【課題】インゴットへの切り代プレートおよび取付プレートの接着方法を提供する。
【解決手段】切り代プレート２２、およびインゴット２３をワイヤソーに取り付けるための取付プレート２１を、主剤と硬化剤とからなる２液性接着剤によりインゴット２３の外表面に接着する接着方法であって、取付プレート２１と切り代プレート２２との接着面、および切り代プレート２２とインゴット２３との接着面に２液性接着剤を所要パターンで塗布する工程において、混合した２液性接着剤を、接着面の各コーナー部の所要部位にスポット状に塗布すると共に、接着面の幅方向中央部に長手方向に伸びる帯状に塗布し、インゴット２３側からの荷重により、２液性接着剤をスポット状部から接着面のコーナー部方向に、および帯状部から接着面の幅方向に展延させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークを精度よく貼着できるワーク貼着装置を提供する。
【解決手段】押圧テーブル１８と、押圧テーブル１８の上方に、押圧テーブル１８に対して相対的に接離自在に配設された押圧ヘッド４２とを備え、押圧テーブル１８と押圧ヘッド４２とによって押圧することによって、プレート２２上にワックスを介してワーク２３を貼着するワーク貼着装置１０において、押圧テーブル１８は、ヒーター３１と冷却機構３２の双方を備えて成り、押圧テーブル１８と押圧ヘッド４２とを加熱して、プレート２２上に塗布されたワックスを介してワーク２３を押圧してワックスを展延させ、しかる後、冷却機構３２により押圧テーブル１８およびプレート２２を冷却することによってワックスを固化させてワーク２３をプレート２２上に貼着することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークを精度よく研磨することのできる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】供給孔７６の一方の端部である、研磨布３４が貼付された定盤３６面側の開口縁がテーパー面７６ａに形成されて、当該部位の供給孔７６が定盤面に向けて広がる拡径孔に形成され、研磨布３４の、供給孔７６を覆う部分に、供給孔対応孔が形成され、該供給孔対応孔の開口縁が供給孔７６内に押し込まれると共に、一端部に、前記拡径孔のテーパー面７６ａに対向するフランジ部８４ａが形成された固定パイプ８４が供給孔７６に挿入された状態で定盤３６に固定され、前記供給孔対応孔の開口縁が、前記拡径孔のテーパー面７６ａと固定パイプ８４のフランジ部８４ａとの間で挟圧、保持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】同心状の押圧領域において、その境界領域の圧力分布を連続的に変化させることができ、ワークのより均一な研磨を行うことができる研磨装置を提供する。
【解決手段】ワーク３０を保持する研磨ヘッド１４と、定盤１２と、研磨ヘッド１４と定盤１２とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置１０であって、研磨ヘッド１４が、側壁部を有する保持プレート２２と、保持プレート２２に固定され、下面でワーク３０に当接して定盤１２の研磨面へ押圧可能な弾性膜部材２８と、保持プレート２２の下面側および弾性膜部材２８の上面との間に形成され、流体供給手段によって所定圧力の流体が供給され、弾性膜部材２８を押圧する圧力室と、該圧力室内を外周側と内周側に仕切り、シールリップ３８が弾性膜部材２８に傾斜して当接するシールリング３６と、シールリング３６によって仕切られた各圧力室４０、４２に個別に流体を供給する流体供給手段とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの高さ精度を向上させることができ、精度よくワークの研磨を行える研磨装置を提供する。
【解決手段】ワーク２４を保持する研磨ヘッド４１ａと、表面に研磨布６０が貼付された定盤５６と、研磨ヘッド４１ａと定盤５６とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置であって、研磨ヘッド４１ａが、リング状の側壁部１２ａを有する保持プレート１２と、樹脂シート材４５および樹脂シート材４５の表面に形成された発泡樹脂層４６からなり、保持プレート１２の下面側を覆うようにして保持プレート１２に周縁部で固定されたバッキング材４４と、バッキング材４４を押圧する圧力室３２と、バッキング材４４の下面の周縁部に固定され、ワーク２４を囲んで保持するリング状のテンプレート４０とを具備し、バッキング材４４が、保持プレート１２の側壁部１２ａ下面に樹脂シート材４５が直接または接着剤を介して当接するようにして固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バッチごとにほぼ一定した研磨速度が得られ、精度よくワークの研磨が行え、また修正砥石を用いるドレッシングの回数を減らせることから、作業性よく、また研磨布の寿命も長くできる研磨布のドレッシング方法を提供する。
【解決手段】回転する定盤１４、１５の研磨布上にワークを押接し、研磨布上に研磨液を供給しつつワーク表面の研磨を行った後の、該研磨布の表面状態を砥石を用いて調整する研磨布のドレッシング方法において、ワーク研磨後、研磨布上に高圧洗浄水を供給して研磨布を洗浄する洗浄工程中で、目立て砥石２６を研磨布の径方向に研磨布の凹凸面に追従させて移動させて研磨布の目立てドレッシングを行う工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】結晶方位のずれに起因する結晶欠陥の発生を防止することができるサファイア単結晶の製造装置を提供する。
【解決手段】サファイア単結晶の製造装置１は、支持部材３によって支持されたルツボ２０内に種子結晶および原料を収納し、育成炉１０内の筒状ヒーター１４内に該ルツボ２０を配置して筒状ヒーター１４により加熱して原料および種子結晶の一部を融解して結晶化させるサファイア単結晶の製造装置において、カップ状をなす前記ルツボ２０における所定の外周位置を円環状に冷却する冷却手段を備える。前記冷却手段はルツボ２０の突周部２１と当該突周部２１に対して円環状に面接触して当該ルツボ２０を支持する支持部材３とを備えて構成され、ルツボ２０の下面と支持部３とは離間するように配設される。この構成により、突周部２１から支持部材３へ熱が移動し、ルツボ２０における所定の外周位置を円環状に冷却する。 （もっと読む）

【課題】ワークの研磨において、安定して一定の高平坦度、高研磨代均一性が得られ、かつ、４５ｎｍ以上の微小なパーティクルの少ないワークを得ることができ、粗研磨加工工程にも仕上げ研磨加工工程にも使用できる研磨ヘッド及び研磨装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、研磨ヘッド本体の下部に、円盤状の中板に保持されるラバー膜と、該ラバー膜の周囲に設けられる円環状のガイドリングとを具備し、ラバー膜の下面部にワークの裏面を保持し、ワークの表面を定盤上に貼り付けた研磨布に摺接させて研磨する研磨ヘッドにおいて、ガイドリングの下面が研磨中に研磨布に接触しないようにして、ガイドリングと中板とを保持し、研磨ヘッド本体と弾性膜を介して連結されるベース部材を有し、該ベース部材は、その上面の一部が研磨ヘッド本体と接触することでアキシャル方向の変位が制限され、かつ弾性膜により研磨中にラジアル方向に変位可能な研磨ヘッド。 （もっと読む）

【課題】搬送時におけるウェーハ全周の画像を撮影することなく、当該ウェーハの割れ検出を行うことが可能なウェーハ研磨装置およびウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るウェーハ研磨装置１は、ウェーハ２を保持可能な透孔２１が設けられたキャリア２０と、定盤１２、１４とを備え、キャリア２０の透孔２１に保持されたウェーハ２を定盤１２、１４に対して相対移動させて、該ウェーハ２を研磨するウェーハ研磨装置において、透孔２１内に残留するウェーハ破片の有無を検知する、画像処理手段６もしくは非接触検出手段７の少なくとも一方を備える。 （もっと読む）