８Ａ、８Ｂを設ける手段としたが、これらに限定されることはなく、また、位置、形状なども適宜設定することが可能である。例えば、底面に設けられる凹凸状の窪み形状は、平面視で矩形状であっても良い。
【００４１】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施の形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ 蒸着用容器
２、２Ａ、２Ｂ ヒータ（加熱手段）
３ 遮蔽壁
４ 輻射板
６ 熱伝対
７ 嵩上ブロック
８、８Ａ、８Ｂ スペーサ（位置決め手段）
９ カバー部材（隔壁）
１０ 外側容器
１０ａ 内周底面
１０ｂ 外周側面
１０ｃ 外周底面
１０ｄ 内周側面
１１ 筒部
１１ａ 開口縁
１２ 環状鍔部
１３ 凸状部（位置決め手段）
２０ 内側容器
２０ａ 外周側面
２０ｂ 外周底面
２０ｃ 開口縁
２１ 凹状部（位置決め手段）
Ｓ 隙間
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３ 蒸着装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着材料を溶融させるために好適な蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、坩堝を用いてアルミニウム（Ａｌ）等の蒸着材料の蒸気を放出させる蒸着装置が知られている。このような蒸着装置では、坩堝に入れて真空蒸発させる場合、急冷却、急加熱を行うと坩堝とアルミニウムの熱膨張率の違いにより割れが生じることから、坩堝を二重にする対策を行う場合がある。
【０００３】
また、坩堝を金属製の材料にすることで割れを防止し、熱伝導性が良くなるが、蒸着材料のアルミニウムと反応しやすく、坩堝に穴が開いてしまうおそれがある。そのため、外坩堝を金属製の材料とするとともに、内坩堝をセラミック系の材料とすることでアルミニウムによる反応を防止し、熱伝導性を高める目的で外坩堝と内坩堝の側面どうしを密着させたものもある（例えば、特許文献１参照）。
さらに、外坩堝と内坩堝との底面どうしの間に隙間を設けているものもある（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
図７は、特許文献２で開示されている坩堝の構造を示す一例である。図７の坩堝は、外坩堝３０の内周側面３０ａと内坩堝３１の外周側面３１ａとが密着し、外坩堝３０の内周底面３０ｂと内坩堝３１の外周底面３１ｂとの間に隙間ｓを設けた状態で外坩堝３０内に内坩堝３１を配置させた構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３８１７０５４号公報
【特許文献２】特許第３８４１６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の坩堝においては、以下のような問題があった。
すなわち、外坩堝と内坩堝の側面どうしを密着させた状態で配置させると、加熱や冷却を繰り返すことにより外坩堝に内坩堝が嵌り込み、取り外しが難しくなる。とくに外坩堝と内坩堝とが異なる材料からなる場合には、それぞれの部材で伸びや縮みが異なるので、さらに密着性が大きくなってより取り外し難くなり、メンテナンス性が低下するといった問題があった。
また、内坩堝の内部の蒸着材料の温度は、外坩堝の底面に熱伝対の測定端を取り付けて測定するのが一般的であるが、図７に示すように外坩堝３０と内坩堝３１との底面３０ｂ、３１ｂどうしの間に隙間ｓがあると、蒸着材料の正確な温度を図ることができないという問題もあった。
【０００７】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、蒸着材料の温度の測定精度を高めることができる蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る蒸着用容器では、それぞれセラミックス系材料からなる外側容器と、外側容器の内側に配置される内側容器とを備え、外側容器の内周底面に内側容器の外周底面が密着するとともに、外側容器の内周側面と内側容器の外周側面との間に間隙が形成されていることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明に係る蒸着装置では、上述した蒸着用容器を備えた蒸着装置であって、外側容器の外周側面の周囲を取り囲む加熱手段が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
本発明では、外側容器と内側容器とがセラミックス系の材料からなり、金属製の部材を用いていないので、加熱手段により容器を加熱してもアルミニウム等の蒸着材料との反応による劣化が無く、これにより容器に穴が開いてしまうといった不具合がなくなり、良好な蒸着が行える。
また、外側容器の内周側面と内側容器の外周側面との間に隙間を設けたことで、それぞれの容器に伸びが生じても両容器どうしが密着した状態で嵌り合うことがなく、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易となり、メンテナンス性を向上させることができる。
一方、外側容器の底面に熱電対の測定端を取り付けて内側容器内の蒸着材料の温度を測定する場合であっても、外側容器の内周底面と内側容器の外周底面とが密着しているので、より正確な温度を測定することができる。
【００１１】
また、本発明に係る蒸着用容器では、外側容器と内側容器とを同軸に配置する位置決め手段が設けられていることが好ましい。
本発明では、位置決め手段を設けることで、外側容器に対する内側容器の位置の再現性が得られ、位置決め手段によって内側容器を外側容器に一致させて両容器どうしを同軸に配置させることを簡単に行なうことができる。これにより、内側容器の外側容器に対する隙間が周方向全周にわたって一定となり、位置決め作業を行う必要がなくなる。そのうえ、配置後の内側容器の位置ずれをなくすことができる利点がある。
【００１２】
また、本発明に係る蒸着用容器では、外側容器の上端が内側容器の上端よりも高い位置に配置されていることがより好ましい。
この場合には、内側容器を外側容器内に配置させた状態で、内側容器の開口縁が外側容器の開口縁の下側に位置するので、内側容器の開口縁から蒸着材料が溢れ出しても、内側容器と外側容器との間の隙間に流入し、外側容器から外方へ蒸着材料が溢れ出すのを防止することができる。そのため、蒸着用容器の外側に配置されるヒータ等の加熱手段に溢れ出た材料が付着するといった不具合を防止することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る蒸着用容器では、内側容器と外側容器との側壁面の傾斜角度が同一であることが好ましい。
これにより、内側容器と外側容器との間の隙間が全周にわたって一定となるので、外側容器から内側容器へ伝達される加熱温度も側壁面全面で均一となり、蒸着材料に対して安定した加熱を行うことができる。
【００１４】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、外側容器の上端部分が加熱手段の上端から突出していることが好ましい。
この場合、外側容器及び内側容器の上端部分が加熱手段によって加熱されることがなく、上端部分がそれより下方の加熱領域よりも低温となる。そのため、内側容器内で加熱された蒸着材料が開口縁側へ向けて這い上がろうとしても上端部分の非加熱領域で温度が低下することとなり、その這い上がりが抑制されるので、蒸着材料の溢れ出しを防止することができる。
【００１５】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、加熱手段は、外側容器の底面側にも配置されていることが好ましい。
本発明では、蒸着用容器の側面と同様に低面側も加熱手段によって加熱することができ、底面側からの放熱を抑えることができるので、蒸着材料に対して均一な温度で加熱させることができる。
【００１６】
また、本発明に係る蒸着用容器を備えた蒸着装置では、外周側の加熱手段と蒸着用容器との間に隔壁が設けられていてもよい。
本発明では、加熱手段が隔壁によって覆われているので、蒸着用容器より蒸着材料が溢れ出した場合であっても、加熱手段に蒸着材料が付着することがなく、加熱手段の断線やショートを防止することができ、蒸着装置の復旧を早めることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置によれば、外側容器と内側容器との側壁面間に隙間が設けられているので、外側容器に対する内側容器の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる。
また、外側容器と内側容器の底面どうしが密着しているので、底面により蒸着材料の温度を測定する場合の測定精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ１を示す側断面図である。
【図２】第２の実施の形態による蒸着用容器１Ｂを示す側断面図である。
【図３】第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃを示す側断面図である。
【図４】第４の実施の形態による蒸着用容器１Ｄを示す側断面図である。
【図５】第５の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ２を示す側断面図である。
【図６】第６の実施の形態による蒸着用容器１Ａを備えた蒸着装置Ｔ３を示す側断面図である。
【図７】従来の蒸着用容器の一例を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置について、図面に基づいて説明する。
【００２０】
（第１の実施の形態）
図１に示すように、本第１の実施の形態による蒸着装置Ｔ１は、アルミニウム（Ａｌ）等の蒸着材料を溶融させるための蒸着用容器１Ａと、この蒸着用容器１Ａを加熱するためのヒータ２（加熱手段）とを真空槽内に配置させた構成となっている。
【００２１】
蒸着用容器１Ａは、二重坩堝であって、それぞれＰＢＮ、窒化アルミ等のセラミックス系材料の同材料からなる外側容器１０と、この外側容器１０の内側に配置される内側容器２０とを備えている。
ここで、上述した蒸着用容器１Ａの外側容器１０と内側容器２０は、それぞれの中心軸線が共通軸上に位置された状態で配設されている。本実施の形態では、この共通軸を容器軸Ｏといい、容器軸Ｏに沿った内側容器２０側を上側、外側容器１０側を下側という。また、容器軸Ｏに直交する方向を径方向といい、容器軸Ｏ回りに周回する方向を周方向という。
【００２２】
蒸着用容器１Ａは、内面にヒータ２（加熱手段）を備えた円筒状の遮蔽壁３と、その遮蔽壁３の下端開口を塞ぐ輻射板４とによって囲まれる空間内に配置されている。そして、遮蔽壁３の外周側には、冷却配管５が設けられている。つまり、蒸着用容器１Ａは、外側容器１０が径方向外方のヒータ２によって周囲が取り囲まれた状態で配置されている。なお、ヒータ２は、容器軸Ｏを中心にして周方向に巻き回したものが用いられているが、縦巻きのものを採用しても良い。
そして、外側容器１０の外周底面１０ｃには、熱電対６の測定端６ａが接触され、外側容器１０の温度が測定されるようになっている。外側容器１０と内側容器２０とは、詳しくは後述するが、それぞれの底面１０ｂ、１０ｃどうしが密着しているので、熱電対６の測定値を内側容器２０内の蒸着材料温度と略同一とすることができる。
【００２３】
さらに、蒸着用容器１は、外側容器１０の内周底面１０ａに内側容器２０の外周底面２０ｂが密着するとともに、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に間隙Ｓが形成されている。
【００２４】
外側容器１０は、有底筒状をなし、容器軸Ｏ方向で底面側に向けて外径寸法が小さくなる筒部１１と、筒部１１の開口縁１１ａに沿って径方向外方に張り出す環状鍔部１２とからなる。筒部１１は、全面にわたって同じ厚さ寸法をなしている。そして、環状鍔部１２が嵩上ブロック７を介して遮蔽壁３上に載置されており、外側容器１０の上端がヒータ２（遮蔽壁３）の上端３ａから所定の高さだけ突出している。ここで、嵩上ブロック７は、周方向全周にわたる環状に設けられていても良いし、部分的に設けられていても良い。要は、高さが周方向に一定であって、環状鍔部１２が載置される外側容器１０が水平に配置されれば良いのである。
【００２５】
内側容器２０は、有底筒状をなし、容器軸Ｏ方向で底面側に向けて外径寸法が小さくなるとともに、その外周側面２０ａが外側容器１０の内周側面１０ｄと同じテーパ面、すなわち外側容器１０に対して同軸に配置された状態で外側容器１０の内周側面１０ｄに対して一定の前記間隙Ｓが形成され、内側容器２０と外側容器１０との側壁面の傾斜角度が同一となっている。そして、内側容器２０の上端は、外側容器１０の上端（開口縁１１ａ）より上方へ突出している。
【００２６】
次に、上述したように構成された蒸着用容器１Ａの作用について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、本蒸着用容器１Ａでは、外側容器１０と内側容器２０とがセラミックス系の材料からなり、金属製の部材を用いていないので、ヒータ２により容器を加熱してもアルミニウム等の蒸着材料との反応による劣化が無く、これにより容器に穴が開いてしまうといった不具合がなくなり、良好な蒸着が行える。
【００２７】
また、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に隙間Ｓを設けたことで、それぞれの容器１０、２０に伸びが生じても両容器１０、２０どうしが密着した状態で嵌り合うことがなく、外側容器１０に対する内側容器２０の取り外しが容易となり、メンテナンス性を向上させることができる。
一方、外側容器１０の外周底面１０ｂに熱電対６の測定端を取り付けて内側容器２０内の蒸着材料の温度を測定する際に、外側容器１０の内周底面１０ａと内側容器２０の外周底面２０ｂとが密着しているので、より正確な温度を測定することができる。
【００２８】
また、内側容器２０と外側容器１０との側壁面の傾斜角度が同一であり、内側容器２０と外側容器１０との間の隙間Ｓが全周にわたって一定となるので、外側容器１０から内側容器２０へ伝達される加熱温度も側壁面全面で均一となり、蒸着材料に対して安定した加熱を行うことができる。
【００２９】
さらに、外側容器１０は嵩上ブロック７によって嵩上げされており、外側容器１０の上端部分がヒータ２を備えた遮蔽壁３の上端３ａから上方に突出しているので、外側容器１０及び内側容器２０のそれぞれの上端部分がヒータ２によって加熱されることがなく、上端部分がそれより下方の加熱領域よりも低温となる。そのため、内側容器２０内で加熱された蒸着材料が開口縁２０ｃ側へ向けて這い上がろうとしても上端部分の非加熱領域で温度が低下することとなり、その這い上がりが抑制されるので、蒸着材料の溢れ出しを防止することができる。
【００３０】
上述した本第１の実施の形態による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置では、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に隙間Ｓが設けられているので、外側容器１０に対する内側容器２０の取り外しが容易に行なえ、メンテナンスにかかる作業効率を向上させることができる。
また、外側容器１０と内側容器２０の底面どうしが密着しているので、その底面により蒸着材料の温度を測定する場合の測定精度を高めることができる。
【００３１】
次に、本発明の蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置による他の実施の形態について、添付図面に基づいて説明するが、上述の第１の実施の形態と同一又は同様な部材、部分には同一の符号を用いて説明を省略し、第１の実施の形態と異なる構成について説明する。
【００３２】
（第２の実施の形態）
図２に示す第２の実施の形態による蒸着用容器１Ｂは、外側容器１０と内側容器２０とを同軸に配置する位置決め手段として、外側容器１０と内側容器２０との底部にそれぞれ凸状部１３、凹状部２１を設けたものである。つまり、外側容器１０には、その内周底面１０ａの中心を上方へ向けて突出させた円錐状の凸状部１３が形成されている。内側容器２０は、外周底面２０ｂの中心を上方へ向けて突出させるとともに、前記凸状部１３に一致する凹状部２１が形成された構成となっている。なお、図２では、蒸着用容器１Ｂの周囲に設けられるヒータや遮蔽壁、嵩上ブロック等が省略されている。
【００３３】
本蒸着用容器１Ｂでは、内側容器２０の凹状部２１を外側容器１０の凸状部１３に一致させることで、両容器１０、２０どうしを容易に同軸に配置させることができ、これにより内側容器２０の外側容器１０に対する隙間Ｓが周方向全周にわたって一定となり、位置決め作業を行う必要がなくなるうえ、配置後の内側容器２０の位置ずれを無くすことができる利点がある。
しかも、外側容器１０に凸状部１３を設けることで、その外周底面１０ｃには上方へ向けて凹む窪みが形成されることになり、この窪みの頂点部に熱電対６の測定端６ａを配置することができることから、外側容器１０に対する形態係数が大きくなり、より正確な温度計測が可能となる。
【００３４】
（第３の実施の形態）
次に、図３に示す第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃは、外側容器１０と内側容器２０とを同軸に配置する位置決め手段として、外側容器１０と内側容器２０との間に周方向に沿うリング状のスペーサ８を介在させたものである。この状態において、外側容器１０の内周底面１０ａと内側容器２０の外周底面２０ｂとが密着している。
このスペーサ８として、外側容器１０の内周側面１０ｄと内側容器２０の外周側面２０ａとの間の隙間Ｓに配置される第１スペーサ８Ａと、外側容器１０の開口縁１１ａと内側容器２０の外周側面２０ａとの間に配置される第２スペーサ８Ｂとを用いている。第１スペーサ８Ａは、蒸着用容器１Ｃの上下方向で所定高さに配置される径寸法を有し、テーパ面に沿った形状をなしている。第２スペーサ８Ｂは、断面視で略Ｌ字型に形成されており、その一辺が外側容器１０の環状鍔部１２上に係止している。
【００３５】
本第３の実施の形態による蒸着用容器１Ｃでは、外側容器１０に対して第１スペーサ６Ａ及び第２スペーサ６Ｂを介在させて内側容器２０を配置させることで、内側容器２０の外側容器１０に対する隙間Ｓが周方向全周にわたって一定となり、上述した第２の実施の形態と同様に両容器１０、２０どうしを容易に同軸に配置させることができ、位置決め作業を行う必要がなくなるうえ、配置後の内側容器２０の位置ずれを無くすことができるという効果を奏する。
【００３６】
（第４の実施の形態）
次に、図４に示す第４の実施の形態による蒸着用容器１Ｄは、外側容器１０の高さ寸法を内側容器２０よりも高くしたものである。すなわち、外側容器１０の上端位置（開口縁１１ａ）が内側容器２０の開口縁２０ｃの位置よりも高い位置となっている。
この場合、内側容器２０を外側容器１０内に配置させた状態で、内側容器２０の開口縁２０ｃが外側容器１０の開口縁１１ａの下側に位置するので、内側容器２０の開口端２０ｃから蒸着材料が溢れ出しても、内側容器２０と外側容器１０との間の隙間Ｓに流入し、外側容器１０から外方へ材料が溢れ出すのを防止することができる。そのため、蒸着用容器の外側に配置されるヒータ２（図１参照）に溢れ出た材料が付着するといった不具合を防止することができる。
【００３７】
（第５の実施の形態）
次に、図５に示すように、第５の実施の形態による蒸着装置Ｔ２は、上述した第１の実施の形態の蒸着用容器１Ａが用いられ、下方に位置する輻射板４の上面にもヒータ２Ｂ（２）を配置させた構成となっている。
この蒸着装置Ｔ２では、蒸着用容器１Ａの側壁面と同様に低面側もヒータ２（２Ａ，２Ｂ）によって加熱することができ、底面側からの放熱を抑えることができるので、蒸着材料に対して均一な温度で加熱させることができる。
【００３８】
（第６の実施の形態）
図６に示すように、第６の実施の形態による蒸着装置Ｔ３は、上述した第１の実施の形態の蒸着用容器１Ａが用いられ、外周側のヒータ２と蒸着用容器１Ａとの間にセラミック系の材料からなるカバー部材９（隔壁）を設けている。カバー部材９は、ヒータ２を覆うようにして、遮蔽壁３の全周にわたって配置されている。
この場合、カバー部材９がセラミック系の材料であるので、そのカバー部材９を介してヒータ２の熱が蒸着用容器１Ａに加熱による熱効率を低下させることなく加熱することができる。そして、ヒータ２がカバー部材９によって覆われているので、蒸着用容器１Ａより蒸着材料が溢れ出した場合であっても、ヒータ２に蒸着材料が付着することがなく、そのヒータ２の断線やショートを防止することができ、蒸着装置Ｔ３の復旧を早めることができる。
【００３９】
以上、本発明による蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施の形態では外側容器１０の上端部分をヒータ２を備えた遮蔽壁３の上端３ａから上方へ突出させた構成としているが、この突出長は任意に設定することができ、また外側容器１０を上端部分を突出させず遮蔽壁３の上端３ａと同じ高さで配置する構成とするこも可能である。さらに、本実施の形態では外側容器１０の嵩上げ方法として、嵩上ブロック７を用いているが、これに限定されることはなく、他の嵩上げ手段を採用してもよい。
【００４０】
また、ヒータ２、遮蔽壁３、輻射板４、冷却配管５などの構成は、上述した実施の形態に限定されることはなく、適宜な形状とすることができる。
さらに、外側容器２０に対する内側容器１０の位置決め手段として、第２の実施の形態においてそれぞれの容器の底面に円錐状の凹凸を設ける手段とし、第３の実施の形態においてスペーサ８Ａ、８Ｂを設ける手段としたが、これらに限定されることはなく、また、位置、形状なども適宜設定することが可能である。例えば、底面に設けられる凹凸状の窪み形状は、平面視で矩形状であっても良い。
【００４１】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施の形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ 蒸着用容器
２、２Ａ、２Ｂ ヒータ（加熱手段）
３ 遮蔽壁
４ 輻射板
６ 熱伝対
７ 嵩上ブロック
８、８Ａ、８Ｂ スペーサ（位置決め手段）
９ カバー部材（隔壁）
１０ 外側容器
１０ａ 内周底面
１０ｂ 外周側面
１０ｃ 外周底面
１０ｄ 内周側面
１１ 筒部
１１ａ 開口縁
１２ 環状鍔部
１３ 凸状部（位置決め手段）
２０ 内側容器
２０ａ 外周側面
２０ｂ 外周底面
２０ｃ 開口縁
２１ 凹状部（位置決め手段）
Ｓ 隙間
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３ 蒸着装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれセラミックス系材料からなる外側容器と、該外側容器の内側に配置される内側容器とを備え、
前記外側容器の内周底面に前記内側容器の外周底面が密着するとともに、
前記外側容器の内周側面と前記内側容器の外周側面との間に間隙が形成されていることを特徴とする蒸着用容器。
【請求項２】
前記外側容器と前記内側容器とを同軸に配置する位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着用容器。
【請求項３】
前記外側容器の上端が前記内側容器の上端よりも高い位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着用容器。
【請求項４】
前記内側容器と前記外側容器との側壁面の傾斜角度が同一であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蒸着用容器。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置であって、
前記外側容器の外周側面の周囲を取り囲む加熱手段が設けられていることを特徴とする蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項６】
前記外側容器の上端部分が前記加熱手段の上端から突出していることを特徴とする請求項５に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項７】
前記加熱手段は、前記外側容器の底面側にも配置されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項８】
外周側の加熱手段と前記蒸着用容器との間に隔壁が設けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項１】
それぞれセラミックス系材料からなる外側容器と、該外側容器の内側に配置される内側容器とを備え、
前記外側容器の内周底面に前記内側容器の外周底面が密着するとともに、
前記外側容器の内周側面と前記内側容器の外周側面との間に間隙が形成されていることを特徴とする蒸着用容器。
【請求項２】
前記外側容器と前記内側容器とを同軸に配置する位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着用容器。
【請求項３】
前記外側容器の上端が前記内側容器の上端よりも高い位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着用容器。
【請求項４】
前記内側容器と前記外側容器との側壁面の傾斜角度が同一であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蒸着用容器。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置であって、
前記外側容器の外周側面の周囲を取り囲む加熱手段が設けられていることを特徴とする蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項６】
前記外側容器の上端部分が前記加熱手段の上端から突出していることを特徴とする請求項５に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項７】
前記加熱手段は、前記外側容器の底面側にも配置されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【請求項８】
外周側の加熱手段と前記蒸着用容器との間に隔壁が設けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の蒸着用容器を備えた蒸着装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１２−１７２１８５（Ｐ２０１２−１７２１８５Ａ）
【公開日】平成２４年９月１０日（２０１２．９．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−３４４９４（Ｐ２０１１−３４４９４）
【出願日】平成２３年２月２１日（２０１１．２．２１）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年９月１０日（２０１２．９．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月２１日（２０１１．２．２１）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
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