【課題】 プラズマによる物理的なドライエッチングでの耐性に優れたレジスト材を用いることで、金属メッキ等の下地処理を不要とすると共に、水晶基板の厚み方向の加工をより深く、且つ、高精度に行うことができる水晶デバイスの製造方法を提供することである。
【解決手段】 水晶基板１１上に感光性樹脂からなるレジスト材１３による膜を形成し、このレジスト材１３を露光して所定形状のエッチングパターンを形成し、このエッチングパターンに沿ってエッチング処理を施すことによって、水晶基板１１を所定の形状に加工する水晶デバイスの製造方法であって、前記レジスト材１３が、ウレタンアクリレート樹脂等の高弾性素材を含み、前記水晶基板１１上に所定の厚みを持たせて形成した。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子を構成する一対の振動腕部に幅狭の溝部を複数形成することによって、電界効率の向上を図り、小型化及び等価抵抗値の低減化を実現する音叉型水晶振動子を提供することである。
【解決手段】 ケーシングに固定される基部２２と、この基部２２から平行して延びる一対の振動腕部２３，２４と、この振動腕部２３，２４に形成される励振電極部２９，３０とを備えた音叉型水晶振動子２１において、前記振動腕部２３，２４の表裏面に、長手方向に延びる複数の溝部２５〜２８を振動腕部２３，２４の厚みに対して１／２未満の深さで幅狭に形成した。 （もっと読む）

【課題】 圧電型基板上に発生させる表面弾性波（ＳＡＷ）を多チャンネル化・多機能化することにより、様々な環境情報や生体医療因子に起因した物理化学的パラメータ（温度，湿度，荷重，気圧，ガス成分，磁気，材料損傷，生体成分微量分析等）による環境変化因子をＳＡＷ伝播特性変化によって同時に、且つ、高精度で検出することができる表面弾性波デバイスセンサを提供することである。
【解決手段】 圧電型基板２に接合させたＩＤＴ３からなる素子に高周波電流または高周波電圧を印加し、前記圧電型基板２の表面近傍に表面弾性波（ＳＡＷ）５を発生させ、このＳＡＷ５の伝播特性によって環境変化因子を検出する表面弾性波（ＳＡＷ）デバイスセンサ１において、前記圧電型基板２上に複数の機能性薄膜６からなる表面弾性波伝播経路４を形成して多チャネル化することで、環境変化因子を複数同時に検出させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 励振電極が形成された振動部を支持すると共に、電圧の供給ルートとなる支持部の機械的あるいは構造的な不具合を電気的に検出することで、不良箇所を特定でき、製品出荷時の良品及び不良品の選別を確実且つ簡易に行うことができる電極構造を備えた圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 励振電極２７ａ〜２７ｃ，２８ａ〜２８ｃが形成された振動部２１と、該振動部２１を支えると共に、前記励振電極と導通する電極パターンが形成された複数の支持部２３ａ〜２３ｄとを備えた水晶振動子２０において、前記支持部２３ａ〜２３ｄの構造的欠損を前記振動部２１の電気容量の変化として検出するために、前記電極パターンが、前記励振電極と導通する支持部の表面または裏面のいずれか一方に形成、あるいは、前記支持部内の全周に亘って引き回して形成した。 （もっと読む）