【課題】エンドカバーの内側面に電子部品の取付けることにより、エンドカバーの内方側空間を有効利用するようにした回転式ロールへの電子部品の取付構造を提供する。
【解決手段】外周面に被冷却物が接触する円筒体１１と、該円筒体１１の両端部を各々覆うエンドカバー２２，２３と、該両エンドカバー２２，２３の中心から外向きに突出する中空状回転軸１２とを備え、前記円筒体１１の内部に、蒸発と凝縮とを繰り返す作動流体を充填すると共に、内部を冷却水が流れる冷却管を設けて成る回転式冷却ロールに電子部品を取付ける取付構造であって、両エンドカバー２２，２３のうち少なくとも一端側のエンドカバー２３は樹脂製とされ、この一端側の樹脂製エンドカバー２３の内側面２３ａに送信機及び電池が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 高濃度のオゾン水を所望の流量で供給することができるオゾン水供給装置を提供する。
【解決手段】 水にオゾンガスを溶解させることによりオゾン水を製造するオゾン水製造装置７と、オゾン水製造装置７により製造されたオゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給管３とを備えるオゾン水供給装置１であって、オゾン水供給管３から分岐してオゾン水を排出するオゾン水排出管４と、オゾン水排出管４を開閉する開閉弁１０とを備え、開閉弁１０の開度調整によりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整可能に構成されているオゾン水供給装置１である。 （もっと読む）

【課題】オゾン水による基板上残留有機物の除去方法の改良。
【解決手段】受台に保持された基板３の、レジストＲが残留している面に対してオゾン水用ノズル１と、それと独立した過熱水蒸気用ノズル２ａ、２ｂとを、それぞれから供給されるオゾン水と過熱水蒸気とが、そのレジストＲの直上で混合されるような姿勢に配設し、かつ、基板３のレジストＲが存在する全領域にわたってその除去ができるよう、基板３の受台との間で相対移動可能とする。 （もっと読む）

【課題】高速で回転する回転軸の軸受を冷却するための軸受冷却機構を簡単な構成とすること。
【解決手段】 軸受３２，３２が外嵌される有底筒状の回転軸２０と、回転軸２０に挿入されるパイプ５０と、回転軸２０の内周面とパイプ５０の外周面との間に介装される螺旋状の吸排気用フィン６０とを有し、回転軸２０に随伴して吸排気用フィン６０を回転させ、パイプ５０の内部又はパイプ５０の外周面と回転軸２０の内周面との間に形成される通気路７０のうちいずれか一方側から吸い込んだ冷却用の気体を他方側から排気して回転軸２０及び軸受３２，３２を冷却するように構成した。 （もっと読む）

【課題】水溶液を蒸発することで発生する水蒸気を圧縮機１１にて圧縮して，当該水溶液を蒸発するための熱源とするようにした自己蒸気圧縮式蒸発装置において，沸点上昇の高い水溶液に適用できるようにし，且つ，圧縮機にスケールが付着することを回避する。
【解決手段】前記水溶液の蒸発を行う蒸発缶１から前記水溶液を間接加熱する熱交換器４に至る蒸気ダクト８に，前記圧縮機１１を設けるとともに，この圧縮機の下流側の部位に，水蒸気を更に圧縮するようにした後段圧縮機１２を設ける一方，前記蒸気ダクトのうち前記圧縮機１１の吸い込み側の部位及び前記後段圧縮機１２の吸い込み側の部位に，前記熱交換器における凝縮水の一部を水蒸気に対して注入するための注水部１３，１４を設ける。 （もっと読む）

【課題】アルコール成分を含む廃液を効率良くかつ確実に処理することができる廃液処理装置を提供する。
【解決手段】アルカリ成分、揮発性酸成分及びアルコール成分を含む廃液を処理する廃液処理装置であって、アルカリ成分を中和する酸を混合して廃液を加熱蒸発させることにより、中和塩を残留させると共に、揮発性酸成分及びアルコール成分を含む蒸気を生成して排出する蒸発装置２０と、蒸発装置２０から排出された蒸気を凝縮して、主として揮発性酸成分を含む酸含有凝縮水と、主としてアルコール成分を含むアルコール含有凝縮水とを別々に生成する凝縮装置４０と、凝縮装置４０で生成されたアルコール含有凝縮水からアルコール成分を分離するアルコール分離装置８０とを備えており、アルコール分離装置８０にてアルコール成分が分離された凝縮水は冷却水として凝縮装置４０に導くように構成されている。 （もっと読む）

【課題】少ない損失熱量で小型の簡易な装置により確実に発泡を防止する。
【解決手段】蒸発濃縮装置は、蒸発部１、その下方に形成された液溜部２、この中の液を取り出して蒸発部１に循環液として供給するように形成された循環系３、循環液の一部分が分岐液として流される分岐系４、ノズル６、原液供給系７、必要に応じて設けられる冷却系１７、等で構成されている。原液の注入と冷却系１７とにより分岐系４の循環水の温度を下げて消泡用液としてノズルから液溜部の液面Ｓに放出することにより、液面から発生した泡を機械的に消滅させることができる。 （もっと読む）

【課題】２つの騒音発生源の境界に沿って設置され、何れの騒音発生源からの騒音についても効果的に抑制することが可能な防音壁を提供する。
【解決手段】防音壁１は、工場の敷地と道路の境界に沿って所定の間隔で並立された支柱１０と、支柱１０，１０間に設置された防音壁用パネル１１とを備える。防音壁用パネル１１は、上下方向に凹条部２３と凸条部２４とが交互に連続して出現するように支柱１０，１０間に立設されるデッキプレート２０と、表面に多数の孔２１が形成されデッキプレート２０の両側表面をそれぞれ全面に亘って覆う一対の多孔板２２ａ，２２ｂと、多孔板２２ａとデッキプレートの凹条部２３とによって構成される空間内、及び多孔板２２ｂとデッキプレートの凹条部２３とによって構成される空間内にそれぞれ充填される吸音材２５とを有する。 （もっと読む）

【課題】フッ酸排水を高効率で再利用可能に処理することができるフッ酸排水の処理方法及びフッ酸排水処理装置を提供する。
【解決手段】フッ酸を含むフッ酸排水を再利用可能に処理する方法であって、水洗室２１にフッ酸排水を供給して、フッ酸排水を含む被処理液を貯留する貯留ステップと、水洗室２１に貯留された被処理液を蒸発室１１に供給する供給ステップと、蒸発室１１に供給された被処理液を蒸発濃縮する濃縮ステップと、前記濃縮ステップで生成された濃縮水を蒸発室１１から回収する回収ステップと、前記濃縮ステップで生成されたフッ酸含有蒸気を水洗室２１に導入し、水洗室２１に貯留された被処理液に接触させて溶解させる溶解ステップとを備えるフッ酸排水の処理方法。 （もっと読む）

【課題】 中和処理を容易かつ安価に行うことができるアンモニア含有廃液の中和処理装置及び中和処理方法を提供する。
【解決手段】 アンモニア含有廃液を蒸発濃縮する蒸発濃縮装置３と、蒸発濃縮装置３で発生した蒸気を冷却凝縮する凝縮器６と、凝縮器６で生成された凝縮液を貯留する中和処理タンク２と、中和処理タンク２内の凝縮液に緩衝剤を混合する混合装置５と、緩衝剤が混合された凝縮液に酸を加えて中和する中和装置９とを備えるアンモニア含有廃液の中和処理装置１である。 （もっと読む）