【課題】 マイクロ波電力を利用した薄膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 真空ポンプ２３によって減圧するチャンバ２１内にマイクロ波電力Ｐと酸素ガスとを供給して表面波酸素プラズマ２５を発生させるプラズマ発生手段と、チャンバ２１内に加熱蒸発させるＺｎ材の蒸発源２６と、成膜形成するガラス基板２８とを備え、前記蒸発源２６から蒸発したＺｎ材を酸素プラズマ２５によって酸化させ、その化合物ＺｎＯをガラス基板２８に堆積させて薄膜形成する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波を利用して発生させた水素プラズマを医療器具や調整用具などの被処理物に照射し、被処理物の錆落とし、殺菌、汚れ除去などを行なう処理装置を提供すること。
【解決手段】 被処理物１３を取出し自在に内装する処理室１１を備えると共に、前記処理室１１内にマイクロ波電力を供給するマイクロ波発振器１７と、前記処理室１１内に水素ガスを供給する水素ガス供給機１８と、前記処理室１１内を減圧する真空ポンプ１９とからなるプラズマ発生手段を設け、プラズマ発生手段が発生する水素プラズマ２５を被処理物１３に照射し、被処理物１３の錆や雑菌などの有機物を還元する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 誘電体の材料特性の偏りや温度による材料特性の変化に対応した複素誘電率を求めることができる測定方法を提供すること。
【解決手段】 ＴＥ_１０３モ−ド空胴共振器１０に丸棒状の被測定物Ａ、Ｂを挿入して摂動法にしたがって被測定物Ａ、Ｂの挿入前後の共振角周波数の変化量△ω_１を測定し、続いて、被測定物Ａ、Ｂの挿入位置を変えて上記同様に共振角周波数の変化量△ω_２を測定し、さらに、上記△ω_１と△ω_２とから得られる連立方程式を計算して被測定物Ａ、Ｂ各々の複素誘電率を求める構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 腐食性の高いハロゲン・プラズマを発生させるプラズマ発生装置において、プラズマ室に連結する外部装置の連結部に設けられたＯリングの腐食を防止すると共に、その連結部の大気に対する気密性を高めたＯリング構造を提供すること。
【解決手段】 ハロゲン・プラズマに対し耐腐食性の高いフッ素樹脂系資材で形成したリング径の小さい内側Ｏリング３３と、気密性の高いゴム系資材で形成したリング径の大きい外側Ｏリング３４とを設け、プラズマ室１１の上部凹所３１にマイクロ波窓として配設したアルミナ板３２と前記上部凹所３１の底部との間に、前記内側Ｏリング３３と外側Ｏリング３４とを備えたＯリング構造となっている。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロンの給電装置において、バックヒ−ティングの多少にかかわらず、フィラメントの過加熱によるマグネトロンの故障を防ぎ、かつ、マグネトロンの寿命の延命を計ること。
【解決手段】 マグネトロン１２の出力を設定するマグネトロン制御回路１１と、この制御回路１１によって制御される陽極電圧回路１３とフィラメント電圧回路１４とを有し、さらに、フィラメントの電圧測定回路１５とその電流測定回路１６と、それら測定回路１５、１６の測定電圧信号ＳＶと電流測定信号ＳＩとから計算するフィラメント抵抗計算回路１７とを備え、マグネトロン制御回路１１がフィラメント抵抗計算回路１７から送られる抵抗値信号ＳＲに応じてフィラメント電圧回路１４を制御し、フィラメント抵抗を所定値に一定化させ、フィラメントの過加熱を防止する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 石英板を使用したマイクロ波窓の腐食を防止するマイクロ波を利用したプラズマ発生装置を提案すること。
【解決手段】 石英板のマイクロ波窓２２からプラズマ室１１内にマイクロ波電力を供給してプラズマ室１１内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、前記石英板２３のプラズマ室１１内側となる一側面に、ハロゲン・プラズマに対して化学的に腐食しないアルミナ板２４を接着して構成したマイクロ波窓２２を備えるマイクロ波を利用したプラズマ発生装置となっている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波電力をモニタするパワ−モニタにおいて、マイクロ波電力の周波数変動が許容される周波数帯域でモニタ特性を一定化すること。
【解決手段】 パワ−モニタ１６は、マイクロ波電力の特定の周波数ｆｒ＝２４５０ＭＨｚに対して低周波側でピ−クとなる周波数特性の方向性結合器と、そのｆｒに対して高周波側でピ−クとなる周波数特性の検波器とを備え、方向性結合器の周波数特性と検波器の周波数特性の合成効果によって、マイクロ波電力の周波数変動が許容される周波数帯域のモニタ特性を一定化する構成としてある。 （もっと読む）