【課題】より高い解像度を有するパターンを形成することが可能な層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、感光剤（Ｂ）を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）成分が、フェノール性水酸基含有構成単位（ａ１）と、架橋性基含有構成単位（ａ２）と、を含む共重合体（Ａ１）を含み、前記（Ｂ）成分が、キノンジアジド基含有化合物と、フェノール性水酸基含有化合物と、を縮合させてなる化合物を含み、前記層間絶縁膜用感光性樹脂組成物により得られるレジストパターンの解像性を、２μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】汎用の現像液を使用可能な層間絶縁膜を形成する方法及び層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、前記感光性樹脂組成物を露光する露光工程と、現像液で現像する現像工程と、を含む層間絶縁膜の形成方法において、層間絶縁膜用感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）として、ヒドロキシフェニルアルキル（メタ）アクリレート単位を含み、アルカリ現像液として、濃度１質量％以上３質量％以下の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いる。 （もっと読む）

【課題】１００℃程度では接着力が低減せず、２００℃以上に加熱することによって接着力が低減し、これによって接着剤層を基板から容易に剥離することができる接着剤組成物を提供する。
【解決手段】本発明に係る接着剤組成物は、スチレン、環式構造を有する（メタ）アクリル酸エステル、および鎖式構造からなる（メタ）アクリル酸アルキルエステルを共重合してなるポリマーを主成分としている。上記（メタ）アクリル酸エステルが熱の作用によりエステル結合から解離する官能基を備えているため、１００℃程度にて接着剤組成物の接着力が低減することはない。しかし、２００℃以上に加熱すると接着剤組成物は発泡し、接着力が低減する。これによって、例えば、半導体ウエハからサポートプレートを剥離するときにおいて、半導体ウエハから接着剤層を剥離するのに要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】高い透明性を有する層間絶縁膜を提供することが可能な層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】層間絶縁膜用感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）として、下記一般式（ａ−１）で表される構成単位(ａ１)と、架橋性基を有する構成単位（ａ２）と、を有する共重合体（Ａ１）を含み、感光剤（Ｂ）として、キノンジアジド基含有化合物とフェノール性水酸基含有化合物の縮合物を含み、前記フェノール性水酸基含有化合物の熱分解温度を３００℃以上とする。


［上記一般式中、Ｒ^０は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^１は単結合又は炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０又は１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。］ （もっと読む）

【課題】 エア抜きタンクに排出される塗布液（薬液）の量を少なくして効率のよい薬液供給方法を提供する。
【解決手段】 時刻ｔ１で開閉弁１１を開にするとともにポンプ９のモータを正転させ貯留空間Ｓの容積を徐々に大きくする。すると、脱気モジュール８を通過した塗布液が塗布液供給配管１０を介して定量ポンプ９の貯留空間Ｓに供給される。そして塗布液貯留空間Ｓが所定の容積に達した時刻ｔ２でポンプ９のモータを一旦停止し、同時に開閉弁１１を閉じ、時刻ｔ２から約２秒後に再びポンプ９のモータを再び正転させることで塗布液貯留空間Ｓの容積を拡大し、塗布液を充填する。このとき、開閉弁１４，１７も閉じ状態にあるので、塗布液貯留空間Ｓは密閉空間になっており、塗布液貯留空間Ｓの容積が拡大することで、塗布液貯留空間Ｓ内の圧は低下する。この後、時刻ｔ５において、開閉弁１７を開とし、塗布液貯留空間Ｓ内の残圧を開放し、余剰の塗布液をタンク１９に回収する。 （もっと読む）

【課題】高い解像度のパターンを形成することが可能な層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、を含有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）は、下記一般式（ａ−１）で表される構成単位（ａ１）と、架橋性基を有する構成単位（ａ２）と、を有する共重合体（Ａ１）を含有する。


［上記一般式中、Ｒ^０は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^１は単結合又は炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０又は１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。］ （もっと読む）

【課題】サポートプレートに接着剤を介して支持され複数に分割されたウェハとサポートプレートとを容易に剥離するサポートプレートとウェハとの剥離方法及装置を提供する。
【解決手段】接着剤３によりサポートプレート１に支持されるウェハ５は複数に分割されてウエハ溝２３を形成している。ポーラスプレート１０の周壁１８によって囲まれ、ポーラス部１７を収容する収容部において、ポーラスプレート１０の吸引パイプ１２による吸引によって吸引口１５、溝２１、連通溝２２、及びポーラス部１７を介してウエハ５とサポートプレート１が吸着されるともに、外部から供給される接着剤３を溶融する剥離液が複数に分割されたウエハ５´により形成されているウエハ溝２３に誘導され、接着剤３に接触して接着剤３を溶解する。 （もっと読む）

【課題】より高い保存安定性を有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂成分（Ａ）、感光剤（Ｂ）を含む層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）成分が、フェノール性水酸基含有構成単位として一般式（ａ−１）で表される構成単位（ａ１）を含み、さらにその他の構成単位として一般式（ａ−２）で表される構成単位（ａ２）を含む共重合体（Ａ１）を含む。


［上記一般式中、Ｒ^０は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^１は単結合又は炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ^２は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ^３は水素原子又はメチル基を表し、ａは１〜５の整数を表し、ｂは０又は１〜４の整数を表し、ａ＋ｂは５以下である。なお、Ｒ^２が２以上存在する場合、これらのＲ^２は相互に異なっていてもよいし同じでもよい。］ （もっと読む）

【課題】ウエハを研削するため、貫通孔を有するサポートプレートを使用してサポートプレート裏面をチャックに真空吸着してした場合、ウエハ研削時或いはウエハ剥離の際にウエハの表面にディンプルが生じることがあり、当該ディンプルの発生を抑えるように構成したサポートプレートを提供すること。
【解決手段】ウエハを接着部材で接着して面サポートするサポートプレート１のウエハ接着範囲Ｗに、未貫通部１０−３を有する孔１０を構成するようにする。 （もっと読む）

【課題】マスク再現性の良好なポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】樹脂成分（Ａ）と酸発生剤成分（Ｂ）とを含有し、（Ａ）成分は、一般式（ａ０）の構成単位（ａ０）と、第３級アルキルエステル型の酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ１）とを有する共重合体（Ａ１）と、前記構成単位（ａ１）と同様の構成単位（ａ１’）と、前記構成単位（ａ０）又は極性基含有脂肪族炭化水素基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位（ａ３）とを有する共重合体（Ａ２）とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。
［化１］


［式中、Ｒは水素原子、ハロゲン原子、低級アルキル基又はハロゲン化低級アルキル基；Ｙ^１は脂肪族環式基；Ｚは第３級アルキル基含有基又はアルコキシアルキル基；ａは１〜３、ｂは０〜２の整数、ａ＋ｂ＝１〜３；ｃ、ｄ、ｅは各々独立して０〜３の整数。］ （もっと読む）