【課題】静電チャックなどのセラミック素子の内部電極に対する引出し電極は、セラミック体と電極部のメタライズ層との熱膨張率の差異や、焼成時の熱収縮の差異などによって、交差部に高い残留応力が発生し、セラミック体が薄くなるとクラックなどが発生していた。
【解決手段】セラミック体中に、吸着などの外部の作用面にほぼ平行で、面状に広がった状態に内装された薄膜の内部電極を有し、一部が作用面の反対側からセラミック体中に延在して内部電極の端縁に沿ってかど継手状に繋がり、反対側の他端が、セラミック体の端面の外部端子位置に表出する導体薄膜の引出し電極とから成る。 （もっと読む）

本発明の型締装置（１）は、型締シリンダ（１１）側方に固定されたサーボモータ（１２）が、型締シリンダ（１１）に軸支されたねじ軸（１４）を回転することによって型締軸（２１）をナット（２２）と共に移動させて可動プラテン（２０）の型開閉を行い、型締シリンダ（１１）が、型締軸（２１）に油圧的な型締力を負荷することによって可動プラテン（２０）を型締めする型締装置である。特に、型締シリンダ（１１）が単動シリンダに構成され、型締軸（２１）が型締シリンダ（１１）内で移動する片ロッドのピストンに形成されて、ナット（２２）及びねじ軸（１４）のねじ部（１４ａ）が型締シリンダ（１１）内に内蔵される。これによって型締装置（１）の全長の短縮化と、型開閉、型締動作の高速化と、ねじ部（１４ａ）の潤滑環境の向上が図られる。
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【目的】 ベアリングの外輪を直接冷却するという外輪冷却手段により簡潔且つ確実に実施出来るようにしたベアリング冷却装置を提供することを目的とする。
【構成】 複数のベアリング３，４で承持した主軸１をハウジング２内に回転可能に備え、このハウジング２の壁面２Ｘ内にジャケットの螺旋溝を設けこれに冷却液を注入してハウジングを冷却するものにおいて、主軸１のベアリング３，４を支持するハウジング２の内周側に螺旋溝ＣＧ，２Ｃ，２Ｅを設け、この螺旋溝２Ｃ，２Ｅがベアリング３，４の外輪３Ａ，４Ａと接しさせた主軸のベアリング冷却装置である。 （もっと読む）

【目的】 パルス単位でインパルス電流を印加できるようにして、電極消耗せず、迅速に加工間隙の状態を回復させる装置の提供。
【構成】 工具電極１４と被加工物１６との両極間に、放電加工用の電圧パルスを、通常電源２４から放電回路２８を介して印加した放電加工装置において、検出手段１２の出力に基づいて電極間の放電状態を検出する放電状態検出手段６と、高電流の出力が可能な高電圧源２６と、これを放電回路側に接続・分離可能とする高電流発生回路１０と、放電状態検出手段が異常放電状態を検出したことに応答して高電流発生回路を駆動して放電回路に高電圧源から電流値の高いインパルス電流を印加するように制御する電源回路制御手段４とを備える。異常放電状態が検出されると直ちに電流値の高いインパルス電流を高電流発生回路を介して供給し、この衝撃力により加工間隙に滞留する生成物等を吹き飛ばす。 （もっと読む）

【構成】 硫黄を炭化水素に反応させて得られる含硫黄炭化水素、硫黄を油脂に反応させて得られる含硫黄油脂あるいはアルキルポリスルフィドの少なくとも一種を含む、油性放電加工液。
【効果】 本発明の油性放電加工液により、油性放電加工液の加工速度を向上させることができる。 （もっと読む）