【課題】敷地面積が少なくて済み、且つ設置床にポンプの吐出配管や吐出弁を互いに干渉することなく、配置できるポンプ場を提供すること。
【解決手段】ポンプ吸込水槽にポンプを設置した構成のポンプ場において、ポンプ吸込水槽１に連通する水路にセミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２を複数個直列に設け、該各セミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２に立軸ポンプ３設置した。これにより、ポンプ付近に自由表面を持たない構造となるので、ポンプ上流側の手前に有害な空気吸込渦の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 低温活性ダイオキシン類分解性の汚染媒体処理剤を用いて、焼却炉の燃焼排ガスに含まれるダイオキシン類を効率的に分解処理すると共に、飛灰中の重金属類の溶出を防止する装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る燃焼排ガスの処理装置は、焼却炉から排出される飛灰及び焼却灰を含む排ガスを所定温度に冷却するガス冷却装置；前記ガス冷却装置からの排出ガスを処理してその中に含まれる飛灰及び焼却灰を分離するための集塵装置；前記焼却炉からガス冷却装置への排出ガス及び／又はガス冷却装置からの排出ガスに汚染媒体処理剤を供給するための汚染媒体処理剤供給装置；前記集塵装置から排出される飛灰及び焼却灰に水及び／又は重金属溶出防止剤を加えて混練りするための混練り装置；を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線幅０．２μｍ以下のパターンの評価を、高いスループット、かつ、高い信頼性を確保しておこなう。
【解決手段】電子銃２から放出された電子線を矩形に成形し、試料Ｓ上の視野を走査し、その走査領域から放出された電子を写像投影光学系で拡大し、その拡大像をシンチレータ５１に結像させ、リレー光学系でＣＣＤに導き、二次元像を得る構成の電子線装置において、前記ＣＣＤには前記二次元像を映像できる面を少なくとも二つ設け、一方の面が拡大像を受像中に他の面から画像データを取り出すことを特徴とする電子線装置。 （もっと読む）

三重効用吸収冷凍機において補助再生器及び補助吸収器を付加して設ける。吸収器からの希溶液を補助再生器にて濃縮し、ここで発生した冷媒蒸気を補助吸収器にて吸収させる。あるいは、吸収器からの希溶液を補助吸収器に導き、補助吸収器から低温再生器、補助再生器にて加熱濃縮させ、補助再生器にて発生した冷媒蒸気を補助吸収器にて吸収させる。
補助再生器及び補助吸収器を設けることにより、二重効用と三重効用の中間的なサイクルを可能とし、高温再生器の圧力、溶液温度を過度に上昇することを防止できる。
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【課題】 簡単な構成で安価であり、且つ効率的に除振制御を行うことができる除振装置を提供すること。
【解決手段】
対象物２を載置する除振テーブル３と、除振テーブル３を鉛直方向に浮上支持し位置決めする空気ばね１０と、除振テーブル３の鉛直方向及び水平方向の振動を制御すると共に位置決めをする電磁アクチュエータ２０と、除振テーブルの振動を検出する加速度センサＡＺ１〜ＡＺ３と、除振テーブル３の位置を検出する変位センサＺ１〜Ｚ４とを備えた除振装置１において、空気ばね１０を制御する第１の制御回路４０と電磁アクチュエータ２０を制御する第２の制御回路５０とをそれぞれ別個に設け、制御回路４０で除振テーブルの位置を制御し、制御回路５０で除振テーブル３の振動を制御するように構成した。 （もっと読む）

【課題】濾過表面だけでなく、濾過面内部の目詰まりまでも効果的に洗浄できる、固液分離装置の濾過面の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】セラミック、金属等の無機質の材質からなる濾過体を有する固液分離装置において、前記濾過体の濾過面にオゾンを散気、接触させることにより、オゾンガスを用いてその濾過面を洗浄することを特徴とする固液分離装置の濾過面洗浄方法、又は洗浄装置であって、オゾンガスの強力な酸化力によりきょう雑物を酸化分解して、濾過面の目詰まりを有効に防止する。オゾンを濾過体の外側下部又は内側から散気、添加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、廃熱回収装置内の１２００℃〜６００℃の範囲で排ガス中のダストを除去し、再合成温度領域でのダストをなくすことでダイオキシン類の再合成を無くすると共に、熱回収効率、コンパクト化を図ることができる排ガス処理装置、廃棄物処理装置、及び排ガス処理方法を提供すること。
【解決手段】燃焼炉又はガス化炉又は熱分解炉から排出されるガスから熱を回収する廃熱回収装置を具備する排ガス処理装置において、廃熱回収装置内にガス中のダストを集塵除去する集塵部を設け、該集塵部のケーシングを廃熱回収部として構築した。 （もっと読む）

【課題】燃料電池発電ユニットの発電性能を常に良好な状態に維持でき、且つ維持するための管理運転にメンテナンス要員等の費用を大幅に削減でき、且つメンテナンス要員の都合、天候等に左右されることがなく、一定期間間隔を持って燃料電池発電ユニットの管理運転ができる非常用燃料電池発電装置の管理方法を提供すること
【解決手段】燃料電池１１を有する燃料電池発電ユニットと、水素ガス容器を備え、商用電源２０の停電発生時に、該停電を検出し自動で燃料電池発電ユニットを起動し、発電した電力を対象とする重要負荷２２に供給する非常用燃料電池発電装置の管理方法において、燃料電池発電ユニットの発電履歴を記憶する発電履歴記憶手段を設け、所定の時間前記燃料電池発電ユニットの運転が行なわれた場合、予め設定された一定時間の燃料電池発電ユニットを運転する管理運転を実行し、燃料電池発電ユニットの発電性能を維持する。 （もっと読む）

【課題】 最小線幅０．２ミクロン以下のパターンを有する試料の欠陥検査等の評価を、マルチビームを用いて高スループットで行なう。
【解決手段】 単一のカソードから放出された電子線をマルチ開口で分離し、マルチビームを作る。集束したマルチビームを用いて、評価すべき試料と同じＺ座標にあるマーカ上を走査する。マーカ上の走査点から放出された電子線をＥ×Ｂ分離器で一次電子線から分離し、単一の検出器で検出する。単一の検出器を用いた検出によって、ビーム分解能、ビーム間隔およびビーム強度のうちの少なくとも一つを評価する。次にＥ×Ｂ分離器の偏向方向を逆にし、試料上の走査点から放出された二次電子群を二次光学系へ導く。複数の検出器で二次電子群によるマルチビームの各ビームに対応する信号を検出し、試料面上のパターンの評価を行なう。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に配線用の微細凹部を形成した後の一連の配線形成処理を、ドライ処理とウェット処理の混合した処理を経ることなく連続的に安定して行えるようにする。
【解決手段】 表面に堆積した絶縁膜６２の内部に配線用の微細凹部６４を形成した基板Ｗを用意し、この基板Ｗの表面にウェット処理によりバリア層６８を形成し、このバリア層６８の表面にウェット処理によりシード層７０を形成し、このシード層形成後の基板の表面にウェット処理により配線層７２を形成する。 （もっと読む）