【課題】本発明は、基板を載置するセラミック板を有した静電チャック及び基板温調固定装置に関し、基板載置面に載置された基板の温度ばらつきを低減することができる静電チャック及び基板温調固定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板１５が載置される基板載置面１８Ａを有したセラミック板１８と、セラミック板１８に内蔵された静電電極２１と、セラミック板１８に内蔵され、基板１５を加熱する抵抗発熱体２１と、を備えた静電チャック１０であって、基板載置面１８Ａの反対側に位置するセラミック板１８の下面１８Ｂと抵抗発熱体２２との間に位置する部分のセラミック板１８に、セラミック板１８よりも熱伝導率の高い金属部材２３を複数内設した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、隙間を介在させることなく、リードフレーム本体に接着フィルムを貼り付けることのできるリードフレーム及びその製造方法と、該リードフレームを用いて製造することにより歩留まりを向上させることのできる半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体チップが載置されるチップ載置面１７Ａを有する複数のダイパッド部１７と、複数のダイパッド部１７をそれぞれ囲むように設けられた複数のリード部１８と、複数のダイパッド部１７及びリード部１８を支持するフレーム部１９とを備えたリードフレーム本体１２と、リードフレーム本体１２の下面に、押圧により貼り付けられた接着フィルム１１と、複数のリード部１８上に設けられ、半導体チップと電気的に接続される第１の金属膜１３と、を備えたリードフレーム１０であって、複数のダイパッド部１７のチップ載置面１７Ａに第１の金属膜１３の厚さと略等しい第２の金属膜１５を設けた。 （もっと読む）

【課題】外来のノイズなど使用環境に応じて、伝送パラメータの最適化が可能なシリアルデータ伝送方法、送受信装置及びシリアルデータ伝送方法を提供すること。
【解決手段】送受信装置３０のシリアルデータ伝送方法において、受信したシリアルデータのエラーを検出するステップ（Ｓ１１３）と、エラーの検出頻度が所定値を超える場合、受信したシリアルデータの入力レンジを増減幅する第１の電圧変換器４１の出力電圧を増大させるステップ（Ｓ１２５）と、送信するシリアルデータを増減幅する第２の電圧変換器２２の出力電圧の増大を要求するステップ（Ｓ１２６）と、通信相手の送受信装置から受信するシリアルデータの入力レンジを増減幅する第３の電圧変換器２１の出力電圧を増大させる設定が完了した旨の通知を受信した場合（Ｓ１２９）、送信するシリアルデータを増減幅する第４の電圧変換器４２の出力電圧を増大させるステップ（Ｓ１３０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基体に基板を加熱する抵抗発熱体を内蔵した静電チャック及びその製造方法、及び基板温調固定装置に関し、短時間の加熱により、基板全体の温度を所定の温度にすることのできる静電チャック及びその製造方法、及び基板温調固定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板２０が載置される基板載置面２１Ａを有した基体２１と、基体２１に内蔵された静電電極２２と、基体２１に内蔵され、基板２０を加熱する抵抗発熱体２３と、を備えた静電チャック１１であって、基板載置面２１Ａの反対側に位置する基体２１の下面２１Ｂ側全体に開口部４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に導電パターンが形成されてなる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】被処理基板本体と、該被処理基板本体の第１の主面上に起立する該被処理基板本体の補強部とを有する補強部付き被処理基板を形成する第１の工程と、前記被処理基板本体の前記第１の主面側に第１の導電パターンを、該被処理基板本体の第２の主面側に第２の導電パターンをそれぞれ形成する第２の工程と、前記被処理基板本体を切断して、前記補強部を削除するとともに該被処理基板本体を個片化する第３の工程と、を有することを特徴とする電子部品２００の製造方法。 （もっと読む）

【課題】長尺帯状体の搬送位置の位置ずれの補正を容易化し、搬送機構の調整作業を容易にする。
【解決手段】長尺帯状体１０の搬送装置であって、それを挟むように配置された第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂが、支持軸３２を支点として回動可能に支持され、前記帯状体１０の前記ローラの進入側において前記帯状体の両側縁に当接して転動するガイドローラ４０ａ、４０ｂと、該ガイドローラ４０ａ、４０ｂと前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂとを連係し、前記帯状体１０が搬送される際に前記ガイドローラ４０ａ、４０ｂの動きに追随して前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂを前記支持軸３２を支点として回動させる揺動部材３０と、前記第１のローラ２０ａと第２のローラ２０が基準位置から偏位した際に、第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂを基準位置に復帰させる復帰手段５０ａ、５０ｂとを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】専有面積が小さく、かつ、大きなインダクタンス値を有するインダクタンス素子を提供する。
【解決手段】四角形のスパイラル状に形成された第１の導体と、誘電層を挟んで前記第１の導体に対応する四角形のスパイラル状に形成された第２の導体と、を有し、前記第１の導体の内周端と前記第２の導体の内周端とが、前記第１の導体および前記第２の導体が形成する四角形の角部の近傍で電気的に接続されていることを特徴とするインダクタンス素子。 （もっと読む）

【課題】複数の電子部品を積層させた状態で内蔵する電子部品内蔵基板において、平面寸法を大幅に縮小することが可能で、低コストでの製造が可能な電子部品内蔵基板を提供する。
【解決手段】一対の配線基板１０，２０間に、複数段に電子部品３０，６０が積み重ねて搭載された電子部品内蔵基板１００であって、一方の配線基板１０と他方の配線基板２０同士がはんだボール４０を介して電気的に接続され、一方の配線基板１０に第１の電子部品３０が搭載されると共に、第１の電子部品３０の上に第２の電子部品６０が搭載され、他方の配線基板２０には、第２の電子部品６０を収容する開口部２４が設けられ、第２の電子部品６０は、開口部２４内に収容して搭載されると共に、他方の配線基板２０にワイヤボンディングによって電気的に接続され、一対の配線基板１０，２０間が封止樹脂５０によって封止されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】集電構造が簡易であって製造コストが低く、電気的に並列接続または直列接続することが容易であり、且つ発電密度の高い開放型の固体酸化物型燃料電池発電装置を提供すること。
【解決手段】本発明の固体電解質燃料電池発電装置は、カソード電極層２とアノード電極層３とが固体電解質基板１の両面に形成された複数の固体酸化物型燃料電池Ｃを備え、隣り合う固体酸化物型燃料電池Ｃのそれぞれのアノード電極層３が対向するように、複数の固体酸化物型燃料電池Ｃが配置されている。対向する各アノード電極層３の間には、該各アノード電極層３に接触し、通気性を有する第１の導電体４が挟持されている。この第１の導電体４は、各アノード電極層３を超えて延出する第１の延出部４１を有しており、該第１の導電体４がアノード電極層３の集電部となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明はアンダーフィル材の流れを抑制するダムを有した実装基板及び電子装置に関し、ダム部材の強度維持を図りつつ、電極形成領域及び実装領域の面積増大を図ることを課題とする。
【解決手段】基板本体１４ａ上に、電子素子を実装するチップ実装領域２７と、上部電極１８が形成されると共にチップ実装領域２７を囲繞して形成された電極形成領域２８と、チップ実装領域２７と電極形成領域２８との境界部分に形成されると共にアンダーフィルレジン２３の電極形成領域２８への漏洩を防止するダム部材５０とを有した実装基板において、前記ダム部材５０の上部電極１８と対向する位置に凹部５１を形成し、この凹部５１の内部に上部電極１８の一部が位置するよう構成する。 （もっと読む）