【課題】比較的硬度が高い研磨対象物を適切に研磨することが可能な研磨液、その製造方法、および研磨方法を提供すること。
【解決手段】研磨対象物Ｗを研磨するための研磨粒子２と、研磨粒子２が混入された分散媒１と、を含む研磨液Ａであって、研磨粒子２よりもその平均粒径が小さく、研磨粒子２に凝集することにより研磨粒子２を分散媒１中において懸濁させる懸濁粒子３、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】 ウエハなどを表面精度よく研磨することが可能な研磨装置を提供すること。
【解決手段】 ワークとしてのウエハＷを挟持可能に対向配置された上定盤１および下定盤２と、上定盤１を吊り下げ可能であり、かつ上定盤１に回転駆動力を伝達する回転支持軸３と、を備えており、上定盤１がウエハＷに対して相対回転させられることにより、ウエハＷを研磨する、両面研磨装置Ａであって、上定盤１は、回転支持軸３の軸方向において回転支持軸３に対して相対動可能であり、かつ回転支持軸３に対して傾動可能である。 （もっと読む）

【課題】ワークがチタン、ニッケル等の極薄板であっても、高精度の溶接が可能であり、接合後のワークが、その溶接部において強度的優れるプラズマ溶接装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを支持するワーク支持体１と、電流をデジタル制御すると共に、パルス信号使用可能なインバータ制御のマイクロプラズマ電源２と、相互に直交する３軸方向に溶接トーチ３を移動させる溶接ロボット４とを備える。ロボット制御手段５にて、溶接ロボット４を制御して、予めティーチングされた溶接経路に沿って溶接トーチ３を移動させる。レーザーセンサ６にて、ワーク支持体１に支持されているワークＷの溶接位置を検出する。経路制御手段７にて、レーザーセンサ６にて検出された溶接位置に基づいて溶接経路を補正する。 （もっと読む）

【課題】 タンク保管台とタンク搬送台車との間の機外燃料タンクの授受作業を僅かの人員で無理なく行う。緊急事態にも対応できる迅速な作業を可能とする。
【解決手段】 タンク保管台は、機外燃料タンク１０を中心線の両側に複数段に支持する保管台本体Ａを備える。保管台本体Ａは、当該保管台本体Ａに横付けされたタンク搬送台車９０に対して機外燃料タンク１０の授受を行うタンク積み下ろし機構Ｂを装備する。タンク積み下ろし機構Ｂは、保管台本体Ａの中心線上に立設され、上端部から両側へ水平アームが延出したＴ字状の固定フレーム４０を有する。固定フレーム４０は、当該フレームのアーム部をスライドガイドとして保管台本体Ａの外側へ引き出され、引き出し位置で保管台本体Ａに横付けされたタンク搬送台車９０上の機外燃料タンク１０を吊り上げるように構成された左右一組のスライド式吊り上げ装置５０，５０を装備する。 （もっと読む）

【課題】 シングルキャリア方式の両面研磨装置に使用され、且つ半径方向の成分を含む複合動作を行う大径タイプの両面研磨用キャリアにおいて、オーバーハング部の変形及びこれによる破損や研磨精度の低下を回避する。
【解決手段】 ワークを収容するワーク収容孔１１が設けられた円板状のキャリア本体１０の外周側に、該本体を支持するべく厚肉に形成されたリング状の支持枠２０を設ける。支持枠２０の外周面に、駆動用の歯車３０が噛み合う歯部２１を形成する。支持枠２０は、キャリア本体とは独立した別部材で構成されており、キャリア本体１０をねじ４０により着脱可能に支持する。キャリア本体１０の材質をワーク保持に適したガラス繊維強化樹脂などにし、支持枠２０の材質を歯車３０による駆動に適した６６ナイロンなどにする。
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