走行台車における塵埃飛散防止装置

【目的】下部のガイドレールとそれに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行車輪が回転することによって発生する塵埃が飛散することを防止する。
【構成】吸引口２１から、ガイドレール１４とそれに載っている走行車輪１８との間で発生する塵埃や、走行車輪１８が回転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引して、フィルター２４でクリーンにして排気して、塵埃の飛散を防止することが出来る。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、塵埃を嫌う物品を収納・保管する自動倉庫のスタッカークレーン等に有効に設備・利用し得る走行台車における塵埃飛散防止装置に関する。
【０００２】
【従来の自動倉庫】従来の自動倉庫として以下の如きものは知られている。即ち、前後方向に所定間隔をあけるようにして設けられた、上下・左右に多数の物品収納棚を有する前後一対のラック装置と、前記前後のラック装置間において下部のガイドレールに沿って左右動自在に設けられたスタッカークレーンとを有しており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、この走行台車に設けられたマストに昇降自在となされた昇降台と、この昇降台に設けられた物品移載装置（例えば、前後方向に摺動自在に設けられたスライドフォーク）とを有しているものは知られている。
【０００３】
【発明の背景】前記自動倉庫において、塵埃を嫌う物品、例えば半導体ウエハ等を収納・保管する場合においては、自動倉庫内において塵埃が飛散するのを防止する必要がある。そのような場合、下部のガイドレールとそれに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行車輪が回転することによって発生する塵埃が飛散することを防止することが必要となる。
【０００４】
【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明は、ガイドレールに沿って走行する走行台車が中空状となされ、この走行台車の、ガイドレールに載った走行車輪が設けられた部分に吸引口が形成され、この吸引口から空気を吸引して走行台車に形成された排気口から空気を排気する吸引装置が走行台車内に設けられ、前記排気された空気が走行台車に設けられたフィルターによってクリーンにされるようになされているものである。
【０００５】
【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすものである。走行車輪が設けられた部分に形成された吸引口から、ガイドレールとそれに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行車輪が回転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引して、フィルターでクリーンにして排気するので、塵埃の飛散を防止することが出来る。
【０００６】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。なお、この明細書において、前とは図１下側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右とは同図右側をいう。
【０００７】図１〜図３に示すごとく、クリーン倉庫１の床２の上方に、床２との間に所定間隙３をあけるようにして前後一対の水平壁４が、両者の間に左右方向に長い開口５を形成するようにして、設けられている。前記前後一対の水平壁４各々に前後一対のラック装置７が設けられ、これらラック装置７各々は上下・左右に多数の物品収納棚８を有しており、これら前後の物品収納棚８の出し入れ口９は相互に対向している。また、前記物品収納棚８には後述のスライドフォーク３８が上下に移動するのを許容するフォーク通過間隙１０が形成されている。前記物品収納棚８に物品Ｗが載置・収納される。
【０００８】図１に示すごとく、クリーン倉庫１の、右側部に前後一対の物品搬入・搬出ステーション１１が設けられている。
【０００９】図３〜図５に示すごとく、前記クリーン倉庫１の前後方向中央の上下部に左右方向に長い上下一対のガイドレール１４が設けられ、これらガイドレール１４にスタッカークレーン１６が左右動自在に案内されている。更に具体的に云うなら、スタッカークレーン１６の中空状の走行台車１７の下部左右部各々に、下側のガイドレール１４に載る走行車輪１８及び下側のガイドレール１４を挟持する一対の挟持ローラー１９が設けられ、走行車輪１８の一方が走行台車１７内に収納・設置された正逆回転自在なモーター２０によって回転させられるようになされている。また、後述のマスト２８の上端に、上側のガイドレール１４を挟持する左右一対の挟持ローラー２５が２組設けられている。
【００１０】図４及び図５に示すごとく、走行台車１７の底部の、走行車輪１８が設けられた部分に吸引口２１が形成され、これら吸引口２１から空気を吸引して走行台車１７に形成された排気口２２から空気を排気する吸引装置２３が走行台車１７内に設けられている。前記排気口２２にはフィルター２４が取り付けられている。このような構成によって、吸引口２１から、下側のガイドレール１４と走行車輪１８や挟持ローラー１９との間で発生する塵埃や、走行車輪１８や挟持ローラー１９が回転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引して、フィルター２４でクリーンにして排気して、塵埃の飛散を防止することが出来る。
【００１１】図４及び図６に示すごとく、前記走行台車１７にそれと連通するようにしてマスト２８が設けられている。このマスト２８は上端部が閉塞され、下端部が開放（開口）した筒状である。このマスト２８に、その高さ方向に沿ってスリット２９が形成され、このスリット２９を通じて中空状昇降台３０に連通・接続された中空状被案内部３１がマスト２８内に収納されており、この中空状被案内部３１が、これに設けられたローラー３２を介して、マスト２８の内部に設けられたガイドレール３３に沿って上下動するようになされている。前記中空状昇降台３０は公知の昇降装置３５によって昇降させられるようになされている。前記マスト２８内の空気は吸引装置２３によって吸引される。
【００１２】図４及び図６に示すごとく、前記中空状昇降台３０には物品移載装置であるスライドフォーク３８が前後いずれにも水平突出するように水平摺動自在に設けられている。前記スライドフォーク２０は、公知のごとく、物品Ｗの下方への突出・中空状昇降台３０の上昇による物品Ｗの持ち上げ・中空状昇降台３０側への退入という動作を行なって物品Ｗを中空状昇降台３０に引き込み、前記と逆の動作によって物品収納棚８等に物品Ｗを降ろすことが出来る。なお、物品移載装置は、前記スライドフォーク２０に限定されるものではなく、ロボットハンドであってもよい。
【００１３】前記中空状昇降台３０の上壁左側に空気噴出口５１が形成され、この空気噴出口５１に垂直ダクト５２が接続され、この垂直ダクト５２の上端に、下向きの空気噴出口５４を有する水平ダクト５３が接続されている。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４にヘパフィルター等からなるフィルター５５が取り付けられている。なお、フィルター５５は、中空状昇降台３０、垂直ダクト５２及び水平ダクト５３によって構成される空気通路５６に、それを横切るような状態で、設けるようにすればよい。前記垂直ダクト５２に対向して、中空状昇降台３０の上壁右側と、水平ダクト５３の右側とに跨って垂直壁５８が渡されている。なお、この垂直壁５８は、中空状被案内部３１の垂直壁の一部を構成するものとなされている。このような構成によって、中空状昇降台３０、垂直ダクト５２、水平ダクト５３及び垂直壁５８によって、前後に貫通した物品収納空間が形成される。前記水平ダクト５３の空気噴出口５４から空気を噴出するファン５７が中空状昇降台３０に設けられている。上記の如き構成によって、清浄空気を水平ダクト５３の空気噴出口５４から下向きに噴出して、スリット４７から中空状昇降台３０内に吸引して、スライドフォーク３８の上方の空間（物品収納空間）に、上から下に向かう清浄空気の流れを作り、その空間を清浄に保持することが出来る。
【００１４】前記昇降装置３５には所要個の吸引口３９が形成されている。また、前記中空状被案内部３１にはマスト２８内に開口した空気通路４０が形成されている。このような構成によって、前記の吸引装置２３によって中空状昇降台３０上部の空気を吸引してマスト２８内に引き込み、中空状昇降台３０上部の空気をクリーンにすることが出来る。
【００１５】次に、クリーン倉庫１内に一定の空気の流れを作るための構成について説明する。図３に示すごとく、水平壁４より上方のクリーン倉庫１の前壁とラック装置７との間に空気通路４１を画するようにして、平板状のフィルター４２及び網・多孔板等からなる整流板４３が、クリーン倉庫１内に垂直状に設けられ、また、同様に、水平壁４より上方のクリーン倉庫１の後壁とラック装置７との間に空気通路４１を画するようにして、平板状のフィルター４２及び網・多孔板等からなる整流板４３が、クリーン倉庫１内に垂直状に設けられている。前記空気通路４１に開口する、所要個の開口４４が水平壁４に形成され（図１も参照）ている。
【００１６】前記水平壁４各々の下部の間隙３を前後に画するようにして垂直な仕切り板４５が設けられ、この仕切り板４５に所要個の開口４６が形成され、これら開口４６にファン４７の吐出口が接続されている。前記開口４６と開口４４を画するようにして垂直なフィルター４８が設けられている。前記水平壁４の下方に位置するファン４７の設けられた空間と、下部のガイドレール１４の設けられた空間とを区画するようにして、水平壁４の、スタッカークレーン１６側の縁部と床２とに渡るようなかたちで、平板状のフィルター４９がクリーン倉庫１内に垂直状に設けられている。このような構成によって、ファン４７から噴出された空気は、空気通路４１を上昇し、物品収納棚８を通った後、前後のラック装置７の間を通って下に行き、ファン４７に再び吸引されるという経路を循環する。そして、フィルター４９やフィルター４８を通過する間に空気は浄化される。
【００１７】
【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によって、以下の如き効果を奏するものである。走行車輪が設けられた部分に形成された吸引口から、ガイドレールとそれに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行車輪が回転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引して、フィルターでクリーンにして排気するので、塵埃の飛散を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す水平断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う中間省略の拡大断面図である。
【図４】スタッカークレーンの拡大縦断面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【符号の説明】
１４ガイドレール
１６スタッカークレーン
１７走行台車
１８走行車輪
２１吸引口
２２排気口
２３吸引装置
２４フィルター

【特許請求の範囲】
【請求項１】ガイドレールに沿って走行する走行台車が中空状となされ、この走行台車の、ガイドレールに載った走行車輪が設けられた部分に吸引口が形成され、この吸引口から空気を吸引して走行台車に形成された排気口から空気を排気する吸引装置が走行台車内に設けられ、前記排気された空気が走行台車に設けられたフィルターによってクリーンにされるようになされている走行台車における塵埃飛散防止装置。

【図１】