説明

表面温度測定装置および表面温度測定方法

【課題】対象物の測定温度域が広い場合でも簡便かつ精度良く対象物の表面温度分布を測定することが可能な表面温度測定装置を提供する。
【解決手段】表面温度測定装置101に、鍛造用金型102の逃がし孔102bから放射される赤外線強度の検出とキャビティ面102aから放射される波長帯が異なる三種類の赤外線の強度の分布の検出とを行う赤外線カメラ110と、表面仮温度を算出する表面仮温度算出部121aと、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度とキャビティ面102aの表面温度との関係に係るデータを記憶する記憶部121bと、表面仮温度を含む所定温度域について記憶部121bにより記憶されたデータを直線近似する直線近似データ算出部121cと、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度の分布と当該直線近似して得られたデータとに基づいてキャビティ面102aの分布を算出する表面温度分布算出部121dと、を具備した。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、対象物の表面温度の分布を測定する技術に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、対象物の表面温度を測定する方法として、非接触式の表面温度測定方法が知られている。非接触式の表面温度測定方法の代表例としては、対象物から放射される赤外線を検出することにより対象物の表面温度を測定する赤外線サーモグラフィが挙げられる。
赤外線サーモグラフィは、対象物の表面温度を非接触で測定できるという利点だけでなく、対象物表面の所定領域の温度(温度分布)をリアルタイムで測定できるという利点も有する。
【0003】
しかし、赤外線サーモグラフィにより測定された温度分布は、対象物の放射率や反射率、および周囲の温度により大きく変動するものであること、および、たとえ同一の対象物であっても、当該対象物の表面の状態等により放射率や反射率が大きく変動し得るものであることから、表面状態が時々刻々と変化する対象物については赤外線サーモグラフィによる対象物表面の温度分布測定の精度を確保することは困難であった。
【0004】
このような問題を解決する方法として、三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィが提案されている。例えば、特許文献1、特許文献2および非特許文献1に記載の如くである。
【0005】
三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィは、波長帯の異なる三種類の赤外線を検出可能な赤外線カメラ(例えば、フィルターを交換することにより波長帯の異なる赤外線をそれぞれ検出する赤外線カメラ、あるいはそれぞれ波長帯の異なる赤外線を検出する三台の赤外線カメラ)によりそれぞれ対象物の表面温度の分布を測定し、当該測定値を用いて、(1)対象物の黒体温度(真の表面温度)、(2)対象物の放射率(反射率=1−放射率)、および(3)周囲の温度、の三つを変数とする三つの方程式(エネルギー保存則に基づく式)を取得し、これらの連立方程式を解くことにより対象物の黒体温度(真の表面温度)の分布を算出するものである。
三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィは、精度良く測定することが困難な放射率や反射率、あるいは周囲の温度を必要とせずに対象物の表面温度の分布を測定することが可能であり、作業性に優れる。
【特許文献1】特開2004−219114号公報
【特許文献2】特開平7−146179号公報
【非特許文献1】非破壊検査第48巻10号(1999) 673頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィの場合、図2に示す如く、三色放射温度計が具備する赤外線を検出する素子の特性(対象物表面の温度と赤外線のエネルギーとの関係)はリニアな関係とならず、通常は指数関数的な関係となる。
そして、このような素子の特性を表す関係式をそのまま表面の温度分布の算出に用いると演算量が多くなり、特に温度分布を算出する場合には表面温度分布測定のリアルタイム性が損なわれたり、あるいは高価な演算装置を用いる必要が生じて装置のコストが増大したりするという問題がある。
このような問題を解消する方法としては、測定温度域において対象物表面の温度と赤外線のエネルギーとの関係を累乗関数近似し、演算の負担を軽減する方法が挙げられる。
【0007】
しかし、三色放射温度計を用いた表面温度分布測定の温度域が広い場合、当該温度域を累乗関数近似して得られる対象物表面の温度と実際の対象物の温度との間の誤差が大きくなり、表面温度分布の測定精度が低下するという問題がある。
【0008】
本発明は以上の如き状況に鑑み、対象物の測定温度域が広い場合でも簡便かつ精度良く対象物の表面温度分布を測定することが可能な表面温度測定装置および表面温度測定方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0010】
即ち、請求項1においては、
対象物の表面の所定位置から放射される赤外線の強度を検出する定点赤外線検出手段と、
前記定点赤外線検出手段により検出された赤外線の強度に基づいて対象物の所定位置の表面仮温度を算出する表面仮温度算出手段と、
前記対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線分布検出手段と、
予め求められた前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と前記対象物の表面温度との関係に係るデータを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されたデータを前記表面仮温度算出手段により算出された表面仮温度を含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出手段と、
前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と、前記直線近似データと、に基づいて前記対象物の表面温度の分布を算出する表面温度分布算出手段と、
を具備するものである。
【0011】
請求項2においては、
前記赤外線分布検出手段は、
互いに異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターを具備し、
該フィルターを交換することにより波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラであるものである。
【0012】
請求項3においては、
前記赤外線分布検出手段は、
それぞれ波長帯が異なる赤外線の強度を検出する前記波長帯の数と同数の赤外線カメラであるものである。
【0013】
請求項4においては、
前記定点赤外線検出手段は、
前記対象物の表面の所定位置に形成された疑似黒体から放射される赤外線の強度を検出するものである。
【0014】
請求項5においては、
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に開口した孔であり、
該孔の深さは該孔の直径の五倍以上であるものである。
【0015】
請求項6においては、
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に塗布された黒体塗料であるものである。
【0016】
請求項7においては、
前記定点赤外線検出手段は、
単素子型の検出素子を用いた放射温度計であるものである。
【0017】
請求項8においては、
前記対象物の表面の所定位置と前記放射温度計の測定軸とを略直交するものである。
【0018】
請求項9においては、
対象物の表面の所定位置から放射される赤外線の強度を検出する定点赤外線検出工程と、
前記定点赤外線検出工程において検出された赤外線の強度に基づいて対象物の所定位置の表面仮温度を算出する表面仮温度算出工程と、
前記対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線分布検出工程と、
予め求められた前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と前記対象物の表面温度との関係に係るデータを前記表面仮温度算出工程において算出された表面仮温度を含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出工程と、
前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と、前記直線近似データと、に基づいて前記対象物の表面温度の分布を算出する表面温度分布算出工程と、
を具備するものである。
【0019】
請求項10においては、
前記赤外線分布検出工程において、
互いに異なる波長帯の赤外線が通過可能な三種類以上のフィルターを具備し、
該フィルターを交換することにより波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラを用いるものである。
【0020】
請求項11においては、
前記赤外線分布検出工程において、
それぞれ波長帯が異なる赤外線の強度を検出する前記波長帯の数と同数の赤外線カメラを用いるものである。
【0021】
請求項12においては、
前記定点赤外線検出工程において、
前記対象物の表面の所定位置に形成された疑似黒体から放射される赤外線の強度を検出するものである。
【0022】
請求項13においては、
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に開口した孔であり、該孔の深さは該孔の直径の五倍以上であるものである。
【0023】
請求項14においては、
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に塗布された黒体塗料であるものである。
【0024】
請求項15においては、
前記定点赤外線検出工程において、
単素子型の検出素子を用いた放射温度計を用いるものである。
【0025】
請求項16においては、
前記対象物の表面の所定位置と前記放射温度計の測定軸とを略直交するものである。
【発明の効果】
【0026】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【0027】
請求項1においては、簡便かつ精度良く対象物の表面の温度分布を測定することが可能である。
【0028】
請求項2においては、一台の赤外線カメラで波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布を容易に検出することが可能である。
【0029】
請求項3においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0030】
請求項4においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0031】
請求項5においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0032】
請求項6においては、対象物の表面に開口する孔を設けることができない場合でも対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0033】
請求項7においては、対象物の表面に開口する孔を設けることができない場合でも対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0034】
請求項8においては、対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0035】
請求項9においては、簡便かつ精度良く対象物の表面の温度分布を測定することが可能である。
【0036】
請求項10においては、一台の赤外線カメラで波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布を容易に検出することが可能である。
【0037】
請求項11においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0038】
請求項12においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0039】
請求項13においては、対象物の表面の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0040】
請求項14においては、対象物の表面に開口する孔を設けることができない場合でも対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0041】
請求項15においては、対象物の表面に開口する孔を設けることができない場合でも対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0042】
請求項16においては、対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0043】
以下では、図1および図2を用いて本発明に係る表面温度測定装置の第一実施例である表面温度測定装置101について説明する。
【0044】
図1に示す如く、表面温度測定装置101は鍛造用金型102の表面、特にキャビティ面102aの温度の分布を測定するものである。表面温度測定装置101は主として赤外線カメラ110、制御装置120を具備する。
【0045】
鍛造用金型102は本発明に係る対象物の実施の一形態であり、その合わせ面には鍛造物(鍛造用金型102により所定の形状に鍛造されたもの)に対応する形状のキャビティ面102aが形成される。
また、鍛造用金型102には、キャビティ面102aと外部とを連通する逃がし孔102bが形成される。逃がし孔102bは、鍛造用金型102を用いて鍛造を行う際にキャビティ内部の圧力が過大となることを防止するために形成される孔であり、キャビティ内に収容されている鍛造物が塑性変形して一部逃がし孔102bに逃げることによりキャビティ内部の圧力が低下する。
【0046】
鍛造用金型102のキャビティ面102aには、鍛造物を鍛造用金型102から取り出し容易とするために予め離型剤が塗布される。
離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度が高すぎると離型剤がキャビティ面102aに強固に固着し、鍛造物を容易に取り出すことができなくなる場合がある。また、離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度が低すぎると塗布された離型剤に水分が残留し、鍛造時にこれが蒸発して鍛造物の品質低下を招く場合がある。
従って、離型剤を塗布するときには、キャビティ面102aの温度が、離型剤がキャビティ面102aに強固に固着することがなく、かつ、塗布された離型剤から水分が十分に蒸発する所定の温度域にあることを確認する必要がある。
本実施例の表面温度測定装置101は、鍛造用金型102のキャビティ面102aに離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度分布が所定の温度域にあるか否かを判定するために用いられる。
【0047】
なお、本発明に係る表面温度測定装置は本実施例に限定されず、種々の対象物の表面の温度分布を測定する用途に広く適用可能である。
【0048】
赤外線カメラ110は本発明に係る定点赤外線検出手段の実施の一形態であり、かつ、本発明に係る赤外線分布検出手段の実施の一形態を兼ねるものである。
なお、本実施例では赤外線カメラ110が本発明に係る定点赤外線検出手段としての機能と赤外線分布検出手段としての機能とを兼ねる構成としたが、本発明に係る表面温度測定装置はこれに限定されず、定点赤外線検出手段と赤外線分布検出手段とを別体とする構成としても良い。
【0049】
赤外線カメラ110は短波長フィルター111a、中波長フィルター111b、長波長フィルター111cの計三つのフィルターを具備する。短波長フィルター111a、中波長フィルター111b、長波長フィルター111cは、それぞれ異なる波長帯の赤外線を透過する性質を有する。
本実施例の場合、短波長フィルター111aは波長が7.4μm〜9.0μmの赤外線、中波長フィルター111bは波長が9.3μm〜11.3μmの赤外線、長波長フィルター111cは波長が10.9μm〜14.3μmの赤外線を透過する。
なお、以下の説明では波長が7.4μm〜9.0μmの赤外線を「短波長帯の赤外線」、波長が9.3μm〜11.3μmの赤外線を「中波長帯の赤外線」、波長が10.9μm〜14.3μmの赤外線を「長波長帯の赤外線」と呼ぶこととする。
【0050】
赤外線カメラ110は短波長フィルター111a、中波長フィルター111b、長波長フィルター111cを交換することにより、これらのフィルターのいずれかを透過した赤外線の強度(の分布)を検出素子112で検出する。
検出素子112は5μm〜15μm程度の波長の赤外線、すなわち短波長帯から長波長帯までの全ての波長帯の赤外線を検出可能なHgCdTeからなる二次元アレイ型の半導体素子であり、赤外線カメラ110の視野内の所定領域における赤外線の強度の分布を検出することが可能である。従って、視野内の所定位置から放射される赤外線の強度についても検出することが可能である。
【0051】
なお、各フィルターの透過する波長帯は本実施例に限定されず、別の波長帯を透過する構成としても良い。また、各フィルターの透過する波長帯の一部が重複しても良い。
また、本実施例では赤外線カメラ110は三つの異なる波長帯(短波長帯、中波長帯、長波長帯)をそれぞれ透過するフィルターを具備する一台の赤外線カメラであるが、本発明に係る赤外線分布検出手段はこれに限定されず、短波長帯、中波長帯、長波長帯の赤外線の強度をそれぞれ検出する三台の赤外線カメラでも良い。
さらに、本実施例の赤外線カメラ110は三つの異なる波長帯の赤外線を検出するが、本発明に係る赤外線分布検出手段はこれに限定されず、四つ以上の異なる波長帯の赤外線を検出する構成としても良い。
【0052】
本実施例の場合、視野内の所定位置における赤外線の強度の検出には長波長フィルター111cを用いる。これは、一般的に対象物の温度が低いほど対象物から放射される赤外線のエネルギーは低下するが、当該エネルギーに占める長波長成分(赤外線のうち波長が長いもの)の比率は増大する傾向を有することによる。
すなわち、本実施例の場合は対象物たる鍛造用金型102が赤熱しない程度の低い温度域(離型剤を塗布する温度域)で用いることから、長波長成分を用いて検出した方が検出精度を確保しやすいことによる。
なお、定点測定点における赤外線の検出にどの波長帯の赤外線を用いるかは、対象物の予想される温度により適宜選択することが望ましい。
【0053】
制御装置120は主として制御部121、入力部122、表示部123等を具備する。
【0054】
制御部121は赤外線カメラ110の一連の動作を制御するものである。
制御部121は、実体的には、後述する表面仮温度算出プログラム、直線近似データ算出プログラム、表面温度分布算出プログラム等を格納する格納手段、これらのプログラム等を展開する展開手段、これらのプログラム等に従って所定の演算を行う演算手段、演算結果等を保管する保管手段等を具備する。
【0055】
制御部121は、より具体的には、CPU、ROM、RAM、HDD等がバスで接続される構成であっても良く、あるいはワンチップのLSI等からなる構成であっても良い。
本実施例の制御部121は専用品であるが、市販のパーソナルコンピュータやワークステーション等に上記プログラム群を格納したもので達成することも可能である。
【0056】
制御部121は赤外線カメラ110に接続され、赤外線カメラ110を動作させるための信号を送信可能であるとともに、赤外線カメラ110により検出された鍛造用金型102の表面の所定位置から放射される赤外線の強度、および、鍛造用金型102の表面(キャビティ面102a)から放射される各波長帯における赤外線の強度の分布に係る情報を受信(取得)することが可能である。
【0057】
入力部122は制御部121に接続され、制御部121に表面温度測定装置101の動作に係る種々の情報・指示等を入力するものである。
本実施例の入力部122は専用品であるが、市販のキーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、スイッチ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
【0058】
表示部123は表面温度測定装置101の動作状況、入力部122から制御部121への入力内容、表面温度測定装置101による測定結果等を表示するものである。
本実施例の表示部123は専用品であるが、市販のモニターや液晶ディスプレイ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
【0059】
また、市販のタッチパネル等を用いて入力部122としての機能と表示部123としての機能を一体化したものを達成することが可能である。
【0060】
以下では、制御部121の詳細構成について説明する。
制御部121は主として表面仮温度算出部121a、記憶部121b、直線近似データ算出部121c、表面温度分布算出部121d等を具備する。
【0061】
表面仮温度算出部121aは本発明に係る表面仮温度算出手段の実施の一形態であり、赤外線カメラ110により検出された赤外線の強度に基づいて、対象物の所定位置の表面仮温度を算出するものである。
実体的には、制御部121が格納手段に格納された表面仮温度算出プログラムに従って所定の演算を行うことにより、表面仮温度算出部121aとしての機能を果たす。
ここで、「表面仮温度」は、後述の直線近似データを算出するための所定温度域の決定に用いられる温度であり、対象物の所定位置の温度を指すものである。
本実施例の場合、表面仮温度算出部121aは赤外線カメラ110により検出された鍛造用金型102のキャビティ面102aに形成された逃がし孔102bの開口部分から放射される長波長帯の赤外線の強度Qsに係る情報を取得し、記憶部121bに記憶されている長波長帯の赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度Tとの関係に係るデータとを比較する(Qsを曲線logQ=k(T)に代入する)ことにより、逃がし孔102bの開口部分の温度(表面仮温度)Tprを算出する。このとき、logQs=k(Tpr)が成立する。
【0062】
逃がし孔102bは本発明に係る疑似黒体の実施の一形態である。
ここで、「疑似黒体」は対象物の表面に設けられ、放射率εが1に近く(ε≧0.8)、かつその放射率が既知のものをいう。
逃がし孔102bの内部では赤外線の多重反射が起こるため、逃がし孔102bに対応する部分については放射率ε≒1と仮定することが可能であり、当該部分から放射される赤外線の強度に基づいて当該部分の(表面)温度を精度良く算出可能である。
なお、逃がし孔102bの直径Rと深さDの関係は、赤外線の多重反射が適正に起こる(疑似黒体の放射率が十分に1に近付く)ことを担保する観点から、深さDが直径Rの5倍以上であること(D≧5×R)が望ましい。対象物に設けた疑似黒体としての孔の深さDを直径Rの5倍とした場合、対象物の放射率が0.3程度であったとしても当該孔の疑似黒体としての放射率(実効放射率)は0.995以上となる。
【0063】
また、本実施例では、対象物たる鍛造用金型102に必然的に形成される逃がし孔102bを疑似黒体として流用しているが、疑似黒体として用いる専用の孔を別途設けても良い。
さらに、対象物が鋳造用金型等、鋳造に直接関係がない孔をキャビティ面に設けることができないものの場合には、合わせ面等に放射率が既知の黒体塗料を塗布し、これを疑似黒体として用いても良い。
【0064】
記憶部121bは本発明に係る記憶手段の実施の一形態であり、予め求められた波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と対象物(本実施例の場合、鍛造用金型102)の表面温度との関係に係るデータを記憶するものである。
実体的には、制御部121が保管手段に当該データを保管(記憶)することにより、記憶部121bとしての機能を果たす。
短波長フィルター111aを透過して検出される短波長帯の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度との関係に係るデータは図2に示す曲線logQ=k(T)で表され、中波長フィルター111bを透過して検出される中波長帯の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度との関係に係るデータは図2に示す曲線logQ=k(T)で表され、長波長フィルター111cを透過して検出される長波長帯の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度との関係に係るデータは図2に示す曲線logQ=k(T)で表される。
これらのデータはそれぞれ実験により予め求められ、記憶部121bに記憶される。
【0065】
直線近似データ算出部121cは本発明に係る直線近似データ算出手段の実施の一形態であり、記憶部121bに記憶されたデータ(波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aとの関係に係るデータ)を、表面仮温度算出部121aにより算出された表面仮温度を含む所定温度域について直線近似することにより直線近似データを算出するものである。
実体的には、制御部121が格納手段に格納された直線近似データ算出プログラムに従って所定の演算を行うことにより、直線近似データ算出部121cとしての機能を果たす。
【0066】
本実施例の場合、表面仮温度Tprよりも25K低い温度を所定温度域の下限温度Tmn(=Tpr−25)とし、表面仮温度よりも25K高い温度を所定温度域の上限温度Tmx(=Tpr+25)とする。
そして、図2に示す如く、赤外線カメラ110により検出される短波長帯の赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度Tとの関係に係るデータである曲線logQ=k(T)を直線近似した直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出することにより、短波長帯の赤外線についての直線近似データを算出する。
同様に、赤外線カメラ110により検出される中波長帯の赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度Tとの関係に係るデータである曲線logQ=k(T)を直線近似した直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出することにより、中波長帯の赤外線についての直線近似データを算出する。
同様に、赤外線カメラ110により検出される長波長帯の赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度Tとの関係に係るデータである曲線logQ=k(T)を直線近似した直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出することにより、長波長帯の赤外線についての直線近似データを算出する。
【0067】
なお、本実施例では表面仮温度Tprを中心とする±25Kの範囲を直線近似データを算出するための所定温度域としたが、本発明に係る表面温度測定装置はこれに限定されず、所定温度域の幅をもっと小さくしたり、逆に大きくしたりすることが可能である。
直線近似データの信頼性(精度)を確保する観点からは所定温度域の幅(所定温度域の上限温度と下限温度の差)を極力小さくすることが望ましいが、所定温度域の幅をあまり小さくし過ぎると算出された温度分布の結果が当該所定温度域から外れてしまい、算出に用いられた直線近似データが不適切となる。従って、所定温度域の幅は対象物の性状に応じて適宜選択する必要がある。
さらに、表面仮温度を必ず所定温度域の中心とする必要はなく、例えば表面仮温度よりも20K低い温度を所定温度域の下限温度とし、表面仮温度よりも30K高い温度を所定温度域の上限温度とすることも可能である。
【0068】
上記直線近似の方法は、例えば、(1)直線logQi=αi×Ti+βi(i=1,2,3)を下限温度Tmnにおける赤外線強度Qmni(logQmni=ki(Tmn))および上限温度Tmxにおける赤外線強度Qmxi(logQmxi=ki(Tmx))を結ぶ直線と定義して係数αiおよび係数βiを算出する方法、(2)直線logQi=αi×Ti+βi(i=1,2,3)を下限温度Tmnから上限温度Tmxまでの曲線logQi=ki(Ti)上の幾つかの点(点の数は適宜選択可能)を用いた最小二乗法により求められる直線と定義して係数αiおよび係数βiを算出する方法、等が挙げられる。
図2には上記(1)の方法により求められる直線logQi=αi×Ti+βiが示されている。
【0069】
なお、本実施例における赤外線の強度Qiと鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度Tiとの関係に係るデータは、赤外線の強度Qiの対数(logQi)を縦軸、表面温度Tiを横軸とする関数の形で定義しているが、本発明に係る表面温度測定装置はこれに限定されず、例えば赤外線の強度Qiの対数(logQi)を縦軸、表面温度Tiの対数(logTi)を横軸とする関数の形で定義する等、他の方法で定義しても良い。
【0070】
表面温度分布算出部121dは本発明に係る表面温度算出手段の実施の一形態であり、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度(Q、Q、Q)と、直線近似データ(logQi=ki(Ti);i=1,2,3))と、に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を算出するものである。
実体的には、制御部121が格納手段に格納された表面温度分布算出算出プログラムに従って所定の演算を行うことにより、表面温度分布算出部121dとしての機能を果たす。
【0071】
表面温度分布算出部121dは、まず、赤外線カメラ110の視野内のある位置(画素)について、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度Q、Q、Qを直線近似データlogQi=αi×Ti+βi(i=1,2,3)に代入して測定温度T、T、Tを算出する。
【0072】
次に、表面温度分布算出部121dは、測定温度T、T、Tを検出素子112の周りのエネルギー保存則に基づく式Tini=ε×Trni+(1−ε)×Taniに代入する。
ここで、εは対象物の放射率、Trは対象物の真の表面温度、Taは対象物の周囲温度である。また、ni(i=1,2,3)は乗数であり、検出する赤外線の波長帯や検出素子を構成する材料(半導体材料)により異なる定数である。
【0073】
続いて、表面温度分布算出部121dは、代入により求められた三つの方程式Tn1=ε×Trn1+(1−ε)×Tan1、Tn2=ε×Trn2+(1−ε)×Tan2、Tn3=ε×Trn3+(1−ε)×Tan3について、変数をε、Tr、Taとする連立方程式の解を算出することにより、真の表面温度Trを算出する。そして、真の表面温度Trを、鍛造用金型102のキャビティ面102aのある位置における表面温度測定装置101による表面温度の測定値とする。
【0074】
このようにして、表面温度分布算出部121dは、赤外線カメラ110の視野内のある位置(画素)についての真の表面温度Trを算出する作業を繰り返し、赤外線カメラ110の視野内の所定領域(鍛造用金型102のキャビティ面102a)について真の表面温度の分布を算出する。
【0075】
以下では、図1乃至図3を用いて本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態について説明する。
図3に示す如く、本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は、表面温度測定装置101を用いて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を測定するものであり、主として定点赤外線検出工程S1000、表面仮温度算出工程S2000、赤外線分布検出工程S3000、直線近似データ算出工程S4000、表面温度分布算出工程S5000を具備する。
【0076】
定点赤外線検出工程S1000は、鍛造用金型102の所定位置から放射される赤外線の強度を検出する工程である。
定点赤外線検出工程S1000において、赤外線カメラ110は、その定点測定点(焦点)を鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定位置に形成された逃がし孔102bの開口部分に合わせ、かつ、長波長フィルター111cを用いて長波長フィルター111cを透過した長波長帯の赤外線の強度(赤外エネルギー)を検出素子112で検出する。
【0077】
定点赤外線検出工程S1000が終了したら、表面仮温度算出工程S2000に移行する。
【0078】
表面仮温度算出工程S2000は、定点赤外線検出工程S1000において検出された逃がし孔102bから放射される赤外線の強度に基づいて鍛造用金型102の逃がし孔102bの部分の温度(表面仮温度)を算出する工程である。
表面仮温度算出工程S2000において、制御部121は表面仮温度算出プログラムに従って、赤外線カメラ110により検出された逃がし孔102bの開口部分から放射される長波長帯の赤外線の強度に係る情報を取得し、これに基づいて表面仮温度Tprを算出する。
【0079】
表面仮温度算出工程S2000が終了したら、赤外線分布検出工程S3000に移行する。
【0080】
赤外線分布検出工程S3000は、鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布をそれぞれ検出する工程である。
赤外線分布検出工程S3000において、赤外線カメラ110は、まず短波長フィルター111aを用いて短波長帯における赤外線の強度の分布を検出素子112で検出する。次に、赤外線カメラ110は短波長フィルター111aを中波長フィルター111bに交換して中波長帯における赤外線の強度の分布を検出素子112で検出する。続いて、赤外線カメラ110は中波長フィルター111bを長波長フィルター111cに交換して長波長帯における赤外線の強度の分布を検出素子112で検出する。
【0081】
赤外線分布検出工程S3000が終了したら、直線近似データ算出工程S4000に移行する。
【0082】
直線近似データ算出工程S4000は、実験等により予め求められ、記憶部121bに記憶された波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度との関係に係るデータ(logQi=ki(Ti);i=1,2,3)を、表面仮温度算出工程S2000において算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データ(logQi=αi×Ti+βi;i=1,2,3)を算出する工程である。
直線近似データ算出工程S4000において、直線近似データ算出部121cは記憶部121bに記憶された短波長帯における赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度Tとの関係に係るデータ(logQ=k(T))を、表面仮温度算出工程S2000において算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域(本実施例の場合、(Tpr−25)Kから(Tpr+25)Kまでの温度域)について直線近似し、図2に示す直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出する。
同様に、直線近似データ算出部121cは記憶部121bに記憶された中波長帯における赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度Tとの関係に係るデータ(logQ=k(T))を、表面仮温度算出工程S2000において算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似し、図2に示す直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出する。
同様に、直線近似データ算出部121cは記憶部121bに記憶された長波長帯における赤外線の強度Qと鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度Tとの関係に係るデータ(logQ=k(T))を、表面仮温度算出工程S2000において算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似し、図2に示す直線logQ=α×T+βの係数αおよび係数βを算出する。
【0083】
直線近似データ算出工程S4000が終了したら、表面温度分布算出工程S5000に移行する。
【0084】
表面温度分布算出工程S5000は、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度(Q、Q、Q)と、直線近似データ算出工程S4000において選出された直線近似データ(logQi=ki(Ti);i=1,2,3))と、に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を算出する工程である。
表面温度分布算出工程S5000において、表面温度分布算出部121dは、測定温度T、T、Tを算出し、三つの方程式Tn1=ε×Trn1+(1−ε)×Tan1、Tn2=ε×Trn2+(1−ε)×Tan2、Tn3=ε×Trn3+(1−ε)×Tan3について変数をε、Tr、Taとする連立方程式の解を算出することにより、真の表面温度Trを算出する。そして、真の表面温度Trを、鍛造用金型102のキャビティ面102aのある位置における表面温度測定装置101による表面温度の測定値とする作業を繰り返し、赤外線カメラ110の視野内の所定領域(鍛造用金型102のキャビティ面102a)について真の表面温度の分布を算出する。
【0085】
以下では、図4を用いて本発明に係る表面温度測定装置の第二実施例である表面温度測定装置201について説明する。
なお、以下では説明の便宜上、本発明に係る表面温度測定装置の第一実施例である表面温度測定装置101と略同じ構成の部材については同じ符号を付し、説明を省略する。
【0086】
図4に示す如く、表面温度測定装置201は鋳造用金型202の表面、特にキャビティ面202aの温度の分布を測定するものである。表面温度測定装置201は主として赤外線カメラ110、制御装置120、放射温度計(パイロメータ)130を具備する。
【0087】
鋳造用金型202は本発明に係る対象物の実施の一形態であり、その合わせ面には鋳造物(鋳造用金型202により所定の形状に鋳造されたもの)に対応する形状のキャビティ面202aが形成される。
鋳造用金型202のキャビティ面202aには疑似黒体として用いるための孔は設けられていない。これは鍛造の場合と異なり、鋳造の場合には当該孔に溶湯が差し込むことにより鋳造品の形状品質に影響を及ぼし得ることによる。
【0088】
鋳造用金型202のキャビティ面202aには、鋳造物を鋳造用金型202から取り出し容易とするために予め離型剤が塗布される。
離型剤を塗布するときのキャビティ面202aの温度が高すぎると離型剤がキャビティ面202aに強固に固着し、鋳造物を容易に取り出すことができなくなる場合がある。また、離型剤を塗布するときのキャビティ面202aの温度が低すぎると塗布された離型剤に水分が残留し、鋳造時にこれが蒸発して鋳造物に巻き込まれ、鋳巣の原因となる等の品質低下を招く場合がある。
従って、離型剤を塗布するときには、キャビティ面202aの温度が、離型剤がキャビティ面202aに強固に固着することがなく、かつ、塗布された離型剤から水分が十分に蒸発する所定の温度域にあることを確認する必要がある。
本実施例の表面温度測定装置201は、鋳造用金型202のキャビティ面202aに離型剤を塗布するときのキャビティ面202aの温度分布が所定の温度域にあるか否かを判定するために用いられる。
【0089】
放射温度計130は本発明に係る定点赤外線検出手段の実施の一形態である。従って、表面温度測定装置201においては、赤外線カメラ110は本発明に係る赤外線分布検出手段の実施の一形態としてのみ用いる。放射温度計130は検出素子132を具備する。
検出素子132は単素子型の半導体素子であり、赤外線カメラ110に比べて、定点の赤外線の強度を精度良く検出することが可能である。なお、検出素子132を構成する材料(半導体材料)は特に限定されず、対象物の予想される温度域等に応じて適宜選択される。
【0090】
放射温度計130によるキャビティ面202aの所定位置の表面温度の測定精度を向上させるためには、表面が極力平滑な部分を選択し、当該表面と放射温度計130の測定軸130aを極力直交させることが望ましい。
【0091】
以上の如く、表面温度測定装置101は、
鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定位置に形成された疑似黒体である逃がし孔102b(の開口部分)から放射される赤外線の強度を検出するとともに、鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長帯の赤外線、中波長帯の赤外線、長波長帯の赤外線)の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラ110と、
赤外線カメラ110により検出された逃がし孔102b(の開口部分)から放射される赤外線の強度に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの逃がし孔102b(の開口部分)の表面仮温度Tprを算出する表面仮温度算出部121aと、
予め求められた波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度との関係に係るデータを記憶する記憶部121bと、
記憶部121bにより記憶されたデータを表面仮温度算出部121aにより算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出部121cと、
波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と、直線近似データと、に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの分布を算出する表面温度分布算出部121dと、
を具備するものである。
このように構成することにより、表面温度測定装置101は鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定位置における表面仮温度Tprを含む所定温度域で直線近似したデータを用いて各波長帯の赤外線の強度と表面温度との関係を補正するため、鍛造用金型102のキャビティ面102aの測定温度域が広い場合でも表面温度の測定精度を確保しつつ表面温度分布の算出に係る演算量を減らすことが可能である。
従って、簡便かつ精度良く鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を測定することが可能である。
【0092】
また、表面温度測定装置101の赤外線カメラ110は、
互いに異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターである短波長フィルター111a、中波長フィルター111b、長波長フィルター111cを具備し、
短波長フィルター111a、中波長フィルター111b、長波長フィルター111cを交換することにより波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長帯の赤外線、中波長帯の赤外線、長波長帯の赤外線)の強度の分布をそれぞれ検出するものである。
このように構成することにより、一台の赤外線カメラ110で波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長帯の赤外線、中波長帯の赤外線、長波長帯の赤外線)の強度の分布を容易に検出することが可能である。
また、表面温度測定装置101の全体の製造コストを抑えることも可能である。
【0093】
また、表面温度測定装置101は、
赤外線カメラ110に代えて、それぞれ波長帯が異なる赤外線の強度を検出する三台の赤外線カメラを用いることも可能である。
このように構成することにより、一台の赤外線カメラ110を用いる場合よりも表面温度測定装置101の全体の製造コストは増大するが、それぞれの波長帯に応じて測定精度の高い検出素子を用いることができ、鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0094】
また、表面温度測定装置101の赤外線カメラ110は、
キャビティ面102aの所定位置に形成された疑似黒体から放射される赤外線の強度を検出するものである。
このように構成することにより、表面仮温度Tprを精度良く測定することが可能である。その結果、鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0095】
また、表面温度測定装置101の赤外線カメラ110により検出される赤外線を放射する疑似黒体は、
鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定位置に開口した逃がし孔102bであり、
逃がし孔102bの深さDは逃がし孔102bの直径Rの五倍以上であるものである。
このように構成することにより、逃がし孔102bの放射率εを1と近似することが可能であり、表面仮温度Tprを精度良く測定することが可能である。その結果、鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0096】
また、表面温度測定装置101の赤外線カメラ110により検出される赤外線を放射する疑似黒体を、逃がし孔102bに代えて、鍛造用金型102の表面の所定位置(例えば、鍛造用金型102の合わせ面)に塗布された黒体塗料としても良い。
このように構成することにより、対象物の表面に開口する孔を設けることができない場合でも、対象物の表面仮温度Tprを精度良く測定することが可能である。その結果、対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0097】
また、表面温度測定装置201は、
鋳造用金型202のキャビティ面202aの所定位置から放射される赤外線の強度を検出する単素子型の検出素子132を用いた放射温度計130と、
放射温度計130により検出された鋳造用金型202のキャビティ面202aの所定位置から放射される赤外線の強度に基づいて当該所定位置の表面仮温度Tprを算出する表面仮温度算出部121aと、
鋳造用金型202のキャビティ面202aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長帯の赤外線、中波長帯の赤外線、長波長帯の赤外線)の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラ110と、
予め求められた波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と鋳造用金型202のキャビティ面202aの表面温度との関係に係るデータを記憶する記憶部121bと、
記憶部121bにより記憶されたデータを表面仮温度算出部121aにより算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出部121cと、
波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と、直線近似データと、に基づいて鋳造用金型202のキャビティ面202aの分布を算出する表面温度分布算出部121dと、
を具備するものである。
このように構成することにより、鋳造用金型202のキャビティ面202aに開口する孔を設けることができない場合でも、鋳造用金型202のキャビティ面202aの表面仮温度Tprを精度良く測定することが可能である。その結果、対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0098】
また、表面温度測定装置201は、
鋳造用金型202のキャビティ面202aの所定位置と放射温度計130の測定軸130aとを略直交するものである。
このように構成することにより、鋳造用金型202のキャビティ面202aの表面仮温度Tprを精度良く測定することが可能である。その結果、対象物の温度分布の測定精度を向上することが可能である。
【0099】
また、本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は、
鍛造用金型102のキャビティ面102aに形成された逃がし孔102bの開口部分から放射される赤外線の強度を検出する定点赤外線検出工程S1000と、
定点赤外線検出工程S1000において検出された赤外線の強度に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの逃がし孔102bの開口部分の表面仮温度Tprを算出する表面仮温度算出工程S2000と、
鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布をそれぞれ検出する赤外線分布検出工程S3000と、
実験等により予め求められ、記憶部121bに記憶された波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度との関係に係るデータを、表面仮温度算出工程S2000において算出された表面仮温度Tprを含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出工程S4000と、
波長帯が異なる三種類の赤外線の強度と、直線近似データ算出工程S4000において選出された各波長帯に対応する直線近似データと、に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を算出する表面温度分布算出工程S5000と、
を具備するものである。
このように構成することにより、鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定位置における表面仮温度Tprを含む所定温度域で直線近似したデータを用いて各波長帯の赤外線の強度と表面温度との関係を補正するため、鍛造用金型102のキャビティ面102aの測定温度域が広い場合でも表面温度の測定精度を確保しつつ表面温度分布の算出に係る演算量を減らすことが可能である。
従って、簡便かつ精度良く鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度分布を測定することが可能である。
【0100】
なお、本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は、定点赤外線検出工程S1000→表面仮温度算出工程S2000→赤外線分布検出工程S3000→直線近似データ算出工程S4000→表面温度分布算出工程S5000の順に移行する構成としたが、本発明に係る表面温度測定方法はこれに限定されない。
すなわち、(A)表面仮温度算出工程S2000が定点赤外線検出工程S1000よりも後の工程であること、(B)直線近似データ算出工程S4000が表面仮温度算出工程S2000よりも後工程かつ赤外線分布検出工程S3000よりも後工程であること、(C)表面温度分布算出工程S5000が直線近似データ算出工程S4000よりも後工程であること、の三つの要件を満たせば同様の効果を奏することによる。
また、定点赤外線検出工程S1000および赤外線分布検出工程S3000については、装置構成によっては順序を逆としても良く、並行して実施しても良い。
【0101】
本発明に係る表面温度測定方法の別の実施例としては、例えば、(a)定点赤外線検出工程S1000→赤外線分布検出工程S3000→表面仮温度算出工程S2000→直線近似データ算出工程S4000→表面温度分布算出工程S5000の順に移行する構成、(b)定点赤外線検出工程S1000および赤外線分布検出工程S3000を並行して実施→表面仮温度算出工程S2000→直線近似データ算出工程S4000→表面温度分布算出工程S5000の順に移行する構成、(c)赤外線分布検出工程S3000→定点赤外線検出工程S1000→表面仮温度算出工程S2000→直線近似データ算出工程S4000→表面温度分布算出工程S5000の順に移行する構成、等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【0102】
【図1】本発明に係る表面温度測定装置の第一実施例を示す図。
【図2】赤外線の強度と対象物の表面温度との関係を示す図。
【図3】本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態を示すフロー図。
【図4】本発明に係る表面温度測定装置の第二実施例を示す図。
【符号の説明】
【0103】
101 表面温度測定装置
102 鍛造用金型(対象物)
102a キャビティ面(対象物の表面)
110 赤外線カメラ(定点赤外線検出手段、赤外線分布検出手段)
121a 表面仮温度算出部(表面仮温度算出手段)
121b 記憶部(記憶手段)
121c 直線近似データ算出部(直線近似データ算出手段)
121d 表面温度分布算出部(表面温度分布算出手段)

【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物の表面の所定位置から放射される赤外線の強度を検出する定点赤外線検出手段と、
前記定点赤外線検出手段により検出された赤外線の強度に基づいて対象物の所定位置の表面仮温度を算出する表面仮温度算出手段と、
前記対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線分布検出手段と、
予め求められた前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と前記対象物の表面温度との関係に係るデータを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されたデータを前記表面仮温度算出手段により算出された表面仮温度を含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出手段と、
前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と、前記直線近似データと、に基づいて前記対象物の表面温度の分布を算出する表面温度分布算出手段と、
を具備することを特徴とする表面温度測定装置。
【請求項2】
前記赤外線分布検出手段は、
互いに異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターを具備し、
該フィルターを交換することにより波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラであることを特徴とする請求項1に記載の表面温度測定装置。
【請求項3】
前記赤外線分布検出手段は、
それぞれ波長帯が異なる赤外線の強度を検出する前記波長帯の数と同数の赤外線カメラであることを特徴とする請求項1に記載の表面温度測定装置。
【請求項4】
前記定点赤外線検出手段は、
前記対象物の表面の所定位置に形成された疑似黒体から放射される赤外線の強度を検出することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の表面温度測定装置。
【請求項5】
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に開口した孔であり、
該孔の深さは該孔の直径の五倍以上であることを特徴とする請求項4に記載の表面温度測定装置。
【請求項6】
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に塗布された黒体塗料であることを特徴とする請求項4に記載の表面温度測定装置。
【請求項7】
前記定点赤外線検出手段は、
単素子型の検出素子を用いた放射温度計であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の表面温度測定装置。
【請求項8】
前記対象物の表面の所定位置と前記放射温度計の測定軸とを略直交することを特徴とする請求項7に記載の表面温度測定装置。
【請求項9】
対象物の表面の所定位置から放射される赤外線の強度を検出する定点赤外線検出工程と、
前記定点赤外線検出工程において検出された赤外線の強度に基づいて対象物の所定位置の表面仮温度を算出する表面仮温度算出工程と、
前記対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線分布検出工程と、
予め求められた前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と前記対象物の表面温度との関係に係るデータを前記表面仮温度算出工程において算出された表面仮温度を含む所定温度域について直線近似することにより、直線近似データを算出する直線近似データ算出工程と、
前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度と、前記直線近似データと、に基づいて前記対象物の表面温度の分布を算出する表面温度分布算出工程と、
を具備することを特徴とする表面温度測定方法。
【請求項10】
前記赤外線分布検出工程において、
互いに異なる波長帯の赤外線が通過可能な三種類以上のフィルターを具備し、該フィルターを交換することにより波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ検出する赤外線カメラを用いることを特徴とする請求項9に記載の表面温度測定方法。
【請求項11】
前記赤外線分布検出工程において、
それぞれ波長帯が異なる赤外線の強度を検出する前記波長帯の数と同数の赤外線カメラを用いることを特徴とする請求項9に記載の表面温度測定方法。
【請求項12】
前記定点赤外線検出工程において、
前記対象物の表面の所定位置に形成された疑似黒体から放射される赤外線の強度を検出することを特徴とする請求項9から請求項11までのいずれか一項に記載の表面温度測定方法。
【請求項13】
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に開口した孔であり、該孔の深さは該孔の直径の五倍以上であることを特徴とする請求項12に記載の表面温度測定方法。
【請求項14】
前記疑似黒体は、
前記対象物の表面の所定位置に塗布された黒体塗料であることを特徴とする請求項12に記載の表面温度測定方法。
【請求項15】
前記定点赤外線検出工程において、
単素子型の検出素子を用いた放射温度計を用いることを特徴とする請求項9から請求項11までのいずれか一項に記載の表面温度測定方法。
【請求項16】
前記対象物の表面の所定位置と前記放射温度計の測定軸とを略直交することを特徴とする請求項15に記載の表面温度測定方法。

【図1】
image rotate

【図2】
image rotate

【図3】
image rotate

【図4】
image rotate