【課題】陽極接合法や加圧接合法による基板試料用接合装置において、アライメント用のモニタシステムの簡素化と、接合ムラのない均一性の高い接合を得ることを目的としている。
【解決手段】アライメントチャンバの上部開口部にゲートバルブを設け、上記ゲートバルブの上面には「のぞき窓」が、また、接合チャンバ内には接合ヘッドが収容されており、モニタシステムの構成を簡素化できる。アライメント機構の一部に「仮止め機構」を設けることにより、２枚の基板試料の位置ズレが抑制される。また、アライメントチャンバにプラズマクリーニング機構を設け、真空又は所望のガス雰囲気中でプラズマクリーニング・アライメント・接合という工程を一貫して処理することができる。さらには、陽極接合時の接触電極を複数個に分割することにより、分割した接合領域ごとに高電圧印加のタイミングなどが独立して制御可能になり、接合の均一性が向上する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ素子部品等のマイクロ構造体の粗面を滑面処理し、品質向上等を図る。
【解決手段】基板１１にドライエッチング又はサンドブラストにて貫通孔１１ａを形成する。貫通孔１１ａの内周面は数百ナノ〜数ミクロンオーダーの粗面になっている。大気圧近傍下において、有機シリコン化合物と活性化された無機酸とを互いに接触させるとともに貫通孔１１ａの内周面に接触させ、貫通孔１１ａの内周面にシリコン酸化膜１４を形成する。シリコン酸化膜１４の表面は、滑面になる。これにより、貫通孔１１ａと充填金属１６との間に隙間が出来るのを防止でき、ＭＥＭＳ素子１０の内部空間１０ａの気密性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】
低真空領域、高真空領域のセンシング感度を向上させ、大気圧以上の気圧、更に低真空領域から高真空領域にわたる広帯域な真空を含む気圧センシング感度を有する熱型気圧センサを提供する。
【解決手段】
熱的に分離された薄膜（例えば、カンチレバ）上に設けられた薄膜温度センサと、薄膜温度センサを加熱する薄膜ヒータとを備え、薄膜温度センサ、もしくは薄膜温度センサと薄膜ヒータの両方を励振手段により振動させる。これにより少なくとも薄膜温度センサの周囲気体（被計測気体）への熱接触の度合いを増大させ、放熱を促進させることにより、大気圧以上から高真空領域までの気圧センシング感度を改善する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ構造体の製造工程において、エッチングレートの大きなシリコン酸化膜の犠牲層を実現する。
【解決手段】 一対の電極にて略常圧のプラズマ空間を形成する。ＴＭＯＳと窒素の混合ガスを、前記プラズマ空間を経ることなくマイクロ構造体用の基板に吹き付けるとともに、酸素を、前記プラズマ空間を経て前記基板に吹き付け基板上で前記混合ガスと接触させる。各ガス流量は、ＴＭＯＳ０．２６ｇ／ｍｉｎ、窒素１０ｓｌｍ、酸素１０ｓｌｍとし、水分は含ませない。 （もっと読む）

【課題】流体の温度・流速・流量などの物理的変化をセンシングするデバイスにおいて、流体の特定方向の流れだけでなく、全方位からの流体の変化量を検知し計測するフローセンサを提供する。
【解決手段】基板から空洞部を介して熱分離した薄膜に、ヒータとそのヒータを取り囲むように配列した複数個の温度センサアレイを具備した構造、又は、ヒータと複数個の温度センサアレイを有する薄膜を空間的に分離して全方位からの流体の変化量のみを検知する構造とすること。 （もっと読む）

【課題】 基板から空洞部を介して熱分離形成した薄膜に、ヒータと温度センサとを具備し、真空度や気体の成分などを測定する気体センシングデバイスにおいて、被測定気体の流れが直接前記薄膜に当たらないようにすると共に、気体中のゴミなどから上記薄膜を保護する。
【解決手段】 基板と１個の第１の蓋とにより薄膜を閉じ込めた構造、又は第1の蓋と第２の蓋とにより基板を閉じ込めた構造と成し、第１の蓋には第２の空洞部を設け、第１の蓋のうち少なくとも空洞部が形成されている部分に多孔を形成し、第２の空洞部の内側に前記薄膜が配置させた構造として、前記の薄膜を第１及び第２の空洞部内に閉じ込める構造とする。 （もっと読む）

【課題】 空間、特に真空チャンバー内の気体圧力や温度などの物理量の分布を計測するシステムを提供する。
【解決手段】 変形して形状維持が可能なパイプ状、又は棒状支持体の先端に微小センサーチップを装着したセンシングユニットを用い、これを複数の所望位置に配設し、所望空間の物理量の分布を計測する。 （もっと読む）

【課題】真空計に使用できる気体センサとこれを用いた真空計測装置を提供する。
【解決手段】周囲気体の流れを遮断したチャンバ内に設置した半導体の基板１を用い、この基板１から熱分離した薄膜４ａ上に薄膜のヒータ６と温度センサを個別に設け、薄膜のヒータ６から距離を隔てた位置に空隙３００を挟んで、基板１から熱分離した薄膜４ｂ上に温度センサとを、集積化させ、薄膜４ａの温度センサＴＳａと薄膜４ｂの温度センサＴＳｂの出力を利用して、周囲気体の気圧もしくはその成分を計測する気体センサと、周囲気体の気圧もしくはその成分、及び、温度を算出する計測手段とを備えた計測装置。 （もっと読む）