【課題】放射温度計による正確な温度測定を簡便に行うことが可能な温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置は、被測定物１の温度を測定する放射温度計６と、被測定物１の放射率を測定する放射率測定装置１０と、放射温度計６で測定された温度を放射率測定装置１０で測定された放射率を用いて補正する補正処理部と、を備えている。放射温度計６は、被測定物１から放射される複数波長の放射光のうち予め定めた単一波長の放射光のみを検出する。放射率測定装置１０は、放射率測定用光を被測定物１に照射する光源３と、被測定物１の表面で反射した反射光の全てを集光する集光部２と、反射光を検出する検出器４と、検出された反射光の光量に基づいて放射率を算出する演算処理装置５と、を備えている。光源３は、放射温度計６の検出波長と同波長の単色光を放射率測定用光として出力する。集光部２は、回転楕円面の内側を反射面とする凹面鏡２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】監視対象となる高温物が所定の撮像位置に位置したことを検出するための機械的リミットスイッチを用いず、それを設置するためのスペース及び作業コストが不要になる熱画像保存装置の提供。
【解決手段】熱画像２ａを生成する熱画像生成手段２には、熱画像２ａの処理を行う熱画像処理手段３が接続されている。熱画像処理手段３には、取鍋４が所定の撮像位置に位置した際に熱画像２ａ内で取鍋４が占める領域内の温度を監視して、領域内の温度が所定の検出用閾値以上である場合に、取鍋４が撮像位置に位置したことを検出する位置検出部３０が含まれている。 （もっと読む）

【課題】機器が密集した状態の製造ライン内であっても、測定視野が遮られない態様で測定対象物の間近に設置できるとともに、製造ラインの良否判定に必要な測定対象物の温度プロフィールを測定できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる走査型放射温度計１は、測定対象物の温度プロフィールを非接触で測定するものであり、受光部２と、伝送部３と、検出部４とを備える。受光部２は、小径の筒状体であり、測定対象物から放射された赤外光を温度測定点毎に分けて集光する。伝送部３は、複数の温度測定点の各々と一対一に対応する複数の光ファイバ群を束ねて収容し、温度測定点別に赤外光を伝送する。検出部４は、赤外光領域に感度を有し、伝送部３内の複数の光ファイバ群の各々と一対一に対応する複数の画素に赤外光を受光して、温度測定点毎の赤外光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】溶接部の良否を精度よく判定すること。
【解決手段】溶接良否判定装置１２は、溶接部の温度分布の面積を算出し、算出された面積と正常時における溶接部の温度分布の面積との比率を算出する。溶接良否判定装置１２は、溶接部の温度分布から溶接部の温度が最高となる溶接幅方向位置を算出し、算出された溶接幅方向位置と正常時における溶接部の温度分布から算出された溶接部の温度が最高となる溶接幅方向位置との差分値を算出する。溶接良否判定装置１２は、算出された比率と差分値とに基づいて、溶接部の良否を判定する。これにより、溶接部の良否を精度よく判定することができる。 （もっと読む）

【課題】電極輪の異常を精度よく検出すること。
【解決手段】異常診断装置１２が、温度計１０を利用して鋼板の幅方向に沿って溶接幅方向の溶接部の温度分布を測定する。異常診断装置１２が、電極輪回転位置検出センサ１１を利用して、溶接部の温度分布を測定した際の電極輪の回転位置を測定する異常診断装置１２が、測定された溶接幅方向の溶接部の温度分布と電極輪の回転位置とに基づいて、電極輪の異常を検出する。また、異常診断装置１２は、溶接部の温度分布の最高温度と溶接部の温度が最高温度となる溶接幅方向位置とに基づいて、電極輪の取付位置異常を検出する。これにより、電極輪の異常を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ミスト、蒸気、ダストの存在下であっても、非接触で鋼材の表面温度を測定することが可能な、鋼材温度測定方法及び鋼材温度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る鋼材温度測定方法は、マイクロ波〜ミリ波帯域に属する放射電磁波の大きさと鋼材の表面温度とが線形関係となる状態に対応する厚み以上のマグネタイト層が鋼材の表面に成長するために要する時間が経過した後に、鋼材から放射される放射波のうち、マイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波を検波する放射波検波ステップと、予め生成されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する放射電磁波の大きさと鋼材の表面温度との相関関係を示した相関関係情報と、検波されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波の大きさと、を用いて、検波されたマイクロ波〜ミリ波帯域に属する電磁波の大きさから鋼材の表面温度を算出する温度算出ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】処理容器内にて基板が載置されると共に回転する回転テーブルを備えた熱処理装置において、処理容器内の温度分布を推測する技術を提供すること。
【解決手段】回転テーブルの一面側を径方向に沿って繰り返し走査し、複数のスポット領域の温度を測定する放射温度測定部と、回転テーブル上における放射温度測定部の走査領域に割り当てられたアドレスと放射温度測定部の温度測定値とを対応付けた温度データを記憶する記憶部と、回転テーブルを静止させて温度が安定した後、回転テーブルを回転させる間に放射温度測定部により繰り返し回転テーブルの一面側を走査し、回転テーブルの静止時における処理容器内の温度分布を推測するために、回転テーブルの一面側の温度分布をデータ処理部に表示させる制御部と、を備えるように装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】２色測温法に於いて画像間の較正を省略できる様に、又簡単な装置で而も簡便に温度測定を可能とした。
【解決手段】撮像素子１０を有し、溶接部２３を撮像するカメラ１１と、異なる波長をそれぞれ透過する２つの光学フィルタ１９，２０，２１，２２を少なくとも１組備え、各光学フィルタが前記カメラの光軸１５を通過する様回転可能に支持されたフィルタテーブル１４と、該フィルタテーブルを回転させるモータ１７と、前記２つの光学フィルタを透して２波長で撮像した前記撮像素子からの２色の画像信号に基づき、２色測温法により画像中の任意の点についての温度を演算する制御演算部１３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもその長さを大幅に短くした導光体付きピンを提供すること。
【解決手段】単線の光ファイバ１７と、先端側に光ファイバ１７の外径よりも僅かに大径に設けられた保持孔１５と、保持孔１５から基端側まで連続してこの保持孔１５よりも大径に設けられた拡径部１６とを有する円筒状の中空軸部１２と、光ファイバ１７を拡径部１６に挿通させるとともにこの光ファイバ１７の先端部を保持孔１５に挿通保持させた状態で光ファイバ１７と中空軸部１２とを一体的に固定するために拡径部１６に基端側を余して充填される耐熱性接着剤１８とを備えた。また、拡径部１６の内面には、光ファイバ１７が受ける圧力に耐熱性接着剤１８が抵抗するように引っ掛かり加工としてねじ加工を施した。 （もっと読む）

【課題】非接触で容易に、かつ高精度に被加工材の温度測定が可能な炉内の被加工材の温度測定方法を提供する。
【解決手段】加熱炉内の被加工材の温度を放射温度計で測定する方法であって、加熱炉内に存する被加工材の面のうち、加熱炉の抽出口に対向する面に含まれ、温度測定がされるべき部位である測定部位を、加熱炉の炉外に設置された放射温度計により測定するものである。 （もっと読む）

【課題】ビューポートが汚れることにより、放射温度計による正確な温度測定ができなくなることを抑制する。
【解決手段】複数枚の基板を保持するボートと、ボートを囲む様に設けられ反応室を構成する筒状発熱材と、筒状発熱材を囲む様に設けられた反応管と、筒状発熱材と反応管との間に設けられた筒状断熱部と、筒状発熱材と筒状断熱部との間に設けられた温度測定用チップと、温度測定用チップからの放射光が入射されることにより温度を測定する放射温度計と、温度測定用チップと放射温度計との間に設けられ、温度測定用チップからの放射光を透過するビューポートと、筒状発熱材と筒状断熱部との間の間隙に設けられ、ビューポートに向けて不活性ガスを供給する第１ガス供給口を有するブローノズルと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザプロセスにおいて被処理体の表面温度を的確に測定する。
【解決手段】レーザ光照射により加熱された被処理体表面から発生する放射光を検出する放射光検出部と、放射光を被処理体表面から放射光検出部に導く放射光光学系と、レーザ光で加熱された被処理体に照射する参照光を出力する参照光光源と、参照光を参照光光源から被処理体に導く参照光光学系と、参照光が被処理体で反射した反射光を検出する反射光検出部と、反射光を被処理体から反射光検出部に導く反射光光学系と、放射光検出部と反射光検出部の検出結果を受け、反射光の強度の時間的変化によって被処理体表面が溶融した時点を判定し、溶融時点において放射光を発生する被処理体表面の温度を被処理体の融点に設定し、融点を絶対値基準温度として放射光の強度を温度情報に変換して、加熱された被処理体表面の温度を判定する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温の被計測体に発生する酸化スケール等の表面異常を精度良く識別することができる被計測体の表面異常識別装置を提供する。
【解決手段】高温の被計測体５から得られる輻射光を輻射光撮像部１８により、被計測体５が一定角度回転される毎に撮像して得た複数の輻射光画像を合成して、合成輻射光画像を作成する画像合成部１０と、前記合成輻射光画像から所定領域を抽出して、撮像中の被計測体５の温度低下に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第１輝度補正部１２と、前記補正した所定領域の画像から所定暗部を検出し、該所定領域の画像の暗部を前記被計測体の表面異常と判定する異常判定部１４と、を備える被計測体の表面異常識別装置１を用いる。 （もっと読む）

【課題】放射温度計の故障およびパラメータ設定ミス等を検知できる基板処理装置と基板製造方法を提供する。
【解決手段】基板が配置される処理室と、処理室又は加熱部の温度を検出する第１放射温度計６３０ｂ、第２放射温度計６３０ａ、及び、第３放射温度計６３０ｃと、第１放射温度計による第１検出結果、第２放射温度計による第２検出結果、第３放射温度計による第３検出結果が入力され、加熱部を制御する温度制御部と、を具備し、温度制御部は、第１放射温度計による第１検出結果に基づく温度と第２放射温度計による第２検出結果に基づく温度とを比較し、所定の温度より差が離れていると判断し、かつ、第１放射温度計による第１検出結果に基づく温度と第３放射温度計による第３検出結果に基づく温度とを比較し、所定の温度より差が離れていると判断した場合、第１放射温度計が故障している判断する。 （もっと読む）

【課題】熱間圧延設備のラインにおいて、特定点に基づく信頼性の高い温度情報を基礎とした品質管理を承継しつつも、鋼板の幅方向に管理範囲を拡大する。
【解決手段】第一の測定素子を有するとともに温度管理の基礎として参照される温度情報を搬送される鋼板上の特定点において測定する参照用のスポット型放射温度計５と、第一の測定素子とは異なる第二の測定素子を有するとともに搬送される鋼板の全幅に亘って管理温度情報を測定する走査型放射温度計７と、第二の測定素子と同一の測定素子を有するとともに前記特定点の温度情報を測定する補正用の放射温度計６とを用い、参照用のスポット型放射温度計５と補正用の放射温度計６との温度情報から測定温度差を求め、この測定温度差に基づいて走査型放射温度計７の管理温度情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】スケール等の付着原因となる冷却水が温度計本体を濡らすのを防ぎ、長期間性能を維持できる鋼板下面の温度測定装置を提供する。
【解決手段】圧延材Ｗの下面の温度を測定する温度測定装置１ａにおいて、圧延材Ｗの下面と対向する冷却ヘッダ７の上面側に設けられた開口である先端窓１３ａと、冷却ヘッダ７の下面側に設けられた開口であって、冷却ヘッダ７の長手方向に沿って先端窓１３ａより長径とされた長孔の基端窓１４と、を備える。これら先端窓１３ａと基端窓１４に対して、冷却ヘッダ７の長手方向における先端窓１３ａの一端と基端窓１４の一端とを、例えば鉛直方向につなぐ第１側面１５と、冷却ヘッダ７の長手方向における先端窓１３ａの他端と基端窓１４の他端とを斜め方向につなぐ第２側面１６と、を設ける。この上で、温度計１７を、基端窓１４であって第２側面１６上で、計測方向が先端窓１３ａを介して圧延材Ｗの下面を向くように配置する。 （もっと読む）

【課題】炉内において鋼材表面の酸化状態が経時的に変化することによって分光放射率が変動する場合でも、表面が酸化されている鋼材の表面温度を精度よく測定する。
【解決手段】３．９μｍ狭域帯波長の放射温度計６１、６２を用いて、鋼材Ｓの表面から観測される放射強度を測定し、迷光補償用の温度計７１、７２の測定値を用いて、鋼材Ｓの表面からの迷光放射強度を算出し、鋼材Ｓの表面の熱履歴から、鋼材Ｓの表面の酸化層の厚みを算出すると共に、鋼材Ｓの表面酸化速度が、酸素分子供給過程と鉄原子拡散過程とのいずれに律速されているかを判断することで、鋼材の表面物質がウスタイトまたはヘマタイトのどちらであるかを判別して、前記酸化層の厚みと前記表面物質の判別結果とから分光放射率を算出し、前記観測される放射強度から前記迷光放射強度を引いて得られる放射強度を、前記分光放射率で除して黒体放射強度を求め、鋼材Ｓの表面温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】水蒸気やミストが充満する環境下においても、粗バーからのクロップの分離、落下を精度良く容易に検出することができ、また仮にクロップがクロップシュートに引っ掛り、複数のクロップがクロップシュート上に停滞、堆積した場合であってもその状態を早期且つ確実に認識することができるクロップ落下検出方法を得る。
【解決手段】熱間圧延後における粗バー２の先端及び／又は後端に形成された不定形部を切断したクロップ４をクロップシュート５を通じて落下させるに際して、上記クロップシュート５の近傍に、該クロップシュート５の全幅を監視する遠赤外線検出装置７を設け、クロップシュート５を落下してくるクロップ４が放射する遠赤外線を該遠赤外線検出装置７により検出して、該落下してくるクロップの形状を熱画像として出力することにより、クロップの落下を検出する。 （もっと読む）