配管および配管装置
【課題】
クランパ部材の着脱が容易な配管を提供する。
【解決手段】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態でその両端がネジにより締結されてクランプ力を生じるクランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有する、ことを特徴とする。
クランパ部材の着脱が容易な配管を提供する。
【解決手段】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態でその両端がネジにより締結されてクランプ力を生じるクランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有する、ことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、図14に示される配管11aにおいては、配管11a,11aのフランジ20,20同士をフランジ20,20に開けられた図示されない孔部にボルトを通してネジ締結して接合する。あるいは、フランジ20,20同士を溶接して取り外し不能に接合していた。しかし、この従来例の接合では、短い周期で分解洗浄が必要な配管系、あるいは、交換頻度の高い配管材料を使用している着脱頻度の高い配管系では、この着脱の作業時間が膨大となる。
【0003】
そこで、特許文献1、特許文献2、特許文献3により、図14に示される配管11a,11aのフランジ20,20同士を巻きつける図15に示されるチェーン状の複数のクランパ41を有するクランパ部材30が提案されている。
図15のクランパ部材30においては、複数のクランパ41は、それぞれ連結板45によってチェーン状に連結され、クランパ41と連結板45の連結部は固定ピン46により回転可能に固定されている。このため、チェーン状に連結された複数のクランパ41は、自由曲線を描くように変形可能となる。チェーン状のクランパ41の両端には、終端駒42、43が取付けられ、一方の終端駒43を貫通した締め付けネジ44を、もう一方の終端駒42のネジ部にネジ込むことによって、双方が引き寄せられ、円形状態となったクランパ41の内径が小さくなる。
【0004】
一方、図14に示される連結される側の配管11aは、その端部に全円周に沿ってフランジ20が形成され、フランジ20の外径がチェーン状のクランパ41の内径より、若干大きい寸法となっている。ここで、図7に示されるように左右から配管11a,11aのフランジ20,20同士を合わせて、クランパ部材30のクランパ41を外側からかぶせて押し付ける。クランパ41はテーパの付いた溝41aを有し、クランパ41が押し付けられるのに従い、図8に示されるようにテーパの付いた溝41aの作用によりフランジ20,20同士は次第に密着する。
なお、図7、図8に示されるようにフランジ20,20の間にシール材51を挿入して押しつぶし、接合面の密閉性を向上させる場合もある。
【特許文献1】実公平4−5807号公報
【特許文献2】特開平8−14391号公報
【特許文献3】特開2001−4081号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、上述の図14の従来の配管11aは、図7に示されるように配管11aを着脱する場合、フランジ20を抜き取るために、クランパ41の内径が、少なくともフランジ20の外径より大きい位置まで退避することが必要である。
すなわち、図15に示されるようにクランパ41の締め付けネジ44が抜ける位置まで緩めて、フランジ20に巻き付いていたクランパ41を開放しないと、配管11aを抜き取ることができない状態となっている。このため、着脱作業時間が長く、作業に必要な空間も大きくなる。また、締め付けネジ44を締め付ける際にも、締め付けストロークのほぼ全領域を締め付ける作業が必要となる。
【0006】
さらには、各々のクランパ41は締め付けネジ44の締め付け距離に応じて、図8に示されるようにクランパ41の溝41aと、フランジ20,20が互いに摩擦しながら、長い距離を移動する。このため、配管11a,11aの半径方向だけでなく、円周方向にも抵抗を受けながら、クランパ41と、フランジ20,20が互いにずれるため、締め付けネジ44を締め付けるための抵抗も非常に大きくなる。クランパ41の溝41aは、半径方向に掛かる力によってフランジ20,20のテーパ面を押し付けて配管11a,11a同士を密着させている。このため、円周方向の摩擦が大きすぎる場合には、チェーン状のクランパ41がフランジ20,20の形状により円形状になる前に、締め付けネジ44が動かなくなる場合もある。
このため、図14の従来の配管11aは、クランパ41と配管11aとの着脱容易性が悪く、作業時間が長く、また、大きな作業スペースを必要とした。
本発明は、クランパ部材の着脱が容易な配管を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を達成するための本発明の配管は、第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じる前記クランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、例えば、クランパ部材の着脱が容易な配管を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
図1から図9を参照して、本発明の実施例1の配管を説明する。
クランパ部材30は、第1の配管11の端部に設けられた第1のフランジ21と第2の配管12の端部に設けられた第2のフランジ22とを押し付けて固定する部材である。
クランパ部材30は、複数のクランパ41が連結されてなり、かつ第1のフランジ21および第2のフランジ22に沿って環状にした状態で、その両端がネジ44により締結されてクランプ力を生じる部材である。クランパ部材30により固定される図2(a)に示されるフランジ部31(フランジ21,22)を有し、フランジ部31は、その外周に沿って複数の凹部21a、22aを有する。
【0010】
第1のフランジ21が複数の凹部21aを有し、第2のフランジ22が複数の凹部22aを有するが、第1のフランジ21と第2のフランジ22の内、少なくとも一方が、複数の凹部21a,22aを有すればよい。複数の凹部21a、22aの配置される位置は、クランパ部材30において複数のクランパ41の配置される位置と対応している。両方の第1のフランジ21および第2のフランジ22が複数の凹部21a、22aを有する場合には、凹部21a、22aが互いに重ね合うように第1のフランジ21および第2のフランジ22を接合する必要がある。このため、第1のフランジ21および第2のフランジ22の接合面に、図示されない位相合わせ用の位置決め手段を設けることが好適である。
【0011】
図15に示されるようにクランパ部材30は、複数のクランパ41を連結手段である連結板45によってチェーン環状に連結し、チェーン環の長さをネジ部品である締め付けネジ44によって締めこむことによってクランパ力を生じる。クランパ部材30のクランパ41は、円周方向に一定のピッチにて配置され、当然のことながら、クランパ41が図14の従来の配管11aのフランジ20と接していない部分では、押え力は発生しない。そこで、図1に示される配管11,12では、フランジ21,22は一定ピッチに配置される凹部21a,22aを有する。図3に示されるように凹部21aを有するフランジ21は、一定ピッチにて配置されるクランパ41の間を埋め、かつ、若干の隙間を有するように設けられる。
【0012】
ここで、図3に示される状態でクランパ41をフランジ21の凹部21aに挿入し、配管11あるいはクランパ41を有するクランパ部材30の何れか一方を回転させて、図4に示されるようにクランパ41とフランジ21が重なるように位置まで移動する。
このため、クランパ41の締め付けネジ44の締め付けによって、図2(a)に示される状態から図2(b)に示されるように2本の配管11,12を連結する。しかも、接合する配管11と配管12とを合わせる時、逆に、配管11と配管12の接合面を分離する時に、図15に示されるようにクランパ41の環を分離状態にまで開かなくともよい。すなわち、図9に示されるようにクランパ41とフランジ21,22との間に微小の隙間さえあれば、言い換えると、クランパ41とフランジ21、22の間に回転による相対移動が可能な隙間さえあれば、締め付けネジ44を締め付ける距離が短い。
なお、クランパ41による締め付け力は、円周上で均等に同一ピッチに配置されていることが好適であるため、フランジ21,22に形成された凹部21a,22aの配置される均等なピッチは、クランパ41の配置される均等なピッチと等しい。
【0013】
図1、図3に示されるように、クランパ部材30のクランパ41が第1のフランジ21の凹部21aに入り込む形状となっている。しかし、クランパ部材30の締め付けネジ44を完全に開放した状態でなくても、クランパ41が第1のフランジ21の凹部21aが入り込むことは可能である。図1、図3、図6に示されるように連続的に配置されたクランパ41と、同様に連続的に配置されたフランジ21の凹部21aが、等しいなピッチで配置されている。このため、フランジ21の凹部21aを、一度、クランパ41のピッチに合わせて配置すれば、フランジ21の1ピッチ分回転方向にずれても、クランパ41を凹部21aに挿入することが可能である。
【0014】
また、その位置から、フランジ21を半ピッチ分回転すれば、クランパ41とフランジ21が重なって配置され、クランパ部材30によって、フランジ21を締め付けることが可能となる。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つがフランジ部31に結合している。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管12の第2のフランジ22に対して、図5に示されるように固定ピン46によって連結され、配管11側は、クランパ部材30と分離されている。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管11の第1のフランジ21に対して連結される場合もある。このため、配管11と配管12とは着脱可能であるが、クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管12に固定されていることにより、フランジ22の周期と、クランパ41の周期がずれることがなくなる。この結果、クランパ部材30の取付けに際して配管11と配管12の周方向での位置決めが不要となる。
【0015】
一般的に真空配管に使用される配管11、12は配管自体からのガスの発生やガスの浸透を防ぐために、管の内面を鏡面仕上げしたステンレス管が用いられるので、配管11,12の端部に形成されたフランジ21,22も、ステンレス材から成る。一方、クランパ部材30を構成しているクランパ41はフランジ21,22との間で、着脱の際に繰り返し摩擦を受けることとなるので、クランパ41とフランジ21,22とは、互いに異なる材質から成り、摩擦係数は低いことが好適である。クランパ41の材質に鋼を用いているが、フッ素樹脂を含んだコーティングを施して、摩擦の低減を図っている。
【0016】
配管11,12およびフランジ部31(フランジ21,22)の材料としては真鍮材やアルミ材などが用いられ、特に、アルミ材を用いた配管11,12の材料では、同一部材をクランパ41に用いた場合、摩擦が増大して、いわゆるカジリが発生する。このため、互いに異なる材質から成り、あるいは、互いに異なる表面処理が施され、異種の材料の組み合わせや、表面処理が施されることにより摩擦が低減される。フランジ21、22は、クランパ41の表面処理とは異なる表面処理が施される。フランジ21、22は、その表面にフッ素樹脂を含み、フッ素樹脂が添加された表面処理(フッ素樹脂を含んだコーティング)が施されて摩擦を低減する場合もあり、クランパ部材30を締め付ける作業を容易にする。
【0017】
次に、図7、図8に示されるように、真空装置、あるいは、密閉構造が必要な装置において、機器の接続や、導入ガスの流入のために使用する配管11と配管1部品2を接続する。配管11,12を接合する場合、配管11,12内の密閉度を保つため、バイトンゴム等の弾性部材から成るシール材51を、配管11,12のフランジ21,22の合わせ面に挿入する。さらに、配管11,12のフランジ21,22の合わせ面が密着する方向に加圧して、接合による機密性の低下を防止する。
【0018】
図7、図8において円形の断面とT字型の断面を合わせた環状のシール材51を使用した実施例が示される。しかし、シール材51の形状は、図9に示されるような断面が円形の環状リング52を配管11,12の合わせ面の溝内に挿入する場合もある。さらには、高真空を必要とする真空装置では、図示されない金属製の円環スペーサを配管の合わせ面に配置する場合もある。
【0019】
配管11,12では、テーパ状の断面を有するフランジ21,22の合わせ面に両側から圧力が加わるように押圧する複数のクランパ41を有する。図7に示されるようにクランパ41は、配管11,12のテーパ状の断面を有するフランジ21,22同士を合わせた状態で、テーパ状の溝41aを有するクランパ41を配管11,12の外周方向から中心方向へ押し付ける。さらに、図8に示されるように溝41aによりフランジ21,22同士を密着する方向へ押圧する。
【0020】
ここで、図7、図8に示される配管11,12の断面形状は、円周方向において均一な断面形状でないと、フランジ21,22同士の接合面が傾くため、クランパ41は円周上に均一に配置され、かつ、同期して配管11,12の中心方向へ移動する必要がある。このため、襟巻き状に巻きつけた複数のクランパ41を、締め付けネジ44で絞り込むことによって平均的に配管11,12の中心方向への力を発生させる。
以上説明したように、本実施例1の配管によれば、クランパと配管との着脱容易性を向上させ、作業時間を短縮し、作業スペースを小さくする。
【0021】
次に、図10を参照して、本発明の実施例2の配管を説明する。
第1の配管11または第2の配管12の軸方向に伸縮可能な部分である移動管23およびOリング53を有する。真空な領域で使用される機器内の配管では、両側に固定された配管11,13が存在し、中間に位置する配管12の着脱が必要な場合がある。配管11、12のフランジ21、22の形状は、図1の実施例1の配管と同じ構成であるが、間にはさみこまれた配管12を抜き取るためには、配管12の全長が接合時よりも短くなる必要がある。
【0022】
このため、図10に示されるように固定管25に対してスライドして移動する移動管23の内部にOリング53を挟み込み、移動管23を固定管25の外円筒面に沿って移動させ伸縮可能にする。この実施例2の配管は、比較的に低真空な領域で使用される機器に適用可能である。
さらに、高真空な領域で使用される機器に使用される場合には、図11に示される本実施例2の変形例のように、配管11と配管13とに挟まれた位置にある配管12に軸方向に伸縮可能な部分である金属製の蛇腹24が全周に亘って設けられる。このため、配管12の着脱の際にクランパ41を除去すると、配管12を抜き差しが可能な構造となっている。
【0023】
次に、図12を参照して、本発明の実施例3の配管を説明する。
鼓状で回転可能なクランパ51、53を連結板52で連結した形態であるが、このようなクランパの形態であったとしても、図1の実施例1の配管と効果を得ることが可能であって、クランパ41の形態を限定するものではない。
【0024】
次に、図13、図14を参照して、本発明の実施例4の配管装置を説明する。
2つの配管11,12のうち少なくとも一方は、上記配管である。図1の実施例1の配管では、配管11および配管12の双方のフランジ21,22が、同様に凹部21a,22aを有する。しかし、どちらか一方のフランジ21,22が、凹部21a,22aを有すれば、着脱作業を行うことが可能であって、必ずしも、フランジ21,22の双方に凹部21a,22aが必要ではない。すなわち、図13に示されるようにクランパ部材30が固定ネジ46によって図14に示されるフランジ20に固定されているときには、フランジ21の形状が図1に示されるような凹部21aを有しない。すなわち、図14に示されるフランジ20のように円形のままの形状であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明の実施例1の配管の分解構成図である。
【図2】図2(a)は、本発明の実施例1の配管手順の説明図である。図2(b)は、本発明の実施例1の配管が連結された状態の説明図である。
【図3】本発明の実施例1の配管のフランジとクランパ部材の構成図である。
【図4】本発明の実施例1の配管のフランジの状態説明図である。
【図5】本発明の実施例1の配管のフランジとクランパ部材の構成図である。
【図6】本発明の実施例1の配管の部分構成図である。
【図7】本発明の実施例1および従来例の配管の部分断面図である。
【図8】本発明の実施例1および従来例の配管の部分断面図である。
【図9】本発明の実施例1の配管の部分断面図である。
【図10】本発明の実施例2の配管の構成図である。
【図11】本発明の実施例2の変形例の配管の構成図である。
【図12】本発明の実施例3の配管の構成図である。
【図13】本発明の実施例4の配管装置の構成図である。
【図14】本発明の実施例4および従来例の配管の構成図である。
【図15】本発明の実施例および従来例を構成するクランパ部材の構成図である。
【符号の説明】
【0026】
11,12 ・・・配管
20,21,22・・・フランジ
23 ・・・移動管 24 ・・・蛇腹
25 ・・・固定管 30 ・・・クランパ部材
41 ・・・クランパ 42、43 ・・・終端駒
44 ・・・締め付けネジ 45 ・・・連結板
46 ・・・固定ピン
51,52、53 ・・・シール材
【技術分野】
【0001】
本発明は、第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、図14に示される配管11aにおいては、配管11a,11aのフランジ20,20同士をフランジ20,20に開けられた図示されない孔部にボルトを通してネジ締結して接合する。あるいは、フランジ20,20同士を溶接して取り外し不能に接合していた。しかし、この従来例の接合では、短い周期で分解洗浄が必要な配管系、あるいは、交換頻度の高い配管材料を使用している着脱頻度の高い配管系では、この着脱の作業時間が膨大となる。
【0003】
そこで、特許文献1、特許文献2、特許文献3により、図14に示される配管11a,11aのフランジ20,20同士を巻きつける図15に示されるチェーン状の複数のクランパ41を有するクランパ部材30が提案されている。
図15のクランパ部材30においては、複数のクランパ41は、それぞれ連結板45によってチェーン状に連結され、クランパ41と連結板45の連結部は固定ピン46により回転可能に固定されている。このため、チェーン状に連結された複数のクランパ41は、自由曲線を描くように変形可能となる。チェーン状のクランパ41の両端には、終端駒42、43が取付けられ、一方の終端駒43を貫通した締め付けネジ44を、もう一方の終端駒42のネジ部にネジ込むことによって、双方が引き寄せられ、円形状態となったクランパ41の内径が小さくなる。
【0004】
一方、図14に示される連結される側の配管11aは、その端部に全円周に沿ってフランジ20が形成され、フランジ20の外径がチェーン状のクランパ41の内径より、若干大きい寸法となっている。ここで、図7に示されるように左右から配管11a,11aのフランジ20,20同士を合わせて、クランパ部材30のクランパ41を外側からかぶせて押し付ける。クランパ41はテーパの付いた溝41aを有し、クランパ41が押し付けられるのに従い、図8に示されるようにテーパの付いた溝41aの作用によりフランジ20,20同士は次第に密着する。
なお、図7、図8に示されるようにフランジ20,20の間にシール材51を挿入して押しつぶし、接合面の密閉性を向上させる場合もある。
【特許文献1】実公平4−5807号公報
【特許文献2】特開平8−14391号公報
【特許文献3】特開2001−4081号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、上述の図14の従来の配管11aは、図7に示されるように配管11aを着脱する場合、フランジ20を抜き取るために、クランパ41の内径が、少なくともフランジ20の外径より大きい位置まで退避することが必要である。
すなわち、図15に示されるようにクランパ41の締め付けネジ44が抜ける位置まで緩めて、フランジ20に巻き付いていたクランパ41を開放しないと、配管11aを抜き取ることができない状態となっている。このため、着脱作業時間が長く、作業に必要な空間も大きくなる。また、締め付けネジ44を締め付ける際にも、締め付けストロークのほぼ全領域を締め付ける作業が必要となる。
【0006】
さらには、各々のクランパ41は締め付けネジ44の締め付け距離に応じて、図8に示されるようにクランパ41の溝41aと、フランジ20,20が互いに摩擦しながら、長い距離を移動する。このため、配管11a,11aの半径方向だけでなく、円周方向にも抵抗を受けながら、クランパ41と、フランジ20,20が互いにずれるため、締め付けネジ44を締め付けるための抵抗も非常に大きくなる。クランパ41の溝41aは、半径方向に掛かる力によってフランジ20,20のテーパ面を押し付けて配管11a,11a同士を密着させている。このため、円周方向の摩擦が大きすぎる場合には、チェーン状のクランパ41がフランジ20,20の形状により円形状になる前に、締め付けネジ44が動かなくなる場合もある。
このため、図14の従来の配管11aは、クランパ41と配管11aとの着脱容易性が悪く、作業時間が長く、また、大きな作業スペースを必要とした。
本発明は、クランパ部材の着脱が容易な配管を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を達成するための本発明の配管は、第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じる前記クランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、例えば、クランパ部材の着脱が容易な配管を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
図1から図9を参照して、本発明の実施例1の配管を説明する。
クランパ部材30は、第1の配管11の端部に設けられた第1のフランジ21と第2の配管12の端部に設けられた第2のフランジ22とを押し付けて固定する部材である。
クランパ部材30は、複数のクランパ41が連結されてなり、かつ第1のフランジ21および第2のフランジ22に沿って環状にした状態で、その両端がネジ44により締結されてクランプ力を生じる部材である。クランパ部材30により固定される図2(a)に示されるフランジ部31(フランジ21,22)を有し、フランジ部31は、その外周に沿って複数の凹部21a、22aを有する。
【0010】
第1のフランジ21が複数の凹部21aを有し、第2のフランジ22が複数の凹部22aを有するが、第1のフランジ21と第2のフランジ22の内、少なくとも一方が、複数の凹部21a,22aを有すればよい。複数の凹部21a、22aの配置される位置は、クランパ部材30において複数のクランパ41の配置される位置と対応している。両方の第1のフランジ21および第2のフランジ22が複数の凹部21a、22aを有する場合には、凹部21a、22aが互いに重ね合うように第1のフランジ21および第2のフランジ22を接合する必要がある。このため、第1のフランジ21および第2のフランジ22の接合面に、図示されない位相合わせ用の位置決め手段を設けることが好適である。
【0011】
図15に示されるようにクランパ部材30は、複数のクランパ41を連結手段である連結板45によってチェーン環状に連結し、チェーン環の長さをネジ部品である締め付けネジ44によって締めこむことによってクランパ力を生じる。クランパ部材30のクランパ41は、円周方向に一定のピッチにて配置され、当然のことながら、クランパ41が図14の従来の配管11aのフランジ20と接していない部分では、押え力は発生しない。そこで、図1に示される配管11,12では、フランジ21,22は一定ピッチに配置される凹部21a,22aを有する。図3に示されるように凹部21aを有するフランジ21は、一定ピッチにて配置されるクランパ41の間を埋め、かつ、若干の隙間を有するように設けられる。
【0012】
ここで、図3に示される状態でクランパ41をフランジ21の凹部21aに挿入し、配管11あるいはクランパ41を有するクランパ部材30の何れか一方を回転させて、図4に示されるようにクランパ41とフランジ21が重なるように位置まで移動する。
このため、クランパ41の締め付けネジ44の締め付けによって、図2(a)に示される状態から図2(b)に示されるように2本の配管11,12を連結する。しかも、接合する配管11と配管12とを合わせる時、逆に、配管11と配管12の接合面を分離する時に、図15に示されるようにクランパ41の環を分離状態にまで開かなくともよい。すなわち、図9に示されるようにクランパ41とフランジ21,22との間に微小の隙間さえあれば、言い換えると、クランパ41とフランジ21、22の間に回転による相対移動が可能な隙間さえあれば、締め付けネジ44を締め付ける距離が短い。
なお、クランパ41による締め付け力は、円周上で均等に同一ピッチに配置されていることが好適であるため、フランジ21,22に形成された凹部21a,22aの配置される均等なピッチは、クランパ41の配置される均等なピッチと等しい。
【0013】
図1、図3に示されるように、クランパ部材30のクランパ41が第1のフランジ21の凹部21aに入り込む形状となっている。しかし、クランパ部材30の締め付けネジ44を完全に開放した状態でなくても、クランパ41が第1のフランジ21の凹部21aが入り込むことは可能である。図1、図3、図6に示されるように連続的に配置されたクランパ41と、同様に連続的に配置されたフランジ21の凹部21aが、等しいなピッチで配置されている。このため、フランジ21の凹部21aを、一度、クランパ41のピッチに合わせて配置すれば、フランジ21の1ピッチ分回転方向にずれても、クランパ41を凹部21aに挿入することが可能である。
【0014】
また、その位置から、フランジ21を半ピッチ分回転すれば、クランパ41とフランジ21が重なって配置され、クランパ部材30によって、フランジ21を締め付けることが可能となる。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つがフランジ部31に結合している。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管12の第2のフランジ22に対して、図5に示されるように固定ピン46によって連結され、配管11側は、クランパ部材30と分離されている。クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管11の第1のフランジ21に対して連結される場合もある。このため、配管11と配管12とは着脱可能であるが、クランパ部材30の複数のクランパ41の少なくとも1つが、配管12に固定されていることにより、フランジ22の周期と、クランパ41の周期がずれることがなくなる。この結果、クランパ部材30の取付けに際して配管11と配管12の周方向での位置決めが不要となる。
【0015】
一般的に真空配管に使用される配管11、12は配管自体からのガスの発生やガスの浸透を防ぐために、管の内面を鏡面仕上げしたステンレス管が用いられるので、配管11,12の端部に形成されたフランジ21,22も、ステンレス材から成る。一方、クランパ部材30を構成しているクランパ41はフランジ21,22との間で、着脱の際に繰り返し摩擦を受けることとなるので、クランパ41とフランジ21,22とは、互いに異なる材質から成り、摩擦係数は低いことが好適である。クランパ41の材質に鋼を用いているが、フッ素樹脂を含んだコーティングを施して、摩擦の低減を図っている。
【0016】
配管11,12およびフランジ部31(フランジ21,22)の材料としては真鍮材やアルミ材などが用いられ、特に、アルミ材を用いた配管11,12の材料では、同一部材をクランパ41に用いた場合、摩擦が増大して、いわゆるカジリが発生する。このため、互いに異なる材質から成り、あるいは、互いに異なる表面処理が施され、異種の材料の組み合わせや、表面処理が施されることにより摩擦が低減される。フランジ21、22は、クランパ41の表面処理とは異なる表面処理が施される。フランジ21、22は、その表面にフッ素樹脂を含み、フッ素樹脂が添加された表面処理(フッ素樹脂を含んだコーティング)が施されて摩擦を低減する場合もあり、クランパ部材30を締め付ける作業を容易にする。
【0017】
次に、図7、図8に示されるように、真空装置、あるいは、密閉構造が必要な装置において、機器の接続や、導入ガスの流入のために使用する配管11と配管1部品2を接続する。配管11,12を接合する場合、配管11,12内の密閉度を保つため、バイトンゴム等の弾性部材から成るシール材51を、配管11,12のフランジ21,22の合わせ面に挿入する。さらに、配管11,12のフランジ21,22の合わせ面が密着する方向に加圧して、接合による機密性の低下を防止する。
【0018】
図7、図8において円形の断面とT字型の断面を合わせた環状のシール材51を使用した実施例が示される。しかし、シール材51の形状は、図9に示されるような断面が円形の環状リング52を配管11,12の合わせ面の溝内に挿入する場合もある。さらには、高真空を必要とする真空装置では、図示されない金属製の円環スペーサを配管の合わせ面に配置する場合もある。
【0019】
配管11,12では、テーパ状の断面を有するフランジ21,22の合わせ面に両側から圧力が加わるように押圧する複数のクランパ41を有する。図7に示されるようにクランパ41は、配管11,12のテーパ状の断面を有するフランジ21,22同士を合わせた状態で、テーパ状の溝41aを有するクランパ41を配管11,12の外周方向から中心方向へ押し付ける。さらに、図8に示されるように溝41aによりフランジ21,22同士を密着する方向へ押圧する。
【0020】
ここで、図7、図8に示される配管11,12の断面形状は、円周方向において均一な断面形状でないと、フランジ21,22同士の接合面が傾くため、クランパ41は円周上に均一に配置され、かつ、同期して配管11,12の中心方向へ移動する必要がある。このため、襟巻き状に巻きつけた複数のクランパ41を、締め付けネジ44で絞り込むことによって平均的に配管11,12の中心方向への力を発生させる。
以上説明したように、本実施例1の配管によれば、クランパと配管との着脱容易性を向上させ、作業時間を短縮し、作業スペースを小さくする。
【0021】
次に、図10を参照して、本発明の実施例2の配管を説明する。
第1の配管11または第2の配管12の軸方向に伸縮可能な部分である移動管23およびOリング53を有する。真空な領域で使用される機器内の配管では、両側に固定された配管11,13が存在し、中間に位置する配管12の着脱が必要な場合がある。配管11、12のフランジ21、22の形状は、図1の実施例1の配管と同じ構成であるが、間にはさみこまれた配管12を抜き取るためには、配管12の全長が接合時よりも短くなる必要がある。
【0022】
このため、図10に示されるように固定管25に対してスライドして移動する移動管23の内部にOリング53を挟み込み、移動管23を固定管25の外円筒面に沿って移動させ伸縮可能にする。この実施例2の配管は、比較的に低真空な領域で使用される機器に適用可能である。
さらに、高真空な領域で使用される機器に使用される場合には、図11に示される本実施例2の変形例のように、配管11と配管13とに挟まれた位置にある配管12に軸方向に伸縮可能な部分である金属製の蛇腹24が全周に亘って設けられる。このため、配管12の着脱の際にクランパ41を除去すると、配管12を抜き差しが可能な構造となっている。
【0023】
次に、図12を参照して、本発明の実施例3の配管を説明する。
鼓状で回転可能なクランパ51、53を連結板52で連結した形態であるが、このようなクランパの形態であったとしても、図1の実施例1の配管と効果を得ることが可能であって、クランパ41の形態を限定するものではない。
【0024】
次に、図13、図14を参照して、本発明の実施例4の配管装置を説明する。
2つの配管11,12のうち少なくとも一方は、上記配管である。図1の実施例1の配管では、配管11および配管12の双方のフランジ21,22が、同様に凹部21a,22aを有する。しかし、どちらか一方のフランジ21,22が、凹部21a,22aを有すれば、着脱作業を行うことが可能であって、必ずしも、フランジ21,22の双方に凹部21a,22aが必要ではない。すなわち、図13に示されるようにクランパ部材30が固定ネジ46によって図14に示されるフランジ20に固定されているときには、フランジ21の形状が図1に示されるような凹部21aを有しない。すなわち、図14に示されるフランジ20のように円形のままの形状であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明の実施例1の配管の分解構成図である。
【図2】図2(a)は、本発明の実施例1の配管手順の説明図である。図2(b)は、本発明の実施例1の配管が連結された状態の説明図である。
【図3】本発明の実施例1の配管のフランジとクランパ部材の構成図である。
【図4】本発明の実施例1の配管のフランジの状態説明図である。
【図5】本発明の実施例1の配管のフランジとクランパ部材の構成図である。
【図6】本発明の実施例1の配管の部分構成図である。
【図7】本発明の実施例1および従来例の配管の部分断面図である。
【図8】本発明の実施例1および従来例の配管の部分断面図である。
【図9】本発明の実施例1の配管の部分断面図である。
【図10】本発明の実施例2の配管の構成図である。
【図11】本発明の実施例2の変形例の配管の構成図である。
【図12】本発明の実施例3の配管の構成図である。
【図13】本発明の実施例4の配管装置の構成図である。
【図14】本発明の実施例4および従来例の配管の構成図である。
【図15】本発明の実施例および従来例を構成するクランパ部材の構成図である。
【符号の説明】
【0026】
11,12 ・・・配管
20,21,22・・・フランジ
23 ・・・移動管 24 ・・・蛇腹
25 ・・・固定管 30 ・・・クランパ部材
41 ・・・クランパ 42、43 ・・・終端駒
44 ・・・締め付けネジ 45 ・・・連結板
46 ・・・固定ピン
51,52、53 ・・・シール材
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じる前記クランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、
前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有する、
ことを特徴とする配管。
【請求項2】
前記複数の凹部の配置される位置は、前記クランパ部材において前記複数のクランパの配置される位置と対応していることを特徴とする請求項1に記載の配管。
【請求項3】
前記クランパ部材の前記複数のクランパの少なくとも1つが前記フランジ部に結合している、ことを特徴とする請求項1または2に記載の配管。
【請求項4】
前記フランジ部の材質は、前記クランパの材質とは異なることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項5】
前記フランジは、前記クランパの表面処理とは異なる表面処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項6】
前記フランジは、その表面にフッ素樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項7】
軸方向に伸縮可能な部分を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の配管。
【請求項8】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じるクランパ部材と、
前記クランパ部材により固定されたフランジ部を有する2つの配管と、
を有し、
前記2つの配管のうち少なくとも一方は、請求項1、2および4乃至7のいずれかに記載の配管である、
ことを特徴とする配管装置。
【請求項1】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じる前記クランパ部材により固定されるフランジ部を有する配管であって、
前記フランジ部は、その外周に沿って複数の凹部を有する、
ことを特徴とする配管。
【請求項2】
前記複数の凹部の配置される位置は、前記クランパ部材において前記複数のクランパの配置される位置と対応していることを特徴とする請求項1に記載の配管。
【請求項3】
前記クランパ部材の前記複数のクランパの少なくとも1つが前記フランジ部に結合している、ことを特徴とする請求項1または2に記載の配管。
【請求項4】
前記フランジ部の材質は、前記クランパの材質とは異なることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項5】
前記フランジは、前記クランパの表面処理とは異なる表面処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項6】
前記フランジは、その表面にフッ素樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配管。
【請求項7】
軸方向に伸縮可能な部分を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の配管。
【請求項8】
第1の配管の端部に設けられた第1のフランジと第2の配管の端部に設けられた第2のフランジとを押し付けて固定するクランパ部材であって、複数のクランパが連結されてなり、かつ前記第1のフランジおよび前記第2のフランジに沿って環状にした状態で、その両端がネジにより締結されてクランプ力を生じるクランパ部材と、
前記クランパ部材により固定されたフランジ部を有する2つの配管と、
を有し、
前記2つの配管のうち少なくとも一方は、請求項1、2および4乃至7のいずれかに記載の配管である、
ことを特徴とする配管装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【公開番号】特開2010−116977(P2010−116977A)
【公開日】平成22年5月27日(2010.5.27)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−290426(P2008−290426)
【出願日】平成20年11月12日(2008.11.12)
【出願人】(000001007)キヤノン株式会社 (59,756)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年5月27日(2010.5.27)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年11月12日(2008.11.12)
【出願人】(000001007)キヤノン株式会社 (59,756)
【Fターム(参考)】
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