【課題】 マグネトロンの寿命を可能なるかぎり早い寿命到来時点で検出できるマグネトロンの寿命検出装置を提案すること。
【解決手段】 正常発振のマイクロ波電力を遮断し、異常発振のマイクロ波電力を通過させる導波管フイルタを有する構成の寿命検出装置２１を設け、この寿命検出装置２１をマイクロ波電力の導波管系回路１８に設け、マグネトロン１７が異常発振してマイクロ波電力を出力したとき、導波管系回路１８のスロットアンテナから前記の導波管フイルタに異常発振のマイクロ波電力を伝播させ、上記寿命検出装置２１の受信によって現れる同軸線用端子１６のマイクロ波電力に応動するアラームの動作から、マグネトロン１７の寿命到来を認識する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 結露によって液冷マグネトロンから流れ出る水を防水し、取付けが簡単となる導波管ランチャーの上面に液冷マグネトロンを取付けることができるようにした液冷マグネトロンの取付用防水装置を提供すること。
【解決手段】 導波管ランチャー２２のアンテナ用孔２３に上方から挿入するアンテナドーム１３の周囲にガスケット２６を内包する枠径の弾性部材３０を設け、液冷マグネトロン１０の結露によって流れる水が導波管ランチャー２２の上面に落ちても上記の弾性部材３０によって断水し、ガスケット２６を通って導波管ランチャー２２内に浸入する水を防止する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波乾燥によって生ずる被乾燥物の割れ、しわ、変形などを防止することができるマイクロ波乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 マイクロ波乾燥装置２０が備える乾燥室２４の内壁２５を沸点温度または沸点温度に近い温度まで昇温するヒーター２７と、前記乾燥室２４の室内に水蒸気を供給して室内温度を昇温する水蒸気供給機３２とを備えて被乾燥物（ハニカム製品１０）の外部から放出する放射熱と対流熱とを防ぎ、マイクロ波乾燥の間、被乾燥物の内部と外部とを同じ速度で昇温させる構成となっている。 （もっと読む）

【課題】被処理物の全体に対して可能なるかぎり一様な密度のプラズマを照射させることができるマイクロ波プラズマ装置を提供すること。
【解決手段】被処理物２３を内装する処理室２１と、処理室２１内を減圧する真空ポンプ２９、処理室２１内に水素ガスを供給する水素ガス供給機２８、処理室２１内にマイクロ波電力を供給してプラズマを発生させるマイクロ波発振器２６からなるマイクロ波プラズマ装置において、処理室２１の上下の位置に設けたマイクロ波窓３０、３１から、処理室２１内にマイクロ波電力を供給して水素プラズマ３６、３７を発生させ、これら水素プラズマの重合プラズマを被処理物２３に照射させる。 （もっと読む）

【課題】 低廉化に適するマイクロ波発振装置を提供すること。
【解決手段】 １．５ＫＷの２個のマグネトロンＡ、Ｂを設けると共に、電源トランス２３、インバ−タ２４、ダイオ−ド２５及びコンデンサ２６で形成した整流平滑回路からなる電源回路を設け、マグネトロンＡ、Ｂを電源回路によって交互に給電し、これらマグネトロンＡから出力するマイクロ波電力と、マグネトロンＢから出力するマイクロ波電力とを加算して３ＫＷのマイクロ波電力を出力するマイクロ波発振装置となっている。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロンと負荷室とを連結させるマイクロ波立体回路の構成を単純化し、マイクロ波電力を利用した加熱装置やプラズマ発生装置の生産コストを下げること。
【解決手段】 マグネトロン２１と負荷室としての減圧室２６とを連結するマイクロ波立体回路を導波管２２で形成すると共に、この導波管２２には、マイクロ波電力を減圧室２６に放射する２次アンテナ２５と負荷インピ−ダンスを調節する金属スタブ３１とを設け、前記マグネトロン２１を定格又は定格未満の動作条件で動作可能とした構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 液晶ディスプレイの透明電極などに利用できる程度に抵抗率を減少させたＺｎＯ薄膜を形成することができる薄膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 蒸発手段２７から成膜材であるＺｎ材を蒸発させ、蒸発したＺｎ材をマイクロ波酸素プラズマ２５で酸化し、ＺｎＯ化合物をガラス基板３０に堆積して薄膜形成し、さらに、薄膜形成したＺｎＯ薄膜をマイクロ波水素プラズマに晒して抵抗率を減少させる構成とし、導電性を与えたＺｎＯ薄膜を形成することができる薄膜形成装置となっている。 （もっと読む）

【課題】 可動部分のないポンプとし、振動や騒音を防止し、さらに、構造簡単にして小型軽量化を計ると共に、安価で長寿命とした液体流動冷却装置を提供すること。
【解決手段】 冷却液体としてイオン導電性液体を用い、さらに、前記イオン導電性液体の流動方向に対して直交する方向に磁界を加える磁界発生手段及び前記イオン導電性液体の流動方向と前記磁界方向に対して直交する方向に電流を加える電流発生手段からなる電磁ポンプ３２を備え、電磁ポンプ３２によってイオン導電性液体を流動させ発熱体３３を冷却する液体流動冷却装置となっている。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロンを取付けるナットの取外しと締結とを簡単にし、マグネトロンの交換作業の能率向上を計ることができる高周波結合器を提供すること。
【解決手段】 高周波結合器を構成するランチャ−導波管３１のフランジ部３１ａに、マグネトロン１０のねじ杆径よりやや大きい第１孔部３３ａと、マグネトロン１０を取付けるナット１４の直径よりやや大きい第２孔部３３ｂとを連通させた孔形状の取付け孔３３を設け、マグネトロン１０を取付け時は、ねじ杆先端部にナット１４を仮止めした状態で、前記第２孔部３３ｂに挿入した後、前記第１孔部３３ａに移しナット１４を締結し、マグネトロン１０の取外し時は、ナット１４を弛めて第２孔部３３ｂに移し抜き出す構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波加熱装置に備える加熱室内のマイクロ波の電界強度分布を視覚を通して検出することができる検出装置を提供すること。
【解決手段】 長径のアンテナと、検波ダイオ−ド１３と、緑色光のＬＥＤ１４とより形成した検出部１０Ａと、短径のアンテナと、検波ダイオ−ド１５と、赤色光のＬＥＤ１６とより形成した検出部１０Ｂとを基板１１に多数個配列して構成したマイクロ波の検出装置であって、マイクロ波加熱装置の加熱室内に収納し、多数個配列された上記検出部１０Ａ、１０Ｂの発光状態から、マイクロ波の電界強度分布を検出するようになっている。 （もっと読む）